DE1078402B - Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern - Google Patents
Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von BaendernInfo
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- DE1078402B DE1078402B DEH28746A DEH0028746A DE1078402B DE 1078402 B DE1078402 B DE 1078402B DE H28746 A DEH28746 A DE H28746A DE H0028746 A DEH0028746 A DE H0028746A DE 1078402 B DE1078402 B DE 1078402B
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Description
DEUTSCHES
Die Metallisierung usw. von Gegenständen, im
Vakuum hat sich in der letzten Zeit sehr weit entwickelt.
So werden nicht nur einzelne Gegenstände (Spiegel, Linsen, Zierteile usw.) mit Metallen oder
auch Verbindungen bedampft, sondern auch Bänder (Kunststoffolien, Gewebe usw.) werden in immer
größerem Umfange mit solchen Schichten im Vakuum überzogen.
Die laufende Bedampfung von Bändern im Vakuum erfordert gegenüber den Einzelstücken besondere, zusätzliche
Maßnahmen. Insbesondere sind dabei Vorrichtungen nötig, die die Bänder von der Vorratsrolle
abrollen, an dem Verdampfer vorbeiführen und wiederum aufrollen.
Dabei haben sich insofern Mangel herausgestellt, die bei den sehr dünnen Folien, wie sie in letzter Zeit
immer häufiger benutzt werden, besonders fühlbar sind. Die Umrollvorrichüingen müssen die Folien
einerseits führen, aber ihnen auch eine gewisse Spannung verleihen, damit sie sich gut an die Umlenkrollen
anschmiegen und so gleichmäßig bedampfen lassen. So hat man schon Anlagen gebaut, in denen
die Bänder im Vakuumbehälter über viele zwischengeschaltete, voneinander entfernte Rollen laufen und
dabei auch bedampft werden. Sehr dünne Folien neigen dabei aber leicht zur Faltenbildung. Die sich
bildenden Falten können größere oder geringere Längen der Folien verderben und eine gute Qualität der
Erzeugung verhindern.
Zur Beseitigung dieser Nachteile wird vorgeschlagen, in einer Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von
Bändern mit im Vakuumbehälter angeordneter Abwickel- und Aufwickelrolle, wobei das Band auf seinem
ganzen Wege von der Abwickel- über die Aufdruckrolle zur Aufwickelrolle durch dazwischengeschaltete
Rollen geführt ist, die Führungsrollen und die Aufdampfrollen als Wälzpaarungen mit dazwischen
durchlaufendem Band auszubilden. Vorteilhafterweise wird das Band auf seinem ganzen Wege
innerhalb der Bedampfungsanlage durch Rollen geführt, die als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem
Band ausgebildet sind und das Band ohne jede freie Zugstrecke führen. D'ann hat das Band an
jeder Stelle eine feste, gekrümmte Auflage; es können sich daher keine Falten mehr ausbilden.
Die Zeichnung zeigt eine Ausführungsmöglichkeit der Erfindung.
Innerhalb des Vakuumkessels 1 befindet sich die Vorratsrolle 2, auf der die Folie in das Vakuum eingebracht
wird. Die Folie läuft in Richtung der eingezeichneten Pfeile über die Hilfsrollen 3 und 4 zu der
heiz- und kühlbaren Aufdampftrommel 5. Hier wird vom Verdampfer 10 aus die Metallisierung usw. aufgebracht.
Von dort läuft die Folie über die Hilfs-
Vorrichtung zum Vakuumbedampfen
von Bändern
von Bändern
Anmelder:
W. C. Heraeus
W. C. Heraeus
Gesellschaft mit beschränkter Haftung,
Hanau/M., Heraeusstr. 12/14
Hanau/M., Heraeusstr. 12/14
Johannes Schwindt, Langendiebach,
und Dr. Walter Reichelt, Hanau/M.,
sind als Erfinder genannt worden
rollen 6 und 7 zur Aufwickelrolle 8, wo die behandelte
Folie aufgespult wird.
Die Hilfsrollen 3, 4, 6, 7 sind dabei so angeordnet
und so gehaltert, daß sie die Folie durch Berührung auf der ganzen Länge von der Rolle 2 bis zur Rolle 8
führen und darin unabhängig von der Dicke der Auf- und Abwickelrollen sind. Durch diese ständige Berührung
der Folie mit den Rollen und die stets vorhandene Krümmung der Folie in ihrer Längsrichtung
wird eine Faltenbildung sicher vermieden.
Zum Einbringen, Einfädeln und Herausnehmen des Bandes ist es zweckmäßig, die ganze Wickeleinrichtung
zwischen zwei Wänden 9 zu montieren und sie als Ganzes auf den Schienen 11 in der Längsrichtung
aus dem Vakuumkessel 1 ^herauszufahren. Ähnlich
kann der Verdampfer 10 und alle seine Hilfseinrichtungen zusammen ausfahrbar gestaltet sein.
Da beim Abrollen von der Vorratsrolle 2 zunächst eingeschlossene oder adsorbierte Gase frei werden, die
den Bedampfungspro'zeß stören könnten, ist es weiterhin
zweckmäßig, den eigentlichen Bedampfungsraum (zwischen der Aufdampftrommel 5 und dem Verdampfer
10) von dem Abwickelraum zu trennen. Der Innenraum des Vakuumkessels wird also durch eine
4-5 Wand 12 in zwei Teile geteilt, wobei oberhalb von 12
sich die Abwickel-, Hilfs- und Aufwickelrollen befinden, während im unteren Teil die eigentliche Bedampfung
stattfindet. Auch diese Trennwand 12 kann mittels der Führungsschlitze 13 ausfahrbar ausgestaltet
werden. Der obere Raum wird dann durch den Pumpstutzen 14, der untere durch den Pumpstutzen
15 getrennt evakuiert. Der Raum oberhalb der Trennwand 12 ist eine Voivakuumkammer, denn in ihm ist
der Druck etwas höher als im unteren Raum teil.
909 767/226
Die vorgeschlagene Erfindung erlaubt ein sicheres und fehlerfreies Bedampfen großer Längen von selbst
sehr dünnen Folien.
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Bändern mit im Vakuumbehälter angeordneter
Abwickel- und Aufwickelrolle, wobei das Band auf seinem ganzen Wege von der Abwickel- über
die Aufdampfrolle zur Aufwickelrolle durch dazwischengeschaltete Rollen geführt ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Führungsrollen und die Aufdampfrolle als Wälzpaarungen mit dazwischen
durchlaufendem Band angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Band auf seinem ganzen
Wege innerhalb der Bedampfungsanlage durch Rollen geführt wird, die als Wälzpaarungen mit
dazwischen durchlaufendem Band ausgebildet sind und das Band ohne jede freie Zugstrecke führen.
3. Anlage nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wickelmaschine in
den Vakuumkessel ein- und ausfahrbar ist.
4. Anlage nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß außer der Wickelvorrichtung
auch die Verdampfungseinrichtung ein- und ausfahrbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Trennwände zwischen Abwickel-,
Bedampfungs- und Aufwickeleinrichtung vorgesehen sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß für die Kesselteile getrennte Evakuierungsmittel vorgesehen sind.
In Betracht gezogene Druckschriften:
USA.-Patentschrift Nr. 2 665 227.
USA.-Patentschrift Nr. 2 665 227.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 909 767/226 3,60
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH28746A DE1078402B (de) | 1956-12-06 | 1956-12-06 | Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH28746A DE1078402B (de) | 1956-12-06 | 1956-12-06 | Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1078402B true DE1078402B (de) | 1960-03-24 |
Family
ID=7150944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEH28746A Pending DE1078402B (de) | 1956-12-06 | 1956-12-06 | Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von Baendern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1078402B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1235845B (de) * | 1961-05-02 | 1967-03-09 | Hans Laske | Einrichtung zum Abdampfen von metallischen, zieherleichternden UEberzuegen von metallischem Stranggut, z. B. Draht |
DE1521520B1 (de) * | 1962-06-05 | 1970-09-03 | Air Reduction | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung einer duennen Folie,insbesondere aus Metall,durch Vakuumaufdampfen |
DE3046564A1 (de) * | 1979-12-10 | 1981-09-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | "verfahren und vorrichtung zur vakuum-bedampfung" |
WO2003046251A1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-06-05 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Vakuumbeschichtungsanlage zum beschichten von bandförmigen material |
WO2005116289A1 (de) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Bandbehandlungsanlage |
KR100755948B1 (ko) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 | 밴드 프로세싱 플랜트 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2665227A (en) * | 1950-06-30 | 1954-01-05 | Nat Res Corp | Apparatus and method of coating by vapor deposition |
-
1956
- 1956-12-06 DE DEH28746A patent/DE1078402B/de active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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