JPS60258747A - 光磁気記録素子 - Google Patents
光磁気記録素子Info
- Publication number
- JPS60258747A JPS60258747A JP11575384A JP11575384A JPS60258747A JP S60258747 A JPS60258747 A JP S60258747A JP 11575384 A JP11575384 A JP 11575384A JP 11575384 A JP11575384 A JP 11575384A JP S60258747 A JPS60258747 A JP S60258747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric layer
- film
- magneto
- recording element
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非晶質金属垂直磁化膜の酸化を防止して光磁気
特性の長期信頼性を達成した光磁気記録素子に関するも
のである。
特性の長期信頼性を達成した光磁気記録素子に関するも
のである。
近年、垂直記録媒体や光磁気記録媒体などを用いた高密
度記録が盛んに研究され、光磁気記録媒体５こおいては
、大量の情報を高密度に記録するため、集束レーザー光
を投光して記録媒体を局部加熱することによりビットを
書き込み、磁気光学効果を利用して読み出すという記録
方式であり、この媒体には主として希土類−遷移金属元
素から成る非晶質金属垂直磁化膜が用いられる。代表的
なものとしてｒｌ）Ｆｅ合金等があり、 これらはスパ
ッタリング法や真空蒸着法などによって成膜される。
度記録が盛んに研究され、光磁気記録媒体５こおいては
、大量の情報を高密度に記録するため、集束レーザー光
を投光して記録媒体を局部加熱することによりビットを
書き込み、磁気光学効果を利用して読み出すという記録
方式であり、この媒体には主として希土類−遷移金属元
素から成る非晶質金属垂直磁化膜が用いられる。代表的
なものとしてｒｌ）Ｆｅ合金等があり、 これらはスパ
ッタリング法や真空蒸着法などによって成膜される。
しかしながら、この光磁気記録方式は垂直磁化膜の表面
磁化状態を敏感に反映するものであるにもかかわらず、
希土類金属元素を含むため非常に耐環境特性に劣り、長
期に亘って酸化が進行して、安定した磁気記録特性を維
持することができず。
磁化状態を敏感に反映するものであるにもかかわらず、
希土類金属元素を含むため非常に耐環境特性に劣り、長
期に亘って酸化が進行して、安定した磁気記録特性を維
持することができず。
長期信頼性に問題がある。この為、吸湿性、耐酸化性及
び耐熱性の観点から基板イアｒ科、保護膜材料及び記録
媒体自身の改善が試みられてきたが、長期信頼性を特に
必要とする高密度記録媒体として未だ十分な特性を有す
るに至っていない。
び耐熱性の観点から基板イアｒ科、保護膜材料及び記録
媒体自身の改善が試みられてきたが、長期信頼性を特に
必要とする高密度記録媒体として未だ十分な特性を有す
るに至っていない。
叩ぢ、周知の通り、酸化防止及び耐酸化性に優れた基板
として、透明ガラス基板がある。この基板は吸湿性がな
（、耐熱性、耐薬品性に優れているため、成膜前の前処
理による基板表面の清浄度の点からも適しているが、デ
ィスク状基板としての加工性及び取り扱い上の難点を有
し、且つコスト高になるため、低コストで射出成形法に
よる作製が容易なプラスチック基板が有望視されている
。
として、透明ガラス基板がある。この基板は吸湿性がな
（、耐熱性、耐薬品性に優れているため、成膜前の前処
理による基板表面の清浄度の点からも適しているが、デ
ィスク状基板としての加工性及び取り扱い上の難点を有
し、且つコスト高になるため、低コストで射出成形法に
よる作製が容易なプラスチック基板が有望視されている
。
１、かじながら、このプラスチック基板は吸湿性が大き
く、基板表面の清浄＆ｌこ欠けることからＳ′ＬＯ、Ｓ
ｉ、３Ｎ４ 、 ”）’モ）ＬｔＶ ７ ス’／ ’）
：＋ ７ （ａ −Ｓｉ）、 ＡＩＮ。
く、基板表面の清浄＆ｌこ欠けることからＳ′ＬＯ、Ｓ
ｉ、３Ｎ４ 、 ”）’モ）ＬｔＶ ７ ス’／ ’）
：＋ ７ （ａ −Ｓｉ）、 ＡＩＮ。
ＺｎＳ 、 Ａ７！＋０３等の誘電体層を介して磁性層
を設け、更にその上にかかる誘電体材料や樹脂をオーバ
ーコートすることにより酸化を防止することが一般的に
知られている。
を設け、更にその上にかかる誘電体材料や樹脂をオーバ
ーコートすることにより酸化を防止することが一般的に
知られている。
一方、媒体自身にＣｏ、Ｎｉ等の酸化に強い磁性元素や
半金属並びに酸化容易性元素などの添加元素を加えたり
、希土類元素の中では特に酸化し易いＴｂを除いたりし
た多元合金化による媒体自身の耐酸化性の改善が試みら
れているが、これらは主成分を希土類元素−鉄系合金と
する以上、媒体自身による飛躍的な耐酸化性の向上は望
めない３゜本発明者等は上記事情に鑑み鋭意研究に努め
た結果、少なくとも、非晶質金属垂直磁化膜と誘電体層
を順次積層する１こ際して、垂直磁化膜の側端面が露出
されるため、この露出面からの酸化が急速に進行し、本
発明に係る光磁気記録媒体の有効記録部分を犯している
ことを見い出した。従って、薄膜形成過程の真空を破る
ことなく、高真空中で連続成膜するのに伴って垂直磁化
膜の側端面も誘電体層を被覆することにより従来にない
顕著な耐酸化性の光磁気記録素子が得られることを知見
した。
半金属並びに酸化容易性元素などの添加元素を加えたり
、希土類元素の中では特に酸化し易いＴｂを除いたりし
た多元合金化による媒体自身の耐酸化性の改善が試みら
れているが、これらは主成分を希土類元素−鉄系合金と
する以上、媒体自身による飛躍的な耐酸化性の向上は望
めない３゜本発明者等は上記事情に鑑み鋭意研究に努め
た結果、少なくとも、非晶質金属垂直磁化膜と誘電体層
を順次積層する１こ際して、垂直磁化膜の側端面が露出
されるため、この露出面からの酸化が急速に進行し、本
発明に係る光磁気記録媒体の有効記録部分を犯している
ことを見い出した。従って、薄膜形成過程の真空を破る
ことなく、高真空中で連続成膜するのに伴って垂直磁化
膜の側端面も誘電体層を被覆することにより従来にない
顕著な耐酸化性の光磁気記録素子が得られることを知見
した。
本発明は非晶質金属垂直磁化膜の側端面からの酸素や水
分の侵入を遮断する構造とすることにより、耐酸化性に
優れた長期信頼性の光磁気記録素子を提供することを目
的とする。
分の侵入を遮断する構造とすることにより、耐酸化性に
優れた長期信頼性の光磁気記録素子を提供することを目
的とする。
本発明の光磁気記録素子は基体上に、少なくとも、膜面
に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質金属垂直磁化
膜及び誘電体層を順次積層した光磁気記録素子において
、前記誘電体層を前記垂直磁化膜の側端面を覆うように
延在したことを特徴とするものである。。
に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質金属垂直磁化
膜及び誘電体層を順次積層した光磁気記録素子において
、前記誘電体層を前記垂直磁化膜の側端面を覆うように
延在したことを特徴とするものである。。
本発明において、垂直磁化膜の被着素地となる基体は種
々の形状を取り得るが、以下、ディスク用基板を例にし
て図により説明する。
々の形状を取り得るが、以下、ディスク用基板を例にし
て図により説明する。
第１図は本発明の光磁気記録素子を示し、センターホー
ル１を設けたディスク用基板２に第１誘電体層３、非晶
質金属垂直磁化膜４及び第２誘電体層５を順次積層して
成っており、垂直磁化膜４の側端面６を覆うように第２
誘電体層５を延在せしめ、垂直磁化膜４を第１．２誘電
体層３．５で完全１こ密閉することが重要である。
ル１を設けたディスク用基板２に第１誘電体層３、非晶
質金属垂直磁化膜４及び第２誘電体層５を順次積層して
成っており、垂直磁化膜４の側端面６を覆うように第２
誘電体層５を延在せしめ、垂直磁化膜４を第１．２誘電
体層３．５で完全１こ密閉することが重要である。
叩ち、前述の通り、プラスチック基板は他の基板材料に
比べ加工性及びコスト面などに格段の優位性を認めなが
らも、吸湿性や清浄度に劣るためディスク用基板２上に
第１誘電体層３を設けている。そして垂直磁化膜４、第
２誘電体層５を順次積層するに際して、この一連の成膜
を制真空下で連続して行なうことが必要である。第１誘
電体層３及び第２誘電体層５を成膜する場合、一度でも
大気に晒されると薄膜表面に酸素分子や水分子の不純物
が表面吸着してしまい、これを完全に取り除くことは困
難となる。もし、この状態で次の層を成膜するならば、
それに伴う熱によって急激な酸化を促進してしまい、本
来の光磁気特性を失ってし才う。つまり、本来カーヒス
テリシスループの形状が角形比１であったものが、１以
下となり残留磁化状態でのカー回転角（θｋ）が低下し
てしまう。更に長期間に亘って引き続き酸化が深層部へ
広がり、経済的な劣化をきたすと考える。
比べ加工性及びコスト面などに格段の優位性を認めなが
らも、吸湿性や清浄度に劣るためディスク用基板２上に
第１誘電体層３を設けている。そして垂直磁化膜４、第
２誘電体層５を順次積層するに際して、この一連の成膜
を制真空下で連続して行なうことが必要である。第１誘
電体層３及び第２誘電体層５を成膜する場合、一度でも
大気に晒されると薄膜表面に酸素分子や水分子の不純物
が表面吸着してしまい、これを完全に取り除くことは困
難となる。もし、この状態で次の層を成膜するならば、
それに伴う熱によって急激な酸化を促進してしまい、本
来の光磁気特性を失ってし才う。つまり、本来カーヒス
テリシスループの形状が角形比１であったものが、１以
下となり残留磁化状態でのカー回転角（θｋ）が低下し
てしまう。更に長期間に亘って引き続き酸化が深層部へ
広がり、経済的な劣化をきたすと考える。
本発明においては、ディスク用基板２Ｉこセンターホー
ルｌが形成されているため、第２銹電体層５を垂直磁化
膜４の側端面６を覆うように延在せしめるに際して、垂
直磁化膜４の内周及び外周のそれぞれの側端面６に第２
誘゛電体Ｍ５を被着せしめると共ｌこ第１．２誘電体層
３．５を密着させると垂直磁化膜４を完全に密閉するこ
とができる。
ルｌが形成されているため、第２銹電体層５を垂直磁化
膜４の側端面６を覆うように延在せしめるに際して、垂
直磁化膜４の内周及び外周のそれぞれの側端面６に第２
誘゛電体Ｍ５を被着せしめると共ｌこ第１．２誘電体層
３．５を密着させると垂直磁化膜４を完全に密閉するこ
とができる。
その結果、光磁気特性を経Ｍ的劣化させることなく、初
期の高品質特性を維持することができる。
期の高品質特性を維持することができる。
更ｆこ本発明に係る第１．２誘電体層３．５の材料には
緻密性が高く、酸素遮断効果ｆこ優れているものがよく
、例えば５ｉａＮ＋ 、アモルファスシリコン、 Ａｊ
！Ｎ 、 ＺｎＳ等の非酸化物誘電体が適している。
緻密性が高く、酸素遮断効果ｆこ優れているものがよく
、例えば５ｉａＮ＋ 、アモルファスシリコン、 Ａｊ
！Ｎ 、 ＺｎＳ等の非酸化物誘電体が適している。
酸化物誘電体でもＳｉＯ等還元作用のあるものは酸化抑
制作用があり使用可能である。そして、この第１，２誘
電体ｍ３，５の各材料は密着性に優れて垂直磁化膜４を
密閉することができるのであれば異なっていてもよい。
制作用があり使用可能である。そして、この第１，２誘
電体ｍ３，５の各材料は密着性に優れて垂直磁化膜４を
密閉することができるのであれば異なっていてもよい。
かくして本発明の光磁気記録素子を用いて高温高湿とい
う過酷な条件下による種々の経時テストを行なったとこ
ろ、媒体の光磁気特性の劣化が認められない高品質且つ
長寿命の素子となることが確かめられた。
う過酷な条件下による種々の経時テストを行なったとこ
ろ、媒体の光磁気特性の劣化が認められない高品質且つ
長寿命の素子となることが確かめられた。
尚、本発明の光磁気記録素子は上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨を免税しない範囲で種々の
変更は可能である１゜
ものではなく、本発明の要旨を免税しない範囲で種々の
変更は可能である１゜
第１図は本発明醗こ係る光磁気記録素子の断面図である
。 ２・・ディスク用基板、 ３・・・第１誘電体層、４・
・・非晶質金属垂直磁化膜、５・・第２誘電体履、′
６・・・側端面 特許出願人 京セラ株式会社 第１図
。 ２・・ディスク用基板、 ３・・・第１誘電体層、４・
・・非晶質金属垂直磁化膜、５・・第２誘電体履、′
６・・・側端面 特許出願人 京セラ株式会社 第１図
Claims (2)
- （１）基体上１こ、少なくとも、膜面に垂直な方向１こ
磁化容易軸を有する非晶質金属垂直磁化膜及び誘電体層
を順次積Ｊωした光磁気記録素子において、前記誘電体
層を前記垂直磁化膜の側端面を覆うように延在したこと
を特徴とする光磁気記録素子。 - （２）前記非晶質金属垂直磁化膜の被着面に誘電体層が
形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光磁気記録素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11575384A JPS60258747A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 光磁気記録素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11575384A JPS60258747A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 光磁気記録素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60258747A true JPS60258747A (ja) | 1985-12-20 |
Family
ID=14670193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11575384A Pending JPS60258747A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 光磁気記録素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60258747A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240651A (ja) * | 1985-08-15 | 1987-02-21 | Tdk Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62164244A (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-20 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62291734A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-18 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01173455A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182535A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-18 | Sony Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS60219654A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-02 | Sharp Corp | 光メモリ素子 |
-
1984
- 1984-06-05 JP JP11575384A patent/JPS60258747A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182535A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-18 | Sony Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS60219654A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-02 | Sharp Corp | 光メモリ素子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240651A (ja) * | 1985-08-15 | 1987-02-21 | Tdk Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62164244A (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-20 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62291734A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-18 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01173455A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
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