JPS63177330A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS63177330A JPS63177330A JP813887A JP813887A JPS63177330A JP S63177330 A JPS63177330 A JP S63177330A JP 813887 A JP813887 A JP 813887A JP 813887 A JP813887 A JP 813887A JP S63177330 A JPS63177330 A JP S63177330A
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光によって情報の書き込み、消去および再生を
行う光磁気記録媒体を蒸着法により成膜するに際し、膜
面側と基板面側でのカー回転角の大きざが等しいものを
得るための光磁気記録媒体の製造方法に関する。
行う光磁気記録媒体を蒸着法により成膜するに際し、膜
面側と基板面側でのカー回転角の大きざが等しいものを
得るための光磁気記録媒体の製造方法に関する。
［従来の技術］
従来、光磁気記録媒体は蒸着法ヤスバッタ法などの真空
成膜法によって、ガラスまたはプラスチック基板上に製
造されてきた。現在では磁気光学効果のうちカー効果を
用いた反射型光磁気記録媒体が主流となっているが、こ
の反射型光磁気記録媒体では信号強度がカー回転角と反
射率の大きざに比例するため、両者の積はできるだけ大
きいほうが良い（以後反射率とカー回転角両者の積を磁
気光学効果特性と呼ぶ）。また酸化防止膜としてＳｉＯ
やＳｉＮを用い、多層構造とするのが通例となっている
。
成膜法によって、ガラスまたはプラスチック基板上に製
造されてきた。現在では磁気光学効果のうちカー効果を
用いた反射型光磁気記録媒体が主流となっているが、こ
の反射型光磁気記録媒体では信号強度がカー回転角と反
射率の大きざに比例するため、両者の積はできるだけ大
きいほうが良い（以後反射率とカー回転角両者の積を磁
気光学効果特性と呼ぶ）。また酸化防止膜としてＳｉＯ
やＳｉＮを用い、多層構造とするのが通例となっている
。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしこれらの成膜方法のうち、蒸着法によって成膜さ
れた光磁気記録媒体では、膜面側の磁気光学効果特性が
基板面側に比べて劣ると言う問題がおった。この信号強
度となる磁気光学効果時［生が悪いため蒸着法で成膜し
た光磁気記録媒体は、膜面側を使用することができない
。またこの膜面側での特性劣化は、基板側の磁気光学効
果特性の劣化にも大きく影響を及ぼすと考えられる。
れた光磁気記録媒体では、膜面側の磁気光学効果特性が
基板面側に比べて劣ると言う問題がおった。この信号強
度となる磁気光学効果時［生が悪いため蒸着法で成膜し
た光磁気記録媒体は、膜面側を使用することができない
。またこの膜面側での特性劣化は、基板側の磁気光学効
果特性の劣化にも大きく影響を及ぼすと考えられる。
本発明は以上述べたような従来の問題点を解決するため
になされたもので、膜面側と基板面側とで等しい磁気光
学効果特性の得られる光磁気記録媒体を蒸着法によって
製造する方法を提供することを目的とする。
になされたもので、膜面側と基板面側とで等しい磁気光
学効果特性の得られる光磁気記録媒体を蒸着法によって
製造する方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明は希土類元素と遷移金属からなる非晶質光磁気記
録媒体を蒸着法により、少なくとも２回以上に分けて基
板上に成膜することを特徴とする光磁気記録媒体の製造
方法である。
録媒体を蒸着法により、少なくとも２回以上に分けて基
板上に成膜することを特徴とする光磁気記録媒体の製造
方法である。
［作 用］
希土類元素と遷移金属からなる非晶質光磁気記録媒体を
蒸着法にて成膜する場合、蒸発源をでた蒸発物は基板上
に堆積することで急冷され非晶質になる。この成膜過程
において一度に膜を基板上に堆積させると、膜質は基板
面側から膜面側へと膜厚方向に徐々に変化すると考えら
れる。このために情報記録層として成膜された垂直磁化
膜は基板面側と膜面側とで特性が異なることになる。し
かしながら成膜の初期過程では良好な磁気光学効果特性
が得られることから、成膜を数度に分【プて行うことで
膜厚方向に均一な膜質の光磁気記録媒体が得られる。
蒸着法にて成膜する場合、蒸発源をでた蒸発物は基板上
に堆積することで急冷され非晶質になる。この成膜過程
において一度に膜を基板上に堆積させると、膜質は基板
面側から膜面側へと膜厚方向に徐々に変化すると考えら
れる。このために情報記録層として成膜された垂直磁化
膜は基板面側と膜面側とで特性が異なることになる。し
かしながら成膜の初期過程では良好な磁気光学効果特性
が得られることから、成膜を数度に分【プて行うことで
膜厚方向に均一な膜質の光磁気記録媒体が得られる。
［実施例］
次に本発明を実施例により説明する。
希土類元素として用いたのはＴｂ、遷移金属として用い
たのはＦｅ−Ｃｏ合金で、これらを共蒸着にて成膜した
。Ｔｂの蒸着速度は１．８Ａ／Ｓで、Ｆｅ−Ｃｏの蒸着
速度は１．２Ａ／Ｓである。到達真空度および蒸着中の
真空度は１０−７台である。また酸化防止用の保護膜と
してＳｉＯを真空を破らずに続けて蒸着した。
たのはＦｅ−Ｃｏ合金で、これらを共蒸着にて成膜した
。Ｔｂの蒸着速度は１．８Ａ／Ｓで、Ｆｅ−Ｃｏの蒸着
速度は１．２Ａ／Ｓである。到達真空度および蒸着中の
真空度は１０−７台である。また酸化防止用の保護膜と
してＳｉＯを真空を破らずに続けて蒸着した。
第１図は以上のようにして製造した光磁気記録媒体の部
分断面図でおり、基板１上に磁性体２および保護膜３が
順次積層されている。
分断面図でおり、基板１上に磁性体２および保護膜３が
順次積層されている。
本実施例では磁性体２を１００人ずつ１０回に分けて成
膜し、各成膜の間隔は３０分とした。この時のカーヒス
プリシスループを第３図に示す。第３図（ａ）は基板面
側でのカーヒステリシスループ、（ｂ）は膜面側でのカ
ーヒステリシスループを示す。
膜し、各成膜の間隔は３０分とした。この時のカーヒス
プリシスループを第３図に示す。第３図（ａ）は基板面
側でのカーヒステリシスループ、（ｂ）は膜面側でのカ
ーヒステリシスループを示す。
この図より基板面側、膜面側共に保持力２ ｋｏｅ程度
で角形比の良好なカーヒステリシスループか得られてい
ることがわかる。
で角形比の良好なカーヒステリシスループか得られてい
ることがわかる。
一方、比較例として従来のように磁性体２を１ｏｏｏ人
続けて一度に蒸着した場合の基板面側と膜面側でのカー
ヒステリシスループをそれぞれ第３図（ａ）および（ｂ
）に示す。
続けて一度に蒸着した場合の基板面側と膜面側でのカー
ヒステリシスループをそれぞれ第３図（ａ）および（ｂ
）に示す。
この第３図から、基板面側では保持力が２ ｋＯｅ程度
で角形比の良好なカーヒステリシスループが１ｑられて
いるが、膜面側では良好なカーヒステリシスループが得
られていないことがわかる。
で角形比の良好なカーヒステリシスループが１ｑられて
いるが、膜面側では良好なカーヒステリシスループが得
られていないことがわかる。
［発明の効果コ
以上説明したように、蒸着法により希土類遷移金属非晶
質光磁気記録媒体を製造する方法において、成膜を少な
くとも２回に分けて行うことにより、膜面側と基板面側
で等しい磁気光学効果特性が得られる。
質光磁気記録媒体を製造する方法において、成膜を少な
くとも２回に分けて行うことにより、膜面側と基板面側
で等しい磁気光学効果特性が得られる。
第１図は光磁気記録媒体の部分断面図、第２図は本発明
の方法によって得られた光磁気記録媒体のカーヒステリ
シスループ、第３図は従来例による光磁気記録媒体のカ
ーヒステリシスループを示す。 １・・・基 板 ２・・・磁性体 ３・・・保 護 膜
の方法によって得られた光磁気記録媒体のカーヒステリ
シスループ、第３図は従来例による光磁気記録媒体のカ
ーヒステリシスループを示す。 １・・・基 板 ２・・・磁性体 ３・・・保 護 膜
Claims (1)
- （１）希土類元素と遷移金属からなる非晶質光磁気記録
媒体を蒸着法により、少なくとも２回以上に分けて基板
上に成膜することを特徴とする光磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP813887A JPS63177330A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP813887A JPS63177330A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177330A true JPS63177330A (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=11684937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP813887A Pending JPS63177330A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177330A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60243843A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Fujitsu Ltd | 光熱磁気記録媒体の製造方法 |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP813887A patent/JPS63177330A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60243843A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Fujitsu Ltd | 光熱磁気記録媒体の製造方法 |
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