DE102016109771A1 - Verfahren zum Reinigen einer Kunststoffoberfläche - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen, insbesondere zum Entfernen metallischer Verunreinigungen und/oder Partikel, von einer Kunststoffoberfläche, welches sich durch die folgenden Schritte auszeichnet: a) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser, b) Spülen der Kunststoffoberfläche mit elektrolysiertem Wasser und c) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen, insbesondere zum Entfernen metallischer Verunreinigungen und/oder Partikel, von einer Kunststoffoberfläche.
  • Herstellung von Prozessoren und integrierten Schaltkreisen erfolgt heute auf Siliziumwafern in einer Vielzahl unterschiedlicher, nacheinander durchzuführende Arbeitsschritte, in denen die Wafer mit unterschiedlichsten Materialien beschichtet, oder belichtet werden oder Teile von aufgebrachten Schichten durch unterschiedliche Ätzverfahren oder andere Verfahren wieder entfernt werden. Zwischen diesen einzelnen Arbeitsschritten müssen die teilbeschichteten Wafer von einer Bearbeitungsmaschine zu einer anderen Maschine transportiert werden. Dabei ist von größter Wichtigkeit, dass die sehr empfindlichen sehr filigran beschichteten Oberflächen nicht beschädigt werden. Insbesondere müssen aufgebrachte elektrische Leiterbahnen elektrisch voneinander getrennt bleiben, um die Funktionsfähigkeit des herzustellenden Bauteils, beispielsweise eines Prozessors, zu gewährleisten.
  • Zur Lagerung und zum Transport werden die Teilbeschichteten Wafer in sogenannten FOUPs (Front Opening Unified Pod) gelagert. Diese bestehen aus einem Kunststoff, beispielsweise Polycarbonat oder Polyetheretherketon (PEEK). Beim Einsetzen der beschichteten Siliziumwafer ist es möglich, das Material am Kunststoff des Behältnisses anhaftet und so zu einer Verunreinigung führt. Wird bei einem nächsten Arbeitsschritt ein anderer Wafer in dem Behälter gelagert, ist es möglich, dass auf diese Weise angebrachte metallische Verunreinigungen und/oder Partikel auf den neuen beschichteten Wafer übertragen werden und so beispielsweise für Kurzschlüsse elektrischer Leitungen oder sonstige Beschädigungen sorgen. Derartige Verunreinigungen können daher zu erheblichen Verlusten und funktionsunfähigen Bauteilen führen. Daher ist es notwendig, die Kunststoffoberflächen zu reinigen, um die Kontamination der Siliziumwafer zu vermeiden. Natürlich sind entsprechende Reinigungsverfahren auch für andere Anwendungsbeispiele geeignet, bei denen Kunststoffflächen gereinigt und insbesondere von metallischen Verunreinigungen befreit werden sollen.
  • Heute werden die Kunststoffbehälter, in denen die Siliziumwafer gelagert und transportiert werden, hauptsächlich mit deionisiertem Wasser behandelt, das auch als destilliertes Wasser bezeichnet wird. Dies ist jedoch insbesondere aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung der Beschichtungen und der hergestellten Strukturen der integrierten Schaltkreise oftmals nicht mehr ausreichend, da bereits kleine und kleinste Kontaminationen zu Fehlfunktionen der integrierten Schaltkreise führen, die somit Ausschuss sind und nicht verwendet werden können. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zum Reinigen von Kunststoffoberflächen so weiterzuentwickeln, dass es einfach, kostengünstig und schnell durchführbar ist und die Reinigungswirkung insbesondere für metallische Verunreinigungen verbessert wird.
  • Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe durch ein Verfahren zum Reinigen, insbesondere zum Entfernen metallischer Verunreinigungen und/oder Partikel, von einer Kunststoffoberfläche, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:
    • a) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser,
    • b) Spülen der Kunststoffoberfläche mit elektrolysiertem Wasser und
    • c) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser.
  • Unter dem Begriff „Spülen“ wird im Sinne der vorliegenden Erfindung verstanden, dass die jeweilige Flüssigkeit auf die zu reinigende Kunststoffoberfläche aufgebracht wird. Dies kann beispielsweise geschehen, indem die jeweilige Flüssigkeit auf die Oberfläche aufgesprüht wird, oder die Kunststoffoberfläche in die jeweilige Flüssigkeit eingetaucht wird. Selbstverständlich ist es auch möglich, die Flüssigkeit über die Kunststoffoberfläche rinnen zu lassen.
  • In einem ersten Verfahrensschritt wird die zu reinigende Kunststoffoberfläche folglich mit deionisiertem Wasser gespült, das auch als destilliertes Wasser bezeichnet wird. Damit werden zunächst auf der Oberfläche anhaftende oder aufliegende grobe Partikel entfernt. Besonders vorteilhafterweise ist, dass das ionisierte Wasser auf die zu reinigende Kunststoffoberfläche aufgesprüht wird.
  • In einem zweiten Verfahrensschritt wird die Kunststoffoberfläche mit elektrolysiertem Wasser gespült. Elektrolysiertes Wasser wird hergestellt, indem beispielsweise deionisiertes Wasser mit einem Elektrolyt versetzt und anschließend durch eine Elektrolysezelle geleitet wird. Durch die Verwendung des elektrolysierten Wassers wird zumindest ein Teil des an der Kunststoffoberfläche anhaftenden Metalls gelöst und auf diese Weise von der Oberfläche entfernt. Vorzugsweise wird das anhaftende Metall vollständig entfernt.
  • Insbesondere um Rückstände des elektrolysierten Wassers an der zu reinigenden Kunststoffoberfläche zu entfernen, wird in einem dritten Verfahrensschritt die Oberfläche erneut mit deionisiertem Wasser gespült. Hierzu wird vorteilhafterweise ein sogenannter „rinse cleaning process“ verwendet, bei dem das deionisierte Wasser über die Oberfläche, die zu reinigen ist, rinnt.
  • Im Vergleich zu den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren, bei denen die Reinigung ausschließlich durch die Verwendung von deionisiertem Wasser erfolgt, macht sich das erfindungsgemäße Verfahren die Erkenntnis zunutze, dass die Löslichkeit von Metallen in Wasser insbesondere vom pH-Wert und von Redoxpotential des Wassers abhängt. Daher ist die Löslichkeit der Metalle in elektrolysiertem Wasser in der Regel höher als in deionisiertem Wasser, sodass durch den zusätzlichen Verfahrensschritt des Spülens mit elektrolysiertem Wasser metallische Verunreinigungen besser entfernt werden können, als beim Reinigen mit deionisiertem Wasser allein.
  • Vorteilhafterweise beinhaltet das Spülen mit elektrolysiertem Wasser das Spülen mit anodischem Wasser, das einen pH-Wert hat, der kleiner ist als 7. Anodisches Wasser ist daher sauer und kann eine Reihe von Metallen lösen.
  • Alternativ oder zusätzlich dazu beinhaltet das Spülen mit elektrolysiertem Wasser das Spülen mit kathodischem Wasser, das einen pH-Wert aufweist, der größer ist als 7. Insbesondere können vorzugsweise Partikel – beispielsweise metallische Partikel – mit kathodischem Wasser zumindest größtenteils, verzugsweise jedoch vollständig entfernt werden.
  • Es hat sich als Vorteilhaft herausgestellt, wenn das Spülen mit elektrolysiertem Wasser das Spülen sowohl mit anodischem Wasser als auch mit kathodischem Wasser beinhaltet, wobei die beiden unterschiedlich elektrolysierten Wasser nacheinander verwendet werden. Vorteilhafterweise wird die Kunststoffoberfläche zunächst mit anodischem Wasser gespült, bevor sie mit kathodischem Wasser gespült wird. Durch die Spülung der Kunststoffoberfläche mit anodischem Wasser können leichte positive Ladungen auf der Oberfläche zurückbleiben. Dadurch wird eine spätere erneute Anhaftung Partikel erleichtert und die Anhaftung verbessert, sodass diese zurückbleibenden leicht positiven Ladungen vermieden werden sollten. Durch eine spätere alkalische Nachbehandlung der Oberfläche durch das Spülen mit kathodischem Wasser werden diese leicht positiven Ladungen entfernt, sodass die Anhaftung neuer Partikel erschwert wird.
  • Unabhängig davon, welches elektrolysierte Wasser zum Spülen verwendet wird, wird abschließend deionisiertes Wasser zum Spülen verwendet, um die Rückstände des elektrolysierten Wassers möglichst vollständig zu entfernen.
  • Vorteilhafterweise wird das elektrolysierte Wasser in einer Elektrolysezelle hergestellt, die zwei Elektroden aufweist, und in die Wasser eingeleitet wird, das mit einem Elektrolyt versetzt wird. Die Herstellung von elektrolysiertem Wasser ist aus dem Stand der Technik seit langem bekannt. Vorteilhafterweise lassen sich jedoch der pH-Wert und/oder das Redoxpotential des elektrolysierten Wassers einstellen, indem die Konzentration des Elektrolyten und/oder ein zwischen den beiden Elektroden fließender elektrischer Strom als Steuerparameter verwendet werden. Die Elektrolysezelle verfügt in der Regel über zwei Elektrolysekammern, von denen eine die Kathodenkammer mit der sich darin befindenden Kathode und die andere die Anodenkammer mit der sich darin befindenden Anode darstellt. Vorzugsweise werden die beiden Elektroden als Diamantelektroden ausgebildet. In wenigstens eine der beiden Kammern wird mit einem Elektrolyt versetztes deionisiertes Wasser eingeleitet, das somit dem elektrischen Feld, das zwischen den beiden Elektroden herrscht, ausgesetzt wird. Die beiden Kammern werden durch eine Membran voneinander getrennt, die für Ionen einer bestimmten Ladung durchlässig ist. So gibt es beispielsweise für Anionen durchlässige Membrane und für Kationen durchlässige Membranen, durch die folglich gesteuert werden kann, welche Ionensorte die Membran passieren kann.
  • Durch die Auswahl des jeweiligen Elektrolyten und der jeweiligen Konzentration des Elektrolyten lässt sich der pH-Wert des herzustellenden elektrolysierten Wassers auf einen vorbestimmten Wert einstellen. Gegebenenfalls müssen dafür die Verweildauer des mit Elektrolyten versehenen deionisierten Wassers innerhalb der jeweiligen Kammer der Elektrolysezelle, also die Durchflussgeschwindigkeit, und/oder der Strom, der durch die beiden Elektroden fließt, eingestellt und angepasst werden. Durch den elektrischen Strom kann zudem auch das Redoxpotential des hergestellten elektrolysierten Wassers eingestellt werden. Es ist folglich möglich, sowohl den pH-Wert als auch das Redoxpotential zumindest innerhalb vorbestimmter Bereiche unabhängig voneinander auf eine gewünschte Wertekombination einzustellen und somit das elektrolysierte Wasser optimal auf das zu lösende Metall, das als Verunreinigung an der zu reinigenden Kunststoffoberfläche anhaftet, einzustellen.
  • Insbesondere können Elektrolyte gewählt werden, die Chlorid-Ionen (Cl–), Fluorid-Ionen (F–), Sulfat-Ionen (SO4 2–), Phosphat-Ionen (PO4 3–), Nitrat-Ionen (NO3 –) oder Kombinationen dieser Ionen bilden. Selbstverständlich müssen auch Elektrolyte verwendet werden, die Kationen bilden, um die elektrische Neutralität zu gewährleisten. Als Kationen kommen insbesondere Wasserstoffionen (H+) und/oder Ammonium-Ionen (NH4+) in Frage.
  • Dies ist einfach, schnell und sicher möglich, sodass das Verfahren kostengünstig durchführbar ist.
  • Vorteilhafterweise dauert das Spülen der Kunststoffoberfläche in jedem der Verfahrensschritte zwischen 15 Sekunden und 90 Sekunden. Wird im Verfahrensschritt b) sowohl mit anodischem als auch mit kathodischem Wasser gespült, kann für jede dieser beiden Spülungen eine Spüldauer zwischen 15 Sekunden und 90 Sekunden vorgesehen werden. Es hat sich als Vorteilhaft herausgestellt, wenn das Spülen in den unterschiedlichen Verfahrensschritten unterschiedlich lange dauert. Vorzugsweise wird die jeweilige Spüldauer auf die zu erwartenden Verschmutzungen oder Verunreinigungen und den gewünschten Grad der Reinigung eingestellt.
  • Um die Spül- und Reinigungswirkung weiter zu verbessern, kann die Temperatur des deionisierten Wassers und/oder des elektrolysierten Wassers zwischen 10 °C und 70 °C betragen. Dabei hat sich gezeigt, dass die Reinigungswirkung mit steigender Temperatur zunimmt. Selbstverständlich kann auch hier die Temperatur in unterschiedlichen Verfahrensschritten für die jeweilige Flüssigkeit unterschiedlich gewählt werden. Insbesondere kann auch das deionisierte Wasser, mit dem im Verfahrensschritt a) gespült wird, eine andere Temperatur aufweisen und insbesondere wärmer oder kälter sein als das deionisierte Wasser, mit dem im Verfahrensschritt c) gespült wird.
  • Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe zudem durch eine Vorrichtung zum Durchführen eines hier beschriebenen Verfahrens. Vorzugsweise verfügt eine derartige Vorrichtung nicht nur über die Möglichkeit, die Kunststoffoberfläche mit den jeweils verschiedenen Flüssigkeiten zu spülen, sondern umfasst auch eine Elektrolysezelle, um das benötigte elektrolysierte Wasser selbst herzustellen. Dabei kann die Elektrolysezelle durchgängig im Permanentbetrieb betrieben werden.
  • Alternativ dazu kann auch ein zeitlich begrenzter Betrieb der Elektrolysezelle sinnvoll sein, wenn die Vorrichtung beispielsweise über einen oder mehrere Zwischentanks oder Speicher verfügt, in dem oder denen die elektrolysierte Flüssigkeit zwischengespeichert werden kann. In diesem Fall ist es möglich, eine Elektrolysezelle mit größerer Kapazität zu verwenden, die gegebenenfalls effizienter betrieben werden kann.
  • Mit Hilfe der beiliegenden Zeichnungen wird nachfolgend ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 – die schematische Darstellung einer Elektrolysezelle,
  • 2 – die schematische Darstellung eines Aufbaus einer Vorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung und
  • 3 und 4 – schematische Diagramme, aus denen sich die Reinigungswirkung ergibt.
  • 1 zeigt eine Elektrolysezelle 1, die eine Anodenkammer 2, in der sich eine Anode 4 befindet, und eine Kathodenkammer 6 aufweist, in der sich eine Kathode 8 befindet. Zwischen der Anodenkammer 2 und der Kathodenkammer 6 befindet sich eine Ionentauschermembran 10, die im gezeigten Ausführungsbeispiel als Anionen-Tauschermembran 10 ausgebildet ist. Durch einen Anodenkammerzulauf 12 wird deionisiertes Wasser oder destilliertes Wasser, das auch Reinst- oder Ultrareinstwasser sein kann, in die Anodenkammer 2 eingeleitet. Gleichzeitig wird deionisiertes Wasser, in dem sich ein Elektrolyt befindet, der im gezeigten Ausführungsbeispiel Chlorid-Ionen bildet, durch einen Kathodenkammerzulauf 14 in die Kathodenkammer 6 geleitet. Schematisch ist in 1 dargestellt, dass sich in der Kathodenkammer 6 neben dem Wasser (H2O) auch Ammonium-Ionen (NH4 +) und Chlorid-Ionen (Cl–) befinden.
  • Zwischen der Anode 4 und der Kathode 8 wird eine elektrische Spannung angelegt, die die Chlorid-Ionen (Cl–) entlang des Pfeiles 16 in Richtung auf die Anode 4 beschleunigt. Sie können durch die Ionentauschermembran 10 hindurchtreten und befinden sich dann in der Anodenkammer 2.
  • In einer alternativen Ausgestaltung kann statt einer Anionen-Tauschermembran auch eine Kationen-Tauschermembran verwendet werden, sodass positiv geladene Kationen von der Anodenkammer 2 in die Kathodenkammer 6 gelangen können.
  • Durch einen Anodenkammerablauf 18 verlassen die in 1 dargestellten Bestandteile die Anodenkammer 2. Es handelt sich um Wasser, Chlorid-Ionen (Cl–) und Hydronium-Ionen (H+), die durch die elektrische Spannung zwischen der Anode 4 und der Kathode 8 erzeugt werden. Gleichzeitig wird in der Anodenkammer 2 Ozon (O3) gebildet, das ebenfalls durch den Anodenkammerablauf 18 die Anodenkammer 2 verlässt.
  • Aus einem Anodenkammerablauf 20 verlassen neben dem Wasser auch die Ammonium-Ionen (NH4 +) sowie die Hydroxid-Ionen (OH–) die Kathodenkammer 8.
  • Aus der Konzentration des Elektrolytes, aus dem im gezeigten Beispiel die Chlorid-Ionen (Cl–) gebildet werden, und dem elektrischen Strom, der durch die zwischen der Anode 4 und der Kathode 8 angelegte Spannung hervorgerufen wird, lassen sich der pH-Wert sowie das Redoxpotential des aus dem Anodenkammerablauf 18 austretenden elektrolysierten Wassers einstellen.
  • 2 zeigt schematisch eine Vorrichtung zum Durchführen eines Verfahrens zum Reinigen gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Die Vorrichtung verfügt über zwei Elektrolysezellen 1, die jeweils eine Anodenkammer 2 und eine Kathodenkammer 6 aufweisen. Zwischen den beiden Kammern ist jeweils eine Ionentauschermembran 10 angeordnet, die in der in 2 links dargestellten Elektrolysezelle 1 als Anionen-Tauschermembran und in der rechts dargestellten Elektrolysezelle 1 als Kationentauschermembran ausgebildet ist. Den Pfeilen 16 entsprechend können daher in der links dargestellten Elektrolysezelle 1 Anionen durch die Ionentauschermembran 10 hindurchtreten, während in der rechts dargestellten Elektrolysezelle 1 Kationen aus der Anodenkammer 2 in die Kathodenkammer 6 übertreten können.
  • Die in 1 gezeigte Vorrichtung verfügt über einen Anolyt-Mischtank 22. In Ihm wird deionisiertes Wasser, das über eine Zuleitung 24 bereitgestellt wird, mit einem Anolyten vermischt, bevor es über den Anodenkammerzulauf 12 in die Anodenkammer 2 der in 2 rechts dargestellten Elektrolysezelle 1 eingespeist wird. Durch den Kathodenkammerzulauf 14 wird deionisiertes Wasser zugeführt.
  • In der in 2 rechts dargestellten Elektrolysezelle wird kathodisches Wasser hergestellt, das über eine Kathodenleitung 26 in einen Kathodentank 28 eingeleitet wird. Von dort kann es einer Aufbringvorrichtung 30 zugeführt werden, durch die es auf zu reinigende Oberfläche aus Kunststoff aufgebracht wird.
  • Die in 2 gezeigte Vorrichtung verfügt zudem über einen Katholyt-Mischtank 32. In ihm wird deionisiertes Wasser, das über die Zuleitung 24 zugeführt wird, mit einem Katholyten vermischt, bevor es über den Kathodenkammerzulauf 14 in die Kathodenkammer 6 eingeleitet wird. In die Anodenkammer 2 der in 2 links dargestellten Elektrolysezelle 1 wird deionisiertes Wasser über den Anodenkammerzulauf 12 eingeleitet. Aus dem Anodenkammerablauf 18 wird das in der links dargestellten Elektrolysezelle hergestellte anodische Wasser durch eine Anodenleitung 34 in einen Anodentank 36 eingeleitet, aus dem es ebenfalls der Aufbringvorrichtung 30 zugeführt werden kann.
  • In den 3 und 4 ist schematisch dargestellt, wie die Reinigungswirkung eines Verfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist.
  • Dabei geht es um das Entfernen von Eisen-Verunreinigungen von einem Bauteil aus Polycarbonat. Aufgetragen ist jeweils B, das Redoxpotential in Millivolt (mV) über A, dem pH-Wert. Die durchgezogenen Linien beinhalten jeweils eine Zahl in einem viereckigen Kasten. Diese Zahl bezeichnet den prozentualen Anteil der Eisenverunreinigungen, der mit dem jeweiligen Verfahren entfernt werden konnte. So werden beispielsweise bei dem in 3 dargestellten Ergebnis eines Verfahrens bei einem pH-Wert von 5,2 und einem Redoxpotential von 422 mV 25 % der Eisenverunreinigungen entfernt.
  • Bei dem Verfahren, dessen Ergebnis in 3 dargestellt ist, wird die Oberfläche für 15 Sekunden bei einer Temperatur von 22,1 °C mit der jeweiligen Flüssigkeit behandelt, während bei dem Verfahren, dessen Ergebnis in 4 dargestellt ist, die Behandlung mit der jeweiligen Flüssigkeit für 180 Sekunden bei einer Temperatur von 70 °C geschieht. Man erkennt, dass bei identischen Bereichen des Redoxpotentiales B und des pH-Wertes A durch die längere Einwirkzeit der jeweiligen Flüssigkeit deutlich größere Anteile der Eisenverschmutzungen und Verunreinigungen entfernt werden konnten.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Elektrolysezelle
    2
    Anodenkammer
    4
    Anode
    6
    Kathodenkammer
    8
    Kathode
    10
    Ionentauschermembran
    12
    Anodenkammerzulauf
    14
    Kathodenkammerzulauf
    16
    Pfeil
    18
    Anodenkammerablauf
    20
    Kathodenkammerablauf
    22
    Anolyt-Mischtank
    24
    Zuleitung
    26
    Kathodenleitung
    28
    Kathodentank
    30
    Aufbringvorrichtung
    32
    Katholyt-Mischtank
    34
    Anodenleitung
    36
    Anodentank

Claims (10)

  1. Verfahren zum Reinigen, insbesondere zum Entfernen metallischer Verunreinigungen und/oder Partikel, von einer Kunststoffoberfläche, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: a) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser, b) Spülen der Kunststoffoberfläche mit elektrolysiertem Wasser und c) Spülen der Kunststoffoberfläche mit deionisiertem Wasser.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülen mit elektrolysiertem Wasser das Spülen mit anodischem Wasser mit einem pH-Wert, der kleiner ist als 7, beinhaltet.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülen mit elektrolysiertem Wasser das Spülen mit kathodischem Wasser mit einem pH-Wert, der größer ist als 7, beinhaltet.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffoberfläche mit anodischem Wasser gespült wird bevor sie mit kathodischem Wasser gespült wird.
  5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der pH-Wert und/oder das Redoxpotential des elektrolysierten Wassers auf einen vorbestimmten Wert eingestellt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrolysierte Wasser in einer Elektrolysezelle (1) hergestellt wird, die zwei Elektroden (4, 8) aufweist und in die Wasser eingeleitet wird, das mit einem Elektrolyten versetzt ist, wobei der pH-Wert und/oder das Redoxpotential des elektrolysierten Wassers eingestellt wird, in dem eine Konzentration des Elektrolyten und/oder ein zwischen den beiden Elektroden (4, 8) fließender elektrischer Strom als Steuerparameter verwendet werden.
  7. Verfahren nach einem vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülen der Kunststoffoberfläche in jedem Verfahrensschritt zwischen 5 Sekunden und 600 Sekunden, vorzugsweise zwischen 15 Sekunden und 90 Sekunden, dauert.
  8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Spülen in den verschiedenen Verfahrensschritten unterschiedlich lange dauert.
  9. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Temperatur des deionisierten Wassers und/oder des elektrolysierten Wassers zwischen 10 °C und 70 °C beträgt.
  10. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der vorstehenden Ansprüche.
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