JPS58164018A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS58164018A JPS58164018A JP57048457A JP4845782A JPS58164018A JP S58164018 A JPS58164018 A JP S58164018A JP 57048457 A JP57048457 A JP 57048457A JP 4845782 A JP4845782 A JP 4845782A JP S58164018 A JPS58164018 A JP S58164018A
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- perpendicular magnetic
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- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直磁気記録媒体であるＣｏ−Ｃｒ膜の垂直磁
気異方性を向上せしめる製法に関する。
気異方性を向上せしめる製法に関する。
近年、記録媒体の厚み方向に残留磁化を形成する垂直磁
気記録媒体の研究が活発に行なわれている。この垂直磁
気記録媒体を用いれば従来の水平記録方式に比べて高密
度な記録が可能である。垂直磁気記録媒体としてはフィ
ルムベース或いはアルミベース上にＣｏ−ＣｒをＲＦス
パッタして作成したＣｏ−Ｃｒ膜が知られる。
気記録媒体の研究が活発に行なわれている。この垂直磁
気記録媒体を用いれば従来の水平記録方式に比べて高密
度な記録が可能である。垂直磁気記録媒体としてはフィ
ルムベース或いはアルミベース上にＣｏ−ＣｒをＲＦス
パッタして作成したＣｏ−Ｃｒ膜が知られる。
しかし、前記Ｃｏ−Ｃｒ膜には次の問題がある。
一般に垂直磁化膜を得るための条件は膜の垂直磁気異方
性エネルギＫｕを膜の形状異方性エネルギ２πＭｓ２（
Ｍｓ：飽和磁化）より大きくすることであり、Ｃｏ−Ｃ
ｒ膜の場合は一般にＣＯをＣｒで稀釈することによって
上記飽和磁化Ｍｓを小さくしそれにより上記形状異方性
エネルギ２πＭＳ２を低下させ、相対的に上記垂直磁気
異方性エネルギＫｕを上記形状異方性エネルギ２πＭｓ
２より大となして垂直磁化膜を得ていた。しかし上記飽
和磁化Ｍｓが大きい程記録信号の再生時における感度は
良いので再生に有利な膜を作成する場合は上記Ｃｒ濃度
は少ない方が良い。その時は形状異方性エネルギ２πＭ
８２が垂直磁気異方性エネルギＫｕに近づくので実効的
垂直磁気異方性エネルギＫＢ’（Ｋｕ−２πＭｓ”）が
小さくなり垂直磁化膜の作成条件が厳しくなる。
性エネルギＫｕを膜の形状異方性エネルギ２πＭｓ２（
Ｍｓ：飽和磁化）より大きくすることであり、Ｃｏ−Ｃ
ｒ膜の場合は一般にＣＯをＣｒで稀釈することによって
上記飽和磁化Ｍｓを小さくしそれにより上記形状異方性
エネルギ２πＭＳ２を低下させ、相対的に上記垂直磁気
異方性エネルギＫｕを上記形状異方性エネルギ２πＭｓ
２より大となして垂直磁化膜を得ていた。しかし上記飽
和磁化Ｍｓが大きい程記録信号の再生時における感度は
良いので再生に有利な膜を作成する場合は上記Ｃｒ濃度
は少ない方が良い。その時は形状異方性エネルギ２πＭ
８２が垂直磁気異方性エネルギＫｕに近づくので実効的
垂直磁気異方性エネルギＫＢ’（Ｋｕ−２πＭｓ”）が
小さくなり垂直磁化膜の作成条件が厳しくなる。
以上は飽和Ｍ８の大きさを制御する点について述べたが
同一の飽和磁化Ｍ、を備える膜に於ては磁化の遷移領域
が狭い方が高密度記録を達成する為に好ましいので垂直
磁気異方性エネルギＫｕを大きくした方がよい。
同一の飽和磁化Ｍ、を備える膜に於ては磁化の遷移領域
が狭い方が高密度記録を達成する為に好ましいので垂直
磁気異方性エネルギＫｕを大きくした方がよい。
（２）
本発明は以上の従来点を鑑みてなされたものであり、酸
素雰囲気中で熱処理を行なうことによって垂直磁気異方
性を大きくすることを目的とする。
素雰囲気中で熱処理を行なうことによって垂直磁気異方
性を大きくすることを目的とする。
以下、本発明に係わる垂直磁気記録媒体の製造方法の一
実施例を図面を用いて詳細に説明する。
実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図はＩｏ−４〜＋ ０５Ｔｏｒｒ の真空中でＣｏ
−Ｃｒ膜の熱処理を行なった場合、第２図は１Ｏ−２乃
至１Ｏ−６Ｔｏｒｒ （酸素分圧）の酸素雰囲気中で
Ｃｏ−Ｃｒ膜の熱処理を行なった場合を示している。
−Ｃｒ膜の熱処理を行なった場合、第２図は１Ｏ−２乃
至１Ｏ−６Ｔｏｒｒ （酸素分圧）の酸素雰囲気中で
Ｃｏ−Ｃｒ膜の熱処理を行なった場合を示している。
第１図は１４％のＣｒ含有のＣ０−Ｃｒ膜と１８係のＣ
ｒ含有のＣｏ−Ｃｒ膜とについて熱処理を行なったもの
で、室温から４５０℃迄加熱した後再び室温に戻した時
の実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ’を示している。
ｒ含有のＣｏ−Ｃｒ膜とについて熱処理を行なったもの
で、室温から４５０℃迄加熱した後再び室温に戻した時
の実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ’を示している。
Ｋｕ′が正の値ならば垂直磁気異方性を有する。同図の
如く室温に戻した時実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ
′は熱処理前より向上している。実効的垂直磁気異方性
エネルギＫｕ′の測定はａｕｔｏｍａｔｉｃ ｔｏｒｑ
ｕｅ ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒを使用した。
如く室温に戻した時実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ
′は熱処理前より向上している。実効的垂直磁気異方性
エネルギＫｕ′の測定はａｕｔｏｍａｔｉｃ ｔｏｒｑ
ｕｅ ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒを使用した。
第２図は次表に示す５種の試料について熱処理を行なっ
た時の実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ′を示す。
た時の実効的垂直磁気異方性エネルギＫｕ′を示す。
表
同図の番号は試料Ｎ、である。熱処理は、試料を一度高
真空状態になし次に酸素を所定分圧だけ送り込んだ状態
で行ない熱処理の温度は全て４５０℃、時間は３０分間
行なった。破線は熱処理前の実効的垂直磁気異方性エネ
ルギ、実線は熱処理後の実効的垂直磁気異方性エネルギ
である。測定点のバ ｊラツキは膜作成条件の
微妙な差によると思われる。
真空状態になし次に酸素を所定分圧だけ送り込んだ状態
で行ない熱処理の温度は全て４５０℃、時間は３０分間
行なった。破線は熱処理前の実効的垂直磁気異方性エネ
ルギ、実線は熱処理後の実効的垂直磁気異方性エネルギ
である。測定点のバ ｊラツキは膜作成条件の
微妙な差によると思われる。
同図に示されるように実効的垂直磁気異方性エネルギＫ
ｕ／は酸素雰囲気中の熱処理によって全試料とも大き
く改善されている（この時飽和磁化は変化しない。）。
ｕ／は酸素雰囲気中の熱処理によって全試料とも大き
く改善されている（この時飽和磁化は変化しない。）。
特に１０−４〜１０−３間の酸素分圧での熱処理効果は
大きい。試料Ｎｏ１．Ｎｏ２．Ｎｏ３は熱処理前に面内
に磁気異方性を有する膜であったか熱処理後は垂直磁気
異方性の大きな膜に変化している。
大きい。試料Ｎｏ１．Ｎｏ２．Ｎｏ３は熱処理前に面内
に磁気異方性を有する膜であったか熱処理後は垂直磁気
異方性の大きな膜に変化している。
次に熱処理前後のＣｒ−Ｃｏ膜（Ｃｒか１８％）の表面
部分の組成をＡ、Ｅ、Ｓ（オージェエレクトロスペクト
ルスコピー）分析した結果を第３図に示す。但し熱処理
は３．２Ｘ １０−’ Ｔｏｒｒの酸素分圧下で行ない
表面から５０ＯＡの深さまで調べた。破線か熱処理前、
実線か熱処理後の組成である。同図によれば熱処理によ
ってＣｒが表面から２０〜２００Ａの範囲に偏析してＣ
ｒの酸化層を形成していることか判る。即ちとのＣｒの
表面近傍での偏析が垂直磁気異方性の増大に関係してい
るものと考えられる。
部分の組成をＡ、Ｅ、Ｓ（オージェエレクトロスペクト
ルスコピー）分析した結果を第３図に示す。但し熱処理
は３．２Ｘ １０−’ Ｔｏｒｒの酸素分圧下で行ない
表面から５０ＯＡの深さまで調べた。破線か熱処理前、
実線か熱処理後の組成である。同図によれば熱処理によ
ってＣｒが表面から２０〜２００Ａの範囲に偏析してＣ
ｒの酸化層を形成していることか判る。即ちとのＣｒの
表面近傍での偏析が垂直磁気異方性の増大に関係してい
るものと考えられる。
以上詳細に説明した本発明によれば、Ｃ０−Ｃｒ組成或
いはスパッタ条件等の具合により垂直磁気異方Ｍｒｔ＝
弱くとも酸素雰囲気中の熱処理によって大きくできるの
で、Ｃｏ−Ｃｒ組成或いはスパッタ条件等の制約が緩和
され垂直磁気異方性の大きな膜の生産性の向上が達成で
きる。
いはスパッタ条件等の具合により垂直磁気異方Ｍｒｔ＝
弱くとも酸素雰囲気中の熱処理によって大きくできるの
で、Ｃｏ−Ｃｒ組成或いはスパッタ条件等の制約が緩和
され垂直磁気異方性の大きな膜の生産性の向上が達成で
きる。
第１図は真空中で熱処理を行なった時の温度と実効的垂
直磁気異方性エネルギの関係を示すグラフ図、第２図は
酸素雰囲気中で熱処理を行なった時の酸素分圧と実効的
垂直磁気異方性エネルギの関係を示すグラフ図、第３図
はＣｏ−Ｃｒ膜の組成を示すグラフ図である。
直磁気異方性エネルギの関係を示すグラフ図、第２図は
酸素雰囲気中で熱処理を行なった時の酸素分圧と実効的
垂直磁気異方性エネルギの関係を示すグラフ図、第３図
はＣｏ−Ｃｒ膜の組成を示すグラフ図である。
Claims (1)
- １、Ｃｒ組成が１６乃至２ｏｗｔ％のＣｏ−Ｃｒ膜を１
０−４乃至１０−３Ｔｏｒｒ程度の酸素分圧の雰囲気中
で熱処理し前記Ｃｏ−Ｃｒ膜の垂直磁気異方性を向上さ
せたことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57048457A JPS58164018A (ja) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57048457A JPS58164018A (ja) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58164018A true JPS58164018A (ja) | 1983-09-28 |
| JPH0143366B2 JPH0143366B2 (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=12803883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57048457A Granted JPS58164018A (ja) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58164018A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3447505A1 (de) * | 1983-12-27 | 1985-07-11 | Sharp K.K., Osaka | Magnetisches aufzeichnungsmedium mit senkrechtmagnetisierung |
| EP0186356A2 (en) * | 1984-12-21 | 1986-07-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin-film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| EP0399848A2 (en) * | 1989-05-25 | 1990-11-28 | Hitachi Maxell Ltd. | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
-
1982
- 1982-03-24 JP JP57048457A patent/JPS58164018A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3447505A1 (de) * | 1983-12-27 | 1985-07-11 | Sharp K.K., Osaka | Magnetisches aufzeichnungsmedium mit senkrechtmagnetisierung |
| EP0186356A2 (en) * | 1984-12-21 | 1986-07-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin-film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| EP0399848A2 (en) * | 1989-05-25 | 1990-11-28 | Hitachi Maxell Ltd. | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0143366B2 (ja) | 1989-09-20 |
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