DE2603542B2 - Feuchteabhängiger keramischer Widerstand - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen feuchteabhängigen keramischen Widerstand auf Metalloxidbasis, enthaltend eine Keramikplatte mit auf mindestens einer Oberfläche aufgebrachten, kammartig ineinandergreifenden Elektroden. Ein derartiger Widerstand ist aus der US 32 55 324 bekannt.

Seit einiger Zeit besteht in der Elektronikindustrie Bedarf an feuchtigkeitsempfindlichen Halbleitern, die geeignet sind für die Herstellung von feuchtigkeitssteuernden Einrichtungen über einen breiten Bereich der relativen Feuchtigkeit, d.h., von 0 bis 100%. Bei der Herstellung derartiger Vorrichtungen ist wichtig, dass das feuchtigkeitsempfindliche Material eine hohe Feuchtigkeitsaktivität, einen geringen elektrischen Widerstand und geringe zeitliche Änderungen der Eigenschaften aufweist.

Aus dem Stand der Technik sind feuchtigkeitsempfindliche halbleitende Materialien bekannt - wie beispielsweise Magnetit, Germanium, Selen und Kaliummetaphosphat. Herkömmliche Substanzen wie Ma- gnetit, Germanium oder Selen weisen jedoch nur eine sehr geringe Ansprechempfindlichkeit auf Feuchtigkeit auf. Eine Magnetit-Dünnschicht braucht etwa zwei Minuten, um eine Änderung der relativen Feuchtigkeit von 60 auf 98% wiederzugeben. Während andererseits eine Kaliummetaphosphat-Dünnschicht einen Sprung der relativen Feuchtigkeit von 80 auf 33% zwar bereits nach zwei Sekunden nachvollzogen hat, haben jedoch ihre Eigenschaften eine unzureichend zeitliche Stabilität. Weiterhin werfen die herkömmlichen feuchtigkeitsabhängigen Widerstände andere Schwierigkeiten auf - beispielsweise den engen Bereich der relativen Feuchtigkeit, auf den die Widerstände ansprechen, mangelnde Gleichmäßigkeit der Eigenschaften, hohe Erstellungskosten usw.

Gegenüber den oben erwähnten halbleitenden Materialien sind feuchtigkeitsabhängige Widerstände aus Metalloxidkeramik, wie z.B. Aluminiumoxid, Chromoxid oder Nickeloxid, bekannt, die schnell auf Feuchtigkeitsänderungen ansprechen und sich vorteilhafterweise leicht in die gewünschte Gestalt und in Massenproduktion herstellen lassen. Diese herkömmlichen Keramikmaterialien haben jedoch üblicherweise einen hohen elektrischen Widerstand von mehr als 10[hoch]13 Ohm bei 0% relativer Feuchtigkeit und sind daher für Widerstände, die auf niedrige Feuchtigkeitsgrade ansprechen sollen, nicht geeignet. Beispielsweise deckt ein feuchtigkeitsempfindlicher Widerstand aus Aluminium- oder Chromoxid nur einen schmalen Feuchtigkeitsbereich von 80 bis 100% ab, innerhalb dessen der elektrische Widerstand von 1000 MOhm auf 1 MOhm sinkt. Zusätzlich ist diesen Keramiken unerwünschterweise eine Hysterese der Feuchtigkeitswiderstandskennlinie eigen.

Obgleich viel Mühe darauf verwandt wurde, die verschiedenen Eigenschaften gleichzeitig zu verbessern, ließen sich zufriedenstellende und zuverlässige Ergebnisse mit den herkömmlichen feuchtigkeitsempfindlichen Widerständen nicht erreichen.

In der DT 24 34 129 wird ein feuchteabhängiger Widerstand eines oxidischen Halbleiters beschrieben, der 89,9 bis 20,0 Mol-% ZnO, 0,1 bis 20 Mol-% Cr[tief]2O[tief]3 und 10,0 bis 60,0 Mol-% mindestens eines weiteren Metalloxids enthält.

Aus der US 37 48 625 ist ein feuchteabhängiger Widerstand auf der Basis eines Cr[tief]2O[tief]3-V[tief]2O[tief]5-Gemisches bekannt. Das Gewichtsverhältnis beider Bestandteile beträgt etwa 1 : 1.

Ferner sind aus den US 37 15 702 und 37 21 631 feuchteabhängige Widerstände mit kammartigen Elektrodenanordnungen bekannt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen neuartigen feuchteabhängigen keramischen Widerstand der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen. Dieser Widerstand soll in einem weiten Bereich relativer Feuchtigkeit mit hoher Ansprechgeschwindigkeit, hoher Empfindlichkeit und langer Lebensdauer arbeiten. Ein derartiger feuchtigkeitsempfindlicher Widerstand soll für den Einsatz in Klimaanlagen, Taupunktschutzvorrichtungen, Kochsteuerungen und ähnlichen Anwendungen geeignet sein.

Die Lösung der Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist gekennzeichnet durch die Merkmale des Patentanspruchs 1, eine weitere Lösung durch die des Patentanspruchs 8. Vorteilhafte Weiterbildungen zeigen die Unteransprüche. In der folgenden detaillierten Beschreibung wird die Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert, in denen Fig. 1 und 2 Draufsichten einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und Fig. 3 ein Diagramm sind, das den elektrischen Widerstand des feuchtigkeitsempfindlichen Widerstands nach Fig. 1 und 2 bei unterschiedlichen relativen Feuchtigkeitsgraden zeigen.

Der Aufbau eines feuchtigkeitsempfindlichen keramischen Widerstandes nach der vorliegenden Erfindung wird unter Bezug auf die Fig. 1 erläutert, in der eine Keramikplatte 1 mit auf einer Oberfläche kammartig ineinandergreifenden Elektroden 2 dargestellt ist. Die Keramikplatte enthält die im Patentanspruch 1 genannten Oxidkomponenten.

Diese werden in den gewünschten Anteilen miteinander innig vermischt und entsprechend dem im folgenden anzugebenden Zeit-Temperatur-Plan zu einem Keramikkörper gebrannt. Die Keramikwiderstände mit der Zusammensetzung innerhalb der Bereiche der vorliegenden Erfindung zeigen einen niedrigen elektrischen Widerstand und eine hohe Feuchtigkeitsempfindlichkeit. Andererseits hat es sich durch Versuche herausgestellt, dass ein Keramikwiderstand mit mehr als 99,95 Mol-% Chromoxid im Hauptbestandteil eine Feuchtigkeitsempfindlichkeit aufweist, die so niedrig ist wie die eines nur Chromoxid enthaltenden Widerstands. Weiterhin hat sich erwiesen, dass eine Senkung des Chromoxidanteils auf unter 80 Mol-% eine geringere Feuchtigkeitsempfindlichkeit ergibt. Weiterhin ergibt ein geringerer Anteil als 0,05 Gew.-% des Zusatzes aus dem mindestens einen Metalloxid aus der aus Beryllium, Magnesium, Calcium, Strontium, Barium, Eisen, Nickel, Kupfer, Zink, Cadmium und Blei bestehenden Gruppe einen hohen elektrischen Widerstand. Ein höherer Anteil dieses Zusatzes von mehr als 2 Gew.-% ergibt wiederum eine niedrige Feuchtigkeitsempfindlichkeit. Unter den verschiedenen Zusätzen sind Magnesiumoxid, Eisenoxid, Nickeloxid und Zinkoxid bevorzugt, da deren Einsatz einen niedrigeren elektrischen Widerstand und eine höhere Feuchtigkeitsempfindlichkeit ergibt.

Es hat sich nach der vorliegenden Erfindung herausgestellt, dass die Elektroden 2 aus einem halbleitenden Material mit niedrigerem elektrischen Widerstand als dem der Keramikplatte 1 einen feuchtigkeitsabhängigen Widerstand ergibt, der durch hohe Stabilität während des Dauerlasttests bei hoher Temperatur gekennzeichnet ist. Die Elektroden 2 lassen sich aus geeignetem Metalloxid wie Rutheniumoxid, Nickeloxid, Zinnoxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Zinkoxid, Bariumoxid, Bariumtitanat oder Bariummetaplumbat bspw. mittels einer Schablone aufstreichen oder aufsprühen. Von diesen Metalloxiden ergeben Ruthenium-, Zinn- oder Indiumoxid die besten Elektroden.

Die Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung, bei der eine halbleitende keramische Dünnschicht 3 auf ein isolierendes Keramiksubstrat 4 und auf die Oberfläche der Schicht 3 kammartig ineinandergreifende Elektroden 5 aufgebracht sind. Diese keramische Dünnschicht 3 besteht aus 97 bis 20 Gew.-% feuchtigkeitsempfindlicher Widerstandskomponente und 3 bis 80 Gew.-% eines Glasfritte-Binders. Die feuchtigkeitsempfindliche Widerstandskomponente enthält als Feststoffanteil 99,50 bis 80 Gew.-% einer Hauptkomponente aus 99,99 bis 80 Mol-% Chromoxid und 0,01 bis 20 Mol-% mindestens eines Metalloxids aus Titan, Zirkon, Hafnium, Zinn, Niob, Tantal, Wolfram, Mangan, Molybdän, Cer, Dysprosium, Vana- dium, Silizium und Germanium bestehenden Gruppe sowie 0,05 bis 20 Gew.-% eines Zusatzes in Form mindestens einen Metalloxids aus der aus Beryllium, Magnesium, Calcium, Strontium, Barium, Eisen, Nickel, Kupfer, Zink, Cadmium und Blei bestehenden Gruppe.

Es hat sich nach der vorliegenden Erfindung herausgestellt, dass der resultierende feuchtigkeitsempfindliche Widerstand mit der genannten Keramikschichtkomponente eine hohe Feuchtigkeitsaktivität, einen niedrigen elektrischen Widerstand und eine erhöhte Ansprechempfindlichkeit auf Feuchtigkeit aufweist. Diese Eigenschaften werden den Eigenschaften der feuchtigkeitsempfindlichen Widerstandskomponente und der schlechten Reaktionsfähigkeit des feuchtigkeitsempfindlichen Widerstandes mit dem Glasfritte-Binder zugeschrieben.

Die bevorzugte Glasfritte wird aus der aus Bleisilikat, Borsilikat, Borsilikat und Bleiborsilikat mit mindestens einem aus der aus Erdalkalimetallen, Zink und Cadmium bestehenden Gruppe gewählten Metalloxid gewählt. Es hat sich herausgestellt, dass ein Keramikwiderstand mit weniger als 3 Gew.-% des Glasfritte-Binders eine schlechte Haftung auf dem isolierenden Keramiksubstrat, eine Erhöhung des Glasfritte-Binderanteils auf mehr als 80 Gew.-% einen höheren elektrischen Widerstand und eine niedrigere Feuchtigkeitsempfindlichkeit ergeben.

Die keramische Dünnschicht nach der vorliegenden Erfindung lässt sich nach bekannten Herstellungsverfahren vorsehen. Die Bestandteile der feuchtigkeitsempfindlichen Widerstandskomponente werden in Pulverform zunächst innig miteinander vermischt und dann an Luft gebrannt. Dann mischt man das Pulver der feuchtigkeitsempfindlichen Widerstandskomponente einschl. des Glasfritte-Binders mit einem organischen Bindemittel zu einer Paste, die man auf ein isolierendes keramisches Substrat 4 aufdruckt, -streicht oder -sprüht und dann bei 800 bis 1300°C trocknet und sintert. Während des Trocknens und Sinterns verdampft das organische Bindemittel.

Die Elektrode 5 läßt sich ebenfalls auf herkömmliche Weise - bspw. Aufbrennen - herstellen. Die Elektrode wird bevorzugt, aus Rutheniumoxid, Nickeloxid, Zinnoxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Zinkoxid, Bariumoxid, Bariumtitanat und Bariummetaplumbat gewählt, bei denen es sich um halbleitende Materialien mit niedrigerem elektrischem Widerstand als dem der keramischen Dünnschicht 3 handelt.

Die folgenden Beispiele bevorzugter Ausführungsform dienen zur Erläuterung.

Beispiel 1

Halbleitende Keramiken für feuchtigkeitsempfindliche Widerstände wurden auf an sich herkömmliche Weise mit der in Tabelle 1 angegebenen Zusammensetzung hergestellt. Bei den eingesetzten Rohmaterialien handelt es sich um Chromoxid (Cr[tief]2O[tief]3), Titanoxid (TiO[tief]2), Zirkonoxid (ZrO[tief]2), Hafniumoxid (HfO[tief]2), Zinnoxid (SnO[tief]2), Niobiumoxid (Nb[tief]2O[tief]5), Tantaloxid (Ta[tief]2O[tief]5), Wolframoxid (WO[tief]3), Manganoxid (MnO[tief]2), Molybdänoxid (MoO[tief]2), Ceroxid (CeO[tief]2), Dysprosiumoxid (DyO[tief]2), Vanadiumoxid (VO[tief]2), Siliziumoxid (SiO[tief]2), Germaniumoxid (GeO[tief]2), Berylliumoxid (BeO), Magnesiumoxid (MgO), Calciumoxid (CaO), Eisenoxid (FeO), Nickeloxid (Ni0), Kupferoxid (CuO), Zinkoxid (ZnO) und Cadmiumoxid (CdO) mit handelsüblichem Reinheitsgrad sowie Strontiumcarbonat (SrCO[tief]3) und Bariumcarbonat (BaCO[tief]3) mit Reagenz-Reinheitsgrad. Es ist zu bemerken, dass jede Verbindung die sich beim Brennen in das entsprechende Oxid umwandelt, als Rohmaterial eingesetzt werden kann.

Chargen der Rohmaterialien wurden mit Wasser in einer Kugelmühle innig vermischt und dann getrocknet, das Pulver dann mit einer Emulsion von Polyvinylalkohol zu Anteilen von 100 g des Pulvers auf 12 cm[hoch]3 einer 6%igen wässrigen Emulsion von Polyvinylalkohol vermischt und die Pulvermischung mit 735 bar (750 kg/cm[hoch]2) zu rechteckigen Plättchen von 24 mm x 13 mm Kantenlänge und 1 mm Dicke verpreßt und diese 2 Std. an Luft bei 1350°C auf Aluminiumoxidplättchen gesintert. Diese gesinterten Platten wurden dann auf einer Oberfäche mit den Kammelektroden versehen, wobei Rutheniumoxidpaste bei 800°C auf die Plättchenoberfläche auf an sich herkömmliche Weise zur Ausbildung der Elektroden aufgebrannt wurde. Als Bezugsgegenstand wurde eine Silberelektrode mit Silberleitlack aufgestrichen.

Sodann wurden die Feuchtigkeitseigenschaften nach an sich herkömmlicher Weise an dem resultierenden feuchtigkeitsabhängigen Widerstand gemessen. Der elektrische Widerstand wurde bei einer anliegenden Wechselspannung von 10V bestimmt, die Feuchtigkeitsempfindlichkeit durch Messung des elektrischen Widerstandes über einen Bereich von 0 bis 100% rel. Feuchtigkeit bei 20°C und Berechnen der Aktivität (kleines Alpha) aus dem elektrischen Widerstand bei relativer Feuchtigkeit von 0% (R[tief]0%) und dem elektrischen Widerstand bei relativer Feuchtigkeit von 95% (R[tief]95%).

Der Dauerlasttest fand in einem Thermostaten bei 80°C und mehr als 95% relative Feuchtigkeit durch Anlegen eines Stromes von 10 mA für 5000 Std. statt; die Änderung des Wertes von R[tief]0% und R[tief]95% wurde durch den elektrischen Widerstand ausgedrückt.

Die gemessenen Feuchtigkeitseigenschaften der resultierenden feuchtigkeitsempfindlichen keramischen Widerstände sind in der Tabelle 1 zusammengefaßt. Wie sich aus der Tabelle 1 ergibt, ergibt die gleichzeitige Zugabe sowohl des Metalloxids (erster Zusatz) zur Hauptkomponente und des weiteren Metalloxids als Zusatz (zweiter Zusatz) eine höhere Feuchtigkeitsaktivität, einen niedrigeren elektrischen Widerstand und eine höhere zeitliche sowie Temperatur-, Feuchtigkeits- und elektrische Laststabilität als bei nur der ersten Zugabe beim Hauptbestandteil ohne den zweiten Zusatz oder bei nur dem zweiten Zusatz zur Hauptkomponente ohne den ersten Zusatz. Zusätzlich zeigt die Tabelle 1, dass beim Vorhandensein von Chromoxid allein sich eine schlechte Feuchtigkeitsaktivität ergibt.

Die Feuchtigkeitsabhängigkeit des elektrischen Widerstandswertes des resultierenden Widerstands ist in Fig. 3 durch die durchgezogenen Kurven gezeigt. Wie die Fig. 3 zeigt, ist bei dem feuchtigkeitsempfindlichen keramischen Widerstand nach der vorliegenden Erfindung der Logarithmus des elektrischen Widerstandes fast linear von der relativen Feuchtigkeit abhängig.

Beispiel 2

Sodann wurde der feuchtigkeitsempfindliche keramische Dünnschichtwiderstand nach der vorliegenden Erfindung aus einer Mischung feiner Teilchen einer der des Beispiels 1 entsprechenden feuchtigkeitsempfindlichen Komponente und einer Glasfritte hergestellt. Die eingesetzten Ausgangsmaterialien waren Cr[tief]2O[tief]3, TiO[tief]2

ZrO[tief]2, HfO[tief]2, Ta[tief]2O[tief]5, DyO[tief]2, SiO[tief]2, MgO, CaO, FeO, NiO, ZnO und PbO. Die Herstellung der feuchtigkeitsempfindlichen Komponente erfolgte nach bekanntem Verfahren, d.h. Chargen der Ausgangsmaterialien wurden mit Wasser in einer Kugelmühle innig vermischt, getrocknet und die Pulvermischung dann in einem Aluminiumoxidtiegel an Luft 2 Std. bei 1350°C gebrannt.

Bei der für den feuchtigkeitsempfindlichen keramischen Dünnschichtwiderstand nach der vorliegenden Erfindung eingesetzten Glasfritte handelt es sich um eine bekannte Bleisilikatzusammensetzung aus 30 Mol-% PbO und 70 Mol-% SiO[tief]2. Diese Glasfritte wurde nach bekannten Verfahren hergestellt, d.h., die Bestandteile an Luft eine Std. lang bei 1350°C geschmolzen und die Schmelze dann in Wasser gegossen, um die Fritte auszubilden. Die Grobfritte wurde in einer Kugelmühle zu kleineren und im wesentlichen gleichmäßig großen Teilchen zermahlen.

Zur Herstellung des feuchtigkeitsempfindlichen keramischen Dünnschichtwiderstandes nach der vorliegenden Erfindung wurde die feuchtigkeitsempfindliche Komponente und Glasfritte, die wie oben beschrieben hergestellt worden waren, in einer Kugelmühle mit Wasser auf im wesentlichen gleichmäßige Teilchengröße zerrieben, wobei die mittlere Teilchengröße unter 2 µm lag. Die Pulver wurden durch Rollen in einem organischen Bindemittel wie bspw. einer Mischung aus Butylcarbitolacetat und Polyesterharz gründlich vermischt. Durch Wegnehmen bzw. Hinzugeben von flüssigem Bindemittel wurden die Mischungen dann auf die zum Auftragen des Widerstandsmaterials auf ein Substrat geeignete Viskosität eingestellt. Die resultierende Paste aus feuchtigkeitsempfindlichem Widerstandsmaterial wurde in gleichmäßiger Dicke von 40 bis 60 µm nach dem Siebdruckverfahren auf die Oberfläche eines Aluminiumoxidsubstrats zu einer Größe von 12 x 20 mm aufgetragen. Die Substrate mit dem Widerstandsmaterial wurden dann in einem herkömmlichen Ofen an Luft bei 1200°C zwei Stunden lang gebrannt und dann durch Abschalten des Ofens gekühlt. Sodann wurde die Rutheniumoxidpaste bei 800°C auf die gesinterte dünne Oberflächenschicht auf herkömmliche Weise aufgebrannt, um die Kammelektroden auszubilden.

Die Feuchtigkeitseigenschaften wurden auf die gleiche Weise bestimmt, wie oben für Beispiel 1 erläutert. Zusätzlich wurde hier die Ansprechschnelligkeit auf Feuchtigkeit durch Ändern der relativen Feuchtigkeit von 95 auf 50% gemessen. Die Tabelle 2 zeigt die gemessenen Feuchtigkeitseigenschaften der resultierenden feuchtigkeitsempfindlichen Dünnschichtwiderstände. Wie aus der Tabelle 2 ersichtlich, zeigt der keramische Dünnschichtwiderstand nach der vorliegenden Erfindung ausgezeichnete Eigenschaften hinsichtlich einer hohen Feuchtigkeitsaktivität, eines niedrigen elektrischen Widerstandes, einer hohen Ansprechschnelligkeit auf Feuchtigkeit sowie guter zeitlicher, Temperatur-, Feuchtigkeits- und elektrischer Laststabilität.

Die Feuchtigkeitsabhängigkeit des elektrischen Widerstands der resultierenden Widerstände ist in der Fig. 3 gestrichelt gezeigt. Wie zu ersehen, lassen die keramischen Dünnschichtwiderstände sich in zwei Arten unterteilen, nämlich einerseits solche mit linearer Abhängigkeit innerhalb eines Bereiches der relativen Feuchtigkeit von 0 bis 100% und andererseits solche, bei denen diese Abhängigkeit nichtlinear ist und einen plötzlichen Abfall des elektrischen Widerstandes von einem verhältnismäßig konstanten Wert auf einen extrem niedrigen Wert im Bereich hoher relativer Feuchtigkeit von mehreren Dutzend Prozent erfährt.

Tabelle 1

Fortsetzung

Fortsetzung

Tabelle 2

Fortsetzung

Claims (15)

1. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand auf Metalloxidbasis, enthaltend eine Keramikplatte mit auf mindestens einer Oberfläche aufgebrachten, kammartig ineinandergreifenden Elektroden, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Widerstand ein aus der keramischen Platte (1) bestehender Massewiderstand ist und die keramische Platte (1) als Festbestandteile mehr als 98 bis 99,95 Gew.-% einer Hauptkomponente aus 99,99 bis 80 Mol-% Chromoxid (Cr[tief]2O[tief]3) aufweist und 0,01 bis 20 Mol-% mindestens eines Metalloxids aus der aus Titanoxid, Zirkonoxid, Hafniumoxid, Zinnoxid, Nioboxid, Tantaloxid, Wolframoxid, Manganoxid, Molybdänoxid, Ceroxid, Dysprosiumoxid, Vanadiumoxid, Siliziumoxid und Germaniumoxid bestehenden Gruppe, sowie 0,05 bis weniger als 2 Gew.-% eines Zusatzes in Form mindestens eines Metalloxids aus der aus Berylliumoxid, Magnesiumoxid, Calciumoxid, Strontiumoxid, Bariumoxid, Eisenoxid, Nickeloxid, Kupferoxid, Zinkoxid, Cadmiumoxid und Bleioxid bestehenden Gruppe (Fig. 1).

2. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozente Magnesiumoxid enthält.

3. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Eisenoxid enthält.

4. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Nickeloxid enthält.

5. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Zinkoxid enthält.

6. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (2) aus mindestens einem Metalloxidhalbleiter aus der aus Rutheniumoxid, Nickeloxid, Zinnoxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Zinkoxid und Bariummetaplumbat bestehenden Gruppe bestehen.

7. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (2) aus Rutheniumoxid bestehen.

8. Feuchteabhängiger keramischer Widerstand auf Metalloxidbasis, enthaltend eine Keramikplatte mit auf mindestens einer Oberfläche aufgebrachten, kammartig ineinandergreifenden Elektroden, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Widerstand ein Dünnschichtwiderstand ist, bestehend aus der isolierenden Keramikplatte (4) als Substrat mit den auf der Oberfläche der halbleitenden keramischen Dünnschicht (3) befestigten Elektroden (2), wobei die keramische Dünnschicht (3) aus 97 bis 20 Gew.-% feuchtigkeitsempfindlicher Widerstandskomponente und 3 bis 80 Gew.-% eines Glasfritte-Bindemittels besteht und die feuchtigkeitsempfindliche Widerstandskomponente als Festbestandteile 99,50 bis 80 Gew.-% einer Hauptkomponente aus 99,99 bis 80 Mol-% Chromoxid (Cr[tief]2O[tief]3) aufweist und 0,01 bis 20 Mol-% mindestens eines Metalloxids aus der aus Titanoxid, Zirkonoxid, Hafniumoxid, Zinnoxid, Niobiumoxid, Tantaloxid, Wolframoxid, Manganoxid, Molybdänoxid, Ceroxid, Dysprosiumoxid, Vanadiumoxid, Siliziumoxid und Germaniumoxid bestehenden Gruppe, sowie 0,05 bis 20 Gew.-% eines Zusatzes aus mindestens einem Metalloxid aus der aus Berylliumoxid, Magnesiumoxid, Calciumoxid, Strontiumoxid, Bariumoxid, Eisenoxid, Nickeloxid, Kupferoxid, Zinkoxid, Cadmiumoxid und Bleioxid bestehenden Gruppe (Fig. 2).

9. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Glasfritte-Binder mindestens eine Metallverbindung aus der aus Bleisilikat, Borsilikat, Bleiborsilikat und Bleiborsilikat mit mindestens einem aus der die Erdalkalimetalloxide, Zinkoxid und Cadmiumoxid umfassenden Gruppe gewählten Metalloxid enthält.

10. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz im wesentlichen aus Magnesiumoxid besteht.

11. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Eisenoxid enthält.

12. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Nickeloxid enthält.

13. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusatz mindestens 0,05 Gewichtsprozent Zinkoxid enthält.

14. Feuchteabhängiger keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (5) mindestens einen Metalloxidhalbleiter aus der aus Rutheniumoxid, Nickeloxid, Zinnoxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Zinkoxid und Bariummetaplumbat umfassenden Gruppe aufweisen.

15. Feuchtigkeitsempfindlicher keramischer Dünnschichtwiderstand nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (5) Rutheniumoxid aufweisen.