JPS62192047A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　　要〕 本発明は、光磁気ディスクの記録媒体として、ビスマス
置換磁性ガーネットの多結晶膜を作成する過程において
、光散乱が小さく媒体ノイズの少ない記録媒体を得るた
めに、基板と接する薄層のみを予め形成し、その後に上
記薄層上に残りの闇を形成することにより、表面の平滑
性を良くし、かつ結晶粒径を均一にしたものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、光磁気ディスクに用いられる光磁気記録媒体
、特にはビスマス置換磁性ガーネット膜の作成方法に関
する。

上記ビスマス置換磁性ガーネット膜は、ファラデー回転
が大きく、そのため光磁気による読み出しには大きな信
号が得られるという大きな利点を持っており、そのため
に近来注目されている。しかし一方、スパッタ法および
熱処理を用いてガラス等の耐熱性基板上に作成された上
記膜は、多結晶であるため、結晶粒の界面や膜の表面の
凹凸により光散乱が生じ易く、媒体ノイズが大きくなる
という欠点がある。さらに、結晶粒径が不均一であるた
め、記録ビットも不均一になりやすく、これも媒体ノイ
ズの原因となる。

そこで現在、上記媒体ノイズを除去するために、膜表面
の平滑性および結晶粒径の一様性に優れた多結晶膜が求
められている。

〔従来の技術〕

従来、上述したビスマス置換磁性ガーネットの多結晶膜
は、耐熱性の高いガラス製の基板上に所定膜厚の非晶質
膜をスパック法で形成し、その後その非晶質膜に熱処理
を施して結晶化することによって作成していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来の方法では、結晶化の過程において、結晶核の
形成の頻度が小さく、膜全体として一様に結晶粒の成長
が起こらない。また、結晶化する場合には、体積変化を
伴う。従って、膜全体が結晶化した場合には、結晶粒径
が不均一になるとともに、上記体積変化に伴い膜の表面
には結晶粒単位の凹凸が生じてしまう。これらは、光散
乱の原因となり、膜が厚いほど顕著である。

本発明は、上記従来の問題点に鑑み、結晶粒径が一様で
、かつ表面平滑性が良く、従って光散乱の小さい光磁気
記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。

ｃ問題点を解決するための手段〕 本発明は、上記目的を達成するために、上記多結晶膜を
一度に形成するのではなく、まず基板と接する薄層のみ
をスパッタ法および熱処理によって予め形成する。その
後、上記薄層の多結晶膜上に残りの層をスパッタ法およ
び熱処理によって形成するようにしたものである。

〔作　　　用〕

上記スバ・７タ法によって形成されたビスマス置換磁性
ガーネットの薄い非晶質膜を熱処理して結晶化させると
、体積変化に伴う表面の凹凸の非常に小さな多結晶膜が
形成される。その後、この多結晶膜の薄層を下地層とし
て、その上に残りの厚さの非晶質膜を形成し、これを同
様にして結晶化していくと、凹凸の非常に小さな上記薄
層との界面から一様に結晶核が形成されていき、そのた
め、成長する結晶粒の大きさく粒径）も一様になる。

従って、このようにして形成された多結晶膜は、表面の
平滑性が良く、かつ全体的に結晶粒径の一様なものにな
る。

〔実　　施　　例〕

以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。

第１図（ａ１〜（ｄ）ば、本発明の一実施例を段階的に
示す概略断面図である。

本実施例では、まず例えば高周波２極マグネトロンスパ
ツタ装置（不図示）等を用い、ビスマス置換磁性ガーネ
ット（例えばＢ　ｉ：ＬＹ　Ｇ　ａ　Ｆ　ｅ４０　＋ｚ
）をターゲットとして、スパック法により同図（ａｌに
示すように、高耐熱性のガラス製の基板１上に上記ガー
ネットの薄い非晶質膜２ａを形成する。この非晶Ｗ、膜
２ａの厚さは、最終的に例えば膜厚５０００人の多結晶
膜を作成する場合、その膜厚の１０％程度の薄さである
約５００人にする。なお、スパッタ条件としては、例え
ば基板温度を４５０’Ｃ。

スパッタガス（Ａｒ−０２（１０％））圧を１．５Ｐ　
ａ、堆積速度を１５０人／ｍｉｎとする。

次に、同図（ｂ）に示すように、上記非晶質ＩＱ２ａを
大気中において例えば６３０℃で熱処理して結晶化させ
、多結晶膜２ａ′を形成する。このとき、多結晶膜２ａ
′の膜厚は上述したように約５００人と薄いので、上記
結晶化の過程における体積変化に伴って生じる表面の凹
凸は、非常に小さくなる。

そこで次に、同図ｆｃ）に示すように、上記多結晶膜２
ａ′を下地層として、その上に上記と同様なスパッタ条
件で、厚さ約４５００人の非晶質膜２ｂを形成する。

最後に、上記非晶質膜２ｂを上記と同様な熱処理条件で
結晶化させ、同図（ｄｌに示すように多結晶膜２ｂ’を
形成することにより、最終的に５０００人の膜厚を持つ
上記ガーネットの多結晶膜２が作成される。ここで、非
晶質膜２ｂの上記結晶化においては、上述したような凹
凸の非常に小さな多結晶膜２ａ′との界面から一様に結
晶核の形成が起こっていくため、成長する結晶粒のサイ
ズも一様になる。従って、最終的に形成された多結晶膜
２は、表面の平滑性に優れているとともに、結晶粒径の
一様なものが得られる。

上記多結晶膜２を記録媒体とする光磁気ディスクは、多
結晶膜２上にさらにＣｒやＡ１等の反射膜を設け、基板
１を介して多結晶膜２にレーザ光を照射し、その熱で所
定部分の磁化状態を変化させてピッ１−を形成すること
により、記録が行われる。このとき、多結晶膜２の結晶
粒径は上述したように非常に均一なので、上記ビットの
形状にも乱れがなく、均一なものになる。さらに、多結
晶膜２の表面ば上述したように平滑性が良いので、その
表面で生じる上記レーザ光の散乱は非常に小さい。従っ
て、従来から媒体ノイズの原因とされていた諸問題が除
去されたことになり、記録・再生感度（Ｃ／Ｎ比）が非
常に高くなる。

なお、本発明で使用されるビスマス置換磁性ガーネット
は、上述したＢｉｚＹＧａＦｃ◆Ｏ＋ｚに限らず、一般
式ＢｉｘＲ３−ｘＡｙ　Ｆｅ５−ｙｏ＋ｚ（０＜ｘ＜３
゜０＜ｙ＜２）を有するものであれば、どのようなもの
でもよい。なお、上記一般式中のＲは希土類全屈イオン
やイソｌ−リウム（Ｙ）イオンを表わし、Ａはガリウム
（Ｃａ）やアルミニウム（Ａり等の非磁性イオンを表わ
している。

また、基板上に予め形成される薄層の多結晶膜（第１図
中の多結晶膜２ａ′）の膜厚は、結晶化の時に体積変化
に伴う表面の凹凸が小さくなる範囲内であれば、前述し
た膜厚に限られることはない。

さらに、多結、！１ｉＩＩｔｉｆｆを作るのに、上記実
施例では基板上の薄層およびその残りの層の２層に分け
て順に成膜したが、上記薄層を含むもっと多（の層に分
けてそれぞれ順次成膜してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、表面平滑性が良く
、かつ結晶粒径の均一なビスマス置換磁性ガーネットの
多結晶膜が得られる。従って、本発明によって作成され
た多結晶膜を記録媒体として用いれば、媒体ノイズが極
めて小さく、記録・再生感度の非常に高い光磁気ディス
クが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ１〜（ｄｌは本発明の一実施例を段階的に示
す概略断面図である。 １・・・基板、 ２ａ、２ｂ・・・ビスマス置換磁性ガーネットの非晶質
膜、 ２．２ａ’、２ｂ’　・・・ビスマス置換ｍ　性ガーネ
ットの多結晶膜。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）耐熱性を有する基板上に一般式Ｂｉ＿ｘＲ＿３＿
   −＿ｘＡ＿ｙＦｅ＿５＿−＿ｙＯ＿１＿２（０＜ｘ＜３
   、０＜ｙ＜２）を有するビスマス置換磁性ガーネットの
   非晶質膜をスパッタ法によって形成し、その後前記非晶
   質膜に熱処理を施して結晶化させることにより、前記基
   板上に光磁気記録媒体を作成する光磁気記録媒体の製造
   方法において、 前記光磁気記録媒体のうち前記基板と接する薄層のみを
   前記スパッタ法および前記熱処理によって予め形成し、
   その後前記薄層上に残りの層を前記スパッタ法および前
   記熱処理によって形成することを特徴とする光磁気記録
   媒体の製造方法。
2. （２）前記薄層の厚さは前記光磁気記録媒体の全体の厚
   さの約１０％であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の光磁気記録媒体の製造方法。
3. （３）前記ビスマス置換磁性ガーネットはＢｉ＿２ＹＧ
   ａＦｅ＿４Ｏ＿１＿２であることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項または第２項記載の光磁気記録媒体の製造
   方法。