DE1078402B - Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern - Google Patents

Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern

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DE1078402B
DE1078402B DEH28746A DEH0028746A DE1078402B DE 1078402 B DE1078402 B DE 1078402B DE H28746 A DEH28746 A DE H28746A DE H0028746 A DEH0028746 A DE H0028746A DE 1078402 B DE1078402 B DE 1078402B
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DE
Germany
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roller
vacuum
rollers
winding
tapes
Prior art date
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Pending
Application number
DEH28746A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Walter Reichelt
Johannes Schwindt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
WC Heraus GmbH and Co KG
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Filing date
Publication date
Application filed by WC Heraus GmbH and Co KG filed Critical WC Heraus GmbH and Co KG
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Publication of DE1078402B publication Critical patent/DE1078402B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Description

DEUTSCHES
Die Metallisierung usw. von Gegenständen, im Vakuum hat sich in der letzten Zeit sehr weit entwickelt. So werden nicht nur einzelne Gegenstände (Spiegel, Linsen, Zierteile usw.) mit Metallen oder auch Verbindungen bedampft, sondern auch Bänder (Kunststoffolien, Gewebe usw.) werden in immer größerem Umfange mit solchen Schichten im Vakuum überzogen.
Die laufende Bedampfung von Bändern im Vakuum erfordert gegenüber den Einzelstücken besondere, zusätzliche Maßnahmen. Insbesondere sind dabei Vorrichtungen nötig, die die Bänder von der Vorratsrolle abrollen, an dem Verdampfer vorbeiführen und wiederum aufrollen.
Dabei haben sich insofern Mangel herausgestellt, die bei den sehr dünnen Folien, wie sie in letzter Zeit immer häufiger benutzt werden, besonders fühlbar sind. Die Umrollvorrichüingen müssen die Folien einerseits führen, aber ihnen auch eine gewisse Spannung verleihen, damit sie sich gut an die Umlenkrollen anschmiegen und so gleichmäßig bedampfen lassen. So hat man schon Anlagen gebaut, in denen die Bänder im Vakuumbehälter über viele zwischengeschaltete, voneinander entfernte Rollen laufen und dabei auch bedampft werden. Sehr dünne Folien neigen dabei aber leicht zur Faltenbildung. Die sich bildenden Falten können größere oder geringere Längen der Folien verderben und eine gute Qualität der Erzeugung verhindern.
Zur Beseitigung dieser Nachteile wird vorgeschlagen, in einer Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Bändern mit im Vakuumbehälter angeordneter Abwickel- und Aufwickelrolle, wobei das Band auf seinem ganzen Wege von der Abwickel- über die Aufdruckrolle zur Aufwickelrolle durch dazwischengeschaltete Rollen geführt ist, die Führungsrollen und die Aufdampfrollen als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem Band auszubilden. Vorteilhafterweise wird das Band auf seinem ganzen Wege innerhalb der Bedampfungsanlage durch Rollen geführt, die als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem Band ausgebildet sind und das Band ohne jede freie Zugstrecke führen. D'ann hat das Band an jeder Stelle eine feste, gekrümmte Auflage; es können sich daher keine Falten mehr ausbilden.
Die Zeichnung zeigt eine Ausführungsmöglichkeit der Erfindung.
Innerhalb des Vakuumkessels 1 befindet sich die Vorratsrolle 2, auf der die Folie in das Vakuum eingebracht wird. Die Folie läuft in Richtung der eingezeichneten Pfeile über die Hilfsrollen 3 und 4 zu der heiz- und kühlbaren Aufdampftrommel 5. Hier wird vom Verdampfer 10 aus die Metallisierung usw. aufgebracht. Von dort läuft die Folie über die Hilfs-
Vorrichtung zum Vakuumbedampfen
von Bändern
Anmelder:
W. C. Heraeus
Gesellschaft mit beschränkter Haftung,
Hanau/M., Heraeusstr. 12/14
Johannes Schwindt, Langendiebach,
und Dr. Walter Reichelt, Hanau/M.,
sind als Erfinder genannt worden
rollen 6 und 7 zur Aufwickelrolle 8, wo die behandelte Folie aufgespult wird.
Die Hilfsrollen 3, 4, 6, 7 sind dabei so angeordnet und so gehaltert, daß sie die Folie durch Berührung auf der ganzen Länge von der Rolle 2 bis zur Rolle 8 führen und darin unabhängig von der Dicke der Auf- und Abwickelrollen sind. Durch diese ständige Berührung der Folie mit den Rollen und die stets vorhandene Krümmung der Folie in ihrer Längsrichtung wird eine Faltenbildung sicher vermieden.
Zum Einbringen, Einfädeln und Herausnehmen des Bandes ist es zweckmäßig, die ganze Wickeleinrichtung zwischen zwei Wänden 9 zu montieren und sie als Ganzes auf den Schienen 11 in der Längsrichtung aus dem Vakuumkessel 1 ^herauszufahren. Ähnlich kann der Verdampfer 10 und alle seine Hilfseinrichtungen zusammen ausfahrbar gestaltet sein.
Da beim Abrollen von der Vorratsrolle 2 zunächst eingeschlossene oder adsorbierte Gase frei werden, die den Bedampfungspro'zeß stören könnten, ist es weiterhin zweckmäßig, den eigentlichen Bedampfungsraum (zwischen der Aufdampftrommel 5 und dem Verdampfer 10) von dem Abwickelraum zu trennen. Der Innenraum des Vakuumkessels wird also durch eine
4-5 Wand 12 in zwei Teile geteilt, wobei oberhalb von 12 sich die Abwickel-, Hilfs- und Aufwickelrollen befinden, während im unteren Teil die eigentliche Bedampfung stattfindet. Auch diese Trennwand 12 kann mittels der Führungsschlitze 13 ausfahrbar ausgestaltet werden. Der obere Raum wird dann durch den Pumpstutzen 14, der untere durch den Pumpstutzen 15 getrennt evakuiert. Der Raum oberhalb der Trennwand 12 ist eine Voivakuumkammer, denn in ihm ist der Druck etwas höher als im unteren Raum teil.
909 767/226
Die vorgeschlagene Erfindung erlaubt ein sicheres und fehlerfreies Bedampfen großer Längen von selbst sehr dünnen Folien.

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Bändern mit im Vakuumbehälter angeordneter Abwickel- und Aufwickelrolle, wobei das Band auf seinem ganzen Wege von der Abwickel- über die Aufdampfrolle zur Aufwickelrolle durch dazwischengeschaltete Rollen geführt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsrollen und die Aufdampfrolle als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem Band angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Band auf seinem ganzen Wege innerhalb der Bedampfungsanlage durch Rollen geführt wird, die als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem Band ausgebildet sind und das Band ohne jede freie Zugstrecke führen.
3. Anlage nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wickelmaschine in den Vakuumkessel ein- und ausfahrbar ist.
4. Anlage nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß außer der Wickelvorrichtung auch die Verdampfungseinrichtung ein- und ausfahrbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Trennwände zwischen Abwickel-, Bedampfungs- und Aufwickeleinrichtung vorgesehen sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß für die Kesselteile getrennte Evakuierungsmittel vorgesehen sind.
In Betracht gezogene Druckschriften:
USA.-Patentschrift Nr. 2 665 227.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 909 767/226 3,60
DEH28746A 1956-12-06 1956-12-06 Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern Pending DE1078402B (de)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1235845B (de) * 1961-05-02 1967-03-09 Hans Laske Einrichtung zum Abdampfen von metallischen, zieherleichternden UEberzuegen von metallischem Stranggut, z. B. Draht
DE1521520B1 (de) * 1962-06-05 1970-09-03 Air Reduction Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung einer duennen Folie,insbesondere aus Metall,durch Vakuumaufdampfen
DE3046564A1 (de) * 1979-12-10 1981-09-17 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa "verfahren und vorrichtung zur vakuum-bedampfung"
WO2003046251A1 (de) * 2001-11-22 2003-06-05 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage zum beschichten von bandförmigen material
WO2005116289A1 (de) * 2004-05-25 2005-12-08 Applied Films Gmbh & Co. Kg Bandbehandlungsanlage
KR100755948B1 (ko) * 2006-02-21 2007-09-06 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 밴드 프로세싱 플랜트

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US2665227A (en) * 1950-06-30 1954-01-05 Nat Res Corp Apparatus and method of coating by vapor deposition

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