DE3120988A1

DE3120988A1 - Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungsmediums

Info

Publication number: DE3120988A1
Application number: DE3120988A
Authority: DE
Inventors: Toshiaki Izumi; Takayoshi Kobuke; Seitoku Saito; Hiroshi Sugihara; Kazuo Tokyo Takada
Original assignee: Tdk Electronics Co Ltd Tokyo; TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1980-05-26
Filing date: 1981-05-26
Publication date: 1982-02-25
Also published as: JPS56165932A; US4343834A

Description

1A-357O

TDK-142
(850009)

TDK ELECTRONICS CO., LTD. Tokyo, Japan

Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums

Die vorliegende Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums vom Typ mit dünner,, metallischer Schicht mittels eines Schrägbedampfungspro2esses.

In jüngster Zeit hat bei der Entwicklung von magnetischen Aufzeichnungsmedien die Erzielung einer hohen Signaldichte der aufgezeichneten Daten im Vordergrund gestanden. Die Technologie der Magnetaufzeichnung mit hoher Signaldichte wurde durch Verbesserungen beim magnetischen Aufzeichnungsmedium, beim magnetischen Wiedergabesystem, beim Laufsystem, beim Magnetkopf usw. in bemerkenswerter Weise weiterentwickelt. Verschiedene dieser Untersuchungen dauern an. Unter den genannten Verbesserungen sind diejenigen besonders wichtig, die das magnetische Aufzeichnungsmedium, also die Hauptsache des Systems, betreffen. Die bei der Verbesserung angestrebten Charakteristika des magnetischen Aufzeichnungs-

mediums sind im wesentlichen eine Zunahme der Koerzitivkraft, eine Zunahme der Restmagnetflußdichte und eine Abnahme der Dicke des magnetischen Aufzeichnungsmediums.

Die herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsmedien vom Be-Schichtungstyp wurden durch Beschichten eines Substrats mit einer magnetischen Masse hergestellt, die ein Magnetpulver und ein organisches Bindemittel umfaßt. Dadurch, daß man als Magnetpulver ein metallisches Magnetpulver anstelle der Magnetpulver vom Eisenoxid-Typ verwendete, konnte eine bemerkenswerte Entwicklung in Richtung der angestrebten Aufzeichnung mit hoher Signaldichte erzielt werden. Aus theoretischen Gesichtspunkten ist es jedoch schwierig, bei derartigen magnetischen Aufzeichnungsmedien vom Beschichtungstyp eine Restmagnetflußdichte von größer als 3000 bis 4000 G zu schaffen, und zwar wegen des Bindemittels. In Jüngster Zeit wurden daher magnetische Aufzeichnungsmedien vom Typ mit metallischer Schicht entwickelt, die keinerlei organisches Bindemittel enthalten. Diese magnetί sehen Aufzeichnungsmedien vom Typ mit dünner, metal"*' -w Schicht wurden hergestellt durch Ausbildung ein', dünnen, metallischen Schicht auf einem Substrat 3ei diesem Herstellungsverfahren werden metallise:. ' lchen aus einem Met;i J. i oder einer Legierung von Eisengruppenelementen auf dem Sub strat ausgebildet, und zwar durch eine Vakuumbedampfung, durch Sputtern, lonenplattierung, Ionenstrahlverdampfung oder durch elektrochemische Verfahren. Unter den genannten Verfahren ist insbesondere die Vakuumbedampfung als die Technologie zur Herstellung von einheitlichen, langen magnetischen Aufzeichnungsmedien in industriellem Maßstab entwickelt worden. Die Untersuchungen dieses Verfahrens dauern an«

Es wurden folgende Methoden vorgeschlagen, um bei dem Vakuumbedampfungsverfahren die Koerzitivkraft zu erhöhen uxvi das Quadratverhältnis zu verbessern.

BAD ORIGINAL

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(I) Eine Abscheidung durch Schrägbedampfungj (II) eine Abscheidung in einem magnetischen Feld; (III) eine Steuerung durch Auswahl des für die Basis verwendeten Materials; und

(IV) eine Hitzebehandlung zur Erzielung eines angestrebten Kristallwachstums.

Das Abscheidungsverfahren (I) mit Schrägbedampfung ist hinsichtlich der Verbesserungen von magnetischen Charakteristika besonders Überlegen. Dieses Schrägbedampfungsverfahren nutzt ein Phänomen der uniaxialen, magnetischen Anisotropie, die als Folge der Abscheidung von metallischen Teilchen auftritt, welche gebildet werden, wenn ein metallischer Dampf unter einem Neigungswinkel auf eine Oberfläche eines Substrats strömt. Dieses Verfahren ist aus JA-AS 19389/1966 bekannt. Das Schrägbedampfungsphänomen ist außerordentlich komplex, und die Ursache der magnetischen Anisotropie ist bisher nicht bekannt. Es wird angenommen, daß dieses Phänomen durch Selbstabschirmeffekte, ein azikulares Wachstum der Kristalle und einen magnetischen Verzerrungseffekt oder dergl. zustande kommt.

Bei dem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums.mittels einer typischen Schrägbedampfung wird ein Substrat über eine zylindrische Walze zu einer Aufwickelspule geführt. Während des Laufs des Substrats entlang eines Teils der peripheren Oberfläche der zylindrischen Walze wird dem Substrat aus einer Metallverdampfungsquelle ein Metalldampfstrom zugeführt, und zwar mit einem Neigungswinkel bezüglich des Substrats. Sämtliche Komponenten sind in einem Vakuumtank angeordnet.

In Fig. 1 ist dieses Verfahren schematisch dargestellt. In dem Vakuumtank sind eine Substrat-Zuführungsspule, eine Aufwickelspule und eine zylindrische Walze X zur Schaffung

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des Laufsystems für das Substrat 1 angeordnet. Am Boden des Vakuumtanks ist eine Verdampfungsquelle O für magnetisches Metall angeordnet, aus der dem zugewandten Teil der zylindrischen Walze X ein Metalldampfstrom zugeführt wird. Der Metalldampfstrom erreicht den Punkt A unter einem Neigungswinkel Θ1 und den Punkt B unter einem Neigungswinkel Θ2. Zwischen den Punkten A und B ändern sich die Neigungswinkel kontinuierlich in einem Bereich von Θ1 bis 92. Die magnetische Anisotropie der magnetischen Schicht hängt von dem Neigungswinkel θ ab, und folglich muß Θ1 bis Θ2 auf bestimmte Bereiche limitiert werden. Das Gebiet, in dem die Dampfabscheidung erfolgt, ist auf den Bereich zwischen dem Punkt A und dem Punkt B beschränkt. Falls man den Dampfabscheidungsbereich bis zu dem Punkt C vergrößert, erhält man für den Punkt C einen Neigungswinkel Θ3, der sich in bemerkenswerter Weise von Θ1 unterscheidet. Dadurch verschlechtert sich jedoch die magnetische Charakteristik der abgeschiedenen, metallischen, magnetischen Schicht. Das herkömmliche Schrägbedampfungsverfahren ist somit mit dem Nachteil einer geringen Produktivität behaftet.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums durch Schrägbedampfung zu schaffen, das eine verbesserte Produktivität und eine Verbesserung der Qualität gewährlei-. stet.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, bei dem im Vakuum eine schräge Dampfabscheidung auf einem Substrat erfolgt, das entlang peripherer Oberflächen von mehreren zylindrischen Walzen läuft, wobei magnetische Teilchen bei jeder der Walzen unter im wesentlichen dem gleichen Neigungswinkel abgeschieden werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung für ein herkömmliches, typisches Schrägbedampf längsverfahren; und

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung für eine Ausführungsform eines Schrägbedampfungsverfahrens unter Verwendung zweier zylindrischer Walzen gemäß der vorliegenden Erfindung.

Die vorliegende Erfindung beruht auf folgenden Erwägungen. Durch Verwendung mehrerer zylindrischer Walzen für das Laufsystem des Substrats in einem Vakuumtank und entsprechende Einstellung der relativen Anordnungen der Positionen der Walzen bezüglich einer Verdampfungsquelle können Bedingungen geschaffen werden, die gewährleisten, daß die Dampfabscheidung auf dem Substrat beim Lauf über jede der zylindrischen Walzen unter im wesentlichen dem gleichen Neigungswinkel erfolgt.

Bei Verwendung mehrerer zylindrischer Walzen sind diese so placiert, daß sie näherungsweise in senkrechter Richtung bezüglich der gemeinsamen Verdampfungsquelle angeordnet sind und in horizontaler Richtung bezüglich der Verdampfungsquelle geringfügig verschoben sind. Auf diese Weise werden auf einem Teilbereich jeder zylindrischen Walze im wesentlichen gleiche Bedingungen für die Schrägbedampfung geschaffen. Es kann daher die Dicke der magnetischen Schicht, die bei der Dampfabscheidung gebildet wird, erhöht werden, wodurch im Vergleich mit dem herkömmlichen Verfahren unter Ver· Wendung einer einzigen zylindrischen Walze die Produktivität gesteigert wird. Außerdem sind die Bedingungen für die Schrägbedampfung bei jeder der Walzen in der Weise limitiert daß man Neigungswinkel in limitierten Bereichen erhält.

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Das hat, wie anhand der folgenden Beispiele gezeigt wird, eine Verbesserung der magnetischen Charakteristika zur Folge. Falls die Neigungswinkel des DampfStroms bezüglich der Walzen auf einen angestrebten Bereich limitiert sind, kann ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit verbesserten magnetischen Charakteristika erhalten werden, ohne daß die Produktivität abnimmt.

In Fig. 2 ist eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, bei der zwei zylindrische Walzen verwendet werden. In dem Vakuumtank 7 ist die Verdampfungsquelle O für magnetisches Metall am Boden angeordnet. Oberhalb der Verdampfungsquelle ist das Substrat-Laufsystem angeordnet. Bei dem System der Verdampfungsquelle kann es sich um ein beliebiges, herkömmliches System handeln. Bei dieser Ausführungsform ist ein Elektronenstrahl-System schematisch dargestellt. Dabei wird ein Basismaterial 2 für die Verdampfung in ein wassergekühltes Kupfergefäß 3 gefüllt und ein Elektronengenerator 4 wird betätigt, um einen beschleunigten Elektronenstrahl zu erzeugen, welcher das Basismaterial 2 zur Verdampfung des Materials erhitzt.

Das Substrat-Laufsystem umfaßt eine Zuführspule 13, zwei zylindrische Walzen 5, 6, eine Führungsrolle 15 und eine Aufwickelspule 14. Das Substrat 1 wird von der Zuführspule 13 abgewickelt, läuft mit einer gewünschten Geschwindigkeit entlang der peripheren Oberflächen der zylindrischen Walzen 6, 5 und wird auf der Aufwickelspule 14 aufgewickelt. Das Substrat-Laufsystem ist nicht auf die in Fig. 2 gezeigte Struktur limitiert. Die Aufwickelspule und die Abwickelspule können mit entgegengesetzter Funktion verwendet werden. Die relativen Positionen können je nach Wunsch verändert werden. Bezüglich des Laufsystems können herkömmliche Spanneinrichtungen und herkömmliche Führungseinrichtungen, falls erforderlich, ohne Schwierigkeiten verwendet werden.

Ein Vakuumtank 7 wird durch eine Trennwand 12 und die zylindrischen Walzen in zwei Kammern 10, 11 geteilt. Gewöhnlich ist jedes der Evakuierungssysteme 8, 9 mit jeder der abgeteilten Kammern 10, 11 verbunden.

Bei dem zu verdampfenden Basismaterial kann es sich um ein Eisengruppenelement, wie Eisen, Nickel und Kobalt,oder um eine Legierung derselben oder eine Legierung mit einem anderen Element handeln.

Das Substrat kann ein herkömmliches Substrat für ein magnetisches Aufzeichnungsmedium sein, das aus Polyäthylenterephthalat, einem anderen Polyester oder dergl. besteht.

Die Funktion der zylindrischen Walze besteht nicht nur in der Führung und Halterung des Substrats, sondern auch darin, das Substrat zu kühlen. Gewöhnlich wird eine Temperatur der zylindrischen Walzen von etwa 50 bis 10O⁰C aufrechterhalten, und zwar mit einem Dampfmedium oder mit einem flüssigen Medium.

Die Trennwand 12· ist zur Steuerung der Richtung des Dampf-Stroms verschiebbar. Die Trennwand zwischen der unteren zylindrischen Walze 6 und der Verdampfungsquelle 0 kann somit als Trennwand mit veränderlicher Öffnung ausgebildet sein.

Bei der Vorrichtung mit der oben beschriebenen Struktur wird der erzeugte Metalldampfstrom aus der Verdampfungsquelle 0 dem Bereich zwischen den Punkten A und B der unteren zylindrischen Walze 6 mit Neigungswinkeln zwischen Θ1 bis Θ2 zugeführt. Andererseits erfolgt die Zuführung des Metalldampfstroms auf den Bereich der oberen zylindrischen Walze zwischen den Punkten A¹ und B¹ mit Neigungswinkeln zwischen Θ1' und Θ2¹. Die Punkte A, B, A¹ und B¹ werden, ab-

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hängig von dem zu verdampfenden Basismaterial, unter dem Gesichtspunkt ausgewählt, gewünschte Neigungswinkelbereiche der Metalldampfströme zu schaffen, in denen die uniaxiale magnetische Anisotropie gewährleistet ist. Die Neigungswinkel werden vorzugsweise unter Einhaltung der Beziehungen ΘΊ = Θ1' und Θ2 = Θ2' ausgewählt, wenn auch diese Beziehungen nicht strikt beachtet werden müssen. Die Punkte A, B, A¹ und B¹ können in der Weise ausgewählt werden, daß im wesentlichen die gleichen magnetischen Charakteristika geschaffen werden.

Bei einem Durchgang des Substrats erfolgt die Schrägbedampf ung in zwei Bereichen A bis B und A¹ bis B¹. Die Schrägbedampfungscharakteristik in beiden Bereichen ist im wesentlichen gleich.

Wie bereits erwähnt, kann bei dem herkömmlichen Verfahren unter Verwendung der uniaxialen, zylindrischen Walze der Dampfabscheidungsbereich nicht vergrößert werden, da sonst eine bemerkenswerte Abweichung der Neigungswinkel von dem angestrebten Neigungswinkel auftritt. Im Gegensatz dazu kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren unter Aufrechterhaltung des angestrebten Neigungswinkelbereichs das Dampfabscheidungsgebiet um etwa das Doppelte vergrößert werden, indem man zwei zylindrische Walzen in spezieller Weise einsetzt. Selbst bei Limitierung der Dampfabscheidungsgebiete A bis B und A¹ bis B^f auf gewünschte kleinere Bereiche, kann der Gesamtdampfabscheidungsbereich größer sein als der Dampfabscheidungsbereich bei dem herkömmlichen Verfahren. Erfindungsgemäß kann daher ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit verbesserten magnetischen Charakteristika bei höherer Produktivität mit größerer Geschwindigkeit hergestellt werden.

In der Fig. 2 ist eine Vorrichtung dargestellt, bei der zwei zylindrische Walzen verwendet werden. Theoretisch kann eine größere Zahl von Walzen verwendet werden, um unter Aufrechterhaltung der angestrebten Schrägbedampfungsbedingung einen größeren Bereich der Dampfabscheidung zu schaffen. Unter Berücksichtigung praktischer Gesichtspunkte, wie der Kapazität des Vakuumtanks, der Stabilität des Laufsystems, der Menge des verdampften Metalls und der Metalldampf Strömungsrate, werden jedoch in der Praxis gewöhnlich zwei bis vier zylindrische Walzen verwendet.

Die bewegbare Trennwand 12* gemäß Fig. 2 kann durch eine Trennwand ersetzt werden, die, abhängig von der Anzahl der Walzen, Durchgänge mit variierbarer öffnungsweite aufweist, so daß durch Steuerung der Öffnungsgröße eine Steuerung der jeweiligen Neigungswinkel der Metalldampfströmung zur Optimierung der Neigungswinkel möglich ist.

Es dürfte klar geworden sein, daß die Bedingungen des Neigungswinkels bestimmt werden durch die relativen Positionen der zylindrischen Walzen bezüglich der Verdampfungsquelle, die relative Anordnung der zylindrischen Walzen zueinander und die Durchmesser der Walzen. Diese Faktoren für die Konstruktion der Vorrichtung können von einem Fachmann in der Weise ausgewählt werden, daß die angestrebte Bedingung für die Schrägbedampfung erzielt wird.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Beispielen und Vergleichsbeispielen näher erläutert.

Beispiel 1

In einer Vorrichtung gemäß Fig. 2 werden jeweils magnetische Aufzeichnungsmedien unter folgenden Bedingungen hergestellt. Als zu verdampfenden Basismaterial wird eine Kobalt-Nickel-Legierung von CO:Ni von 80:20 (nach Gewicht) verwendet.

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Dieses Material wird in einer Schrägbedampfung auf einem Polyäthylenterephthalat-Substrat abgeschieden, das eine Dicke von 12/um aufweist.

Vakuum in Kammer 10 Vakuum in Kammer 11

1 χ 1Cf² bis 1 χ 1O~³ Torr 1 χ 1O"⁵ bis 1 χ 10"⁶ Torr

Durchmesser der zylindrischen Walze 5, 6

Strecke der horizontalen Verschiebung der zylindrischen Walze

Laufgeschwindigkeit des Substrats

Walζentemperatur Dampfabscheidungsrate Neigungswinkel Θ1, Θ1· Neigungswinkel Θ2, Θ2¹

200 mm

50 mm

40 cm/min
70 bis 80⁰C
2800 ft/min
60°
80°

Unter den genannten Bedingungen wird die bewegbare Trennwand 12' so eingestellt, daß der Metalldampfstrom die Walze 5 nicht erreicht. Die resultierende Probe wird als Probe A bezeichnet.

Die bewegbare Trennwand 12' wird verschoben, so daß der Metalldampfstrom sowohl die Walze 5 als auch die Walze 6 erreicht. Die resultierende Probe wird als Probe B bezeichnet.

Es werden die Charakteristika der Proben Die Ergebnisse sind wie folgt.

A und B bestimmt.

^^ _ A* tf. h- fa ι_ί b _ -^ ...

Probe A B

Dicke der magnetischen Schicht(/um) 0,06 0,10 magnetische Charakteristika
(VSM-III-Typ, Magnetfeldbeaufschlagung 5000 Oe)

Koerzitivkraft 640 900

Restmagnetflußdichte (G) 7000 8500 Quadratverhältnis (Br/Bm) 0,95 0,95

Elektromagnetische Umwandlungscharakteristika (1)

Geräuschpegel (dB) 0,0 -2,0

Empfindlichkeit (333 Hz)(dB) 0,0 +3,0

(1) Die elektromagnetischen Umwandlungscharakteristika wurden unter Verwendung eines im Handel erhältlichen Kassettentonbandgeräts gemessen. Der Geräuschpegel wird bei einer Bandgeschwindigkeit von 4,75 cm/sec in "High"-Stellung gemessen.

Aus der Tabelle geht klar hervor, daß die Dicke der erfindungsgemäß hergestellten magnetischen Schicht etwa das Doppelte der nach dem herkömmlichen Verfahren erhaltenen Schicht beträgt. Bezüglich der magnetischen Charakteristika sind sowohl die Koerzitivkraft als auch die Restmagnetflußdichte bei der Erfindung bemerkenswert verbessert. Bei den elektromagnetischen Übertragungscharakteristika ist der Geräuschpegel bei der Erfindung um 2,0 dB verbessert und die Empfindlichkeit um 3,0 dB. Erfindungsgemäß werden also sowohl die Produktivität als auch die Qualität in bemerkenswerter Weise verbessert.

Beispiel 2

Gemäß dem Verfahren von Beispiel 1 werden jeweils Metalldampf abscheidungen durchgeführt. Dabei wird jedoch Eisen als das zu verdampfende Basismaterial verwendet. Es werden auf die beschriebene Weise Proben A¹ und B¹ hergestellt und die Charakteristika der Proben A¹ und B' werden, wie beschrieben, bestimmt. Die Ergebnisse sind wie folgt.

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Probe

Β·

Dicke der magnetischen Schicht (/um) 0,05 magnetische Charakteristika

Koerzitivkraft (Oe) 530

Restmagnetflußdichte (G) 6000

Quadratverhältnis (Br/Bm) 0,90

elektromagnetische Umwandlungschar akteristika

Geräuschpegel (dB) 0,0

Empfindlichkeit (dB) 0,0

0,08

690

7000 0,90

-1,5 +2,0

Aus der Tabelle geht klar hervor, daß die Dicke, die magnetischen Charakteristika und die elektromagnetischen Umwandlungscharakteristika der Probe B¹, welche unter Verwendung des Zwei-Walzen-Systems gemäß vorliegender Erfindung hergestellt wurde, bemerkenswert besser sind als die der Probe A', die nach dem Ein-Walzen-System gemäß dem herkömmlichen Verfahren erhalten wurde.

Wie vorstehend beschrieben, wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren der Nachteil vermieden, mit dem die Schrägbedampfung gemäß dem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung des magnetischen Aufzeichnungsmediums vom Typ mit dünner, metallischer Schicht behaftet ist. Es wird insbesondere die geringe Produktivität des herkömmlichen Verfahrens verbessert. Darüberhinaus wird außerdem die Qualität des magnetischen Aufzeichnungsmediums hinsichtlich seiner magnetischen Charakteristika und der elektromagnetischen Umwandlungscharakteristika gesteigert. Die Erfindung trägt somit zu einer vorteilhaften, praktischen, industriellen Durchführung der Schrägbedampfung bei.

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Bei einer zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeigneten Vorrichtung können mehrere zylindrische Walzen in Bedampfungsrichtung hintereinander angeordnet sein, wobei die Walzen jeweils quer zur Bedampfungsrichtung derart gegeneinander versetzt sind, daß die nächsthintere Walze jeweils teilweise im Bedampfungsschatten der nächstvorderen Walze liegt. Das heißt, die nächsthintere Walze ist quer zur Bedampf ungsrichtung derart gegen die nächstvordere versetzt, daß der aus einer Blende über einer gemeinsamen Verdampfungsquelle austretende Dampfstrom auf die Walzen aufgeteilt wird und die Bedampfungsbereiche der Walzen durch im wesentlichen gleiche Einfallswinkel zur Walzennormalen begrenzt werden.

Bei der Vorrichtung gemäß Fig. 2 liegt demgemäß die Walze 5 teilweise im Bedampfungsschatten der Walze 6. Ein Teil des aus der Verdampfungsquelle O austretenden Dampfstroms gelangt nach Durchtritt durch eine Blende, die durch die öffnung zwischen den Trennwänden 12 und 12' gebildet wird, auf den Bedampf ungsbere ich A-B der vordersten Walze 6 und trifft auf deren Oberfläche unter einem Einfallswinkelbereich zwischen Θ1 am Punkt A und θ2 am Punkt B auf. Ein weiterer Teil des Dampfstroms strömt an der Walze 6 vorbei zur nächsthinteren Walze 5, die gegenüber der Walze 6 quer zur Bedampfungsrichtung soweit versetzt ist, daß ein Bedampfungsbereich A¹-B¹ durch den Dampf beaufschlagt wird. Der Einfallswinkel bewegt sich in einem Bereich von Θ1' am Punkt A¹ bis Θ2¹ am Punkt B¹, Die Grenzeinfallswinkel sind bei den Bedampfungsbereichen beider Walzen vorzugsweise im wesentlichen gleich.

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Claims

Patentansprüche

Verfahren ziar Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsraediums durch Abscheidung von magnetischen Teilchen aus einem Dampf derselben durch Schrägbedarapfung eines Substrats, das entlang einer peripheren Oberfläche einer zylindrischen Walze im Vakuum läuft, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Walzen verwendet werden und die magnetischen Teilchen bei jeder der Walzen mit im wesentlichen dem gleichen Neigungswinkel abgeschieden werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichne t, daß zwei zylindrische Walzen verwendet werden und die magnetischen Teilchen mit im wesentlichen dem gleichen Nei gungswinkel im Bereich von etwa 60 bis 85°, bezogen auf die Normalenrichtung des Substrats, abgeschieden werden.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch mehren? in Bedampfungsrichtvmg hintereinander angeordnete, ?■ -idrische Walzen (5, 6), die quer zur Bedampfungs^"-ntung derart gegeneinander versetzt sind, daß -3r aus einer Blende über einer gemeinsamen Verdampfi eile (O) austretende Dampfstrom auf die Walzen aufgeteilt wird und die Bedampfungsbereiche der Walzen (5, 6) durch im wesentlichen gleiche Einfallswinkel zur Walzennormalen begrenzt werden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die nächsthintere Walze (5) jeweils teilweise irn Bedampfungsschatten der nächstvorderen Walze (6) liegt.

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