JPS60243843A - 光熱磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光熱磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS60243843A JPS60243843A JP9995584A JP9995584A JPS60243843A JP S60243843 A JPS60243843 A JP S60243843A JP 9995584 A JP9995584 A JP 9995584A JP 9995584 A JP9995584 A JP 9995584A JP S60243843 A JPS60243843 A JP S60243843A
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- JP
- Japan
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- film
- recording medium
- rare earth
- torr
- electron beam
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
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- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は光熱磁気記録媒体の製造方法に係シ、特に希土
類−遷移金属合金薄膜の光熱磁気特性を再現性よく得る
ための製造方法に関する。
類−遷移金属合金薄膜の光熱磁気特性を再現性よく得る
ための製造方法に関する。
技術の背景
レーザビーム照射による熱磁気書き込みを行い、さらに
、カー効果を利用して記録の読み出しを行う光熱磁気記
録は、書き換え可能、高密度記録可能な大容量メモリー
でちゃ、コード情報メモリー、画像ファイル、文書ファ
イルメモリーとして実用化が急がれている。
、カー効果を利用して記録の読み出しを行う光熱磁気記
録は、書き換え可能、高密度記録可能な大容量メモリー
でちゃ、コード情報メモリー、画像ファイル、文書ファ
イルメモリーとして実用化が急がれている。
従来技術と問題点
従来、上記光熱磁気記録媒体の材料としては、希土類−
遷移金属系のアモルファス薄膜を、蒸着あるいはスパッ
タリング等の真空成膜技術を用いて作成した媒体が良好
な特性を有している。
遷移金属系のアモルファス薄膜を、蒸着あるいはスパッ
タリング等の真空成膜技術を用いて作成した媒体が良好
な特性を有している。
しかし、この種類の合金は、同じ条件で作成しても特性
のばらつきが大きく、再現性に乏しいという欠点がある
。例へば、真空槽をＩ Ｘ １０ ’Ｔｏｒｒまで排気
して、Ｔｂ（希土類元素）とＦｅ（遷移金属）をそれぞ
れ二つの蒸発源から一定の蒸着速度で蒸着したところ、
基板上に形成された膜の保磁力は３ＫＯｅないし６ＫＯ
ｅと大きくばらつきが生じた。
のばらつきが大きく、再現性に乏しいという欠点がある
。例へば、真空槽をＩ Ｘ １０ ’Ｔｏｒｒまで排気
して、Ｔｂ（希土類元素）とＦｅ（遷移金属）をそれぞ
れ二つの蒸発源から一定の蒸着速度で蒸着したところ、
基板上に形成された膜の保磁力は３ＫＯｅないし６ＫＯ
ｅと大きくばらつきが生じた。
この原因は次のように考えられる。この合金は酸化しや
すい希土類元素を含んでいるため、蒸着中に残留ガスで
ある酸素と反応しやすく、膜中に希土類の酸化物が生成
される。このため、希土類と遷移金属の合金組成は、実
質的に、希土類の少い方にずれる。一方、希土類−遷移
金属冶金の光熱磁気媒体は、補償温度が重環に等しい、
所謂、補償組成に近い組成が採用される０保磁力、Ｈｅ
Ｉｄ第１図に示すような組成依存性があり、補償組成
近傍での保磁力はかなり大きな値を持っている。
すい希土類元素を含んでいるため、蒸着中に残留ガスで
ある酸素と反応しやすく、膜中に希土類の酸化物が生成
される。このため、希土類と遷移金属の合金組成は、実
質的に、希土類の少い方にずれる。一方、希土類−遷移
金属冶金の光熱磁気媒体は、補償温度が重環に等しい、
所謂、補償組成に近い組成が採用される０保磁力、Ｈｅ
Ｉｄ第１図に示すような組成依存性があり、補償組成
近傍での保磁力はかなり大きな値を持っている。
以上より、成膜中に希土類元素が選択的に酸化され、膜
中の合金組成は希土類元素が減少して、保磁力本変化す
る。酸化の程度を成膜中に制御できないため、保磁力に
ばらつきが生じるようＫなる。
中の合金組成は希土類元素が減少して、保磁力本変化す
る。酸化の程度を成膜中に制御できないため、保磁力に
ばらつきが生じるようＫなる。
発明の目的
上記欠点に鑑み、本発明は真空成膜中に希土類元素の酸
化を防ぎ、再現性良く、光熱磁気記録媒体を得る方法を
提供することにある。
化を防ぎ、再現性良く、光熱磁気記録媒体を得る方法を
提供することにある。
発明の構成
本発明の目的は、成膜時に、真空槽内に還元性ガスを導
入し、あるいは予め真空槽内を還元性ガスで置換して、
還元性ガスを含む雰囲気中で成膜することで達成される
。
入し、あるいは予め真空槽内を還元性ガスで置換して、
還元性ガスを含む雰囲気中で成膜することで達成される
。
実施例１
第２図において、真空槽１内にプラスチック基板２が設
智され、２基の電子ビーム加熱＠３ 、４にそれぞれＴ
ｂインゴット５とＦｅインゴット６が配置されている。
智され、２基の電子ビーム加熱＠３ 、４にそれぞれＴ
ｂインゴット５とＦｅインゴット６が配置されている。
真空槽ｌの内部をｌＸ１０−牛。ｒｒまで排気した後、
ガス導入パルプ７よりＨｔガスを３ Ｘ １０ ’Ｔｏ
ｒｒ Ｔｉｃ するまで導入した。この雰囲気下で、２
基の電子ビーム蒸発源からＴｂ＋Ｆｅを同時に蒸発させ
、蒸発速度を制御しながら、膜厚ｔｏｏｏ ｇのＴｂＦ
、ｅ膜を作成した。蒸着速度比を１．０に設定し、蒸着
をくり返した結果、保磁力は５ないし６ＫＯｅの範囲内
にあり、ばらつきを小さくすることができた。
ガス導入パルプ７よりＨｔガスを３ Ｘ １０ ’Ｔｏ
ｒｒ Ｔｉｃ するまで導入した。この雰囲気下で、２
基の電子ビーム蒸発源からＴｂ＋Ｆｅを同時に蒸発させ
、蒸発速度を制御しながら、膜厚ｔｏｏｏ ｇのＴｂＦ
、ｅ膜を作成した。蒸着速度比を１．０に設定し、蒸着
をくり返した結果、保磁力は５ないし６ＫＯｅの範囲内
にあり、ばらつきを小さくすることができた。
実施例２
実施例１と同じ装置、同じ構成で、真空度を５ＸＩＯ’
Ｔｏｒｒ ｔで排気し、一旦排気を停止して、Ｈ２ガス
２０チを含むＡｒガスｆ １００ Ｔｏｒｒ Ｋなるま
で導入し、続いて排気を再開し、ｌＸｌ０ ’Ｔｏｒｒ
まで排気した。ここで、２基の電子ビーム蒸発源からＴ
ｂとＦｅを同時に蒸発させ、蒸発速度をコントロールし
ながら１００ＯＡのＴｂＦｅ膜ｔ−成膜した。
Ｔｏｒｒ ｔで排気し、一旦排気を停止して、Ｈ２ガス
２０チを含むＡｒガスｆ １００ Ｔｏｒｒ Ｋなるま
で導入し、続いて排気を再開し、ｌＸｌ０ ’Ｔｏｒｒ
まで排気した。ここで、２基の電子ビーム蒸発源からＴ
ｂとＦｅを同時に蒸発させ、蒸発速度をコントロールし
ながら１００ＯＡのＴｂＦｅ膜ｔ−成膜した。
蒸着速度比を１．０に設定して蒸着をくシ返し、成膜し
たところ、保磁力は５．５ないし６ＫＯｅの範囲に入シ
、成膜における再現性が顕るしく向上したことが認めら
れた。
たところ、保磁力は５．５ないし６ＫＯｅの範囲に入シ
、成膜における再現性が顕るしく向上したことが認めら
れた。
発明の効果
本発明によれば、還元性ガスを含む雰囲気中で、希土類
−遷移金属合金薄膜を形成するととＫよシ、特性のばら
つきの小さな膜を作成できるようになった。実施例では
蒸着によ・る成膜法について示したが、スパッタリング
あるいはイオンブレーティングにおいても同等の効果が
期待できる。
−遷移金属合金薄膜を形成するととＫよシ、特性のばら
つきの小さな膜を作成できるようになった。実施例では
蒸着によ・る成膜法について示したが、スパッタリング
あるいはイオンブレーティングにおいても同等の効果が
期待できる。
第１図は光熱磁気記録媒体である希土類（Ｒ。
Ｅ、）−遷移金属（Ｔ’、Ｍ、）合金の保磁力、Ｈｅと
Ｒ，Ｅ、とＴ、 Ｍ、の組成との関係を示した図、第２
図は本実施例に用いた真空槽内の概略図である０ ７：Ｍ ｒε ｋ べ
Ｒ，Ｅ、とＴ、 Ｍ、の組成との関係を示した図、第２
図は本実施例に用いた真空槽内の概略図である０ ７：Ｍ ｒε ｋ べ
Claims (1)
- 希土類−遷移金属合金からなる光熱磁気記録媒体を真空
成膜技術によって製造する方法において、成膜中に還元
性ガスを導入、あるいは予め還元性ガスで真空槽内を置
換することにより、還元性ガスを含む雰囲気中で、光熱
磁気記録媒体を形成することを特徴とする光熱磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9995584A JPS60243843A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 光熱磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9995584A JPS60243843A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 光熱磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60243843A true JPS60243843A (ja) | 1985-12-03 |
Family
ID=14261112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9995584A Pending JPS60243843A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 光熱磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60243843A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177330A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nec Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS63298733A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-06 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子の製法 |
| JP2003027217A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着装置の処理室内への水素ガス供給方法 |
| US7270714B2 (en) * | 1999-05-14 | 2007-09-18 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface treating apparatus |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9995584A patent/JPS60243843A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177330A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nec Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS63298733A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-06 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子の製法 |
| US7270714B2 (en) * | 1999-05-14 | 2007-09-18 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface treating apparatus |
| JP2003027217A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着装置の処理室内への水素ガス供給方法 |
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