KR940000259A - 테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법 - Google Patents

테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨브 지지체(36, 206)에 원료 물질(60, 210)을 순차적으로 증착시키는 방법에 관한 것이다. 지지체 전달 메카니즘(62, 202)은 지지체(36, 206)를 연속적으로 움직이게하여 증착 원료 물질을 증착시키는 동안 다수의 증착 원료(60, 210)를 통과하게 한다. 지지체(36, 206)의 모든 부위를 주기적으로 번갈아가면서 증착 원료(60, 210)에서의 증착 플럭스에 노출시킨다. 원료 노출 횟수는 원료의 수보다 클 수 있다.

Description

테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 웨브 시이트 지지체상에 원료 물질을 증착시키는 종래 기술 시스템의 개략도이다.
제2도 지지체 및 이의 표면상의 다층구조 지지체의 수직 단면도이다.
제3도 다수의 롤러를 포함하는 본 발명 시스템의 한 구체예의 평면도이다.
제4도 제3도에 도시한 것과 유사한 본 발명 구체예의 단면도이다. 제4도는 제3도에 도시한 것과 유사한 본 발명 구체예의 단면도이다.
제5도 제3도의 배치에 따른 롤러의 다른 구체예의 단면도이다.
제6도 경사지고 마디가 있는 롤러와 마디가 있는 롤러를 사용한 다른 구체예를 포함하는 제5도에 도시된 부분품의 평면도이다.
제7도 경사지고 마디가 있는 롤러의 측면도이다.
제8도 마디가 있는 롤러의 측면도이다.
제9도 직선 통과 증착 시스템에 대한 본 발명 시스템의 다른 구체예의 평면도이다.
제10도 제9도에 도시된 시스템의 단면도이다.
제11도 회전식 셔터를 사용하는 연속 릴-대-릴의 단일 통과 증착시스템의 투시도이다.
제12도 각각 다수의 셔터식 원료를 도시하는 연속 단일 통과 증착 시스템 일부의 개략도이다.
제13도 연장된 원료 및 모여 있는 셔터를 사용하는 연속 단일 통과 증착 시스템의 개략도이다.
제14도 제11도의 시스템을 사용하여 제조한 자기 광 박막 적층들의 단면도이다.
제15도 제14도에 나타낸 제품의 자화 상태와 교류 잔류자기 수치를 비교한 곡선의 그래프이다.

Claims (10)

  1. 하기 a)-c) 단계를 포함하는 웨브 지지체의 표면에 원료 물질을 순차적으로 증착시키는 방법 : a) 지지체를 연속적으로 움직이게 하여 다수의 증착 원료를 통과하게 하는 지지체 운반 수단을 제공하는 단계 : b) 지지체 운반 수단으로 지지되는 지지체와 마주하는 다수의 증착 원료를 배치하는 단계 : c) 지지체 운반 수단을 작동시켜 웨브 지지체를 속적으로 움직이게 하여 증착 원료 물질이 증착될 동안 증착 원료를 통과하게 하여 지지체의 모든 부분을 주기적으로 번갈아가면서 증착 원료로부터의 증착 플럭스에 노출시키고, 상기 번갈아가면서 원료를 노출시킨 횟수가 원료의 수를 초과하는 단계.
  2. 제1항에 있어서, 원료 물질의 증착을 실시하여 노출된 적어도 하나의 원료가 원료 물질의 전체 단층의 일부를 증착시키는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 지지체가 다른 지지체에 대해 운반체로 작용하는 방법.
  4. 하기 a)-b)를 포함하는 다층 구조물을 갖는 웨브 지지체를 제조하기 위한 장치 : a) 웨브 지지체 전달수단으로 지지된 지지체와 마주하는 다수의 증착 원료를 함유하도록 배열된 증착 원료 부위; 및 b) 웨브 지지체를 지지하고, 웨브 지지체를 연속적으로 움직이게하여 증착 원료 부위를 통가하게 함으로써 증착되는 동안 웨브 지지체에 다층 구조물을 생성시키고, 상기 층의 수가 증착 원료의 수를 초과하는 웨브 지지체 전달 수단.
  5. 제4항에 있어서, 상기 장치가 증착 원료를 차단시키는 수단을 가져서 상기 원료 물질이 순차적으로 증착될 수 있는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 차단 수단이 셔터인 장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 웨브 지지체 전달 수단이 2차 전달 메카니즘과 함께 웨브 지지체를 연속 공급하고 수용하는 수단을 갖는 1차 전달 메카니즘을 포함하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 1차 전달 메카니즘이 다수의 마디가 있는 롤러를 포함하는 장치.
  9. a) 웨브 지지체; 및 b) 상기 웨브 지지체에 증착된 다수의 증착 원료 물질 층의 수가 원료물질을 제공하는 증착 원료의 수를 초과하는 다층 박막 구조물을 형성하게 되는 다수의 증착 원료 물질층을 포함하는 상기 웨브 지지체상의 다층 박막.
  10. a) 증착 원료의 다증 층을 수용하기 위한 특정 표면을 갖는 웨브 지지체; 및 b) 다수의 증착 원료 물질 층이 웨브 지지체에 증착되어 각 층이 특정 표면에 대해서 경사진 각도로 다층 박막 지지체를 형성하는 상기 다수의 증착 원료 물질 층을 포함하는 웨브 지지체 상의 다층 박막.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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