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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Substraterfassungsvorrichtung
zum Erkennen, dass ein von einer Substratfördervorrichtung
befördertes Substrat eine vorgegebene Position erreicht, sowie
die Substratfördervorrichtung, die diese Substraterfassungsvorrichtung
enthält.
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Stand der Technik
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Bei
einer Substratfördervorrichtung, die beim Positionieren
und Fördern eines Substrats in einer Teilebestückungsvorrichtung,
einer Siebdruckvorrichtung usw. benutzt wird, werden sowohl das
rechte als auch das linke Ende des Substrats auf obere Flächen
eines Paars rechter und linker Förderbänder gelegt,
und das Substrat wird befördert. Bei einer solchen Substratfördervorrichtung
ist eine Substraterfassungsvorrichtung zum Erkennen, dass das Substrat
eine vorgegebene Position erreicht, angeordnet, und wenn diese Substraterfassungsvorrichtung
erkennt, dass das Substrat die vorgegebene Position erreicht, erfolgt
ein Ansteuern zum Anhalten oder Verringern der Beförderungsgeschwindigkeit
des Substrats. Die Substraterfassungsvorrichtung enthält einen
Projektor zum Projizieren eines Inspektionslichts und einen Lichtempfänger
zum Empfangen des von diesem Projektor projizierten Inspektionslichts und
erkennt, dass das Substrat die vorgegebene Position erreicht, auf
Basis einer Verringerung der Menge empfangenen Lichts des durch
den Lichtempfänger empfangenen Inspektionslichts, wenn
das Inspektionslicht durch das durch die Substratfördervorrichtung
beförderte Substrat blockiert wird.
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Auch
war eine Vorrichtung bekannt, die so konstruiert ist, dass ein Substrat
durch Reflektieren eines Inspektionslichts durch eine Innenwand
eines Loches erfasst werden kann, selbst wenn das Inspektionslicht
in einer schrägen Richtung statt in einer vertikalen Richtung
projiziert wird und das Inspektionslicht in das Loch eintritt, da
das Substrat in einer Situation nicht erfasst werden kann, in der
das Inspektionslicht einfach durch ein Loch hindurchtritt (zum Beispiel
ein Loch zum Erkennen einer Position des Substrats oder ein Schraubenloch
zum Befestigen des Substrats), das in dem Substrat an einer Position
angeordnet ist, in der das Substrat erfasst werden möchte
(Bezugspatent 1).
- Bezugspatent 1: JP-A-6-211334
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Offenbarung der Erfindung
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Probleme, welche die Erfindung lösen
soll
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Jedoch
war es bei der Vorrichtung zum Projizieren des Inspektionslichts
in der vertikalen Richtung des Substrats, wie oben beschrieben (auch
einschließlich der Vorrichtung zum Projizieren des Inspektionslichts
in der schrägen Richtung, wie im Bezugspatent 1 beschrieben),
erforderlich, das Inspektionslicht zwischen den rechten und linken
Förderbändern hindurchzuleiten, und es gab einen
Nachteil, dass wenig Flexibilität bei der Anordnung des
Projektors und des Lichtempfängers bestand.
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Daher
ist es eine Aufgabe der Erfindung, eine Substratfördervorrichtung
und eine Substraterfassungsvorrichtung zu schaffen, die in der Lage sind,
die Flexibilität bei der Anordnung zu verbessern.
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Mittel zum Lösen der Probleme
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Eine
Substraterfassungsvorrichtung gemäß einem ersten
Aspekt der Erfindung enthält einen Projektor zum Projizieren
eines Inspektionslichts, sodass es durch eine vorgegebene Position
auf einem Weg eines durch ein Förderband beförderten
Substrats hindurchgeht, einen Lichtempfänger zum Empfangen
des durch den Projektor projizierten Inspektionslichts und einen
Detektor zum Erkennen, dass das Substrat die vorgegebene Position
erreicht, auf Grundlage einer Verringerung der Menge empfangenen
Lichts des Inspektionslichts, die durch den Lichtempfänger
empfangen wird, wenn das durch das Förderband beförderte
Substrat die vorgegebene Position erreicht und ein Teil des Inspektionslichts
durch das Substrat blockiert wird, und das Inspektionslicht wird
von dem Projektor so projiziert, dass es gegenüberliegende
Enden einer Breitenrichtung des Förderbands in einen optischen
Pfad des Inspektionslichts in einer Richtung rechtwinklig zu einer
Beförderungsrichtung des durch das Förderband
beförderten Substrats einschließt und der Lichtempfänger
das durch die oberen und unteren Bereiche des Förderbands
hindurchgehende Inspektionslicht empfängt.
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Eine
Substratfördervorrichtung gemäß einem
zweiten Aspekt der Erfindung ist die Substratfördervorrichtung
zum Befördern eines Substrats durch ein Förderband
und enthält die beiden Substraterfassungsvorrichtungen
des ersten, oben beschriebenen Aspekts, und ein Projektor und ein
Lichtempfänger, die zu jeder der Substraterfassungsvorrichtungen
gehören, sind in einer Reihe in einer Beförderungsrichtung
des Substrats angeordnet, und eine Substratfördersteuerung
zum Verringern einer Beförderungsgeschwindigkeit des Substrats,
wenn das Substrat durch eine Substraterfassungsvorrichtung mit auf
der zugewandten Seite der Förderrichtung des Substrats angeordnetem
Projektor und Lichtempfänger erfasst wird, und zum Anhalten
des Beförderns des Substrats, wenn das Substrat durch die
andere Substraterfassungsvorrichtung erfasst wird, ist enthalten.
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Eine
Substratfördervorrichtung gemäß einem
dritten Aspekt der Erfindung ist die Substratfördervorrichtung
zum Befördern eines Substrats durch ein Förderband
und enthält die vielfachen Substraterfassungsvorrichtungen
des ersten, oben beschriebenen Aspekts, und ein Projektor und ein
Lichtempfänger, die zu jeder der Substraterfassungsvorrichtungen
gehören, sind in einer Reihe in einer Beförderungsrichtung
des Substrats angeordnet, und ein Substratpositionsdetektor zum
Erfassen einer Position des Substrats auf Grundlage von Informationen darüber,
ob jede der Substraterfassungsvorrichtungen das Substrat erfasst
oder nicht, ist enthalten.
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Vorteil der Erfindung
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Die
Substraterfassungsvorrichtung nach der Erfindung ist derart konstruiert,
dass das Inspektionslicht vom Projektor so projiziert wird, dass
es gegenüberliegende Enden der Breitenrichtung des Förderbands
in den optischen Pfad des Inspektionslichts in der Richtung rechtwinklig
zu der durch das Förderband beförderten Beförderungsrichtung
einbezieht (das heißt, so, dass es das Förderband
in der Dickenrichtung überspannt) und der Lichtempfänger
das durch die oberen und unteren Bereiche des Förderbands
passierende Inspektionslicht empfängt, sodass es keine
Einschränkung gibt, dass das Inspektionslicht zwischen
den rechten und linken Förderbändern hindurchgehen
muss, wie es nach dem Stand der Technik beschrieben ist, und die
Flexibilität bei der Anordnung des Projektors und des Lichtempfängers
verbessert werden kann. Auch wird das Inspektionslicht so projiziert
und empfangen, dass es gegenüberliegende Enden der Breitenrichtung
der Förderbänder in den optischen Pfad einbezieht,
sodass das Substrat mit hoher Genauigkeit erfasst werden kann, selbst
wenn sich die Förderbänder vertikal bewegen (leicht
vibrieren) und auch eine Dicke des Substrats extrem dünn
ist. Auch enthält die Substratfördervorrichtung
nach der Erfindung die oben beschriebene Substraterfassungsvorrichtung
nach der Erfindung, sodass die Verringerung der Beförderungsgeschwindigkeit
des Substrats, eine Anhaltesteuerung oder eine Positionserkennung
des Substrats mit extrem hoher Genauigkeit durchgeführt
werden kann.
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Kurze Beschreibung der Zeichnung
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1 ist
eine perspektivische Ansicht einer Teilebestückungsvorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung.
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2 ist
eine Draufsicht einer Substratfördervorrichtung in einer
Ausführungsform der Erfindung.
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3 ist
eine Seitenansicht der Substratfördervorrichtung in einer
Ausführungsform der Erfindung.
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4 ist
eine Schnitt-Vorderansicht der Substratfördervorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung.
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5 ist
eine perspektivische Explosions-Teilansicht einer Substratfördervorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung.
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Die 6(a), 6(b), 6(c) und 6(d) sind
Diagramme, welche eine Positionsbeziehung zwischen einem Substrat
und optischen Sensoren zeigen, die in einer Substraterfassungsvorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung enthalten sind.
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Bezugszeichenliste
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- 3
- Substratfördervorrichtung
- 4
- Substrat
- 15
- Steuervorrichtung
(Detektor, Substratfördersteuerung, Substratpositionsdetektor)
- 21
- Substraterfassungsvorrichtung
- 26
- Förderband
- 40
- Inspektionslicht
- 41
- Projektor
- 42
- Lichtempfänger
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Beste Ausführungsweise der Erfindung
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Nachstehend
wird eine Ausführungsform der Erfindung mit Bezugnahme
auf die Zeichnung beschrieben. 1 ist eine
perspektivische Ansicht einer Teilebestückungsvorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung, und 2 ist
eine Draufsicht einer Substratfördervorrichtung in einer
Ausführungsform der Erfindung, und 3 ist eine
Seitenansicht der Substratfördervorrichtung in einer Ausführungsform
der Erfindung, und 4 ist eine Schnitt-Vorderansicht
der Substratfördervorrichtung in einer Ausführungsform
der Erfindung, und 5 ist eine perspektivische Explosions-Teilansicht
einer Substratfördervorrichtung in einer Ausführungsform der
Erfindung, und die 6(a), 6(b), 6(c) und 6(d) sind Diagramme, welche eine Positionsbeziehung zwischen
einem Substrat und optischen Sensoren zeigen, die in einer Substraterfassungsvorrichtung
in einer Ausführungsform der Erfindung enthalten sind.
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In 1 enthält
eine Teilebestückungsvorrichtung 1 eine Substratfördervorrichtung 3 in
einer Ausführungsform der Erfindung auf einer Basis 2, und
ein Substrat 4 wird durch die Substratfördervorrichtung 3 in
einer Richtung (Richtung der X-Achse) des Inneren einer horizontalen
Ebene befördert. Die Substratfördervorrichtung 3 erstreckt
sich auf der Basis 2 in Richtung der X-Achse, und ein Y-Achsen-Tisch 5,
der sich in einer Richtung (Richtung der Y-Achse) horizontal rechtwinklig
zur Richtung der X-Achse erstreckt, ist über der Substratfördervorrichtung 3 angeordnet.
Zwei parallele Gleitführungen 6, die sich in Richtung
der Y-Achse erstrecken, sind in einer Seitenfläche des
Y-Achsen-Tisches 5 angeordnet, und zwei Y-Achsen-Gleiter 7 sind
beweglich entlang den Gleitführungen 6 (das heißt,
in Richtung der Y-Achse) in diesen beiden Gleitführungen 6 angeordnet.
Ein Ende eines X-Achsen-Tisches 8, der sich in der Richtung
der X-Achse erstreckt, ist an jedem der Y-Achsen-Gleiter 7 angebracht,
und eine entlang dem X-Achsen-Tisch 8 (das heißt,
in der Richtung der X-Achse) bewegliche Bewegungsstufe 9 ist
in jedem der X-Achsen-Tische 8 angeordnet.
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Ein Übergabekopf 10 ist
an jeder der Bewegungsstufen 9 angebracht, und vielfache
Saugdüsen 11, die sich unter einer vertikalen
Richtung (Richtung der Z-Achse) erstrecken, sind in jedem der Übergabeköpfe 10 angeordnet.
Vielfache Teilezuführungen 12 zum Zuführen
von Teilen zu dem Übergabekopf 10 sind in einer
Reihe in der Richtung der X-Achse in einem seitlichen Bereich der
Substratfördervorrichtung 3 angeordnet. Eine Substratkamera 13,
deren Abbildungsbereich nach unten gerichtet ist, ist im Übergabekopf 10 angeordnet,
und eine Teilekamera 14, deren Abbildungsbereich nach oben
gerichtet ist, ist auf der Basis 2 angeordnet.
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Die
Substratfördervorrichtung 3 positioniert das Substrat 4 in
einer vorgegebenen Bestückungs-Arbeitsposition, nachdem
das Substrat in der Richtung der X-Achse befördert wurde.
Die Bewegungsstufen 9 bewegen sich bezüglich des
Substrats 4, das in der Bestückungs-Arbeitsposition
positioniert ist, durch Bewegen der X-Achsen-Tische 8 in
der Richtung der Y-Achse und Bewegen der Bewegungsstufen 9 selbst
in der Richtung der X-Achse und lassen die über dem Substrat 4 befindliche
Substratkamera 13 eine Bilderkennung (Abbildung) einer
Positionierungsmarke (nicht gezeigt) des Substrats 4 durchführen
und nehmen danach ein Teil, das durch die Teilezuführungen 12 zugeführt
wird, durch die in den Übergabeköpfen 10 enthaltenen
Saugdüsen 11 auf. Dann bewegt sich das durch die
Saugdüsen 11 angesaugte Teil in der horizontalen
Richtung, sodass es durch den oberen Bereich der Teilekamera 14 (das
Innere eines Blickfelds der Teilekamera 14) hindurchgeht,
und die Teilekamera 14 wird veranlasst, eine Bilderkennung
(Abbildung) einer Unterfläche des Teils auszuführen,
und dann wird das durch die Saugdüsen 11 angesaugte
Teil auf dem Substrat 4 auf Grundlage der seinem Teil zugeordneten
Bestückungspositionsdaten bestückt. Dabei werden
eine durch die Bilderkennung der Substratkamera 13 erhaltene
Positionsabweichung des Substrats 4 und eine durch die
Bilderkennung der Teilekamera 14 erhaltene Ansaugabweichung
des Teils bezüglich der Saugdüsen 11 korrigiert,
und das Teil wird an einer korrekten Position auf dem Substrat 4 bestückt.
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Als
Nächstes wird die in dieser Teilebestückungsvorrichtung 1 enthaltene
Substratfördervorrichtung 3 beschrieben. Die Substratfördervorrichtung 3 enthält
rechte und linke Förderband-Basisteile 22 (siehe
auch 1), die sich in der Richtung der X-Achse erstrecken
und auf der Basis 2 angeordnet sind, sowie an diesen rechten
und linken Förderband-Basisteilen 22 angebrachte
Förderband-Mechanismen, wie in den 2 und 3 gezeigt.
Die Förderband-Mechanismen enthalten einen rückwärtigen
Förderband-Mechanismus 23, der sich an der am
weitesten vorgelagerten Seite bezüglich einer Beförderungsrichtung
des Substrats 4 befindet, einen mittleren Förderband-Mechanismus 24,
der sich auf der nachgelagerten Seite des rückwärtigen
Förderband-Mechanismus 23 befindet, und einen
vorderen Förderband-Mechanismus 25, der sich auf
der nachgelagerten Seite des mittleren Förderband-Mechanismus 24 befindet.
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In
den 2 und 3 weisen die drei Förderband-Mechanismen
(der rückwärtige Förderband-Mechanismus 23,
der mittlere Förderband-Mechanismus 24 und der
vordere Förderband-Mechanismus 25) jeweils rechte
und linke Förderbänder 26 auf, und jedes
der Förderbänder 26 ist auf vielfache Riemenscheiben 27 gewickelt,
die in den rechten und linken Förderband-Basisteilen 22 angeordnet
sind. Eine Drehwelle eines in den rechten und linken Förderband-Basisteilen 22 befestigten
Förder-Antriebsmotors 28 ist mit einer der vielfachen
Riemenscheiben 27 gekoppelt, auf die jedes der Förderbänder 26 gewickelt
ist, und diese Förder-Antriebsmotoren 28 werden
von einer Steuervorrichtung 15 angesteuert, die innerhalb
der Basis 2 angeordnet ist, und dadurch kann jedes der
Förderbänder 26 in eine in den 2 und 3 gezeigte
Richtung des Pfeils A befördert werden. Wenn die rechten
und linken Enden des Substrats 4 dabei auf obere Flächen
eines Paars der jeweils im rückwärtigen Förderband-Mechanismus 23,
im mittleren Förderband-Mechanismus 24 und im vorderen
Förderband-Mechanismus 25 enthaltenen rechten
und linken Förderbänder 26 gesetzt werden, wird
ihr Substrat 4 in Richtung des Pfeils A durch einen Beförderungsvorgang
der Förderbänder 26 befördert
und wird in der Reihenfolge des rückwärtigen Förderband-Mechanismus 23,
des mittleren Förderband-Mechanismus 24 und des
vorderen Förderband-Mechanismus 25 empfangen und
weitergegeben und bewegt sich auf einem Förderweg des Substrats 4 von
hinten nach vorn.
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In
den 3 und 4 ist ein Substrat-Hub- und
-Senkmechanismus 30 in der Mitte des mittleren Förderband-Mechanismus 24 angeordnet.
Dieser Substrat-Hub- und -Senkmechanismus 30 enthält
einen Hub- und -Senkmotor 31, der durch die Steuervorrichtung 15 betätigt
und gesteuert wird, einen Hub- und -Senkblock 32, der durch
diesen Hub- und -Senkmotor 31 gehoben und gesenkt wird,
und vielfache Nadelelemente 33, die so angeordnet sind, dass
sie sich von einer oberen Fläche des Hub- und -Senkblocks 32 aufwärts
erstrecken, und wenn der Hub- und -Senkmotor 31 von der
Steuervorrichtung 15 in einem Zustand betätigt
wird, in dem das durch den mittleren Förderband-Mechanismus 24 beförderte
Substrat 4 in der Bestückungs-Arbeitsposition
des oberen Teils des Hub- und -Senkblocks 32 gestoppt (positioniert)
ist und der Hub- und -Senkblock 32 gehoben ist und das
Substrat 4 von der unteren Position durch die vielfachen
Nadelelemente 33 nach oben gedrückt wird, kann
das in der Bestückungs-Arbeitsposition positionierte Substrat 4 in
einen Zustand gehoben und in ihm gehalten werden, in dem das Substrat 4 von
den rechten und linken Förderbändern 26 des
mittleren Förderband-Mechanismus 24 nach oben
frei ist.
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Als
Nächstes wird eine in dieser Substratfördervorrichtung 3 enthaltene
Substraterfassungsvorrichtung 21 beschrieben. In den 2 und 3 enthält
die Substraterfassungsvorrichtung 21 einen Projektor 41 zum
Projizieren eines Inspektionslichts 40 so, dass es durch
eine vorgegebene Position (diese vorgegebene Position ist als eine
Position voreingestellt, in der das Substrat 4 erfasst
werden möchte) auf dem Weg des durch ein Paar der rechten
und linken, in der Substratfördervorrichtung 3 enthaltenen Förderbänder 26 beförderten
Substrats 4 hindurchgeht, einen Lichtempfänger 42 zum
Empfangen des durch diesen Projektor 41 projizierten Inspektionslichts 40 und
die Steuervorrichtung 15 als Detektor zum Erkennen, dass
das Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht, auf Grundlage
einer Verringerung der Menge empfangenen Lichts des durch den Lichtempfänger 42 empfangenen
Inspektionslichts 40, wenn das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht und ein Teil des
Inspektionslichts 40 durch das Substrat 4 blockiert
wird.
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Der
Projektor 41 und der Lichtempfänger 42 sind
an den rechten und linken Förderband-Basisteilen 22 befestigt,
die unbewegliche Teile der Substratfördervorrichtung 3 sind,
und das Inspektionslicht 40 wird von dem Projektor 41 so
projiziert, dass es gegenüberliegende Enden einer Breitenrichtung
der Förderbänder 26 in einen optischen
Pfad des Inspektionslichts 40 (sodass es die Förderbänder 26 in
der Dickenrichtung überspannt) in einer Richtung (Richtung
der Y-Achse) rechtwinklig zur Förderrichtung (Richtung
der X-Achse) des durch ein Paar der rechten und linken Förderbänder 26 beförderten
Substrats 4 einbezieht, und der Lichtempfänger 42 empfängt
das durch die oberen und unteren Bereiche der Förderbänder 26 in
der Breitenrichtung (Richtung der Y-Achse) hindurchgehende Inspektionslicht 40.
Das heißt, in 4 ist es so konstruiert, dass
sich die obere Kante 40a des Inspektionslichts 40 aufwärts von
oberen Flächen 26a der rechten und linken Förderbänder 26 befindet
und sich die untere Kante 40b des Inspektionslichts 40 abwärts
von den unteren Flächen 26b rechten und linken
Förderbänder 26 befindet.
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In 5 ist
jeder der rechten und linken Förderband-Basisteile 22 jeweils
durch Verbinden eines unteren Elements 22a mit einem oberen
Element 22b in der vertikalen Richtung hergestellt, und
in einem Zustand des Verbindens des unteren Elements 22a mit
dem oberen Element 22b wird eine im unteren Element 22a ausgebildete
unterseitige Aussparung 44a, wobei die Aussparung 44a nach
oben geöffnet ist, mit einer im oberen Element 22b ausgebildete oberseitigen
Aussparung 44b, wobei die Aussparung 44b nach
unten geöffnet ist, vertikal kombiniert, und ein Durchtritt 44 des
Inspektionslichts 40 wird ausgebildet (siehe 4).
Ein Sensor-Befestigungselement 45 ist an dem mit dem oberen
Element 22b verbundenen unteren Element 22a durch
Befestigungsschrauben 46 angebracht, und der Projektor 41 oder der
Lichtempfänger 42ist an diesem Sensor-Befestigungselement 45 befestigt.
Eine Projektionsfläche des Projektors 41 und eine
Aufnahmefläche des Lichtempfängers 42 sind
durch den in den Förderband-Basisteilen 22 ausgebildeten
Durchtritt 44 freigelegt und stehen einander in der horizontalen
Richtung gegenüber.
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Das
durch den Projektor 41 projizierte Inspektionslicht 40 wird
durch den Lichtempfänger 42 empfangen, und das
Inspektionslicht 40 wird vom Projektor 41 so projiziert,
dass es gegenüberliegende Enden der Breitenrichtung der
Förderbänder 26 in den optischen Pfad
einbezieht (sodass es die Förderbänder 26 in
der Dickenrichtung überspannt), wie oben beschrieben, sodass
sich die Förderbänder 26 im optischen
Pfad des Inspektionslichts 40 befinden und die durch den
Lichtempfänger 42 empfangene Menge empfangenen
Lichts des Inspektionslichts 40 zu einem Wert wird, der
immer niedriger ist als derjenige des Falls, in dem sich die Förderbänder 26 nicht im
optischen Pfad des Inspektionslichts 40 befinden. Wenn
jedoch ein Teil des Inspektionslichts 40 nur durch die
Förderbänder 26 blockiert wird, ist die
Menge blockierten Lichts konstant, sodass die durch den Lichtempfänger 42 empfangene
Menge empfangenen Lichts des Inspektionslichts 40 unabhängig
von der Zeit konstant ist, solange das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 in das Innere des optischen Pfads des Inspektionslichts 40 eindringt
und ein Teil des Inspektionslichts 40 nicht blockiert ist.
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Wenn
das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 die oben beschriebene vorgegebene Position erreicht
und ein Teil des Inspektionslichts 40 hierin blockiert
wird, verringert sich die durch den Lichtempfänger 42 empfangene
Menge empfangenen Lichts des Inspektionslichts 40 um die
Menge (die durch das Substrat 4 blockierte Menge), sodass sich
die durch den Lichtempfänger 42 empfangene Menge
empfangenen Lichts des Inspektionslichts 40 verringert
und die Steuervorrichtung 15 auf Grundlage dieser Verringerung
erkennen kann, dass das Substrat 4 die vorgegebene Position
erreicht.
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Die
Substratfördervorrichtung 3 enthält drei solcher
Substraterfassungsvorrichtungen 21 innerhalb eines Beförderungsbereichs
des Substrats 4 durch den mittleren Förderband-Mechanismus 24, und
sie enthält auch die Steuervorrichtung 15 als eine
Substratfördersteuerung und einen Substratpositionsdetektor
(die Steuervorrichtung 15 als Detektor ist gemeinsam),
wie in den 2 und 3 gezeigt. Zur
Bequemlichkeit werden in der folgenden Erläuterung der
Projektor 41 und der Lichtempfänger 42 gemeinsam
als optischer Sensor bezeichnet, und auch der auf der äußersten
vorgelagerten Seite innerhalb des Beförderungsbereichs
des mittleren Förderband-Mechanismus 24 von den
drei in einer Reihe in der Förderrichtung (Richtung der
X-Achse) des Substrats 4 angeordneten optischen Sensoren
befindliche optische Sensor wird als erster optischer Sensor 43a bezeichnet,
und der auf der nachgelagerten Seite des ersten optischen Sensors 43a befindliche
optische Sensor wird als zweiter optischer Sensor 43b bezeichnet,
und der auf der nachgelagerten Seite des zweiten optischen Sensors 43b befindliche
optische Sensor wird als dritter optischer Sensor 43c bezeichnet
(6(a), 6(b), 6(c) und 6(d)).
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Der
Projektor 41 des ersten optischen Sensors 43a projiziert
das Inspektionslicht 40 so, dass es durch eine erste vorgegebene
Position auf einem Weg des Substrats 4 hindurchgeht, und
der Projektor 41 des zweiten optischen Sensors 43b projiziert
das Inspektionslicht so, dass es durch eine zweite vorgegebene Position
auf dem Weg des Substrats 4 hindurchgeht, und der Projektor 41 des
dritten optischen Sensors 43c projiziert das Inspektionslicht
so, dass es durch eine dritte vorgegebene Position auf dem Weg des
Substrats 4hindurchgeht. Hier ist die erste vorgegebene
Position an einer Position eingestellt, dass eine Verringerung (Verlangsamung)
der Beförderungsgeschwindigkeit des Substrats 4 zu
dem Zeitpunkt gestartet wird, da das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 seine Position erreicht, und die zweite vorgegebene
Position ist an einer Position eingestellt, dass das Befördern
des Substrats 4 zu dem Zeitpunkt angehalten wird, da das
durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 seine Position erreicht. Ebenso ist die dritte
vorgegebene Position an einer Position eingestellt, die das Oberteil
(der Kopf) des angehaltenen Substrats 4 nicht erreicht
haben darf, nachdem das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 die zweite vorgegebene Position erreicht und
das Befördern des Substrats 4 angehalten wird.
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Hier
sind die zweite vorgegebene Position und die dritte vorgegebene
Position an der extrem nahen Position eingestellt, sodass der Projektor 41, der
Bestandteil des zweiten optischen Sensors 43b ist, und
der Projektor 41, der Bestandteil des dritten optischen
Sensors 43c ist, und der Lichtempfänger 42,
der Bestandteil des zweiten optischen Sensors 43b ist,
und der Lichtempfänger 42, der Bestandteil des
dritten optischen Sensors 43c ist, jeweils an demselben
Sensor-Anbringungselement 45 befestigt sind (2).
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Wenn
sich in der Substratfördervorrichtung 3, welche
die drei Substraterfassungsvorrichtungen 21 enthält,
das Oberteil (der Kopf) des durch den mittleren Förderband-Mechanismus 24 beförderten Substrats 4 einer
Position nähert, in der ein Teil des durch den Projektor 41 des
ersten optischen Sensors 43a projizierten Inspektionslichts 40 blockiert
ist (6(a) → 6(b)),
erkennt die Steuervorrichtung 15 als Detektor auf Grundlage
der Verringerung der durch den Lichtempfänger 42 des
ersten optischen Sensors 43a empfangenen Menge empfangenen Lichts
des Inspektionslichts 40, dass das Substrat 4 die
erste vorgegebene Position erreicht, das heißt, die Position
zum Beginnen der Verringerung (Verlangsamung) der Beförderungsgeschwindigkeit
des Substrats 4, und die Steuervorrichtung 15 als
Substratfördersteuerung führt eine Betätigungsansteuerung
des Förder-Antriebsmotors 28 durch, sodass die
Beförderungsgeschwindigkeit des Substrats 4 verringert
wird.
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Wenn
sich dann, nachdem das Verringern der Beförderungsgeschwindigkeit
des Substrats 4 auf diese Weise gestartet ist, das Oberteil
des Substrats 4 einer Position nähert, in der
ein Teil des durch den Projektor 41 des zweiten optischen
Sensors 43b projizierten Inspektionslichts 40 blockiert
ist (6(b) → 6(c)),
erkennt die Steuervorrichtung 15 als Detektor auf Grundlage
der Verringerung der durch den Lichtempfänger 42 des
zweiten optischen Sensors 43b empfangenen Menge empfangenen Lichts
des Inspektionslichts 40, dass das Substrat 4 die
zweite vorgegebene Position erreicht, das heißt, die Position
zum Anhalten des Beförderns des Substrats 4, und
die Steuervorrichtung 15 als Substratfördersteuerung
führt eine Betätigungsansteuerung des Förder-Antriebsmotors 28 durch,
um das Befördern des Substrats 4 anzuhalten. Folglich
wird das durch den mittleren Förderband-Mechanismus 24 beförderte
Substrat 4 an einer Position angehalten, an der es an der
zweiten vorgegebenen Position geringfügig nach vorn vorbeigelaufen
ist.
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Nachdem
das Befördern des Substrats 4 auf diese Weise
angehalten ist, erkennt die Steuervorrichtung 15 als der
Substratpositionsdetektor eine Position des Substrats 4 auf
Grundlage von Informationen darüber, ob jeder aus dem zweiten optischen Sensor 43b und
dem dritten optischen Sensor 43c das Substrat 4 erfasst
oder nicht, und überprüft, dass das Substrat 4 an
einer korrekten Position angehalten ist. Konkret enthüllt
die Steuervorrichtung 15, dass sich das Oberteil des Substrats 4 an
der zweiten vorgegebenen Position und der dritten vorgegebene Position
befindet, wenn der zweite optische Sensor 43b das Substrat 4 erfasst
und der dritte optische Sensor 43c das Substrat 4 nicht
erfasst, sodass die Steuervorrichtung 15 entscheiden kann,
dass das Substrat 4 an der korrekten Position angehalten
ist (6(d)). Wenn andererseits sowohl
der zweite optische Sensor 43b als auch der dritte optische
Sensor 43c das Substrat 4 erfassen, wird entschieden,
dass das Substrat nicht an der korrekten Position angehalten ist,
und vorbestimmte Maßnahmen, um zum Beispiel eine Position
des Substrats 4 zu korrigieren, werden ergriffen.
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Daher
enthält die Substratfördervorrichtung 3 in
der Ausführungsform die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit
dem ersten optischen Sensor 43a, die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit
dem zweiten optischen Sensor 43b und die Steuervorrichtung 15 als
die Substratfördersteuerung und ist so konstruiert, dass
eine Beförderungsgeschwindigkeit des Substrats 4 verringert
wird, wenn das Substrat 4 durch eine Substraterfassungsvorrichtung 21 (die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit
dem ersten optischen Sensor 43a) erfasst wird, welche die
optischen Sensoren (den Projektor 41 und den Lichtempfänger 42)
auf der zugewandten Seite der Förderrichtung des Substrats 4 enthält,
und das Befördern des Substrats 4 angehalten wird,
wenn das Substrat 4 durch die andere Substraterfassungsvorrichtung 21 erfasst
wird (die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit dem zweiten
optischen Sensor 43b).
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Die
Substratfördervorrichtung 3 in der Ausführungsform
enthält auch die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit
dem zweiten optischen Sensor 43b, die Substraterfassungsvorrichtung 21 mit
dem dritten optischen Sensor 43c und die Steuervorrichtung 15 als
den Substratpositionsdetektor und ist so konstruiert, dass eine
Position des Substrats 4 auf Grundlage von Informationen
darüber erfasst wird, ob jede der Substraterfassungsvorrichtungen 21 das Substrat 4 erfasst
oder nicht.
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Wie
oben beschrieben, enthält die Substraterfassungsvorrichtung 21 in
der Ausführungsform den Projektor 41 zum Projizieren
des Inspektionslichts 40, sodass es durch eine vorgegebene
Position auf einem Weg des durch die Förderbänder 26 beförderten
Substrats 4 hindurchgeht, den Lichtempfänger 42 zum
Empfangen des durch den Projektor 41 projizierten Inspektionslichts 40 und
den Detektor (die Steuervorrichtung 15) zum Erkennen, dass
das Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht, auf Grundlage
einer Verringerung der Menge empfangenen Lichts des Inspektionslichts 40,
die durch den Lichtempfänger 42 empfangen wird,
wenn das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht und ein Teil
des Inspektionslichts 40 durch das Substrat 4 blockiert
wird. Dann ist sie so konstruiert, dass das Inspektionslicht 40 von dem
Projektor 41 so projiziert wird, dass es gegenüberliegende
Enden einer Breitenrichtung der Förderbänder 26 in
einen optischen Pfad des Inspektionslichts in einer Richtung rechtwinklig
zu der durch die Förderbänder 26 beförderten
Förderrichtung einschließt und der Lichtempfänger 42 das
durch obere und untere Bereiche der Förderbänder 26 in
der Breitenrichtung der Förderbänder 26 hindurchgehende Inspektionslicht 40 empfängt.
Als Ergebnis davon gibt es keine Einschränkung insofern,
als das Inspektionslicht 40 zwischen den rechten und linken
Förderbändern 26 hindurchgehen muss,
wie nach dem Stand der Technik beschrieben, und die Flexibilität bei
der Anordnung des Projektors 41 und des Lichtempfängers 42 kann
verbessert werden.
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Auch
wird das Inspektionslicht 40 so projiziert und empfangen,
dass es gegenüberliegende Enden der Breitenrichtung der
Förderbänder 26 einbezieht, sodass das
Substrat 4 mit hoher Genauigkeit erfasst werden kann, selbst
wenn sich die Förderbänder 26 vertikal
bewegen (leicht vibrieren) und auch eine Dicke des Substrats 4 extrem
dünn ist.
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Auch
enthält die Substratfördervorrichtung 3 in
der Ausführungsform die Substraterfassungsvorrichtung 21 der
oben beschriebenen Anordnung, sodass die Verringerung der Beförderungsgeschwindigkeit
des Substrats 4, eine Anhaltesteuerung oder eine Positionserkennung
des Substrats mit extrem hoher Genauigkeit durchgeführt
werden kann.
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Die
Ausführungsform der Erfindung wurde bisher beschrieben,
aber die Erfindung ist nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform
beschränkt. Zum Beispiel wurde die oben beschriebene Ausführungsform
so konstruiert, dass die Substraterfassungsvorrichtung 21 nur
in einem Beförderungsbereich (dem mittleren Förderband-Mechanismus 24) der
vielfachen Förderband-Mechanismen angeordnet ist, aber
dies ist ein Beispiel, und sie kann so konstruiert sein, dass die
Substraterfassungsvorrichtung 21 innerhalb des Beförderungsbereichs
jedes der Förderband-Mechanismen angeordnet ist, wenn es vielfache
Förderband-Mechanismen gibt.
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Außerdem
beabsichtigt die Erfindung, dass Fachleute verschiedene Veränderungen
und Anwendungen auf Grundlage der wohlbekannten Technik und Erwähnung
der Beschreibung vornehmen, ohne von Erfindungsgeist und Umfang
der Erfindung abzuweichen, und die Veränderungen und Anwendungen sind
im Schutzumfang enthalten.
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Die
vorliegende Anmeldung beruht auf der
japanischen Patentanmeldung (Patentanmeldung
Nr. 2008-016114) , eingereicht am 28. Januar 2008, und der
Inhalt der Patentanmeldung ist hiermit durch Verweis mit aufgenommen.
Industrielle Anwendbarkeit
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Eine
Substratfördervorrichtung und eine Substraterfassungsvorrichtung
werden geschaffen, die in der Lage sind, die Flexibilität
bei der Anordnung zu verbessern.
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Zusammenfassung
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Eine
Aufgabe ist es, eine Substratfördervorrichtung und eine
Substraterfassungsvorrichtung zu schaffen, die in der Lage sind,
die Flexibilität bei der Anordnung zu verbessern.
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Die
Substraterfassungsvorrichtung enthält einen Projektor 41 zum
Projizieren des Inspektionslichts 40, sodass es durch eine
vorgegebene Position auf einem Weg des durch die Förderbänder 26 beförderten
Substrats 4 hindurchgeht, einen Lichtempfänger 42 zum
Empfangen des durch den Projektor 41 projizierten Inspektionslichts 40 und
einen Detektor (eine Steuervorrichtung 15) zum Erkennen,
dass das Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht,
auf Grundlage einer Verringerung der Menge empfangenen Lichts des
Inspektionslichts 40, die durch den Lichtempfänger 42 empfangen
wird, wenn das durch die Förderbänder 26 beförderte
Substrat 4 die vorgegebene Position erreicht und ein Teil
des Inspektionslichts 40 durch das Substrat 4 blockiert
wird. Das Inspektionslicht 40 wird von dem Projektor 41 so
projiziert, dass es gegenüberliegende Enden einer Breitenrichtung
der Förderbänder 26 in einen optischen Pfad
des Inspektionslichts in einer Richtung rechtwinklig zu der durch
die Förderbänder 26 beförderten Förderrichtung
des Substrats 4 einschließt und der Lichtempfänger 42 das
durch obere und untere Bereiche der Förderbänder 26 in
der Breitenrichtung hindurchgehende Inspektionslicht empfängt.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 6-211334
A [0003]
- - JP 2008-016114 [0041]
