JPS5930230A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS5930230A JPS5930230A JP57140248A JP14024882A JPS5930230A JP S5930230 A JPS5930230 A JP S5930230A JP 57140248 A JP57140248 A JP 57140248A JP 14024882 A JP14024882 A JP 14024882A JP S5930230 A JPS5930230 A JP S5930230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- recording medium
- deposited
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 99
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000782205 Guibourtia conjugata Species 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/32—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying conductive, insulating or magnetic material on a magnetic film, specially adapted for a thin magnetic film
- H01F41/34—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying conductive, insulating or magnetic material on a magnetic film, specially adapted for a thin magnetic film in patterns, e.g. by lithography
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/676—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having magnetic layers separated by a nonmagnetic layer, e.g. antiferromagnetic layer, Cu layer or coupling layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12632—Four or more distinct components with alternate recurrence of each type component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12681—Ga-, In-, Tl- or Group VA metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
- Y10T428/12931—Co-, Fe-, or Ni-base components, alternative to each other
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、金属薄膜型磁気記録媒体、特にその金属薄膜
磁性層が多層構造を有する金属薄膜型磁気記録媒体に係
る。
磁性層が多層構造を有する金属薄膜型磁気記録媒体に係
る。
背景技術とその問題点
金属薄膜型磁気記録媒体におけるその金属薄膜磁性層は
、これにバインダーが混入されていないことから充填密
度の向上を図ることができ、高密度、記録に好適で脚光
を浴びるに至っている。
、これにバインダーが混入されていないことから充填密
度の向上を図ることができ、高密度、記録に好適で脚光
を浴びるに至っている。
この種金属薄膜磁性層として、コバル）Ｃｏ、或い−は
コパル） Ｃｏ−ニッケルＮ１等の磁性金属を斜め蒸着
して形成するとき、これに高い抗磁力が得られる仁とが
知られている。しかしながらこの場合、蒸着方向を被蒸
着面に対して４０°〜８０°に傾ける必要があることか
ら蒸着効率が低く生産性に問題がある。
コパル） Ｃｏ−ニッケルＮ１等の磁性金属を斜め蒸着
して形成するとき、これに高い抗磁力が得られる仁とが
知られている。しかしながらこの場合、蒸着方向を被蒸
着面に対して４０°〜８０°に傾ける必要があることか
ら蒸着効率が低く生産性に問題がある。
しかしながらこのような斜め蒸着によらずに高い抗磁力
を有する磁性層を形成することは容易ではなく、例えば
結晶磁気異方性が大きく高抗磁力が得られると期待され
るＣｏを単に蒸着してもその抗磁力は１０００ｓ （エ
ルステッド）以下であシ、磁気記録媒体としては不適当
である。
を有する磁性層を形成することは容易ではなく、例えば
結晶磁気異方性が大きく高抗磁力が得られると期待され
るＣｏを単に蒸着してもその抗磁力は１０００ｓ （エ
ルステッド）以下であシ、磁気記録媒体としては不適当
である。
これに対し、本出願人は先に非磁性支持体上に不連続に
ビスマスＢｉを蒸着し、これの上に金属磁性層例えばＣ
ｏを蒸着することによって高抗磁力の磁性層を得ること
ができるようにした磁気記録媒体を提案した。
ビスマスＢｉを蒸着し、これの上に金属磁性層例えばＣ
ｏを蒸着することによって高抗磁力の磁性層を得ること
ができるようにした磁気記録媒体を提案した。
更に本出願人は、非磁性支持体の構成材料に依存するこ
となく高抗磁力の金属磁性層を形成することができるも
のとして、非磁性支持体上にシリコンＳｔまたはＳｔの
化合物の非晶質連続膜を形成し、これの上にＢｉを不連
続の島状に蒸着し、これの上に例えばＣｏの蒸着膜によ
る金属磁性層を構成するようにした磁気記録媒体を提供
した。
となく高抗磁力の金属磁性層を形成することができるも
のとして、非磁性支持体上にシリコンＳｔまたはＳｔの
化合物の非晶質連続膜を形成し、これの上にＢｉを不連
続の島状に蒸着し、これの上に例えばＣｏの蒸着膜によ
る金属磁性層を構成するようにした磁気記録媒体を提供
した。
一方、磁気記録媒体においてその磁性層を複数積層する
多層構造の磁気記録媒体を構成することが考えられてい
る。とのような複数の磁性層の積層構造による磁気記録
媒体に上述した技術を採シ入れる場合、例えば第１図に
示すように非磁性支持体（１）上にＢｌを不連続の島状
に蒸着し、これの上にＣｏ若しくはＣｏ−Ｎｉの第１の
金属磁性層（３）を蒸着し、これの上に同様にＢｌの層
（４）を蒸着して、これを介してＣｏ若しくはＣｏ−Ｎ
１等よりなる第２の金属磁性層（５）を形成することが
考えられる。ところがこのような構成による場合、実際
上第２の磁性層（５）において高い抗磁力が得られない
。これは、この第２の磁性層（５）の下地層となるＢ１
層（４）が下層の金属磁性層（３）とのなじみがよいた
めにこの８１’ｋ Ｈ着するときこれが不連続な島状と
ならずに連続薄膜層として蒸着されてしまい、これの上
忙形成された第２の金属磁性層（５）に高い抗磁力が得
られなくなってしまうものと思われる。
多層構造の磁気記録媒体を構成することが考えられてい
る。とのような複数の磁性層の積層構造による磁気記録
媒体に上述した技術を採シ入れる場合、例えば第１図に
示すように非磁性支持体（１）上にＢｌを不連続の島状
に蒸着し、これの上にＣｏ若しくはＣｏ−Ｎｉの第１の
金属磁性層（３）を蒸着し、これの上に同様にＢｌの層
（４）を蒸着して、これを介してＣｏ若しくはＣｏ−Ｎ
１等よりなる第２の金属磁性層（５）を形成することが
考えられる。ところがこのような構成による場合、実際
上第２の磁性層（５）において高い抗磁力が得られない
。これは、この第２の磁性層（５）の下地層となるＢ１
層（４）が下層の金属磁性層（３）とのなじみがよいた
めにこの８１’ｋ Ｈ着するときこれが不連続な島状と
ならずに連続薄膜層として蒸着されてしまい、これの上
忙形成された第２の金属磁性層（５）に高い抗磁力が得
られなくなってしまうものと思われる。
これに比し、例えば第２図に示すように第１の金属磁性
層（３）上に８１またはＢ１化合物の中間層（６）を被
着し、これの上にＢ１層（４）を蒸着したものにおいて
は、この別層（４）を確実に不連続な島状層上して形成
できるので、これの上に第２の金属磁性層（５）全蒸着
した場合、この第２の金属磁性層（５） においても高
い抗磁力を得ることができる。
層（３）上に８１またはＢ１化合物の中間層（６）を被
着し、これの上にＢ１層（４）を蒸着したものにおいて
は、この別層（４）を確実に不連続な島状層上して形成
できるので、これの上に第２の金属磁性層（５）全蒸着
した場合、この第２の金属磁性層（５） においても高
い抗磁力を得ることができる。
また、或いは第３図に示すように、非磁性体（１）上に
ＳｉまたはＳｉ化合物よシなる下地層（７）を被着し、
これの上にＢ１層（２）を蒸着するようにしたものにお
いては、非磁性体（１）の材料の依存性を改善でき、こ
の支持体（１）として廉価な例えばプリエチレンテレフ
タレートフィルムを使用し得るという利点を有する。
ＳｉまたはＳｉ化合物よシなる下地層（７）を被着し、
これの上にＢ１層（２）を蒸着するようにしたものにお
いては、非磁性体（１）の材料の依存性を改善でき、こ
の支持体（１）として廉価な例えばプリエチレンテレフ
タレートフィルムを使用し得るという利点を有する。
しかしながらこれら第２図及び第３図に示す構成による
場合のように、第１及び第２の磁性層（３）及び（５）
間に、非磁性の中間層（６）が介在することは、磁気記
録媒体全体としての磁束密度Ｂｒを低下するという欠点
を招来する。
場合のように、第１及び第２の磁性層（３）及び（５）
間に、非磁性の中間層（６）が介在することは、磁気記
録媒体全体としての磁束密度Ｂｒを低下するという欠点
を招来する。
発明の目的
本発明においては、上述した諸問題を解消することがで
きるようにした金属薄膜型磁気記録媒体を提供するもの
である。
きるようにした金属薄膜型磁気記録媒体を提供するもの
である。
発明の概要
本発明においては、第４図に示すように非磁性支持体α
力上にｓｉまだはＳｉ化合物の連続層α力を介して或い
は介することなく、例えば蒸着によって不連続な島状の
第１の非磁性金属層ａ１を被着し、これの上に連続層と
しての磁性金属層よりなる第１の磁性層０→を蒸着する
。そしてその表面を例えば酸化処理してこの表面に極く
薄くこの第１の磁性金属自体の化合物、例えば酸化物被
膜層α０を形成する。そしてこれの上に例えば蒸着によ
って不連続な島状の例えば第１の非磁性金属層と同一材
料よシなる第２の非磁性金属層（１すを被着形成し、こ
れの上に例えば第１の磁性層と同一の磁性金属Ω連続層
よシなる第２の磁性層αのを蒸着する。
力上にｓｉまだはＳｉ化合物の連続層α力を介して或い
は介することなく、例えば蒸着によって不連続な島状の
第１の非磁性金属層ａ１を被着し、これの上に連続層と
しての磁性金属層よりなる第１の磁性層０→を蒸着する
。そしてその表面を例えば酸化処理してこの表面に極く
薄くこの第１の磁性金属自体の化合物、例えば酸化物被
膜層α０を形成する。そしてこれの上に例えば蒸着によ
って不連続な島状の例えば第１の非磁性金属層と同一材
料よシなる第２の非磁性金属層（１すを被着形成し、こ
れの上に例えば第１の磁性層と同一の磁性金属Ω連続層
よシなる第２の磁性層αのを蒸着する。
第１及び第２の不連続な島状の非磁性金属層０及びα力
は、夫々Ｂｉを初めとしてその他Ｓｂ 、 Ｔｔまたは
Ｓｓ Ｉ Ｃｄ ＃ Ｉｎ ｅ Ｓｎ ＊ Ｔｅ ａ
Ｐｂ ｔ Ｐｏまたはそれらの合金を用い得る。これら
の材料は、蒸着条件を選定することによシ非磁性支持体
０■上に不連続な島状の層として形成することができる
が、これらの金属元素中でも特にＢｌを用いた場合は、
これの上に磁性金属層０４及びα力を蒸着したときにそ
の蒸着層の抗磁力Ｈｅが顕著に大きくすることができる
ことが認められた。しだがってこのような不連続島状の
非磁性金属層α→及びα力としては、ＢＳを用いるとと
が望ましい。またこの非−磁性層α］及びａ→の厚さは
、その平均膜厚が１０〜１００ＯＸ （Ｉｔｔｌ／ｃｍ
２〜１００μ、！ｉ’ ／ｃｍ” ）、好ましくは１０
０〜１０００＾に選ばれる。
は、夫々Ｂｉを初めとしてその他Ｓｂ 、 Ｔｔまたは
Ｓｓ Ｉ Ｃｄ ＃ Ｉｎ ｅ Ｓｎ ＊ Ｔｅ ａ
Ｐｂ ｔ Ｐｏまたはそれらの合金を用い得る。これら
の材料は、蒸着条件を選定することによシ非磁性支持体
０■上に不連続な島状の層として形成することができる
が、これらの金属元素中でも特にＢｌを用いた場合は、
これの上に磁性金属層０４及びα力を蒸着したときにそ
の蒸着層の抗磁力Ｈｅが顕著に大きくすることができる
ことが認められた。しだがってこのような不連続島状の
非磁性金属層α→及びα力としては、ＢＳを用いるとと
が望ましい。またこの非−磁性層α］及びａ→の厚さは
、その平均膜厚が１０〜１００ＯＸ （Ｉｔｔｌ／ｃｍ
２〜１００μ、！ｉ’ ／ｃｍ” ）、好ましくは１０
０〜１０００＾に選ばれる。
尚、この非磁性層０１及び０Ｑの蒸着における基板温度
すなわち非磁性支持体（１）の温度は、絶対温度におい
てこの非磁性材の金属すなわちＢ１の融点の２／３以上
、且つその融点以下で行うのが好ましい。
すなわち非磁性支持体（１）の温度は、絶対温度におい
てこの非磁性材の金属すなわちＢ１の融点の２／３以上
、且つその融点以下で行うのが好ましい。
勿論この場合非磁性支持体（１）の耐熱性が考慮される
ことは言うまでもない。
ことは言うまでもない。
まだ、第１及び第２の磁性、：ａ４及びα力は、ｃｏ単
体或いはＣｏ合金の例えばＮｉを４０重量％以下含有し
たＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着膜によって形成することが好ま
しい。そしてとの膜厚は、１００〜１０００１．好まし
くは２５０〜５００Ｘに選ばれる。すなわち、これは、
この磁性層α→及び（１′ｆ）の厚さは、これがあまシ
薄いと充分な磁束密度が得られなくなシ、また厚すぎる
と抗磁力Ｈｅ更に角型比が充分に得られなくなることを
認めたことによる。
体或いはＣｏ合金の例えばＮｉを４０重量％以下含有し
たＣｏ−Ｎｉ合金の蒸着膜によって形成することが好ま
しい。そしてとの膜厚は、１００〜１０００１．好まし
くは２５０〜５００Ｘに選ばれる。すなわち、これは、
この磁性層α→及び（１′ｆ）の厚さは、これがあまシ
薄いと充分な磁束密度が得られなくなシ、また厚すぎる
と抗磁力Ｈｅ更に角型比が充分に得られなくなることを
認めたことによる。
また、第１の磁性層（１４の表面に形成する化合物層ａ
→としては、第２の非磁性層θＱとの”ぬれ”を低下し
得る材料であって、充分薄く形成し得ることから第１の
金属層０４の表面自体を酸化させた酸化物層であること
が望まれる。まだこの酸化物層の、その厚さは、１０〜
１００Ｘに選定されることが望ましいが、その他窒化物
或いは炭化物の形成も考えられる。またこの化合物層α
→を磁性層０４の酸化物層によって形成する場合は、磁
性層ａ４の蒸着膜にその蒸着真空層中に酸素ガスを導入
して直流、交流、若しくは高周波プラズマ中で酸化する
ことＫよって形成し得るものであり、この酸化物層の厚
さは供給酸素ガスの分圧或いは印加電圧強度、電極形状
、電極間距離、電界印加時間等によって選定することが
できる。
→としては、第２の非磁性層θＱとの”ぬれ”を低下し
得る材料であって、充分薄く形成し得ることから第１の
金属層０４の表面自体を酸化させた酸化物層であること
が望まれる。まだこの酸化物層の、その厚さは、１０〜
１００Ｘに選定されることが望ましいが、その他窒化物
或いは炭化物の形成も考えられる。またこの化合物層α
→を磁性層０４の酸化物層によって形成する場合は、磁
性層ａ４の蒸着膜にその蒸着真空層中に酸素ガスを導入
して直流、交流、若しくは高周波プラズマ中で酸化する
ことＫよって形成し得るものであり、この酸化物層の厚
さは供給酸素ガスの分圧或いは印加電圧強度、電極形状
、電極間距離、電界印加時間等によって選定することが
できる。
非磁性支持体（１）としては、ポリエステル、ポリイミ
ド、ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルムを
初めとしてセラミック或いはガラス若しくは表面を酸化
した金属膜等を使用し得る。
ド、ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルムを
初めとしてセラミック或いはガラス若しくは表面を酸化
した金属膜等を使用し得る。
実施例
実施例１
ポリイミド非磁性支持体（１）上に基板温度すなわち支
持体（１）の温度１５０℃でＢｉを不連続島状に平均厚
さ５０Ｘに蒸着し、続いて２０９６Ｎｉ −Ｃｏ磁性層
α４を３００Ｘの厚さに順次蒸着し、その後真空層内に
０２ガスを導入して槽内圧力を０．０６Ｔｏｒｒになし
て、直流１ ｋＶ 、 １２０ｍＡの電圧電流で１分間
ボンバードし、磁性層αａの表面を酸化した。
持体（１）の温度１５０℃でＢｉを不連続島状に平均厚
さ５０Ｘに蒸着し、続いて２０９６Ｎｉ −Ｃｏ磁性層
α４を３００Ｘの厚さに順次蒸着し、その後真空層内に
０２ガスを導入して槽内圧力を０．０６Ｔｏｒｒになし
て、直流１ ｋＶ 、 １２０ｍＡの電圧電流で１分間
ボンバードし、磁性層αａの表面を酸化した。
次に同様に基板温度１５０℃でＢｉを同様に平均厚さ５
０１に不連続島状に蒸着して第２の非磁性層σｅを形成
し、これの上に同様Ｋ ２０ＸＮｉ−Ｃｏを３００ Ｘ
の厚さに蒸着して＠２の磁性層ａηを形成し、同様に酸
素ガスの導入を行って内圧０．０６Ｔｏｒｒとし、直流
１ ｋＶ 、 １２０ｍＡで１分間のボンバードを行っ
て磁性層α力の表面に酸化被膜を形成した。
０１に不連続島状に蒸着して第２の非磁性層σｅを形成
し、これの上に同様Ｋ ２０ＸＮｉ−Ｃｏを３００ Ｘ
の厚さに蒸着して＠２の磁性層ａηを形成し、同様に酸
素ガスの導入を行って内圧０．０６Ｔｏｒｒとし、直流
１ ｋＶ 、 １２０ｍＡで１分間のボンバードを行っ
て磁性層α力の表面に酸化被膜を形成した。
このようにして得た磁気記録媒体の磁気特性は、抗磁力
Ｈｅが８６００＠ｌ 、角型比Ｒ８が８２．６、磁束密
度Ｂｒがｌ１００ＯＧ （ガウス）であった。
Ｈｅが８６００＠ｌ 、角型比Ｒ８が８２．６、磁束密
度Ｂｒがｌ１００ＯＧ （ガウス）であった。
尚、このようにして得た磁気記録媒体における磁性層表
面の化合物層の厚さは、約４０１であるとして算出され
た。この算出は０２ガス中でボンバードによって形成さ
れる酸化層膜厚を調べるために、０２ガス中ボンバード
によらずに順次５０Ｘの厚さのＢｌ 、 ３００Ｘの厚
さのＮｉ−Ｃｏ 、 ５０ＸのＢｒ 、 ３００Ｘの２
０％Ｎ１−Ｃｏ層を順次蒸着した膜において、その磁化
を撮動試料型磁束計（ＶＳＭ）で測定し、更にボンバー
ドした膜の磁化も同様に測定し磁化の減少から酸化膜の
厚さの算出結果である。
面の化合物層の厚さは、約４０１であるとして算出され
た。この算出は０２ガス中でボンバードによって形成さ
れる酸化層膜厚を調べるために、０２ガス中ボンバード
によらずに順次５０Ｘの厚さのＢｌ 、 ３００Ｘの厚
さのＮｉ−Ｃｏ 、 ５０ＸのＢｒ 、 ３００Ｘの２
０％Ｎ１−Ｃｏ層を順次蒸着した膜において、その磁化
を撮動試料型磁束計（ＶＳＭ）で測定し、更にボンバー
ドした膜の磁化も同様に測定し磁化の減少から酸化膜の
厚さの算出結果である。
比較例１
実施例１と同様に基板温度１５０℃において、ポリイミ
ドよシなる非磁性支持体（１）上に、Ｓｌを２００Ｘ１
Ｂｌ ＠ ５０Ｘ、 ２０％Ｎｉ−Ｃｏを３００Ｘ、更
にそれの上にＳｉを２００Ｘ、 Ｂｉを５０Ｘ、２０チ
Ｎｉ−Ｃｏを３００Ｘの厚さに夫々順次蒸着して磁気記
録媒体を得た。このようにして得た磁気記録媒体の磁気
特性は、抗磁力Ｈｃが８９００ｅ 、角型比Ｒｓが８１
．５であったが、磁束密度Ｂｒが７０００Ｇとなった。
ドよシなる非磁性支持体（１）上に、Ｓｌを２００Ｘ１
Ｂｌ ＠ ５０Ｘ、 ２０％Ｎｉ−Ｃｏを３００Ｘ、更
にそれの上にＳｉを２００Ｘ、 Ｂｉを５０Ｘ、２０チ
Ｎｉ−Ｃｏを３００Ｘの厚さに夫々順次蒸着して磁気記
録媒体を得た。このようにして得た磁気記録媒体の磁気
特性は、抗磁力Ｈｃが８９００ｅ 、角型比Ｒｓが８１
．５であったが、磁束密度Ｂｒが７０００Ｇとなった。
このように比較例１においては、実施例１に比してその
磁束密度が低下している。これは中間層の非磁性シリコ
ン層の存在に基づくものである。
磁束密度が低下している。これは中間層の非磁性シリコ
ン層の存在に基づくものである。
発明の効果
本発明による磁気記録媒体によれば中間層に相当する層
を下層７の第１の磁性層０４自体の表面を例えば酸化し
た酸化物層よシなる化合物層０りによって形成したこと
によって、この厚さを充分薄くすることができ、これに
伴って磁気記録媒体の全体の磁束密度の向上を図ること
ができる。また、このような中間層としての化合物層α
りを設けたことによってこれの上に形成する層０→を確
実に不連続な島状となし得、これによってこれの上に形
成する第２の金属磁性層α力の抗磁力を高めることがで
き、また第１及び第２の磁性層α→及びα力の抗磁力の
同等化が図られる。
を下層７の第１の磁性層０４自体の表面を例えば酸化し
た酸化物層よシなる化合物層０りによって形成したこと
によって、この厚さを充分薄くすることができ、これに
伴って磁気記録媒体の全体の磁束密度の向上を図ること
ができる。また、このような中間層としての化合物層α
りを設けたことによってこれの上に形成する層０→を確
実に不連続な島状となし得、これによってこれの上に形
成する第２の金属磁性層α力の抗磁力を高めることがで
き、また第１及び第２の磁性層α→及びα力の抗磁力の
同等化が図られる。
尚、本発明は、上述したような第１及び第２の磁性層よ
シなる２つの磁性層が積層された構造となす場合に限ら
ず、少くとも第１及び第２の磁性層を有する三層以上の
多層構造の磁気記録媒体に適用して同様の効果を奏せし
め得ることは明らかであろう。
シなる２つの磁性層が積層された構造となす場合に限ら
ず、少くとも第１及び第２の磁性層を有する三層以上の
多層構造の磁気記録媒体に適用して同様の効果を奏せし
め得ることは明らかであろう。
第１図ないし第３図は本発明の説明に供する磁気記録媒
体の路線的拡大断面図、第４図は本発明による。金属薄
膜型磁気記録媒体の一例の路線的拡大断面図である。 αつは非磁性支持体、α→及びα→は不連続島状の第１
及び第２の非磁性層、θ→及びＣＩカは第１及び第２の
金属磁性層、α→は第１の磁性層α◆の表面化合物層で
ある。
体の路線的拡大断面図、第４図は本発明による。金属薄
膜型磁気記録媒体の一例の路線的拡大断面図である。 αつは非磁性支持体、α→及びα→は不連続島状の第１
及び第２の非磁性層、θ→及びＣＩカは第１及び第２の
金属磁性層、α→は第１の磁性層α◆の表面化合物層で
ある。
Claims (1)
- 非磁性支持体上に、不連続な島状の第１の非磁性金属層
と、連続磁性金属層よシなる第１の磁性層と、該磁性金
属の化合物層と、不連続な島状の第２の非磁性金属層と
、連続磁性金属よシなる第２の磁性層とが順次被着され
てなる金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57140248A JPS5930230A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
| CA000433832A CA1216936A (en) | 1982-08-12 | 1983-08-03 | Magnetic recording medium |
| DE19833328896 DE3328896A1 (de) | 1982-08-12 | 1983-08-10 | Magnetischer aufzeichnungstraeger |
| US06/521,910 US4543301A (en) | 1982-08-12 | 1983-08-10 | Magnetic recording medium |
| GB08321612A GB2127437B (en) | 1982-08-12 | 1983-08-11 | Magnetic recording media |
| NL8302827A NL8302827A (nl) | 1982-08-12 | 1983-08-11 | Magnetisch registratiemedium. |
| FR8313284A FR2531797B1 (fr) | 1982-08-12 | 1983-08-12 | Support d'enregistrement magnetique comportant un film mince en un metal ferromagnetique sur un support non magnetique |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57140248A JPS5930230A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5930230A true JPS5930230A (ja) | 1984-02-17 |
Family
ID=15264354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57140248A Pending JPS5930230A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4543301A (ja) |
| JP (1) | JPS5930230A (ja) |
| CA (1) | CA1216936A (ja) |
| DE (1) | DE3328896A1 (ja) |
| FR (1) | FR2531797B1 (ja) |
| GB (1) | GB2127437B (ja) |
| NL (1) | NL8302827A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04314000A (ja) * | 1991-02-18 | 1992-11-05 | Nkk Corp | リニアアレイ超音波探触子の駆動方法 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE29328T1 (de) * | 1983-04-28 | 1987-09-15 | Plasmon Data Systems Nv | Informationsspeicherung und -aufzeichnung. |
| US4749628A (en) * | 1986-04-29 | 1988-06-07 | International Business Machines Corporation | Multilayered vertical magnetic recording medium |
| JPS63237210A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
| CN1013324B (zh) * | 1988-04-28 | 1991-07-24 | 中国科学院物理研究所 | 磁光盘存储合金材料及其制备方法 |
| JP2547651B2 (ja) * | 1989-05-22 | 1996-10-23 | 日本板硝子株式会社 | 磁気記録媒体 |
| EP0421120B1 (en) * | 1989-10-05 | 1996-10-30 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic storage medium and method for the manufacture thereof |
| JP2559941B2 (ja) * | 1992-03-16 | 1996-12-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置 |
| US5462796A (en) * | 1992-05-21 | 1995-10-31 | Stormedia, Inc. | Flash chromium interlayer for improved hard disk magnetic recording performance |
| KR940000259A (ko) * | 1992-06-12 | 1994-01-03 | 게리 리 그리스월드 | 테이프 지지체상에서의 다층 필름 제조 시스템 및 방법 |
| US5705287A (en) * | 1994-09-20 | 1998-01-06 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with metal nitride texturing layer |
| JP3954553B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2007-08-08 | 富士通株式会社 | 記録媒体およびその製造方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3350180A (en) * | 1967-10-31 | Magnetic device with alternating lami- na of magnetic material and non-mag- netic metal on a substrate | ||
| US3479156A (en) * | 1966-10-20 | 1969-11-18 | Burton Silverplating Co | Multilayer magnetic coating |
| US3880603A (en) * | 1970-10-12 | 1975-04-29 | Clayton N Whetsone | Laminated magnetic material |
| GB1458353A (ja) * | 1973-01-17 | 1976-12-15 | ||
| JPS5634142A (en) * | 1979-08-25 | 1981-04-06 | Hitachi Maxell Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS5798133A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
| CA1188796A (en) * | 1981-04-14 | 1985-06-11 | Kenji Yazawa | Magnetic recording medium |
| JPS57191830A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Sony Corp | Magnetic recording medium |
| JPS5819474A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-04 | Victor Co Of Japan Ltd | 機能性メツキ膜の製法 |
| JPS5853021A (ja) * | 1981-09-24 | 1983-03-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 多層磁性薄膜 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP57140248A patent/JPS5930230A/ja active Pending
-
1983
- 1983-08-03 CA CA000433832A patent/CA1216936A/en not_active Expired
- 1983-08-10 US US06/521,910 patent/US4543301A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-08-10 DE DE19833328896 patent/DE3328896A1/de not_active Withdrawn
- 1983-08-11 NL NL8302827A patent/NL8302827A/nl not_active Application Discontinuation
- 1983-08-11 GB GB08321612A patent/GB2127437B/en not_active Expired
- 1983-08-12 FR FR8313284A patent/FR2531797B1/fr not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04314000A (ja) * | 1991-02-18 | 1992-11-05 | Nkk Corp | リニアアレイ超音波探触子の駆動方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2531797A1 (fr) | 1984-02-17 |
| CA1216936A (en) | 1987-01-20 |
| US4543301A (en) | 1985-09-24 |
| FR2531797B1 (fr) | 1986-05-09 |
| GB2127437A (en) | 1984-04-11 |
| GB8321612D0 (en) | 1983-09-14 |
| NL8302827A (nl) | 1984-03-01 |
| GB2127437B (en) | 1985-09-04 |
| DE3328896A1 (de) | 1984-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5930230A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPS60157715A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5968815A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS58166531A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH09306733A (ja) | 磁気抵抗効果膜 | |
| JPS60182012A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPH0817032A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS60231911A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61258331A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62264426A (ja) | 磁性層を磁性金属酸化物で被層した磁気記録媒体 | |
| JPH01119004A (ja) | 磁性体膜 | |
| JPS59157837A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01119005A (ja) | 磁性体膜およびその製造方法 | |
| JPS59157828A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59157833A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| Lodder | Magnetic Properties and Preparation of Thin-Film Magnetic Recording Media | |
| JPH0322647B2 (ja) | ||
| JPH01143312A (ja) | 非晶質軟磁性積層膜 | |
| JPS61294635A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59112427A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59157829A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59191130A (ja) | 磁気記録媒体用基材および磁気記録媒体 | |
| JPS6364623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6342024A (ja) | 亜鉛含有補助層を有する磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS6154030A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 |