KR100910613B1 - 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치 - Google Patents

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Abstract

초전도 테이프 선재의 연속 제조장치에 관해 개시한다. EDDC(Evaporation using Drum in Dual Chamber) 방식은 고온 초전도 테이프 선재를 대량 생산하는 데 필요한 적합한 방식으로 확인되었다. 그러나 이 방법은 한정된 길이의 선재에만 공정을 적용할 수 있다는 것이 단점이다. EDDC 방식을 임의로 긴 선재에 적용하기 위하여 드럼에 두 개의 릴을 장착하여 긴 선재를 감고 풀고 하는 방식으로 공급할 수 있다. 그러나 이때 중요한 문제점은 드럼 위에 나선방식으로 감긴 선재의 이송방식이다. 본 발명은 몇 개의 분리된 무한궤도 벨트를 이용한 것으로서, 이 벨트들이 선재를 싣고 드럼의 축 방향으로 이동함으로써, 선재가 드럼 주위에 연속적 나선감김을 실현하면서 이송되도록 한다.
초전도, 테이프, 선재, EDDC, 무한궤도, 벨트, 홈, 이송, 지지턱부, 연속

Description

초전도 테이프 선재의 연속 제조장치 {Apparatus for continuous fabrication of superconducting tapes}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치의 주요부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면;
도 2는 도 1의 A 부분의 확대단면도;
도 3은 도 1의 구조를 b방향에서 도시한 도면; 및
도 4는 도 1의 증기가리개의 확대도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
102: 원통형 드럼
104a: 풀림 릴
104b: 감김 릴
106: 초전도 테이프 선재
108: 벨트
110: 벨트 릴
112: 증발 챔버구간 벽
114: 증기 가리개
210: 지지턱부
220: 역경사 측벽
a: 원통형 드럼의 외부에서의 벨트의 이송방향
b: 원통형 드럼의 내부에서의 벨트의 이송방향
H: 홈
1. 한국특허 제276003호: "띠형 기판 상의 박막 형성장치 및 박막 형성방법"
2. 미국특허 제6,147,033호: "Apparatus and method for forming a film on a tape substrate"
본 발명은 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치에 관한 것으로, 특히 초전도 테이프 선재의 연속 이송을 가능하게 함으로써 임의로 긴 초전도 테이프 선재에 초전도 물질을 증착시킬 수 있도록 한 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치에 관한 것이다.
고온 초전도체를 이용한 초전도 응용기술의 실용화에 대한 기대가 높아지면서 고온 초전도 선재 개발 연구가 세계적으로 활발하게 이루어지고 있다. 고온 초전도 선재의 제조방법으로는, Ag 파이프 안에 전구체 분말을 채워서 가공하는 PIT(Powder In Tube) 공정으로 만드는 1세대 고온 초전도 선재 제조방법과 전문용어로 CC(Coated Conductor)라고 불리는 고온 초전도 선재를 만드는 2세대 고온 초전도 선재 제조방법이 있다. 2세대 고온 초전도 선재인 CC는 세계적으로 많은 연구기관과 회사들이 연구개발하고 있으며, 만드는 방법이 다양하고 1세대 고온 초전도 선재보다 복잡한 다층구조를 하고 있다.
1986년에 고온초전도체가 발견된 이후로 처음으로 실용화에 성공될 것으로 확신되는 제품인 고온 초전도 선재는 기존의 구리선재에 비하여 단위 단면적당 100배의 많은 전류를 전력손실이 거의 없이 흘릴 수 있다. 전력손실은 열 발생을 일으키므로 전력장치가 고온으로 가열된다. 따라서 전력손실을 크게 일으키는 구리선재는 대용량 에너지 관련 장치에 활용될 수 없다. 이러한 대용량 에너지 관련 장치는 오직 초전도선재만으로 가능하다. 니오븀 계통의 저온초전도체는 임계온도가 너무 낮아서 고가의 액체 헬륨을 필요로 하므로 경제성이 없다. 그러나 고온초전도 선재는 공기에서 충분히 얻을 수 있는 액체질소를 사용하므로 경제적이다. 따라서 고온초전도선재의 실용화는 대용량 에너지 산업의 새로운 기원을 의미한다. 고온초전도체가 발견되었을 당시 세계적으로 대단히 기대를 모았으나, 고온초전도 선재의 개발은 매우 어려웠다. 그러나, 최근에 와서 비약적으로 기술 개발이 이루어져서 상용화가 멀지않은 것으로 믿어지고 있다. 상용화를 위하여 가장 중요한 것은 제작 단가가 저렴하고 제작 속도가 충분히 빠른 기술의 개발이다. 상용화 가능한 고온초전도 선제 제작 기술은 세계적으로 크게 3가지가 있다. 미국에서 개발된 MOD(Metal-Organic Deposition)방식과 MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition)방식이 있고, 한국에서 개발된 EDDC(Evaporation using Drum in Dual Chamber)방식이 있다. 이 세가지 방식은 아직은 우열을 가릴 수 없으며 경쟁적인 기술발전이 진행 중이다. 그 중에서 EDDC방식은 "띠형 기판 상의 박막 형성장치 및 박막 형성방법"이라는 명칭으로 등록된 한국 특허 제276003호 및 이를 기초출원으로 하여 등록된 미국특허 제6,147,033호를 기초로 하는 것으로서, 현재 한국에서 이에 대한 실용화가 진행되고 있다.
EDDC방식은 개략적으로 크게 3개의 구간으로 나누어진 진공챔버를 사용한다. 상부에 있는 반응챔버에는 약 5mTorr의 산소가스 분위기에서 드럼이 회전한다. 드럼위에는 폭이 4mm, 두께가 0.1mm이하인 기판테이프가 감겨져 장착된다. 기판은 드럼과 함께 약 섭씨 700도로 가열된다. 드럼은 기판테이프와 함께 초당 약 1회전으로 회전한다. 하부에 있는 진공도 0.01mTorr을 유지하는 증발 챔버에서는 고온초전도체를 형성시킬 수 있는 물질, 예를 들어 Sm, Ba, Cu 등이 원자증기의 형태로 정확한 성분비(예를 들어 1:2:3)를 유지하며 공급되어, 회전하는 기판테이프위에 증착된다. 테이프는 증착공간과 반응공간 사이를 회전하면서 테이프 표면에 고온초전도막이 성장한다. 증발챔버와 반응챔버의 진공도차이를 유지하기 위하여 중간에 차동 펌핑(differential pumping) 구간이 되는 중간 챔버가 있다.
그런데, 여기서 문제는 드럼 위에 감긴 테이프의 길이가 한정되어있으므로 주어진 EDDC 장치가 생산할 수 있는 고온초전도체 선재의 길이가 한정된다는 것이다. 따라서 충분히 긴 길이의 테이프에 적용하기 위하여 개량이 필요하다. 여러 가지 방식의 개량이 가능하지만 가장 좋은 방법은 드럼 양쪽에 두 개의 동축 릴(reel)을 장착하고 한 릴에서 테이프 선재를 풀고 다른 한 릴에서 테이프 선재를 감는 것이다. 테이프 선재는 릴의 안쪽에 감기게 된다. 그러나 여기서 가장 어려운 문제는 드럼에 감긴 테이프 선재가 어떻게 한쪽 릴에서 다른 쪽 릴로 효과적으로 잘 이동하게 할 수 있는가이다.
상기한 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 EDDC방식을 적용함에 있어서 드럼에 감긴 테이프 선재를 한쪽 릴에서 다른 쪽 릴로 효과적으로 이송시킬 수 있는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치는:
초전도 물질의 증착을 위한 챔버와;
상기 챔버 내에 설치되며, 초전도 테이프 선재를 자신의 외주에 위치시켜 가열하기 위한 중공(中空)의 원통형 드럼과;
상기 원통형 드럼의 일단부 부근에 설치되어, 초전도 물질을 증착할 초전도 테이프 선재를 공급하는 풀림 릴과;
상기 원통형 드럼의 타단부 부근에 설치되어, 초전도 물질의 증착이 완료된 초전도 테이프 선재를 회수하는 감김 릴과;
상기 초전도 테이프 선재를 상기 풀림 릴에서 상기 감김 릴까지 이송시키기 위한 이송수단;
을 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 이송수단이 무한 궤도의 벨트와 벨트 릴로 이루어지되,
상기 벨트에는 상기 초전도 테이프 선재를 안착시키는 홈들이 길이 방향에 직각으로 주기적으로 형성되며,
상기 벨트는 상기 중공의 원통형 드럼의 축방향과 나란하게 상기 중공의 원통형 드럼의 측벽을 고리형으로 둘러싸도록 설치되고,
상기 벨트 릴은 상기 중공의 원통형 드럼의 외부에서 상기 벨트를 상기 풀림 릴에서 상기 감김 릴 방향으로 이송시키도록 상기 벨트를 회전시키는 것을 특징으로 하는 것이 바랍직하다.
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더욱 바람직하게는, 상기 홈이:
상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈의 바닥에 떨어져 있도록 상기 초전도 테이프 선재의 양측을 지지하는 지지턱부와;
상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈과 접촉되도록 상기 홈의 바닥에서 위로 갈수록 상기 홈의 폭이 좁게 만들어주는 역경사 측벽;
을 구비하는 것이다.
또한, 상기 지지턱부가 상기 홈의 측벽을 향해 기울어진 경사를 가짐으로써 상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈의 지지턱부에 선접촉을 하는 것이 더 바람직하다.
상기 이송수단의 경우, 상기 중공의 원통형 드럼의 축에 대해 방사 대칭으로 복수 개 마련되는 것이 바람직하다.
더욱이, 상기 초전도 테이프 선재가 상기 풀림 릴 및 감김 릴의 각각의 안쪽에서 풀리거나, 안쪽으로 감기는 것이 바람직하다.
상기 중공의 원통형 드럼의 표면이 이중으로 되어 있어서 상기 벨트의 표면과 온도를 같게 할 수 있어도 좋다.
본 발명의 장치에서, 상기 풀림 릴쪽에 설치되어 상기 초전도 테이프 선재의 증착되는 부분과 증착되지 않는 부분을 한칸 단위로 조절하기 위한 나선형 가리개를 더 구비할 수도 있는데, 이 경우, 상기 초전도 테이프 선재가 증착 증기에 노출될 때, 상기 나선형 가리개가 스텝으로 왕복 운동하여 상기 초전도 테이프 선재가 한 바퀴씩 동시에 노출되도록 하는 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 장치에서, 상기 원통형 드럼, 원통형 드럼 주위에 감긴 초전도 테이프 선재, 초전도 테이프 선재를 공급하고 회수하는 풀림 릴 및 감김 릴, 복수 개의 무한궤도 벨트들 및 이 무한궤도 벨트들을 각각 돌려주는 벨트 릴들이 모두 정합되게 빠르게 회전하며, 회전하는 원통형 드럼을 기준으로 볼 때, 초전도 테이프 선재가 풀림 릴에서 풀려서 감김 릴에 감길 때, 드럼의 주위에 이격되게 감긴 나선 상태가 벨트에 실려서 드럼축 방향으로 이동하게 되도록 하여 상기 초전도 테이프 선재 상에 초전도 물질을 증착하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치의 주요부의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도시의 명확화를 위하여, 풀림 릴(104a)과 감김 릴(104b)은, 원통형 드럼(102)의 축과 도 1의 드럼의 상단선을 포함하는 평면으로 절단한 상태로 나타내었다. 도 1에 도시된 구조는 모두 초전도 물질의 증착을 위한 챔버(미도시)의 내부에 설치된다. 도 1을 참조하면, 챔버(미도시) 내부에 초전도 테이프 선재(106)를 자신의 외주에 위치시켜 가열하기 위한 중공의 원통형 드럼(102)가 설치된다. 초전도 물질이 증착될 초전도 테이프 선재(106)는 풀림 릴(104a)에서 풀려나와 공급되는데, 이 풀림 릴(104a)은 원통형 드럼(102)의 좌측에 설치된다. 초전도 테이프 선재(106)는 풀림 릴(104a)의 안쪽에서 풀려나와 감김 릴(104b)의 안쪽으로 감기게 된다. 초전도 물질의 증착이 완료된 초전도 테이프 선재(106)는 감김 릴(104b)에 감겨서 회수되는데, 이 감김 릴(104b)은 원통형 드럼(102)의 우측에 설치된다. 풀림 릴(104a)에서 풀려나와 감김 릴(104b)에 감겨서 회수되는 초전도 테이프 선재(106)는 초전도 물질의 증착 과정에서 이송수단에 의해 풀림 릴(104a)에서 감김 릴(104b)까지 이송되게 된다. 이 이송수단은, 초전도 테이프 선재를 안착시키는 홈들을 갖는 무한 궤도의 벨트(108)와, 이 벨트(108)를 원통형 드럼(102)의 외부에서 풀림 릴(104a)에서 감김 릴(104b) 방향, 즉 화살표 a 방향으로 이송시키도록 회전하는 벨트 릴(110)로 이루어진다. 벨트(108)는 중공의 원통형 드럼(102)의 축방향과 나란하게 중공의 원통형 드럼(102)의 측벽을 고리형으로 둘러싸도록 설치된다. 이러한 이송수단은 중공의 원통형 드럼(102)의 축에 대해 방사 대칭으로 복수 개 마련되는 것이 바람직한데, 대칭적인 구조가 되어야 벨트(108)가 초전도 테이프 선재(106)를 안정적으로 안착시켜서 이송시키는 데 유리하기 때문이다. 벨트(108)는 자신의 길이 방향에 직각으로 주기적으로 형성된 홈들(도 2 참조)을 가지며, 이 홈에 초전도 테이프 선재(106)를 안착시키게 된다. 초전도 물질의 증착 공정 중에, 원통형 드럼(102)의 외부에서는 벨트(108)가 초전도 테이프 선재(106)를 싣고 원통형 드럼(102)의 축방향과 나란한 a 방향으로 이동하고, 원통형 드럼(102)의 내부에서는 벨트(108)가 축방향과 나란한 b 방향으로 이동함으로써 초전도 테이프 선재(106)의 연속 이송이 가능하게 된다. 이러한 연속 이송이 가능하게 되기 위해서는, 복수의 벨트(108)가 모두 같은 속도로 움직일 수 있도록 벨트 릴(110)이 같은 속도로 회전하여야 한다. 도 1에서 설명되지 않은 참조번호 112는 증발 챔버구간 벽이며, 참조번호 114는 증기 가리개이다. 도면에 도시되지는 않았지만, 고온초전도체를 형성시킬 수 있는 재료 물질의 증기를 발생시키는 장치는 증발 챔버구간 벽(112) 사이의 하부에 설치된다.
도 2는 도 1의 A 부분의 확대단면도로서, 구체적으로는, 원통형 드럼(102)의 축과 도 1의 드럼의 상단선을 포함하는 평면으로 A 부분을 절단한 상태를 나타낸 단면도이다. 도 2를 참조하면, 벨트(108)의 길이방향에 직각으로 홈(groove; H)들이 주기적으로 형성되어 있으며, 초전도 테이프 선재(106)가 벨트(108)에 감겨가면서 이 홈(H)에 안착되어 있음을 알 수 있다. 또한, 홈(H)의 구조를 자세히 관찰하면, 초전도 테이프 선재(106)가 홈(H)의 바닥에 접촉하지 않도록, 즉 떨어져 있도록 초전도 테이프 선재(106)의 양측을 지지하는 지지턱부(210)가 있어서, 초전도 테이프 선재(106)가 홈(H)의 바닥으로부터 이격되어 있음을 알 수 있다. 또한, 지지턱부(210)는 홈(H)의 측벽을 향해 기울어진 경사를 가지고 있어서, 초전도 테이프 선재(106)는 홈(H)의 지지턱부(210)에 선접촉을 하게 된다. 이러한 지지턱부(210)에 의해 초전도 테이프 선재(106)와 벨트(108)가 최소한으로 접촉하게 되므로, 접촉에 따른 선재의 손상이나 오염을 방지할 수 있다. 한편, 초전도 테이프 선재(106)가 홈(H)으로부터 쉽게 이탈되지 않도록, 즉 접촉되도록 홈(H)의 바닥에서 위로 갈수록 홈(H)의 폭이 좁게 만들어주는 역경사 측벽(220)이 마련된다.
도 3은 도 1의 구조를 b방향에서 도시한 도면으로서, 도시의 명확화를 위해 초전도 테이프 선재를 생략하고 도시한 것이다. 도 3을 참조하면, 8개의 이송수단이 중공의 원통형 드럼(102)의 축에 대해 방사 대칭으로 설치되어 있어서, 8개의 벨트 릴(110)들이 인접한 것끼리 45도의 각도를 이루고 있다. 도 3에서 초전도 테이프 선재는 도시되지 않았지만, 초전도 테이프 선재가 팽팽하게 벨트에 감기면 벨트가 초전도 테이프 선재를 지지하지 못하는 부위에서 초전도 테이프 선재와 드럼의 외주면이 접촉하게 되어, 접촉부위와 비접촉부위에서의 공정이 불균일하게 이루어질 염려가 있다. 따라서, 초전도 테이프 선재는 약간 느슨하게 벨트에 감기는 것이 바람직하다.
도 4는 도 1의 증기가리개의 확대도이다. 본 발명의 장치에서, 드럼표면에서 테이프가 증착공간으로 나타날 때 증착부분과 그렇지 않은 부분의 경계를 최소화 해야만 초전도막의 특성이 양호하다. 따라서 스텝(step) 방식으로 왕복 운동하는 가리개가 풀림 릴 쪽에 필요하다. 여기서 한 스텝은 초전도 테이프 선재의 폭이다. 따라서, 증기가리개의 사용에 의해 한 바퀴 분량의 테이프는 동시에 노출된다.
위에 설명된 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치의 구조 및 작동의 특징에 대해 간단히 요약하면 다음과 같다. 일반적으로 초전도 테이프 선재는 고온에서도 강도를 유지하는 hast alloy를 사용하므로 벨트의 홈에 끼어진 상태를 유지한다. 벨트도 같은 hast alloy를 사용한다. 테이프가 드럼표면에 닿지 않게 약간 여유 있게 끼워진다. 이것은 고온에서 드럼과 테이프 선재가 서로 다르게 팽창되는 것을 고려하여 장착된 것이다. 벨트에서도 선재가 홈의 바닥에 닿지 않은 상태이다. 드럼이 회전할 때 테이프 선재가 위로 빠지지 않게 벨트의 홈은 비스드듬한 역경사의 턱을 갖는 홈 모양이어야 한다. 벨트가 연속적으로 축방향으로 이동하여 나선형으로 감긴 테이프 선재를 풀림 릴에서 감김 릴로 이동시킨다. 테이프 선재, 두 개의 풀림 릴과 감길 릴, 8개 벨트들은 모두 드럼과 함께 초당 약 1회전한다. 원통형 드럼, 원통형 드럼 주위에 감긴 초전도 테이프 선재, 초전도 테이프 선재를 공급하고 회수하는 풀림 릴 및 감김 릴, 복수 개의 무한궤도 벨트들 및 이 무한궤도 벨트들을 각각 돌려주는 벨트 릴들은 모두 정합되게 빠르게 회전하면서 초전도 테이프 선재 상에 초전도 물질을 증착하게 된다. 이 부품들의 동작이 정합되게 하는 것은 이 부품들의 길이, 직경 등의 구조 파라미터를 이용하여 자명하게 결정할 수 있다. 벨트의 이동에 따라 초전도 테이프 선재는 벨트에 나선으로 감긴 상태에서 드럼축을 따라 이동하며 각각의 릴들은 드럼에 상대적으로 회전하므로 풀림과 감김 작용을 한다. 즉, 회전하는 원통형 드럼을 기준으로 볼 때, 초전도 테이프 선재가 풀림 릴 에서 풀려서 감김 릴에 감길 때, 드럼의 주위에 이격되게 감긴 나선 상태가 벨트에 실려서 드럼축 방향으로 이동하게 되는 것이다. 또한, 본 발명의 장치에서, 벨트부분과 나머지 부분의 온도가 동일해야하므로 나머지 부분에도 벨트부분처럼 이중 표면층으로 되어있다.
상기한 본 발명에 따르면, 초전도 막 형성에 전혀 손상이 없이 테이프를 연속적으로 공급하고 회수함으로서 EDDC방식을 임의로 긴 테이프 선재에 적용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 초전도 물질의 증착을 위한 챔버와;
    상기 챔버 내에 설치되며, 초전도 테이프 선재를 자신의 외주에 위치시켜 가열하기 위한 중공의 원통형 드럼과;
    상기 원통형 드럼의 일단부 부근에 설치되어, 초전도 물질을 증착할 초전도 테이프 선재를 공급하는 풀림 릴과;
    상기 원통형 드럼의 타단부 부근에 설치되어, 초전도 물질의 증착이 완료된 초전도 테이프 선재를 회수하는 감김 릴과;
    상기 초전도 테이프 선재를 상기 원통형 드럼의 축방향과 나란한 방향으로 상기 풀림릴에서 상기 감김 릴까지 강제 이송시키기 위한 이송수단;
    을 구비하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이송수단이 무한 궤도의 벨트와 벨트 릴로 이루어지되,
    상기 벨트에는 상기 초전도 테이프 선재를 안착시키는 홈들이 길이 방향에 직각으로 주기적으로 형성되며,
    상기 벨트는 상기 중공의 원통형 드럼의 축방향과 나란하게 상기 중공의 원통형 드럼의 측벽을 고리형으로 둘러싸도록 설치되고,
    상기 벨트 릴은 상기 중공의 원통형 드럼의 외부에서 상기 벨트를 상기 풀림 릴에서 상기 감김 릴 방향으로 이송시키도록 상기 벨트를 회전시키는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 홈이:
    상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈의 바닥에서 떨어져 있도록 상기 초전도 테이프 선재의 양측을 지지하는 지지턱부와;
    상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈과 접촉되도록 상기 홈의 바닥에서 위로 갈수록 상기 홈의 폭이 좁게 만들어주는 역경사 측벽;
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 지지턱부가 상기 홈의 측벽을 향해 기울어진 경사를 가짐으로써 상기 초전도 테이프 선재가 상기 홈의 지지턱부에 선접촉을 하는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 이송수단이 상기 중공의 원통형 드럼의 축에 대해 방사 대칭으로 복수 개 마련되는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 초전도 테이프 선재가 상기 풀림 릴 및 감김 릴의 각각의 안쪽에서 풀리거나, 안쪽으로 감기는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 중공의 원통형 드럼의 표면이 이중으로 되어 있어서 상기 벨트의 표면과 온도를 같게 할 수 있는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 풀림 릴쪽에 설치되어 상기 초전도 테이프 선재의 증착되는 부분과 증착되지 않는 부분을 한칸 단위로 조절하기 위한 나선형 가리개를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 초전도 테이프 선재가 증착 증기에 노출될 때, 상기 나선형 가리개가 스텝으로 왕복 운동하여 상기 초전도 테이프 선재가 한 바퀴씩 동시에 노출되도록 한 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 원통형 드럼, 원통형 드럼 주위에 감긴 초전도 테이프 선재, 초전도 테이프 선재를 공급하고 회수하는 풀림 릴 및 감김 릴, 복수 개의 무한궤도 벨트들 및 이 무한궤도 벨트들을 각각 돌려주는 벨트 릴들이 모두 정합되게 빠르게 회전하며, 회전하는 원통형 드럼을 기준으로 볼 때, 초전도 테이프 선재가 풀림 릴에서 풀려서 감김 릴에 감길 때, 드럼의 주위에 이격되게 감긴 나선 상태가 벨트에 실려서 드럼축 방향으로 이동하게 되도록 하여 상기 초전도 테이프 선재 상에 초전도 물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 초전도 테이프 선재의 연속 제조장 치.
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