DE10236200B4

DE10236200B4 - Verkupferungsverfahren zum elektrolytischen Füllen von Sacklochbohrungen

Info

Publication number: DE10236200B4
Application number: DE10236200A
Authority: DE
Inventors: Toshihisa Shimo; Toshiki Inoue; Kyoko Kumagai; Yoshifumi Kato; Takashi Yoshida; Masanobu Hidaka
Original assignee: Toyota Industries Corp
Current assignee: Toyota Industries Corp
Priority date: 2001-08-08
Filing date: 2002-08-07
Publication date: 2007-02-22
Anticipated expiration: 2022-08-08
Also published as: JP4000796B2; KR100489744B1; KR20030014628A; TWI244882B; JP2003060349A; US20030102223A1; CN1402608A; DE10236200A1; CN1215747C

Abstract

Verkupferungsverfahren zum elektrolytischen Füllen von Sacklochbohrungen (13) in Mehrfachschichtsubstraten, mit den Schritten
zum Ausführen einer chemischen Verkupferung einer Innenwand der Sacklochbohrungen (13) und zum Ausführen eines nachfolgenden zweistufigen elektrolytischen Füllens der Sacklochbohrungen (13), wobei bei einer ersten Stufe des zweistufigen elektrolytischen Füllens eine geringe Stromdichte verwendet wird und bei der zweiten Stufe des zweistufigen elektrolytischen Füllens eine höhere Stromdichte verwendet wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
die erste Stufe als eine Gleichstromabscheidung mit einer Stromdichte von kleiner oder gleich 1,5 A/dm² bis zu einer Dicke von mindestens 1 μm ausgeführt wird und
die zweite Stufe als Impulsmetallisierung bei einer mittleren Stromdichte von näherungsweise 3 A/dm² und bei einem Verhältnis von kathodischer zu anodischer Stromstärke I1/I2 von 1/2 bis 1/5 und einem Impulszeitenverhältnis t1/t2 von 5/1 bis 30/1 ausgeführt wird.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verkupferungsverfahren, insbesondere ein Verfahren zum Verkupfern bzw. Kupferplattieren zum elektrolytischen Füllen von Sacklochbohrungen als Durchgangsöffnungen zur Verbindung von Leiterbahnschichten (Leiterschichten) in einem Mehrfachschichtsubstrat bzw. Mehrlagensubstrat.

Um die Dichte einer Mehrschichtleiterbahnplatine (Mehrfachschichtsubstrat) zu erhöhen, werden Build-up-Leiterbahnplatinen verwendet. Die Build-up-Leiterplatine verwendet Durchgangsöffnungen zur Verbindung von Leiterbahnschichten. Wenn die Durchgangsöffnungen lediglich zur Verbindung zweier Schichten verwendet werden, muss die innere Wand der Durchgangsöffnungen nicht mit einer Metallschicht überzogen bzw. metallisiert sein. Wenn jedoch drei oder mehr Schichten verbunden werden müssen, müssen nicht mit einem Plattierungsmetall bzw. Beschichtungsmetall gefüllte Durchgangsöffnungen 31 versetzt werden, wie es in 4(a) gezeigt ist. Demgegenüber können mit einem Beschichtungsmetall 32 gefüllte Durchgangsöffnungen 31 gestapelt werden, wie es in 4(b) gezeigt ist, was einen höheren Freiheitsgrad bei der Leitungsauslegung bzw. dem Leitungslayout erlaubt.

Herkömmliche Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen weisen Durchmesser von ungefähr 100 μm auf, so dass Durchgangsöffnungen, die in der Innenseite nicht plattiert bzw. metallisiert sind, die Leitfähigkeit zwischen jeder der Schichten nicht behindern. Wenn Durchgangsöffnungen jedoch kleinere Durchmesser aufweisen, verursachen Durchgangsöffnungen, die in der Innenseite nicht metallisiert sind, einen Widerstandsanstieg, was die Leitfähigkeit zwischen jeder Schicht behindert.

Um Schichten mit gefüllt plattierten bzw. füllmetallisierten Durchgangsöffnungen zu verbinden, werden ein Reinigungsprozess und ein Katalysatoranwendungsprozess ausgeführt, nachdem Durchgangsöffnungen in einer Harzisolationsschicht ausgebildet sind. Danach werden chemische Kupferplattierungsschichten bzw. Verkupferungschichten auf dem Boden und der Innenwand der Durchgangsöffnungen ausgebildet. Daraufhin wird eine Füllmetallisierungsschicht in den Durchgangsöffnungen durch ein elektrolytisches Kupferplattieren bzw. Verkupfern ausgebildet.

Zur weiteren Vergrößerung der Dichte des Mehrschichtsubstrats wird eine Verkleinerung des Durchmessers von Durchgangsöffnungen oder Sacklochbohrungen auf unter 70 μm in Betracht gezogen. Genauer gesagt wird eine Verkleinerung des Durchmessers von Durchgangsöffnungen auf 40 μm oder 20 μm in Betracht gezogen.

Bei einem herkömmlichen elektrolytischen Verkupferungsverfahren muss die elektrolytische Verkupferung für eine Längere Zeitdauer bei einer niedrigen Stromdichte (beispielsweise 100 Minuten bei 1 A/dm²) ausgeführt werden, um die Zuverlässigkeit der füllmetallisierten Durchgangsöffnungen über einem vorbestimmten Standard zu halten. Das herkömmliche Verfahren weist folglich eine niedrige Produktivität auf. Wenn die Stromdichte einfach vergrößert wird, um die Füllmetallisierung von Durchgangsöffnungen in kurzer Zeit abzuschließen, bestehen die meisten Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen nicht einen thermischen Schocktest, der Teil Element eines Durchgangsöffnungs Zuverlässigkeitstests ist. Der Thermoschocktest umfasst 1000 Wiederholungen eines Eintauchens in eine Flüssigkeit bei –55°C und in eine Flüssigkeit bei 125°C jeweils für drei Minuten, wobei ein Widerstandsveränderungsprozentsatz innerhalb ±10% als bestanden bestimmt ist.

In der Druckschrift WO 0129878 A3 und der Druckschrift US 6 140 241 A1 ist jeweils ein Metallisierungsverfahren zum Füllen von Durchgangsöffnungen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs beschrieben.

KURZZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zum Verkupfern durch elektrolytisches Füllen von Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen bereitzustellen, wobei dieses Verfahren eine Füllmetallisierung von Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen mit einer ausreichenden Zuverlässigkeit in einer kurzen Zeit abschließt, auch wenn der Durchmesser der Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen klein ist.

Diese Aufgabe wird durch ein Verkupferungsverfahren gemäß dem Patentanspruch gelöst.

Weitere Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung sind aus der nachstehenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung ersichtlich, die die Prinzipien der Erfindung beispielhaft veranschaulicht.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
Die Erfindung ist zusammen mit zugehörigen Aufgaben und Vorteilen am Besten unter Bezugnahme auf die nachstehende Beschreibung der derzeit bevorzugten Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung zu verstehen. Es zeigen:
1(a) bis 1(d) schematische Querschnittsdarstellungen, die eine Prozedur zur Ausbildung einer füllmetallisierten Schicht einer Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt,
2(a) ein Zeitverlaufsdiagramm, das Metallisierungsbedingungen in der Prozedur gemäß den 1(a) bis 1(c) zeigt,
2(b) ein schematisches Zeitverlaufsdiagramm, das Impulsmetallisierungsbedingungen in der Prozedur gemäß den 1(a) bis 1(c) zeigt,
3(a) eine schematische Querschnittsdarstellung eines Substrats für eine Zuverlässigkeitsauswertung in der Prozedur gemäß den 1(a) bis 1(c),
3(b) eine schematische Querschnittsdarstellung einer Durchgangsöffnung zur Beschreibung des Füllfaktors der Durchgangsöffnung,
4(a) eine schematische Querschnittsdarstellung, wenn Durchgangsöffnungen nicht füllmetallisiert sind, und
4(b) eine schematische Querschnittsdarstellung, wenn Durchgangsöffnungen gemäß dem Stand der Technik füllmetallisiert sind.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Ausbilden von Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen ist nachstehend unter Bezugnahme auf die 1(a) bis 3(b) beschrieben. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel werden Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen mit einem Durchmesser von 40 μm ausgebildet.
Zur Ausbildung von füllmetallisierten Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen, d.h. zum Füllen von Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen mittels eines Metallisierungsverfahrens für eine elektrische Verbindung von leitfähigen Schichten, die bei einer oberen und einer unteren Seite eines Mehrfachschichtsubstrat bzw. Mehrlagensubstrats ausgebildet sind, wird zuerst eine Isolationsschicht 12 auf einer darunter liegenden leitfähigen Schicht 11a gebildet, und dann wird eine Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 durch Laserbestrahlung ausgebildet, wie es in 1(a) gezeigt ist. Als nächstes wird ein Verunreinigungsentfernungsprozess ausgeführt. Danach werden ein Katalysatoranwendungsschritt und ein chemischer Verkupferungsschritt bei der Innenwand der Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 und bei einer oberen Schicht ausgeführt, bei der eine leitfähige Schicht 11b auszubilden ist, um eine dünne chemische Verkupferungsschicht 14 zu bilden, wie es in 1(b) gezeigt ist.
Als nächstes wird ein elektrolytischer Verkupferungsschritt ausgeführt. Der elektrolytische Verkupferungsschritt wird in zwei Stufen ausgeführt (zweistufiges elektrolytisches Füllen). Wie es in 2(a) gezeigt ist, wird in der ersten Stufe die elektrolytische Verkupferung für eine vorbestimmte Zeitdauer bei einer niedrigen Stromdichte ausgeführt, und in der zweiten Stufe wird die Metallisierung bei einer hohen Stromdichte ausgeführt. Die Metallisierung der ersten Stufe bildet eine dichte elektrolytische Verkupferungsschicht 15 bei einer vorbestimmten Dicke auf der chemischen Verkupferungsschicht 14, wie es in 1(c) gezeigt ist. Dann bildet die Metallisierung der zweiten Stufe eine füllmetallisierte Schicht 16, um einen verbleibenden Abschnitt der Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 zu füllen, um die elektrolytische Verkupferungsschicht 15 zu bilden. In den 1(c) und 1(d) sind die chemische Verkupferungsschicht 14, die elektrolytische Verkupferungsschicht 15 und die füllmetallisierte Schicht 16 unterscheidbar dargestellt. In der Realität sind die Schnittstellen der Schichten jedoch nicht so unterscheidbar, wie es dargestellt ist.
Die elektrolytische Verkupferung wird mit einer Stromdichte ausgeführt, die in einem zulässigen Strombereich eines Metallisierungsbades liegt. Die Metallisierung der ersten Stufe wird mit einer Stromdichte ausgeführt, die kleiner oder gleich 1,5 A/dm² ist, um Kupfer in einer Dicke von 1 μm oder mehr, vorzugsweise in einem Bereich von 1,5 – 2,0 μm, aufzubringen. Dann wird die Metallisierung der zweiten Stufe bei einer Stromdichte ausgeführt, die größer als die bei der Metallisierung der ersten Stufe ist. Obwohl sie von der Zusammensetzung des Metallisierungsbades der elektrolytischen Verkupferung abhängt, ist die Stromdichte in der zweiten Stufe vorzugsweise in der Größenordnung von 3 A/dm², um die elektrolytische Verkupferung bei insgesamt ungefähr 30 Minuten abzuschließen.
In 2(a) ist ein Graph gezeigt, der die Beziehung zwischen dem Stromwert (I) und der Zeit (t) bei der elektrolytischen Verkupferung zeigt. In 2(b) ist ein Graph gezeigt, der schematisch Veränderungen bei dem zugeführten Stromwert bei einer Impulsmetallisierung zeigt. Der Zeitmaßstab der 2(a) unterscheidet sich von dem der 2(b).
Wie es in 2(b) gezeigt ist, wird die elektrolytische Verkupferung mit einer Impulsmetallisierung ausgeführt, die wechselnde positive Impulse und negative Impulse umfasst, wobei für die positiven Impulse eine größere Leitungsmenge bzw. Leitgröße eingestellt ist. Das Verhältnis t1/t2, d.h. einer Leitungszeit t1 der positiven Impulse zu einer Leitungszeit t2 der negativen Impulse (Impulszeitenverhältnis), der Impulsmetallisierung ist auf ein Verhältnis zwischen 5/1 bis 30/1 eingestellt. Das Verhältnis t1/t2 ist vorzugsweise auf ein Verhältnis zwischen 8/1 bis 20/1 eingestellt. Die Leitungszeit t1 ist jeweils auf ungefähr 40 bis 60 ms eingestellt. Eine Einstellung jeder Leitungszeit t1 auf einen kurzen Wert verursacht, dass die Impulse zu häufig umgeschaltet werden, und ist folglich nicht wünschenswert. Eine Einstellung jeder Leitungszeit t1 auf einen niedrigeren Wert als eine vorbestimmte Zeitdauer vermindert die Qualität der Metallisierungsschicht und ist folglich nicht wünschenswert.
Das Verhältnis F/R, d.h. eines Stromwerts F der positiven Impulse zu einem Stromwert R der negativen Impulse (Verhältnis von kathodischer zu anodischer Stromstärke), der Impulsmetallisierung ist auf ein Verhältnis zwischen 1/2 bis 1/5 eingestellt.
Die vorliegende Erfindung ist nachstehend ausführlicher in Verbindung mit Beispielen und Vergleichsbeispielen beschrieben.
Zuerst ist ein Auswertungssubstrat mit einer großen Anzahl von Durchgangsöffnungen 13 ausgebildet worden, wie es in 3(a) gezeigt ist. Dann ist nach Änderung der Metallisierungsbedingungen eine Füllmetallisierung der Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen 13 ausgeführt worden. In den Beispielen und den Vergleichsbeispielen sind der Verunreinigungsentfernungsprozess, der Katalysatoranwendungsschritt und der chemische Verkupferungsschritt unter bekannten Verarbeitungsbedingungen ausgeführt worden. Als Zusätze für ein Metallisierungsbad bei der elektrolytischen Verkupferung sind Impulse H (Handelsname) Glanzmittel und Einebner verwendet worden, die von Atotech hergestellt werden. Als jeweilige Mengen sind 2,5 ml/l des Glanzmittels und 8ml/l des Einebners ausgewählt worden, wie es durch den Hersteller empfohlen ist.
Daraufhin sind die sich ergebenden Proben, deren Füllfaktor größer oder gleich 90% ist, einer Zuverlässigkeitsauswertung unterzogen worden, die vier in 1 gezeigte Element umfasst, d.h. einen Hochtemperaturdauertest, einen Hochtemperatur-/Hochfeuchtigkeitsdauertest, einen thermischen Schocktest und einen Lötstellenwärmetest.
Der Füllfaktor wird durch eine Gleichung Füllfaktor = (L1/L2) × 100 (%) ausgedrückt, in der L1 der Abstand zwischen der oberen Oberfläche der leitfähigen Schicht 11a und der oberen Oberfläche der Füllmetallisierungsschicht 16 der Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen 13 ist und L2 der Abstand zwischen der leitfähigen Schicht 11a und der oberen Oberfläche der leitfähigen Schicht 11b ist.
Tabelle 1
Bei dem Lötstellenwärmetest sind Proben in ein Lötbad bei 280 bis 290°C für eine vorbestimmte Zeitdauer, beispielsweise 30 Sekunden, eingetaucht und abgekühlt worden, wobei die Widerstände gemessen worden sind.
Unter den vier Elementen des Auswertungstests haben die Vergleichsbeispiele den Hochtemperaturdauertest, den Hochtemperatur-/Hochfeuchtigkeitsdauertest und den Lötstellenwärmetest bestanden. Die Vergleichsbeispiele zeigten jedoch eine niedrigere Erfolgsrate bei dem thermischen Schocktest. Nach dem thermischen Schocktest sind die Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen der Beispiele durch ein Abtastelektronenmikroskop begutachtet worden. Bei der Begutachtung sind Fehlerstellen und Ablagerungen von Dendrit in den Füllmetallisierungsschichten der Beispiele entdeckt worden, die eine niedrige Erfolgsrate bei der Zuverlässigkeit gezeigt haben.
In Tabelle 2 sind die Metallisierungsbedingungen und die Bestehensrate bei dem thermischen Schocktest der Beispiele und der Vergleichsbeispiele gezeigt. Tabelle 2

*: A/dm²
T1: Metallisierungszeit bei niedriger Stromdichte
T2: Metallisierungszeit bei hoher Stromdichte

Unter Bezugnahme auf das Vergleichsbeispiel 1 in Tabelle 2 ist eine Füllmetallisierungsschicht mit ausreichender Zuverlässigkeit durch eine elektrolytische Metallisierung bei einer niedrigen Stromdichte (1 A/dm²) für eine lange Zeitdauer (100 Minuten) gebildet worden. Die für das Vergleichsbeispiel 1 verwendete Zeit war jedoch außerordentlich lang. Unter Bezugnahme auf das Vergleichsbeispiel 2 ist die Metallisierungszeit verkürzt worden, indem eine Füllmetallisierung von Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen in zwei Stufen mit einem Gleichstrom (eine Stufe mit niedriger Stromdichte und eine Stufe mit hoher Stromdichte) ausgeführt wird. Die Zuverlässigkeit ist jedoch nicht ausreichend gewesen. Unter Bezugnahme auf das Vergleichsbeispiel 3 ergab eine Füllmetallisierung lediglich mit einer hohen Stromdichte eine nicht ausreichende Zuverlässigkeit.
In den Beispielen 1 bis 8 sind Füllmetallisierungsschichten mit einer Zuverlässigkeit von 100% in einer Metallisierungszeit von 30 Minuten erreicht worden. Eine Begutachtung des Querschnitts der Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen hat insbesondere ergeben, dass das Beispiel 1 die beste Qualität bei den Metallisierungsschichten aufweist.
Das gezeigte Ausführungsbeispiel weist die nachstehenden Vorteile auf.

(1) Wenn die Innenseite der Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen 13, die die obere und die untere leitfähige Schicht des Mehrfachschichtsubstrats verbindet, füllmetallisiert wird, wird die Füllmetallisierung mit einer Stromdichte von 1,5 A/dm² ausgeführt, die in dem zulässigen Strombereich des Metallisierungsbades liegt, um eine Schicht in einer Dicke von 1 μm oder mehr aufzutragen. Daraufhin wird der Rest der Metallisierung bei einer Stromdichte ausgeführt, die größer als 1,5 A/dm² ist. Somit wird die Ablagerung von Dendritkristallen verhindert und Kupfer wird dicht und gleichförmig auf der Oberfläche der chemischen Verkupferungsschicht 14 elektrolytisch aufgebracht. Ebenso treten in den Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen keine Fehlerstellen auf, die die Zuverlässigkeit beeinflussen, so dass die Durchgangsöffnungen bzw. Sacklochbohrungen in einer kurzen Zeit metallisiert sind.
(2) Die elektrolytische Verkupferung wird mit einer Impulsmetallisierung ausgeführt, die wechselnde positive Impulse und negative Impulse umfasst, wobei für die positiven Impulse eine größere Leitgröße eingestellt ist. Folglich wird im Gegensatz zu einer Metallisierung mit einem Gleichstrom einer hohen Stromdichte verhindert, dass die Metallisierungsschicht bei der Öffnung jeder Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 schnell gebildet wird. Somit wird die Öffnung jeder Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 nicht blockiert, während noch ein Freiraum in der Durchgangsöffnung bzw. Sacklochbohrung 13 vorhanden ist.
(3) Wenn die elektrolytische Verkupferung ausgeführt wird, umfassen sowohl die Metallisierung der ersten Stufe der niedrigen Stromdichte als auch die Metallisierung der zweiten Stufen der hohen Stromdichte wechselnde positive Impulse und negative Impulse, wobei für die positiven Impulse eine größere Leitgröße eingestellt ist. Folglich wird eine Füllmetallisierungsschicht mit ausreichender Zuverlässigkeit in einer kurzen Zeit ausgebildet.
(4) Das Verhältnis t1/t2, d.h. einer Leitungszeit t1 der positiven Impulse zu einer Leitungszeit t2 der negativen Impulse der Impulsmetallisierung, ist auf ein Verhältnis zwischen 5/1 bis 30/1 eingestellt. Folglich wird die Metallisierung in einer stabilen Weise ausgeführt und die Füllmetallisierungsschicht 16 wird mit einer ausreichenden Zuverlässigkeit gebildet.
(5) Das Verhältnis F/R, d.h. eines Stromwerts F der positiven Impulse zu einem Stromwert R der negativen Impulse der Impulsmetallisierung, ist auf ein Verhältnis zwischen 1/2 bis 1/5 eingestellt. Folglich wird die Metallisierung in einer stabilen Weise ausgeführt und die Füllmetallisierungsschicht 16 wird mit einer ausreichenden Zuverlässigkeit gebildet.

Es ist für einen Fachmann ersichtlich, dass die vorliegende Erfindung in vielen anderen spezifischen Formen umgesetzt werden kann, ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist insbesondere ersichtlich, dass die Erfindung in den nachstehenden Formen umgesetzt werden kann.

– Bei der Metallisierung mit hoher Stromdichte muss die Stromdichte nicht konstant sein. Die Stromdichte kann mit einer konstanten oder diskreten Rate vergrößert werden. Beispielsweise kann zur Einstellung der Durchschnittstromdichte bei der Metallisierung mit hoher Stromdichte auf einen vorbestimmten Wert (beispielsweise 3 A/dm²) die Stromdichte von einem Wert, der kleiner als 3 A/dm² ist, zu einem Wert verändert werden, der größer ist als 3 A/dm².
– Die elektrolytische Verkupferung zur Aufbringung einer Dicke von 1 μm oder mehr mit einer Stromdichte, die kleiner oder gleich 1,5 A/dm² ist, in einem zulässigen Strombereich des Metallisierungsbades kann vielmehr durch Zufuhr einer Gleichstrom- bzw. DC-Energie als durch eine Impulsmetallisierung ausgeführt werden, und die nachfolgende elektrolytische Verkupferung mit einer hohen Stromdichte kann unter Verwendung der Impulsmetallisierung ausgeführt werden.
– Der Durchmesser der Durchgangsöffnungen 13 ist nicht auf 40 μm begrenzt, sondern die vorliegende Erfindung kann bei Durchgangsöffnungen, die Durchmesser aufweisen, die größer als 40 μm sind, oder bei Durchgangsöffnungen angewendet werden, die Durchmesser aufweisen, die ungefähr 20 μm betragen, welche kleiner als 40 μm sind.

Folglich sind die vorliegenden Beispiele und Ausführungsbeispiele als Veranschaulichung und nicht als Einschränkung zu verstehen und die Erfindung ist nicht auf die hierbei angegebenen Einzelheiten begrenzt, sondern kann innerhalb des Bereichs sowie von Äquivalenten der beigefügten Patentansprüche modifiziert werden.
Wie es vorstehend beschrieben ist, ist ein Verkupferungsverfahren für Durchgangsöffnungen 13 bereitgestellt, die bei einem Mehrfachschichtsubstrat ausgebildet sind. Die Durchgangsöffnung 13 verbindet leitfähige Schichten des Mehrfachschichtsubstrats. Das Verfahren umfasst Schritte zum Ausführen einer chemischen Verkupferung bei einer Innenwand der Durchgangsöffnung 13 und zum Ausführen einer elektrolytischen Verkupferung bei der Innenwand der Durchgangsöffnung 13, bei der die chemische Verkupferung ausgeführt worden ist. Die elektrolytische Verkupferung umfasst eine erste Stufe und eine zweite Stufe. Die erste Stufe wird mit einer Stromdichte kleiner oder gleich 1,5 A/dm² ausgeführt, um eine Kupferschicht mit einer Dicke von 1 μm oder mehr aufzubringen. Die zweite Stufe wird mit einer Stromdichte ausgeführt, die größer ist als die bei der ersten Stufe.

Claims

Verkupferungsverfahren zum elektrolytischen Füllen von Sacklochbohrungen (13) in Mehrfachschichtsubstraten, mit den Schritten zum Ausführen einer chemischen Verkupferung einer Innenwand der Sacklochbohrungen (13) und zum Ausführen eines nachfolgenden zweistufigen elektrolytischen Füllens der Sacklochbohrungen (13), wobei bei einer ersten Stufe des zweistufigen elektrolytischen Füllens eine geringe Stromdichte verwendet wird und bei der zweiten Stufe des zweistufigen elektrolytischen Füllens eine höhere Stromdichte verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Stufe als eine Gleichstromabscheidung mit einer Stromdichte von kleiner oder gleich 1,5 A/dm² bis zu einer Dicke von mindestens 1 μm ausgeführt wird und die zweite Stufe als Impulsmetallisierung bei einer mittleren Stromdichte von näherungsweise 3 A/dm² und bei einem Verhältnis von kathodischer zu anodischer Stromstärke I1/I2 von 1/2 bis 1/5 und einem Impulszeitenverhältnis t1/t2 von 5/1 bis 30/1 ausgeführt wird.