CZ302337B6 - Dusíkem dotovaný niobový prášek a zpusob jeho výroby, anoda kondenzátoru a zpusob její výroby, a kondenzátor - Google Patents

Dusíkem dotovaný niobový prášek a zpusob jeho výroby, anoda kondenzátoru a zpusob její výroby, a kondenzátor Download PDF

Info

Publication number
CZ302337B6
CZ302337B6 CZ20004099A CZ20004099A CZ302337B6 CZ 302337 B6 CZ302337 B6 CZ 302337B6 CZ 20004099 A CZ20004099 A CZ 20004099A CZ 20004099 A CZ20004099 A CZ 20004099A CZ 302337 B6 CZ302337 B6 CZ 302337B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
niobium
nitrogen
niobium powder
powder
ppm
Prior art date
Application number
CZ20004099A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ20004099A3 (en
Inventor
A. Fife@James
Original Assignee
Cabot Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=22101962&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CZ302337(B6) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Cabot Corporation filed Critical Cabot Corporation
Publication of CZ20004099A3 publication Critical patent/CZ20004099A3/cs
Publication of CZ302337B6 publication Critical patent/CZ302337B6/cs

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004—Details
    • H01G9/04—Electrodes or formation of dielectric layers thereon
    • H01G9/048—Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by their structure
    • H01G9/052—Sintered electrodes
    • H01G9/0525—Powder therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C1/00—Making non-ferrous alloys
    • C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
    • C22C1/045—Alloys based on refractory metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C32/00—Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ
    • C22C32/0047—Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with carbides, nitrides, borides or silicides as the main non-metallic constituents
    • C22C32/0068—Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with carbides, nitrides, borides or silicides as the main non-metallic constituents only nitrides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

Dusíkem dotovaný niobový prášek má obsah dusíku alespon 300 ppm a merný povrch BET alespon 1,0 m.sup.2.n./g. Zpusob výroby niobového prášku obsahuje krok dotování dusíku do niobu behem tavení niobového ingotu, behem deoxidacní fáze niobu, behem hydridace niobu, behem dezintegrace niobu, behem slinování niobu a/nebo behem tepelného zpracování niobu.

Description

Oblast techniky
Vynález se týká dusíkem dotovaných niobových prášků a niobových elektrolytických kondenzátorů, jakož i způsobu výroby těchto prášků a elektrolytických kondenzátoru.
to Vynález se zejména týká dusíkem dotovaného niobového prášku a způsobu jeho výroby.
Vynález se rovněž týká anody kondenzátoru a způsobu její výroby.
Vynález se dále týká kondenzátoru.
Dosavadní stav techniky
Již mnoho let je cílem výzkumníků vyvinout niobové elektrolytické kondenzátory, protože niob ?o má poměrně nízkou cenu ve srovnání s mnohými jinými kovy a jeho oxidy mají vysokou dielektrickou konstantu. Zpočátku výzkumníci v tomto oboru uvažovali možnost použití niobu jako náhrady pro tantalové kondenzátory. V souladu stím byly prováděny četné studie pro zjištění vhodnosti náhrady tantalu niobem.
Některé z těchto studií však dospěly k závěru, že niob má základní nedostatky, které je třeba řešit, a z toho bylo vyvozováno, že niob není přijatelnou náhradou tantalu (viz J. Electrochem. Soc. str. 408C, prosinec 1977).
V jiné studii byl učiněn závěr, že použití niobu v pevných elektrolytických kondenzátorech je velmi nevhodné z důvodu různých fyzikálních a mechanických problémů, například v obrazu krystalizace (Electrocomponent Science and Technology, sv. 1, str. 27 až 37 (1974)).
V další studii výzkumníci dospěli k závěru, že anodicky vytvořené pasivní filmy na niobu mají elektrické vlastnosti odlišné od vlastností dosažených s tantalem, a že použití niobu vede k obtí35 žím, které se u tantalu nevyskytují (viz Electrochimica Act., sv. 40, č. 16. str. 2623 až 26 (1995)).
Ačkoliv tedy zpočátku byla vkládána naděje do niobu jako vhodné náhrady tantalu, fakta ukázala, že niob není schopný nahradit tantal na trhu elektrolytických kondenzátoru.
Vedle tantalových elektrolytických kondenzátoru je také poptávka po hliníkových elektrolytických kondenzátorech. Hliníkové elektrolytické kondenzátory však mají proti tantalovým elektrolytickým kondenzátorům výrazně odlišné pracovní charakteristiky.
Hybnou silou oboru elektronických schémat dnes je rostoucí příklon k nižší ekvivalentní sériové rezistenci (ESR, Equivalent Series Resistance) a ekvivalentní sériové induktanci (ESL, Equivalent Series Inductance). Protože narůstá výkonnost integrovaných obvodů (IC) se submikronoYOu geometrií, existuje potřeba nízkého napájecího napětí a meze šumu. Zároveň narůstání rychlosti integrovaných obvodů vyžaduje vyšší příkon. Tyto konfliktní požadavky vyvolávají nutnost lepšího využití příkonu. Toho se dosahuje distribuovaným napájením, což vyžaduje větší proudy pro potlačení šumu. Zvyšování rychlosti integrovaných obvodů také znamená kratší spínací doby a vyšší přechodové proudy. Elektrický obvod tedy musí být také navrhován pro omezení odezvy na přechodové zatížení. Toto široké spektrum požadavků může být splněno, jestliže obvod má dost velkou kapacitanci, avšak nízkou rezistanci ESR a induktanci ESL.
- 1 CZ 302337 B6
Hliníkové kondenzátory zpravidla poskytují největší kapací tane i ze všech typů kondenzátorů. Rezistance ESR klesá s nárůstem kapacitance. V současné době se používá pro splnění výše uvedených požadavků celá řada hliníkových kondenzátorů. Nicméně hliníkové kondenzátory nevyhovují požadavkům konstruktérů na nízkou rezistanci ESR a induktanci ESL. Jejich mecha5 nické vytvoření s kapalným elektrolytem inherentně vede krezistancím ESR ve stovkách miliohmů při vysoké impedanci.
Podstata vynálezu
Záměrem předloženého vynálezu je poskytnout nitridované niobové prášky.
Dalším záměrem předloženého vynálezu je poskytnout nitridované niobové prášky mající velký měrný povrch a fyzikální vlastnosti, které umožňují zformování nitridovaných niobových prášků i? do kondenzátorů majícího vysokou kapacitanci.
Dalším záměrem předloženého vynálezu je poskytnout nitridované niobové prášky, které mají při zformování do kondenzátorů nízký svod stejnosměrného proudu.
Dalším záměrem předloženého vynálezu je poskytnout způsob snížení svodu stejnosměrného proudu v kondenzátorů vytvořeném z nitridovaného práškového niobu.
V souladu s předmětem tohoto vynálezu byl vyvinut dusíkem dotovaný niobový prášek, který má obsah dusíku alespoň 300 ppm, přičemž prášek má měrný povrch BET alespoň 1,0 m2/g.
Obsah dusíku je s výhodou alespoň 400 ppm.
U výhodného provedení je obsah dusíku alespoň 500 ppm.
jo U dalšího výhodného provedení je obsah dusíku od 300 do 5000 ppm.
Obsah dusíku může být s výhodou od 500 do 4000 ppm.
Obsah dusíku může rovněž být s výhodou od 500 do 3500 ppm.
U dalšího výhodného provedení je obsah dusíku od 500 do 3000 ppm.
Obsah dusíku může být s výhodou od 1500 do 5000 ppm.
4» Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu s výhodou obsahuje hrudkový, vločkový nebo ostrohranný niobový prášek nebo jejich kombinace.
Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu s výhodou obsahuje vločkový niobový prášek, mající měrný povrch BET alespoň 2,0 m2/g.
Podle výhodného provedení dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu obsahuje vločkový niobový prášek, mající měrný povrch BET od 1,0 do 5,0 m2/g.
Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu má s výhodou měrný povrch BET je od 50 2,0 do 5,0 m2/g.
Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu s výhodou obsahuje vločkový niobový prášek, mající hustotu podle Scotta menší než 2,14 g/cm3 (35 g/in3).
- 7 .
CZ 302337 Β6
Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu má s výhodou obsah fosforu menší než 400 ppm.
Dusíkem dotovaný niobový prášek podle tohoto vynálezu má s výhodou obsah kyslíku alespoň 2000 ppm.
V souladu s dalším aspektem předmětu tohoto vynálezu byl rovněž vyvinut způsob výroby shora uvedeného niobového prášku, který obsahuje krok dotování dusíku do niobu během tavení niobového ingotu, během deoxidační fáze niobu, během hydridace niobu, během dezintegrace niobu, během slisování niobu a/nebo během tepelného zpracování niobu.
Způsob podle tohoto vynálezu dále s výhodou obsahuje dotování niobového prášku kyslíkem.
V souladu s dalším aspektem předmětu tohoto vynálezu byla dále rovněž vyvinuta anoda kondenzátoru, která je vytvořena ze shora uvedeného niobového prášku.
Anoda kondenzátoru podle tohoto vynálezu má s výhodou kapacitanci od 30 000 do 61 000 CV/g.
Anoda kondenzátoru podle tohoto vynálezu dále s výhodou obsahuje film oxidu niobu na povrchové ploše.
Film s výhodou obsahuje oxid niobičný.
Anoda kondenzátoru podle tohoto vynálezu je s výhodou vytvořena při napětí 60 V nebo menším.
U výhodného provedení je anoda kondenzátoru s výhodou vytvořena při napětí 50 V nebo menším.
V souladu s dalším aspektem předmětu tohoto vynálezu byl rovněž vyvinut způsob výroby anody kondenzátoru, který zahrnuje slinování niobového prášku při teplotě v rozmezí od 1200 do 1750 °C.
Teplota slinování je s výhodou v rozmezí od 1200 do 1400 °C.
Teplota slinování může být s výhodou v rozmezí od 1250 do 1350 °C.
Způsob výroby anody kondenzátoru s výhodou dále obsahuje krok vytváření anody při napětí 60 V nebo menším.
Způsob výroby anody kondenzátoru s výhodou dále obsahuje krok vytváření anody při napětí 50 V nebo menším.
Způsob výroby anody kondenzátoru s výhodou dále obsahuje krok vytváření anody při napětí od 30 do 50 V nebo menším.
Způsob výroby anody kondenzátoru s výhodou dále obsahuje krok vytváření anody při napětí 30 V nebo menším.
V souladu s dalším aspektem předmětu tohoto vynálezu byl dále rovněž vyvinut kondenzátor, který obsahuje anodu, vytvořenou ze shora uvedeného niobového prášku.
Kondenzátor podle tohoto vynálezu má s výhodou svod stejnosměrného proudu menší než 5,0 nA/CV.
- j CZ 302337 B6
Kondenzátor podle tohoto vynálezu může mít s výhodou svod stejnosměrného proudu od 5,0 do 0,50 nA/CV.
Předmětem vynálezu je rovněž použití shora uvedeného dusíkem dotovaného niobového prášku.
Výše uvedený obecný popis a následující podrobný popis jsou jen příkladné a vysvětlující a jsou předloženy pro vysvětlení předložených nároků.
Přehled obrázků na výkresech
Obr. 1 je graf znázorňující měrný povrch BET niobových prášků a jejich kapacitance, když jsou zformovány do anod a sintrovány při teplotě 1750 °C.
Obr. 2 je graf znázorňující měrný povrch BET niobových prášků a jejich kapacitance, když jsou zformovány do anod a sintrovány při teplotě 1600 °C.
Obr. 3 je graf znázorňující měrný povrch BET niobových prášků a jejich kapacitance, když jsou 20 zformovány do anod a sintrovány při teplotě 1450 °C.
Obr. 4 je graf znázorňující měrný povrch BET niobových prášků a jejich kapacitance, když jsou zformovány do anod a sintrovány při teplotě 1300 °C.
Obr. 5 je graf znázorňující různé teploty sintrování niobových anod a vypočtená maxima kapacitance.
Obr. 6 je graf znázorňující obsah dotovacího kyslíku v niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování do anod a zesintrování při různých teplotách a formovacím napětí
50 voltů.
Obr. 7 je graf znázorňující různé úrovně obsahu dotovacího kyslíku a svod stejnosměrného proudu při zformování anod a zesintrování při různých teplotách a formovacím napětí 30 voltů.
Obr. 8 je graf znázorňující efekt různých obsahů dotovacího fosforu v niobových prášcích a jejich kapacitance při zformování do anod.
Obr. 9 je graf znázorňující efekt různých obsahu dotovacího fosforu v niobových prášcích a jejich svod stejnosměrného proudu při zformování do anod.
Obr. 10 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování anod a zesintrování 1300 nebo 1450 °C a formovacím napětí 50 voltů.
Obr. 11 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného 45 proudu pří zformování anod a zesintrování 1300 nebo 1450 °C a formovacím napětí 35 voltů.
Obr. 12 je graf znázorňující obsah kyslíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 10.
Obr. 13 je graf znázorňující obsah kyslíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 11.
Obr. 14 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování anod a zesintrování při 1300 °C a formovacím napětí 35 voltů.
-4 CZ 302337 B6
Obr. 15 je graf znázorňující obsah dusíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 14.
Obr. í 6 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování do anod a zesintrování při 1450 °C a formovacím napětí 35 voltů.
Obr. 17 je graf znázorňující obsah kyslíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 16.
io Obr. 18 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování anod a zesintrování při 1000 °C a formovacím napětí 50 voítú.
Obr. 19 je graf znázorňující obsah kyslíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 18.
Obr. 20 je graf znázorňující obsah dusíku v různých niobových prášcích a svod stejnosměrného proudu při zformování anod a zesintrování při 1450 °C a formovacím napětí 50 voltů.
Obr. 21 je graf znázorňující obsah kyslíku a svod stejnosměrného proudu pro stejné niobové vzorky jako obr. 20.
Příklady provedení vynálezu
Vynález se týká dusíkem dotovaných niobových prášků. Množství přítomného dusíku je větší než množství dusíku, nacházející se v niobových prášcích jako nečistoty.
Většina dusíku přítomného v niobových prášcích podle tohoto vytvoření je výsledkem záměrných úprav, které vedou ke zvýšenému obsahu dusíku v niobových prášcích (tj. nitridace niobu).
3o Přítomnost dusíku v niobu může být realizována jakýmkoliv způsobem.
Například může být dusík do niobu zaváděn (např. dotováním) během kteréhokoliv stupně zpracování niobu, jako například během jednoho nebo více následujících kroků: tavení ingotu niobu, dezoxidačního stupně, hydridace niobu, dezintegrace niobu, jakéhokoliv sintrování niobu (např.
sintrování anody niobového kondenzátoru), jakékoliv tepelné úpravy niobu, jakéhokoliv stupně tepelného zpracování, nebo kdykoliv před nebo po jednom nebo více těchto kroků či stupňů zpracování.
Pro nitridaci niobového materiálu mohou být použity jakékoliv prostředky, jako například, aniž by na ně však byly omezeny, vystavení prostředí obsahujícímu dusík (např. plynnému dusíku) nebo materiálům obsahujícím dusík, s výhodou v průběhu cyklického tepelného zpracování pro difúzi dusíku do materiálu (např. vytvořením pevného roztoku dusíku reakcí s materiály obsahuj ícími dusík difúzí přímým fyzikálním kontaktem nebo adsorpcí a/nebo adsorpcí plynu).
Jednou z výhod dusíku v niobu je snížení svodu stejnosměrného proudu kondenzátoru vytvořených z niobového prášku. Množství dusíku v niobu může být libovolné, s výhodou takové, že nezhoršuje vlastnosti niobového prášku nebo výrobků vytvořených z niobového prášku. Výhodná množství dusíku jsou množství, která snižují svod stejnosměrného proudu kondenzátoru vytvořených z niobových prášků.
Některé z těchto příkladů ukazují, že existuje bod zvratu ke zhoršení a že při určitém obsahu dusíku již neposkytuje žádné zlepšení svodu stejnosměrného proudu. Dusík je přítomen v množství alespoň asi 300 ppm, může to být alespoň asi 400 ppm, nebo alespoň asi 500 ppm nebo více. Obsah dusíku může být v rozmezí asi 300 až asi 5000 ppm nebo 500 až 4000 ppm nebo 500 až
3500 ppm nebo 1500 až asi 5000 ppm a/nebo 500 až 3000 ppm dusíku.
- 5 CZ 302337 B6
Pokud jde o svod stejnosměrného proudu kondenzátoru vyrobeného z nitridovaného niobu, je možno pozorovat různá snížení svodu stejnosměrného proudu. Obecně je možno nitridací niobu dosáhnout snížení na 50 % nebo méně, nebo 25 % nebo méně, ve srovnání s niobovým práškem v podstatě bez dusíku (obsahujícím např. méně než 100 ppm dusíku).
Množství dusíku v niobovém prášku a výhody dosažené přítomností dusíku mohou být založeny zčásti na formovacím napětí kondenzátoru, jakož i sintrovací teplotě niobového prášku. S výhodou je sintrovací teplota asi 1200 až asi 1750 °C, ještě výhodněji asi 1300 až asi 1600 °C. Obecio ně, čím vyšší je sintrovací teplota, tím nižší je svod stejnosměrného proudu. V souladu s tím se dává přednost vysokým sintrovacím teplotám.
Pro účely tohoto vytvoření může být jako formovací napětí kondenzátoru vytvořeného z niobového prášku s dusíkem použito jakékoliv formovací napětí vhodné pro kondenzátory vytvořené z niobu, jako například asi 50 voltů nebo méně nebo v rozmezí asi 30 voltů až asi 50 voltů. Rozmezí formovacího napětí může být také 30 až 35 voltů nebo méně (25, 20, 15, 10, 5 voltů), protože nižší formovací napětí mohou také přispívat ke snížení svodu stejnosměrného proudu.
Niob pro použití v tomto vytvoření může být jakýkoliv niobový prášek, jako například vločkový, ostrohranný nebo hrudkový nebo jejich směsi a různé formy. Kterékoliv z výše uvedených a/nebo dále popsaných vytvoření také může být podrobeno úpravě, která vede k niobovým práškům majícím výše uvedené obsahy dusíku.
Pokud jde o vločkový niobový prášek, vločkový niobový prášek může být charakterizován jako plochý, deskového tvaru, a/nebo ve tvaru destiček.Vločkový niobový prášek také může mít stranový poměr (poměr průměru ke tloušťce) asi 3 až asi 300, s výhodou 3 až 30. Vločkový niobový prášek poskytuje, vzhledem ke své morfologii, zvýšený měrný povrch.Měrný povrch BET vločkového niobového prášku je s výhodou alespoň 0,15 nr/g, ještě výhodněji alespoň 1,0 m2/g a nej výhodněji alespoň 2,0 m2/g. Výhodná rozmezí měrného povrchu BET vločkového niobové30 ho prášku jsou asi 1,0 až asi 5,0 m2/g, výhodněji asi 2,0 až asi 5,0 m2/g nebo asi 2,0 až asi 4,0 m2/g. Rozmezí BET jsou založena na předaglomerovaných vločkových niobových prášcích.
Vločkový niobový prášek může být aglomerován.Vločkový niobový prášek může být také hydridován nebo nehydridován. Aglomerovaný vločkový niobový prášek s výhodou má hustotu podle
Scotta menší než asi 35 g/in3, výhodněji asi 10 až asi 35. Neaglomerovaný vločkový niobový prášek má s výhodou hustotu podle Scotta méně než 12, výhodněji méně než asi 5 g/in3. S výhodou má aglomerovaný vločkový niobový prášek průtok větší než 80 mg/s, výhodněji asi 80 až asi 500 mg/s.
Vločkový niobový prášek může být připraven podrobením niobového ingotu hydrogenací působením vodíkového plynu za účelem zkřehnutí ingotu. Hydridovaný ingot pak může být rozdrcen na ostrohranný prášek, například pomocí čelisťového drtiče. Vodík pak může být odstraněn zahřátím ve vakuu a odplyněný ostrohranný prášek může být podroben mletí, například za použití pohybujících se koulí, přičemž prášek je dispergován v tekutém médiu (vodném nebo nevod45 ném), například etanolu, pro vytváření vločkového prášku nárazy koulí z nerezové oceli, pohybovaných účinkem rotujících tyčí. Zkřehnutím vodíkem, následovaným podrobením vloček nárazovému mletí, například za použití tiyskového mlýnu s fluidním ložem, virového mlýnu nebo jiného vhodného mletí, mohou být vytvořeny různé velikosti vloček.
Vločkový niobový prášek může volitelně mít vysoký obsah kyslíku, vytvořený dotováním nebo jinými způsoby zavádění kyslíku. Množství dotovacího kyslíku může být alespoň asi 2000 ppm. S výhodou má vločkový niobový prášek obsah kyslíku asi 2000 až asi 20 000 ppm, ještě výhodněji asi 2750 až asi 10 000 ppm, nej výhodněji asi 4000 až asi 9000 ppm. Dotování niobového prášku kyslíkem se může provádět různými způsoby, například, nikoliv však výlučně, opakova-6CZ 302337 B6 ným ohřevem ve vakuu na 900 °C a chlazením ve vzduchu. Alternativně může být použit vločkový niob nebo jakýkoliv jiný typ niobu s nízkým obsahem kyslíku, například méně než 1000 ppm.
Dále může být vločkový niobový prášek také dotován samotným fosforem nebo kyslíkem. Doto5 vání niobového prášku fosforem je také volitelné. Podle jednoho vytvoření předloženého vynálezu je množství fosforu dopujícího niobový prášek menší než asi 400 ppm, s výhodou menší než asi 100 ppm, a nej výhodněji menší než asi 25 ppm.
Na základě zde uvedeného příkladu, množství fosforu je nepodstatné z hlediska svodu stejποιο směrného proudu a kapacitance anody zformované z niobového prášku majícího různé obsahy fosforu jako dotovacího činidla. V souladu stím v jednom vytvořeni je přítomno malé nebo dokonce zanedbatelné množství fosforu nebo není přítomen žádný fosfor, neboť fosfor může mít malý nebo žádný vliv na svod stejnosměrného proudu a kapacitanci anod zformovaných z niobových prášků.
Další příklady niobových prášků zahrnují niobový prášek (např. vločkový, ostrohranný, hrudkový nebo jejich směsi), mající významný obsah kyslíku. Obsah kyslíku může být dosažen výše uvedeným způsobem. Množství kyslíku v niobovém prášku je s výhodou asi 2000 ppm, výhodněji 2000 až asi 20 000 ppm. Další výhodné obsahy kyslíku v niobovém prášku jsou asi 2750 až asi 10 000 ppm nebo asi 4000 až asi 9000 ppm. Pokud jde o tyto niobové prášky, obdobně jako u vytvoření týkajících se pouze vločkových niobových prášků, obsah fosforu v niobových prášcích může být pro určitá vytvoření velmi nízký, S výhodou je v těchto vytvořeních obsah fosforu (jako dopujícího činidla) menší než asi 100 ppm, nej výhodněji menší než asi 25 ppm.
Jiným příkladem niobových prášků jsou niobové prášky (např. vločkové, ostrohranné, hrudkové a jejich směsi), mající měrný povrch BET alespoň 0,5 m2/g, s výhodou alespoň l,0m2/g, ještě výhodněji 1,0 až asi 5,0 m2/g, a nejvýhodněji asi 2,0 až asi 5,0 m2/g. Rozmezí BET je založeno na předaglomero váných niobových prášcích. Niobové prášky mohou být hydridované nebo nehydridované. Niobový prášek může být také aglomerovaný. Niobový prášek podle tohoto vytvoření může být dotován dusíkem. Pro určitá použití může niobový prášek také mít obsah kyslíku pod asi 2000 ppm.
Pokud jde o výrobu vločkového niobového prášku nebo niobového prášku majícího jakoukoliv morfologii s příslušným měrným povrchem BET, příklady ukazují výhodné kroky tvarování niobového prášku, který může být následně upraven na vločky nebo jinou morfologii. Postup je následující a příklady obsahují konkrétní detaily výhodných provedení výroby niobového prášku podle vynálezu.
Při výrobě niobových prášků majících měrný povrch BET alespoň 0,5 m2/g se zpravidla niobový ingot hydriduje ohříváním ve vakuu pro vytvoření zkřehlého ingotu, který se drtí na prášek. Vodík může být volitelně z prášku odstraněn zahříváním částic ve vakuu. Různé oblasti měrného povrchu BET mohou být dosaženy podrobením prášku mletí, s výhodou v procesu třecího mletí. Vyšší měrný povrch BET prášku zpravidla vyžaduje delší dobu mletí.
Například s dobou mletí přibližně 60 minut může být dosažen měrný povrch BET přibližně 1,0 m2/g. Pro získání ještě vyšších měrných povrchů je třeba delších dob mletí, jednou cestou výroby niobových prášků majících vysoký měrný povrch BET je, pro dosažení měrného povrchu BET asi 4 až 5 m2/g nebo více, mletí přibližně 24 hodin nebo více ve třecím mlýnu. Při výrobě takovýchto vysokých měrných povrchů se s výhodou používá třecí mlýn 30-SL Union Process, za použití 1000 liber mlecích prostředků 3/16 SS a asi 80 liber niobového prášku, a při nastavení počtu otáček přibližně 130ot/min. Mlýn také obsahuje dostatečné množství média jako například etanolu, přibližně 13 galonů nebo více.
Po mletí se niobové prášky podrobí tepelnému zpracování, přičemž niobové prášky s výhodou mohou mít obsah fosforu pro minimalizaci snížení měrného povrchu během tepelného zpracováCZ 302337 B6 ní. Tepelné zpracování se může provádět pri asi 1100 °C po dobu 30 minut. Teploty a doby mohou být modifikovány pro zajištění, aby nedošlo ke snížení vysokého měrného povrchu BET.
Různé niobové prášky popsané výše mohou být dále charakterizovány elektrickými vlastnostmi, které jsou výsledkem formování kondenzátoru za použití niobových prášků podle vynálezu. Niobové prášky podle vynálezu se zpravidla testují na elektrické vlastnosti slisováním niobového prášku do anody a zesintrováním slisovaného prášku pri vhodné teplotě a poté anodizací pro vytvoření anody elektrického kondenzátoru, který se pak testuje na elektrické vlastnosti.
V souladu s tím, další vytvoření vynálezu se týká kondenzátoru zformovaných z niobových prášků obsahujících dusík. Anody zformované z některých niobových prášků podle vynálezu mohou mít kapacitanci asi 30 000 až 61 000 CV/g. Při tvarování anod kondenzátoru podle předloženého vynálezu se používá sintrovací teplota, která umožňuje zformování anody kondenzátoru mající požadované vlastnosti. S výhodou je sintrovací teplota asi 1200 až asi 1750°C, výhodněji asi 1200 až asi 1400 °C, a nej výhodněji asi 1250 až asi 1350 °C.
Anody zformované z niobových prášků podle vynálezu se s výhodou formují při napětí menším než 60 voltů, s výhodou 30 až 50 voltů a ještě výhodněji asi 40 voltů. Jsou možná také nižší formovací napětí, například asi 30 voltů nebo méně. Pracovní napětí anod vytvarovaných z niobových prášků podle vynálezu je s výhodou asi 4 až asi 16 voltů a ještě výhodněji asi 4 až asi 10 voltů. Anody vytvarované z niobových prášků podle vynálezu s výhodou mají svod stejnosměrného proudu menší než asi 5,0 nA/CV. Ve vytvoření podle vynálezu mají anody vytvarované z některých prášků podle vynálezu svod stejnosměrného proudu asi 5,0 až asi 0,50 nA/CV.
Vynález se také týká kondenzátoru podle vynálezu, majícího na povrchu film z oxidu niobu. Film z oxidu niobu s výhodou sestává z oxidu niobičného.
Kondenzátory podle vynálezu mohou být použity pro různé účely, například v elektronice automobilů, v mobilních telefonech, v počítačích, monitorech, deskách pro obvody a podobně, ve spotřební elektronice jako TV a CRT, v tiskámách/kopírkách, zdrojích, modemech, v noteboocích, v diskových jednotkách.
Vynález bude dále objasněn na následujících neomezujících příkladech.
TESTOVACÍ POSTUPY
Zhotovení anody:
velikost 0,197 prům.
3,5 Dp hmotnost prášku 341 mg
Sintrovací anody:
1300 °C 10'
1450 °C 10'
1600°C 10'
1750 °C 10'
30V Ef anodizace:
V Ef @ 60 °C/0,l% H3PO4 elektrolyt 20 mA/g konstantní proud
-8CZ 302337 Β6
Svod stejnosměrného proudu (DC)/kapacitance- ESR testování:
testování svodu DC:
% Ef (21 VDC) testovací napětí 60 sekund doba nabíjení 10%H3PO4@21 °C kapací tance -DF testování:
18%H2SO4@21 °C 120 Hz
SOV Ef reformovací anodizace:
V Ef @ 60 °C/0,l% H3PO4 elektrolyt 20 mA/g stejnosměrný proud
Svod stejnosměrného proudu (DC)/kapací tance- ESR testování:
testovaní svodu DC;
% Ef (35 VDC) testovací napětí 60 sekund doba nabíjení 10% H3PO4@21 °C kapací tance -DF testování:
18% H2SO4@21 °C 120 Hz
75V Ef reformovací anodizace:
V Ef @ 60 °C/0,l% H3PO4 elektrolyt 20 mA/g stejnosměrný proud
Svod stejnosměrného proudu (DC)/kapacitance- ESR testování:
testování svodu DC:
% Ef (52,5 VDC) testovací napětí 60 sekund doba nabíjení 10%H3PO4@21 °C kapacitance -DF testování:
18%H2SO4@21 °C 120 Hz
Hustota podle Scotta, analýza kyslíku, analýza fosforu a analýza BET byly prováděny podle postupů uvedených v patentech US 5 011 742, US 4 960 471 a 4 964 906, jejichž obsah se tímto odkazem začleňuje.
-9 CZ 302337 B6
Příklad I
Tento příklad ilustruje vytvoření vynálezu obsahující ostrohranný niobový prášek. Niobový ingot vyrobený elektronovým paprskem byl hydridován zahříváním ingotu ve vakuu 10 4 Torr na 850 °C po dobu 120 minut. Vakuum bylo nahrazeno vodíkovým plynem při 21 kPa po dobu dostatečnou ke zkřehnutí ingotu. Vakuum pak bylo vyčerpáno na -28 rtuti a pak byl doplněn argon do -5 Hg. Tento tlak byl udržován, dokud nebyla stabilizována teplota, měřená pomocí termočlánku. Vzduch byl postupně zaváděn při nárůstu tlaku tak, aby se pracovní teplota nezvyio šovala. Zkřehlý ingot byl rozbit na ostrohranný prášek v čelisťovém drtiči a vytříděn odebráním prášku, kteiý prošel sítem č. 325 (ekvivalent velikosti částic 44 mikrometrů). Z částic obsahujících vodík, upravených na malou velikost, byl odstraněn vodík zahříváním těchto částic na 850 °C ve vakuu dokud vodík emitovaný z částic nepřestal ovlivňovat tlak, a byl získán ostrohranný prášek kovového niobu mající podsítnou velikost podle Fishera 10,6 mikrometrů, hustotu podle Scotta 2,67 g/cm3 (43,8 g/in ), měrný povrch BET před aglomerací 0,17 m2/g, a 1770 ppm kyslíku, poměr kyslíku k měrnému povrchu BET byl 10 400 ppm O/m2/g, a průtok byl 19 mg/s. Asi 0,34 g vzorku neaglomerovaného ostrohranného niobového prášku bylo slisováno do formy anody o průměru 5 mm kolem niobového drátu kruhového průměru 0,6 mm na hustotu 3,5 g/cm3. Vzorky slisovaného niobového prášku byly zesintrovány ve vakuu (alespoň 10“3 Pa) při čtyřech různých teplotách, tj. 1300, 1450, 1600 a 1750 °C po dobu 10 minut, potom byly anodizovány aplikací konstantního proudu 20 mA/g při 50 V na anodu ponořenou v 0,1 hmotnostních procentech kyseliny fosforečné pro vytvoření anod elektrolytického kondenzátoru, které byly promyty a vysušeny. Pracovní charakteristiky kondenzátoru, vyhodnocené měřením na anodách ponořených v 18% kyselině sírové, jsou uvedeny v tab. 1. Kapacitance, stanovená při frekvenci
120 Hertz, je uvedena v jednotkách mikrofarad volt na gram (CV/g) a mikrofarad volt na krychlový centimetr objemu anody (CV/cm3); svod stejnosměrného proudu, měřený po 1 minutě napájení 35 volty, je uveden v jednotkách nanoampéry na mikrofarad a volt (nA/CV).
Příklad 2
Tento příklad ilustruje vytvoření prášku podle vynálezu, obsahujícího aglomerovanou směs ostrohranného a vločkového prášku. 2,5 libry odplyněného ostrohranného prášku vyrobeného v podstatě způsobem podle příkladu 1 bylo zpracováno v třecím kulovém mlýnu 1-S Union Pro35 cess (285 ot/min. po dobu 90 minut), kde prášek dispergovaný v 2400 ml etanolového média se 40 librami mlecích prostředků 3/16 440SS byl nárazy koulí z nerezové ocelí uváděných do pohybu rotujícími tyčemi zpracován do formy vločkového prášku. Po požadované deformaci na vločky byl niobový prášek vyjmut a promyt pro odstranění veškerého přítomného alkoholu. Niobový prášek pak byl promyt směsí 500 ml/lb deionizované vody, 4 ml/lb kyseliny fluoro40 vodíkové a 250 ml/lb kyseliny chlorovodíkové (18,6% HC1 obsahující 22 ml/kg HF) pro odstranění kontaminace kovy (např. železem, niklem, chrómem a podobně, zanesenými stykem s koulemi z nerezové oceli). Poté byl niobový prášek opět promyt deionizovanou vodou a vysušen. Kyselinou promytý vločkový prášek byl sušen na vzduchu při 85 °F (30 °C) a měl stranový poměr (stanovený z pozorování mikrofotografií) v rozmezí 50 až 70. Vločkový prášek byl smísen s výchozím ostrohranným práškem (v hmotnostním poměru 30:70) a s práškem obsahujícím fosfor, např. NH4PF6, v množství poskytujícím 60 ppm fosforu, který slouží jako činidlo pro potlačování krystalizace, pro minimalizaci snížení měrného povrchu během následujícího tepelného zpracování pro aglomeraci. Měrný povrch BET před aglomerací byl 0,31 m2/g. Smíšené prášky byly aglomerovány zahříváním ve vakuu při 1100 °C po dobu 30 minut pro vytvoření aglomero50 váné hmoty. Aglomerační proces byl prováděn tak, že materiál byl odčerpán do vysokého vakua a zahříván rychlostí 3 °C/min. na 700 °C a odplyňován do dosažení vysokého tlaku. V zahřívání bylo pokračováno v peci za vysokého tlaku rychlostí 8 °C/min. až na 1100 °C a teplota byla udržována po dobu 30 minut. Materiál pak byl ponechán zchladnout v peci, načež byl materiál manuálně pasivován vystavením vzduchu. Materiál pak byl rozdrcen na menší aglomerované částice čelisťovým drtičem, rozdrcené částice prošlé sítem č. 50 (ekvivalentní maximální velikos- 10CZ 302337 B6 ti aglomerovaných částic 300 mikrometrů) vykazovaly hustotu podle Scotta 1,3g/cm3 (21,7 g/in3), měrný povrch BET 0,26 m2/g, obsah kyslíku 3693 ppm a obsah fosforu 25 ppm, poměr obsahu kyslíku k měrnému povrchu BET byl 14 000 ppm O/m2/g a průtok 22 mg/s. Aglomerovaný prášek byl zpracován na anody a testován na elektrické vlastnosti, které jsou uvedeny v tabulce 1, způsobem jako podle příkladu 1.
Příklad 3 io Tento příklad ilustruje vytvoření prášku podle vynálezu sestávajícího z aglomerovaného vločkového prášku. Kyselinou loužený vločkový prášek mající stranový poměr asi 50 až 70 byl vyroben v podstatě jak je popsáno v příkladu 2 (s dobou cyklu 60 minut), stou výjimkou, že niobový prášek byl hydridován podruhé vystavením vodíku při 20,7 kPa (3 psig) a 850 °C pro vytvoření zkřehlých vloček, které se ochladí a rozmělní vzájemným narážením v tryskovém mlýnu s fluid15 ním ložem (od firmy Hosokava Micron Powder Systém, Summit, NJ) pro vytvoření vločkového prášku majícího střední velikost částic 6 mikrometrů (stanovenou laserovým rastrováním velikosti částic). Měrný povrch BET před aglomerací byt 0,62 m2/g. Vločkový prášek se zmenšenou velikostí byl aglomerován zahříváním ve vodíkové atmosféře v peci rychlostí 10 °C/min. na 1050 °C ve vakuové peci a udržováním této teploty dokud tlak v peci nepoklesl pod 100 mikro20 metrů. Jako zdroj kyslíku byly použity hrubé tantalové třísky (10 až 20 mesh) v množstevním poměru 1 Nb ku 1 až 1,5 Ta. Pec pak byla znovu naplněna vodíkem pro získání tlaku 360 m Hg a teplota v pecí byla zvýšena na 1200 °C a udržována po dobu 1 hodiny. Vodík pak by i evakuován až do snížení tlaku v peci na méně než jeden mikrometr a pec byla ponechána vychladnout na pokojovou teplotu. Niobový prášek pak byl pašivován ve vzduchu ve třiceti cyklech, přičemž pracovní tlak byl zvyšován o 20 Torr v každém cyklu a udržován po dobu 2 min. před započetím příštího znovunaplnění vzduchem. Aglomerovaný niobový prášek byl rozmělněn na aglomerované částice čelisťovým drtičem, velikostně zmenšený aglomerovaný vločkový niobový prášek byl rozdělen pomocí síta č. 50 (ekvivalentní maximální velikosti aglomerovaných vločkových částic 300 mikrogramů) a vykazoval hustotu podle Scotta 1,21 g/cm3 (20,4 g/in3), měrný povrch BET
0,46 m3/g, obsah kyslíku 8760 ppm, poměr kyslíku k měrnému povrchu BET byl 19 000 ppm
O/m2/g a průtok méně než 1 mg/s. Aglomerovaný prášek byl zapracován do anod a testován na elektrické vlastnosti uvedené v tabulce 1, způsobem podle příkladu 1.
Příklad 4
Tento příklad ilustruje další vytvoření prášku podle vynálezu, sestávajícího z aglomerovaného niobového vločkového prášku, který má velký měrný povrch a nízký obsah kyslíku. Niobový prášek byl připraven stejným způsobem jako v příkladu 3 s tou výjimkou, že niobový prášek byl mlet pomocí třecího mlýnu po dobu 90 minut, a tepelné zpracování bylo prováděno ve vakuu při 1150 °C po dobu 30 minut. Měrný povrch BET před aglomerací byl 0,85 m2/g. Obsah kyslíku ve vločkovém niobovém prášku připraveném v podstatě způsobem podle příkladu 3 byl snížen zahříváním niobového prášku s přimíšením 4 až 5 % hmotn. hořčíkového prášku pod argonem při teplotě 750 až 850 °C po dobu 2 hodin. Obsah hořčíku byl ustaven v rozmezí 2 až 3 násobku stechiometrického množství kyslíku v niobovém prášku. Po ochlazení byly zbývající hořčík a oxidy odstraněny z aglomerovaného vločkového niobu loužením kyselinou dusičnou. Dezoxidovaný vločkový niob byl promyt vodou, vysušen a rozdělen na sítu č. 50. Tříděné niobové vločky měly hustotu podle Scotta 1,47 g/cm3 (24,1 g/in3), měrný povrch BET 0,96 m2/g, obsah kyslíku asi 3130 ppm, poměr kyslíku k měrnému povrchu BET byl 3260 ppm O/m2/g, a průtok 76 mg/s.
Aglomerovaný prášek byl zpracován do anod a testován na elektrické vlastnosti, uvedené v tab. 1, způsobem podle příkladu 1.
- 11 CZ 302337 B6
Tabulka I
Sintrovací teplota
1300 °C 1450 °C 1600 °C 1750 °C
Příklad 1
kapacitance
(CV/g) 8400 7500 6400 5500
(CV/cm3) 40 900 37 000 33 400 30 000
svod DC
(nA/CV) 53 2,8 2,3 2,4
hustota sintr.
(g/cm3) 4,9 5,0 5,2 5,5
Příklad 2
kapacitance
(CV/g) 13 600 11 900 10 000 8200
(CV/cm3) 46 000 41 600 36 900 33 400
svod DC
(nA/CV) 25 1,7 2,1 2,5
hustota sintr.
(g/cm3) 3,4 3,5 3,7 4,1
Příklad 3
kapacitance
(CV/g) 32 500 21 400 13 400 7100
(CV/cm3) 114 100 94 300 73 600 45 800
svod DC
(nA/CV) 5,8 4,1 2,4 2,0
hustota sintr.
(g/cm3) 3, 5 4,4 5,5 6,4
Příklad 4
kapacitance
(CV/g) 31 589 21 059 12 956 7254
(CV/cm3) 110 562 88 448 64 780 42 799
svod DC
(nA/CV) 5, 8 5,3 2,6 1,4
hustota sintr.
(g/cm3) 3,5 4,2 5,0 5,9
- 12CZ 302337 B6
Příklad 5
Niobový prášek byl připraven stejným způsobem jako podle příkladu 4 stou výjimkou, že 5 tepelné zpracování bylo prováděno ve vakuu při 1250 °C po dobu 30 minut. Měrný povrch BET před aglomerací byl 0,78 m2/g. Prášek byl zformován do anody jako podle příkladu 1 a měl následující pracovní charakteristiky
CV/g @ 50 Vf hustota sintr., g/cm3 svod DC, nA/CV BET, m2/g kyslík, ppm hustota podle Scotta, G/in3 průtok, mg/s 19 600 (1450 °C) 4,8 (14 50 ®C) 2,33 (1450 °C) 0,80 2,815 24,0 97 31 040 (1300 °C)
Příklad 6
Niobový prášek byl připraven stejným způsobem jako podle příkladu 4 s tou výjimkou, že niobo15 vý prášek byl ve třecím mlýnu po dobu 150 minut, a tepelné zpracování bylo prováděno ve vakuové peci, přičemž tlak byl vyčerpán na jeden mikrometr a poté byla zvyšována teplota rychlostí 50 °C/min. na 950 °C a udržována do dosažení vakua. Teplota pak byla zvyšována po 15 °C až do dosažení teploty 1250 °C, a tato teplota byla udržována po dobu 30 minut. Materiál byl potom ponechán ve vakuu vychladnout na pokojovou teplotu a pašivován ve 30 cyklech, při20 čemž tlak byl zvyšován o 20 Torr v každém cyklu a udržován 2 minuty před započetím následujícího znovunaplnění vzduchem. Prášek byl potom rozdrcen na -50mesh v čelisťovém drtiči a dezoxidován smísením prášku s 4 % hmotn. kovového horčáku a umístěním materiálu v retortové peci a vyčerpáním na 100 mikrometrů. Měrný povrch BET před aglomerací byl 1,05 m2/g. Pec pak byla znovu naplněna argonem na tlak 800 Torr a udržován po dobu 2 hodin. Materiál byl potom ponechán vychladnout na pokojovou teplotu a pasivován ve vzduchu ve 30 cyklech stejným způsobem jako v příkladu 3. Materiál byl potom promyt směsí deionizované vody (500 mi/lb), kyseliny fluorovodíkové (4 ml/lb) a kyseliny dusičné (250 ml/1 b). Prášek byl pak propláchnut deionizovanou vodou a vysušen. Niobový prášek pak byl zformován do anody jako v příkladu 1 a měl následující pracovní charakteristiky
CV/g β 50 Vf (sintrovací teplota) 24 300 (1450°C) 41 700 (1300 °Č)
hustota sintr., g/cm3 4,0 (1450 ŮC)
svod DC, nA/CV 1,5 (1450 eC)
BET, m2/g 1,11
kyslík, ppm 3,738
hustota podle Scotta, g/in3 24,4
průtok, mg/s 112
Příklad 7
Niobový prášek byl připraven stejným způsobem jako podle příkladu 6 s tou výjimkou, že niobový prášek byl před tepelným zpracováním smísen s fosforem pro dosažení obsahu fosforu 56 ppm. Měrný povrch BET před aglomerací byl 1,05 m2/g. Materiál byl hydridován jako v příkladu 3 a rozdrcen, tepelně upraven a dezoxidován jako podle příkladu 6. Niobový prášek byl zformován do anody jako podle příkladu 1 a měl následující pracovní charakteristiky
- 13 CZ 302337 B6
CV/g 0 50 Vf (sintrovací teplota} hustota sintr., g/cm3 29 900 (1450°C) 3,7 (1450 °C) 45 400 (130C°C)
svod DC, nA/CV 1,3 (1450 ’C)
BET, m2/g 1,07
kyslík, ppm 3,690
hustota podle Scotta, g/in3 23,2
průtok, mg/s 76
Příklad 8
Niobový prášek byl připraven stejným způsobem jako podle příkladu 4 s tou výjimkou, že niobový prášek byl mlet ve třecím mlýnu 30 S (130 ot/min) po dobu 8 hodin za použití 1000 liber mlecích prostředků 3/16 SS, 80 liber niobového prášku a 13 galonů etanolu. Umletý prášek byl loužen kyselinou a promyt stejným způsobem jako bylo popsáno výše, a materiál měl následující charakteristiky
BET, m2/g 1, 39
kyslík, ppm 8,124
hustota podle Scotta, g/in3 3
Niobové prášky podle příkladů 1 až 8 měly obsahy dusíku asi 1000 až asi 2000 ppm N2 následkem vnikání vzduchu do pece při odplynění třísek z niobového ingotu.
Příklad 9
Obr. 1, 2, 3 a 4 znázorňují CV/g proti měrnému povrchu BET pro různé niobové prášky mající rozmezí hodnot BET. Každý obrázek představuje měření CV/g prášků s určitou sintrovací teplotou. Jak znázorňují obrázky, čím vyšší je sintrovací teplota, tím větší je ztráta měrného povrchu anody, a nastává také celkové snížení CV/g každého vzorku prášku, když je vzorek testován při vyšších sintrovacích teplotách (CV/g je úměrná reziduálnímu měrnému povrchu anody po zesintrování).
Jak je ilustrováno na obr. 1 až 4, pro kteroukoliv danou teplotu je dosažená CV/g v relaci k výchozímu BET vzorku. Jak je znázorněno, nízký BET má za následek nízkou CV/g, a s růstem BET roste CV/g. Pro materiály mající vysoké BET je stupeň ztráty měrného povrchu při zesintrování tak velký, že se ztrácí tolik měrného povrchu, že zůstává jen malý podíl původního vysokého BET, což se projevuje na CV/g po zesintrování tím, že CV/g s nejvyššími hodnotami BET klesá. 2 toho důvodu závislost CV/g proti BET vykazuje maximum při hodnotě BET, při které je uchován největší čistý měrný povrch po zesintrování. Obecně, jak je znázorněno na obrázcích, u materiálu s vyšším BET se dosahuje optima CV/g při nižších sintrovacích teplotách, zatímco při vyšších sintrovacích teplotách, které jsou pro malé částice s vysokým BET velmi destruktivní, se dosahuje optima CV/g prášku s nižším BET.
Pro každou danou sintrovací teplotu obecně existuje optimum BET; a soubor všech optimálních BET představuje povrchy příslušející sintrovacím teplotám. Jak je znázorněno na obrázcích, CV/g je obecně úměrná BET, a vykazuje vztah k sintrovací teplotě. Obr. 5 znázorňuje CV/g pro každou sintrovací teplotu z obr. 1 až 3, vynesenou proti sintrovací teplotě. Z obr. 5 je zřejmé, že CV/g, které by bylo dosaženo při sintrovací teplotě 1300 °C by byla asi 61 000.
Zpracování obr. 5 je založeno na objektivním a matematicky korektním postupu stanovení maxima CV/g na každém z obr. I až 3. Protože závislost CV/g proti BEZ vykazuje na každém z obr. 1
- 14CZ 302337 B6 až 3 maximum, byl tento požadavek splněn nalezením maxima funkce nejlépe proložené daty na každém obrázku. Skutečná závislost CV/g na BET je složitou funkcí proměnných, nicméně rozvoj funkcí Taylorovými řadami ukazuje, že všechny funkce mohou být aproximovány prvními třemi členy Taylorovy řady v omezené oblasti nezávisle proměnné (v tomto případě BET).
To představuje aproximaci kvadratickou funkcí (F(x)=ax2+bx+c) platnou v omezeném sousedství vybrané hodnoty x). Tato úvaha je platná, pokud hodnoty x jsou blízké. Optimum BET ve všech případech bylo použito jako střed oblasti blízkých BET, takže aproximace je pro BET nejpřesnější v blízkosti této hodnoty, a tedy maximum kvadratického proložení dat je nejlepším odhadem pro vrchol CV/g na obr. 1 až 3. Z toho důvodu bylo provedeno nejlepší proložení dat na io obr. 1 až 3 kvadratickou funkcí za použití nástroje pro proložení křivkou v Microsoft Excel 5.0, který vytvořil parabolickou křivku proloženou naměřenými daty na obr. i až 3. Maxima parabol na obr. 1 až 3 byla použita jako vstupní data pro zpracování obr. 5.
Soubor maxim CV/g proti sintrovacím teplotám na obr. 5 byl proložen exponenciálně klesající funkcí za použití nástroje pro proložení křivkou v Microsoft Excel 5.0, Důvodem zvolení exponenciálního poklesu jako nej lepší aproximace závislosti maxima CV/g na sintrovací teplotě je to, že jak je znázorněno na obrázcích, CV/g klesá s rostoucí sintrovací teplotou, avšak CV/g nikdy nemůže být menší než 0, neboť měrný povrch nemůže být záporný. Exponenciální funkce, která asymptoticky klesá k nule, je nejjednodušším tvarem, který může být použit s daty z obr. 5 a nevede přitom k předpovědi záporných CV/g. Nejlepší proložení dat na obr. 5 exponenciální křivkou stanovenou pomocí Microsoft Excel 5.0 umožnilo vypočtení maxima CV/g, kterého by bylo dosaženo při sintrovací teplotě 1300 °C na zákiadě dat z obr. 1 až 3, jak bylo vysvětleno výše.
Obr. 4 představuje aktuální data pro dostupné Nb vzorky testované pří teplotě síntrování 1300 °C, avšak jak je zřejmé z obr. 4, data nevykazují vrchol, neboť žádný ze vzorků neměl optimum BET pro teplotu sintrování 1300 °C. Tato data byla proložena kvadratickou funkcí, stejnou, jaká byla použita na obr. 1 až 3, která je vynesena na obr. 4 a která ukazuje, že vrchol by měl existovat v souladu s vrcholy pozorovanými na obr. 1 až 3, a to v CV/g>55 000 a BET>1,7. Je možno pozorovat, že v případě obr. 4 vrchol CV/g předpovězený za použití též analýzy jaká byla použita pro data na obr. 5 popisuje maximum CV/g velmi blízké nezávisle odvozenému maximu odhadnutému pomocí obr. 5. Souhlas mezi dvěma oddělenými stanoveními maxima CV/g při sintrovací teplotě 1300 °C dokazuje, že materiály vytvořené sBET>J,7 (měrný povrch BET přibližně 2 nebo více) vykazují pri sintrovací teplotě 1300 °C CV/g>55 000 (CV/g 60 000 nebo více).
Tabulka 2
Příkladová data obr. 1 až 4
1300 1300 1450 1450 1600 1600 1750 1750
BET CV/g BET CV/g BET CV/g BET CV/g
oo o 30,302 o 00 22,757 0,8 14,433 0,8 7, 972
0,8 30,423 00 o 22,982 0,8 14,754 0,8 8,517
1,16 45,440 1,16 29,916 1,16 16,495 1,16 7,785
0,96 40,797 0, 96 29,868 0,96 18,480 0,96 9, 958
0,96 35,350 0, 96 27,959 0,96 17,742 0,96 9, 611
0, 96 40,235 0, 96 30,147 0,96 18,707 0,96 9, 989
0,96 35,481 0, 96 27,667 0,96 17,977 0,96 9, 611
- 15CZ 302337 B6
Příklad 10
Byly studovány účinky kyslíku na niobové prášky. Bylo testováno pět vzorků vločkového niobo5 vého prášku (připraveného podle příkladu 5), každý o hmotnosti 1 libry. Jeden ze vzorků byl kontrolní a čtyři zbývající vzorky byly zpracovány takovým způsobem aby se zvýšil obsah kyslíku v niobovém prášku. Konkrétně, čtyři vzorky byly tepelně zpracovány v peci při 900 °C po dobu 30 minut. Prášky byly pasivovány na vzduchu způsobem obdobným pasivaci vzduchem diskutované v předcházejících příkladech. Potom byl jeden ze čtyř vzorků odebrán a tři zbývající io vzorky byly tepelně zpracovány a pasivovány znovu způsobem popsaným výše. Jako předtím, jeden z těchto tří vzorků byt odebrán a postup byl opakován znovu se zbývajícími dvěma vzorky.
Poté byl opět odebrán jeden ze vzorků a konečně zbývající vzorek byl znovu tepelně zpracován a pasivován jako předtím. Bylo tak připraveno pět vzorků, které byly tepelně zpracovány v 0.1,2,3 nebo 4 cyklech. Před testováním na obsah kyslíku v každém z těchto vzorků byly vzor15 ky prosety skrze síto 40 mesh.
Tyto prášky pak byly aglomerovány a sintrovány při různých teplotách a zformovány do anod při třech různých formovacích napětím jak je naznačeno v tabulce 3. Výsledky svodu stejnosměrného proudu jsou uvedeny v tabulce 3. Jak je zřejmé z tabulky 3 a obr. 6 a 7, svod stejnosměrného napětí klesá s nárůstem obsahu kyslíku v niobu. Pokles svodu stejnosměrného proudu byl zvláště zřejmý s nízkými formovacími napětími jako 30 a 50 voltů.
Tabulka 3
Data ukazující vliv O2 na nA/CV při 30,50 a 60 i Voltech
30 Vf
1300 1450 1600 1750
Kyslík nA/CV nA/CV nA/CV nA/CV
2725 4,47 1,86 0,89 0,47
4074 3,96 1,41 0, 62 0,47
4870 3,49 1,29 0,58 0,45
5539 2,7 1,04 0,55 0,45
6499 2,38 0,95 0,54 0,45
8909 2,25 0,88 0,57 0, 54
50 Vf
Kyslík nA/CV nA/CV nA/CV nA/CV
2725 4,31 3,07 1,84 1,08
4074 4,47 2,55 1,46 1,01
4870 3,96 2,51 1,42 0, 99
5539 3,26 2,21 1,29 0, 97
6499 3,5 2,09 1,23 0, 97
8909 3,85 2,02 1,26 0,97
- 16CZ 302337 B6
Vf
Kyslík nA/CV nA/CV nA/CV nA/CV
2725 22,16 25,06 28,64 27,08
4074 19,78 24,07 28,51 28,78
4870 19,11 24,71 28,51 27,67
5539 17,84 21,75 26,62 27,37
6499 17,88 22,37 24,88 25,69
8909 25,2 29,67 33,2 28,99
Příklad 11
Pak byl prověřován vliv fosforu na niobový prášek. Šest vzorků niobového prášku bylo připraveno způsobem podle příkladu 5. Jeden ze vzorků byl použit jako kontrolní a ke zbývajícím pěti vzorkům bylo přidáno množství kyseliny fosforečné dostatečné pro dosažení obsahů kyseliny fosforečné 5 ppm, 10 ppm, 30 ppm, 100 ppm resp. 500 ppm. Kyselina fosforečná byla přidána jako zředěný roztok se 150 ml deionizované vody. Roztok kyseliny fosforečné a prášku byly smiseny a vzorky Oyiy vysušeny ve vaKUOvc pec;, re vysusen: oyjy vzorky jednotlivě míchány a testovány na obsah fosforu. Výsledky jsou uvedeny v tabulce 4. Jak je zřejmé z tab. 4 a obr. 8 a 9, efekt dotování fosforem je malý a bylo zjištěno, že větší množství fosforu nemusí zlepšovat vlastnosti pokud jde o svod stejnosměrného proudu.
... ------λ ιπαηί
Tabulka 4
Vzorky niobu dotovaného fosforem
dotováno P (ppm) anoda P (ppm) CV/g(130C °C) nA/CV(1300 °C)
16 13 33009 22, 96
26 13 33614 21,77
69 100 33676 19,53
200 58 33915 21,83
400 204 34213 20,65
CV/g(1450 °C) nA/CV(1420 °C)
16 0 24095 25,06
26 20 24375 23,4
62 72 24459 24,33
200 50 25348 26,09
400 339 25664 24,69
CV/g(1600 ŮC) nA/CV(1600 °C)
16 0 15757 25,51
26 0 15974 24,82
62 0 16131 24,57
200 56 16736 25,83
400 415 17011 27,18
- 17CZ 302337 B6
CV/g(1750 °C) nA/CV(1750 °C)
16 8575 16,39
26 f 9176 16, 69
62 9315 17,35
200 9551 16, 54
400 9670 18,74
Příklad 12
Byly studovány účinky dotování dusíkem.
Dotování dusíkem, příklad Pedigree:
Vzorky 60-, 25-, 55- a 46-14XX io
Třikrát tavený, elektronovým paprskem vytvořený niobový ingot byl hydridován zahříváním ingotu ve vakuu 10'4o Torr na 850 °C po dobu !20 minut. Vakuum bylo nahrazeno vodíkovým plynem při 21 kPa na dobu dostatečnou pro zkřehnutí ingotu. Plyn byl vyčerpán pro snížení tlaku o 28'Tlg a byl zaveden argon do -5 Hg. Tlak byl udržován až do stabilizace teploty, měřené ter15 močlánkem. Postupně byl zaváděn vzduch při narůstajícím tlaku tak, aby nerostla teplota.
Zmenšení velikosti bylo provedeno pomoct drtiče Granutec pro zmenšení maxima velikostí částic tak, aby prošly sítem č. 20. Další zmenšení bylo provedeno opakovaným zpracováním v nárazovém mlýnu Vortec Products, provozovaném při 20 000 ot/min, aby 95 % materiálu prošlo sítem
2o č. 325 (ekvivalentní velikosti částic 44 mikrometrů).
Vodík byl odstraněn zahříváním částic na 850 °C ve vakuu dokud vodík emitovaný z částic nepřestal ovlivňovat tlak, a byl získán ostrohranný prášek kovového niobu mající hustotu podle Scotta 42 a BET 0,22 m2/g.
Prášek byl potom rozemlet ve třecím mlýnu 30S Union Process:
- mlecí prostředky: 1000 liber 3/16 SS
- 80 liber niobového prášku ao - trvání: 4 hodiny 30 minut
- 13 galonů etanolu
- 130 ot./min.
Materiál pak byl vakuově zfiltrován pro odstranění zbytkového etanolu a potom promyt deiontzo35 vanou vodou až do vymizení zápachu etanolu a vakuově zfiltrován pro odstranění zbytkové vody. Vlhký prášek byl v suspenzi proprán kyselinou chlorovodíkovou (250 ml/lb), kyselinou fluorovodíkovou (6 ml/lb) a deionizovanou vodou (250 ml/lb) pro odstranění kontaminace kovy. Prášek pak byl promyt deionizovanou vodou a vysušen na vzduchu při 80 QC.
Vysušený prášek byl hydridován podruhé vystavením vodíku při 20,7 kPa a 850 °C pro vytvoření zkřehlých vloček, které byly ochlazeny a rozmělněny pomocí nárazového mlýnu Vortec Products do dosažení hustoty podle Scotta 21,4.
Rozmělněný vločkový prášek pak byl aglomerován ohřevem ve vakuu při 1250°C po dobu
60 minut pro získání aglomerované hmoty, která byla pomocí čelisťového drtiče rozmělněna do aglomerováných částic s maximem odpovídajícím sítu č. 50.
-18CZ 302337 B6
Prášek pak byl dezoxidován smícháním se 4 % hmotn. kovového hořčíku. Následující tepelné zpracování bylo provedeno v retortové peci:
- snížení tlaku na 100 mikrometrů
- znovunaplnění argonem na 800 Torr a 800 °C na 2 hodiny
- ochlazení na pokojovou teplotu
- pasívace zvyšováním obsahu vzduchu ve 30 dvouminutových cyklech, přičemž tlak postupně stoupá z vysokého vakua na atmosférický tlak.
jo Materiál pak by! nromyt směsí de ionizovaného ledu (500 g/lb), kyseliny fluorovodíkové (4 ml/lb) a kyseliny dusičné (250 ml/lb). Prášek pak byl propláchnut deionizovanou vodou a vysušen na vzduchu při 80 °C. (14B1)
Postup dotování dusíkem pro vzorky 14XXX
Niobový prášek pak byl smísen se 4 % hořčíkového prášku a zahřát na 800 °C v argonu a udržován při této teplotě po dobu 60 minut. Nádoba byla evakuována a ponechána zchladnout na 70 °C. V nádobě byl udržován tlak 130 Torr dusíku a teplota byla zvýšena na 500 °C a udržována po dobu 60 minut pod argonovou atmosférou. Produkt byl ochlazen na 40 °C a vystaven postup20 ně přístupu vzduchu za použití standardních pasivačních technik.
Vzorky 60-, 25-, 55- a 46-39XX
Třikrát tavený, elektronovým paprskem vytvořený niobový ingot byl hydridován zahříváním ingotu ve vakuu 10-4° Torr na 850 °C po dobu 120 minut. Vakuum bylo nahrazeno vodíkovým plynem pri 21 kPa na dobu dostatečnou pro zkřehnutí ingotu. Vakuum pak bylo vyčerpáno na -28 ' 'Hg a byl zaveden argon do -5' 'Hg. Tlak byl udržován až do stabilizace teploty, měřené termočlánkem. Postupně byl zaváděn vzduch při narůstajícím tlaku tak, aby nerostla teplota.
Zmenšení velikosti bylo provedeno pomocí drtiče Granutec pro zmenšení maxima velikosti částic tak, aby prošly sítem ě. 20. Další zmenšení bylo provedeno opakovaným zpracováním v nárazovém mlýnu Vortec Products, provozovaném při 20 000 ot/min, aby 95 % materiálu prošlo sítem č. 325 (ekvivalentní velikosti částic 44 mikrometrů).
Vodík byl odstraněn zahříváním částic na 850 °C ve vakuu dokud vodík emitovaný z částic nepřestal ovlivňovat tlak, a byl získán ostrohranný prášek kovového niobu mající hustotu podle Scotta 42 a BET 0,22 m2/g. Produkt pak byl vytříděn na +8 mikrometrů pomocí třídiče Vortec.
Prášek byl potom rozemlet ve třecím mlýnu 30S Union Process:
- mlecí prostředky: 1000 liber 3/16SS
- 80 liber niobového prášku
- trvání: 6 hodin
- 13 galonů etanolu
- 130 ot/min.
Materiál pak byl vakuově zfiltrován pro odstranění zbytkového etanolu a potom promyt deionizovanou vodou až do vymizení zápachu etanolu a vakuově zfiltrován pro odstranění zbytkové vody. Vlhký prášek byl v suspenzi proprán kyselinou chlorovodíkovou (250 mol/lb), kyselinou fluoro50 vodíkovou (6 ml/lb) a deionizovanou vodou (250 ml/lb) pro odstranění kontaminace kovy. Prášek pak byl promyt deionizovanou vodou a vysušen na vzduchu při 80 °C.
- 19CZ 302337 B6
Vysušený prášek byl hydridován podruhé vystavením vodíku při 20,7 kPa a 850 °C pro vytvoření zkřehlých vloček, které byty ochlazeny a rozmělněny pomocí nárazového mlýnu Vortec Products do dosažení hustoty podle Scotta 21,4.
Rozmělněný vločkový prášek pak byl aglomerován ohřevem ve vakuu při 1200°C po dobu 60 minut pro získání aglomerované hmoty, která byla pomocí čelisťového drtiče rozmělněna do aglomerovaných částic s maximem odpovídajícím sítu č. 50. Pak byl tepelně aglomerován podruhé při 1225 °C po dobu 60 minut. Po ochlazení pece na cílovou úroveň (viz následující tabulku) byl po určitou dobu za vakua čerpán dusík při průtoku 5 SCFH. Materiál pak byl pasivován io postupným zvyšováním pracovního tlaku vzduchem po dobu 40 minut až do obnovení atmosférického tlaku.
Teplota (°C) Doba nasávání (min) Dusík (ppm)
752 90 4,155
932 120 1,580
752 60 830
752 120 776
Materiál byl pak podruhé rozdrcen pro zmenšení maxima pozorovaných částic tak, aby prošly sítem č. 50.
Prášek pak byl dezoxidován smícháním se 4 % hmotn. kovového hořčíku a dotován dusíkem. Následující tepelné zpracování bylo provedeno v retortové peci:
- snížení tlaku na 100 mikrometrů
- znovunaplnění argonem na 800 Torr a 800 °C na 2 hodiny
- ochlazení na 70 °C a přidání 500 Torr dusíku
- ohřátí na 500 °C, udržování po dobu 60 minut a ochlazení na 40 °C
- pasivace zvyšováním obsahu vzduchu ve 30 dvouminutových cyklech, přičemž tlak systému postupně stoupá z vysokého vakua na atmosférický tlak.
Materiál pak byl promyt směsí deionizovaného ledu (500g/lb), kyseliny fluorovodíkové (4 ml/lb) a kyseliny dusičné (250 ml/lb). Prášek pak byl propláchnut deionizovanou vodou a vy30 sušen na vzduchu při 80 °C. V tabulce 5 jsou uvedeny analýzy prášku.
Tabulka 5
Výsledky
C(ppm) 0(ppm) N (ppm) H(ppm)
14 251 2202 273 30
14N2 289 1231 3399 41
14N3 292 1149 4409 40
39N1 204 1530 2877 48
Výsledky těchto experimentů jsou uvedeny v tabulkách 6 a 7, které jsou také vyneseny na obr. 10 až 21. Jak je zřejmé, úroveň obsahu dusíku v niobu přispívá ke snížení svodu stejnosměrného proudu a při vyšších sintrovacích teplotách anody byl svod stejnosměrného proudu ještě dále sní40 žen, zejména za použití nízkého formovacího napětí.
-20CZ 302337 Bó
Anody kondenzátorů byly připraveny obdobným způsobem jako v předcházejících příkladech.
Tabulka 6
Vzorky niobu připravené pro srovnáni účinků dotování dusíkem při
dezoxidaci na svod stejnosměrného proudu (nA/CV) napětím 35 a 50 voltů při formování
Formo- vací napětí 35 V
Sintro- vací teplota 1300 ŮC 1450 °C
vzorek 25- 14B1 55- 39N1 46- 14N2 55- 14N3 25- 14B1 55- 39N1 46- 14N2 55- 14N3
CV/g 30 473 31 042 28 464 28 272 17 109 20 588 18 776 18 983
nA/CV 8,44 5,03 4,20 4,46 3,70 1,94 0,99 0,92
N;, 273 2877 3399 4409 273 2877 3399 4409
2202 1530 1231 1149 2202 1530 1231 1149
Formo- 50 v
vací
napětí
Sintro-
vací 1300 ĎC 1450 °C
teplota
vzorek 25- 55- 46- 55- 25- 55- 46- 55-
14B1 39N1 14N2 14N3 14B1 39N1 14N2 14N3
CV/g 29 243 30 152 27 633 27 514 16 941 20 495 18 574 18 744
nA/cv 7,74 4,57 4,70 6,86 2,90 η n Z. r 2,36 1,93
N2 273 2877 3399 4409 273 2877 3399 4409
o2 2202 1530 1231 1149 2202 1530 1231 1149
-21 CZ 302337 B6
Tabulka 7
Svod stejnosměrného proudu, obsah kyslíku a CV/g proti dusíku přidanému při tepelném zpracování niobu
vzorek CV/g N2 (ppm) 02 (ppm) svod DC (nA/CV) Vf (volty) Teplota í’C)
60-39N1 33 111 3190 1877 6,49 35 1300
60-39N2 32 668 561 2248 5,68 35 1300
60-39N3 32 812 544 2172 5,87 35 1300
60-14B 29 348 286 1691 9, 56 35 1300
60-39A 32 198 489 2134 5, 17 35 1300
60-39N1 21 330 3190 1877 1, 65 35 1450
60-39N2 19 879 561 2248 3,31 35 1450
60-39N3 19 591 544 2172 2, 75 35 1450
60-14B 17 138 286 1691 3, 85 35 1450
60-39A 19 492 489 2134 3,15 35 1450
60-39N1 32 224 3190 1877 7, 60 50 1300
60-39N2 31 860 561 2248 6,05 50 1300
60-39N3 31 991 544 2172 6, 49 50 1300
60-14B 28 411 286 1691 15,12 50 1300
60-39A 31 570 489 2134 6,84 50 1300
60-39N1 21 327 3190 1877 4,70 50 1450
60-39N2 19 853 561 2248 4,67 50 1450
60-39N3 19 598 544 2172 4, 02 50 1450
60-14B 17 023 286 1691 8,96 50 1450
60-39A 19 428 489 2134 5,00 50 1450
Odborníkovi jsou zřejmá další vytvoření vynálezu v rámci popisu a provádění vynálezu. Popis a příklady provedení jsou zamýšleny pouze jako příklad, rozsah a myšlenka vynálezu je udána následujícími nároky.

Claims (34)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    15 1. Dusíkem dotovaný niobový prášek, vyznačující se tím, že obsah dusíku je alespoň 300 ppm a prášek má měrný povrch BET alespoň 1,0 m2/g.
  2. 2. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, že obsah dusíku je alespoň 400 ppm.
    -22CZ 302337 B6
  3. 3. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku i, vyznačující se tím, dusíku je alespoň 500 ppm.
    že obsah
  4. 4. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se dusíku je od 300 do 5000 ppm.
    tím, že obsah
  5. 5. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, že obsah dusíku je od 500 do 4000 ppm.
  6. 6. Dusíkem dotovaný niobový prášek podie nároku i, vyznačující se tím, že obsah dusíku je od 500 do 3500 ppm.
  7. 7. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se dusíku je od 500 do 3000 ppm.
    tím, že obsah
  8. 8. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující dusíku je od 1500 do 5000 ppm.
    se tím, že obsah
  9. 9. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, huje hrudkový, vločkový nebo ostrohranný niobový prášek nebo jejich kombinace.
    že obsa
  10. 10. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 9, vyznačující se tím, že obsahuje vločkový niobový prášek, mající měrný povrch BET alespoň 2,0 m2/g.
  11. 11. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 9, vyznačující se tím, že obsahuje vločkový niobový prášek, mající měrný povrch BET od 1,0 do 5,0 m2/g.
  12. 12. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1 nebo 9, vyznačující se tím, 30 že měrný povrch BET je od 2,0 do 5,0 m2/g.
  13. 13, Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, že obsahuje vločkový niobový prášek, mající hustotu podle Scotta menší než 2,
  14. 14 g/cm3 (35 g/in3).
    35 14, Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, že má obsah fosforu menší než 400 ppm.
  15. 15. Dusíkem dotovaný niobový prášek podle nároku 1, vyznačující se tím, že má obsah kyslíku alespoň 2000 ppm.
  16. 16. Způsob výroby niobového prášku podle kteréhokoliv z nároků laž!5, vyznačující se tím, že obsahuje krok dotování dusíku do niobu během tavení niobového ingotu, během deoxidační fáze niobu, během hydridace niobu, během dezintegrace niobu, během slinování niobu a/nebo během tepelného zpracování niobu.
  17. 17. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že dále obsahuje dotování niobového prášku kyslíkem.
  18. 18. Anoda kondenzátoru, vyznačující se tím, že je vytvořená z niobového prášku 50 podle kteréhokoliv z nároků 1 až 15.
  19. 19. Anoda kondenzátoru podle nároku 18, vyznačující se tím, že má kapacitanci od 30 000 do 61 OOOCV/g.
    -23 CZ 302337 B6
  20. 20. Anoda kondenzátoru podle nároku 18, vyznačující se tím, že dále obsahuje film oxidu niobu na povrchové ploše.
  21. 21. Anoda kondenzátoru podle nároku 18, vyznačující se tím, že film obsahuje oxid 5 niobičný.
  22. 22. Anoda kondenzátoru podle nároku 18, vyznačující se tím, že je vytvořena při napětí 60 V nebo menším.
    i o
  23. 23. Anoda kondenzátoru podle nároku 18, vyznačující se tím, že je vytvořena při napětí 50 V nebo menším.
  24. 24. Způsob výroby anody kondenzátoru podle kteréhokoliv z nároků 18 až 23, vyznačující se tím, že zahrnuje slinování niobového prášku při teplotě v rozmezí od 1200 do
    15 1750 °C.
  25. 25. Způsob podle nároku 24, v y z n a č u j í c í se t í m , že teplota slinování je v rozmezí od 1200 do 1400 °C.
    20
  26. 26. Způsob podle nároku 24, v y z n a č u j í c í se t í m , že teplota slinování je v rozmezí od
    1250 do 135O°C.
  27. 27. Způsob podle nároku 24, vyznačující anody při napětí 60 V nebo menším.
    se tím, že dále obsahuje krok vytváření
  28. 28. Způsob podle nároku 24, vyznačující se anody při napětí SOV nebo menším.
    tím, že dále obsahuje krok vytváření
  29. 29. Způsob podle nároku 24, vyznačující se anody při napětí od 30 do 50 V nebo menším.
    tím, že dále obsahuje krok vytváření
  30. 30. Způsob podle nároku 24, vyznačující se tím, že dále obsahuje krok vytváření anody při napětí 30 V nebo menším.
    35
  31. 31. Kondenzátor, vyznačující se tím, že obsahuje anodu vytvořenou z niobového prášku podle kteréhokoliv z nároků 1 až 15.
  32. 32. Kondenzátor podle nároku 31, vyznačující se tím, že má svod stejnosměrného proudu menší než 5,0 nA/CV.
  33. 33. Kondenzátor podle nároku 31, vyznačující se tím, že má svod stejnosměrného proudu od 5,0 do 0,50 nA/CV.
  34. 34. Použití dusíkem dotovaného niobového prášku podle kteréhokoliv z nároků 1 až 15 pro výrobu kondenzátoru.
    21 výkresů
    -24CZ 302337 Bó <8
    Kapacitance CV/g niobových vloček proti výchozímu měrnému povrchu BET vzorků sintrovaných při 1750
CZ20004099A 1998-05-04 1999-05-03 Dusíkem dotovaný niobový prášek a zpusob jeho výroby, anoda kondenzátoru a zpusob její výroby, a kondenzátor CZ302337B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/071,537 US6051044A (en) 1998-05-04 1998-05-04 Nitrided niobium powders and niobium electrolytic capacitors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ20004099A3 CZ20004099A3 (en) 2001-06-13
CZ302337B6 true CZ302337B6 (cs) 2011-03-16

Family

ID=22101962

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20004099A CZ302337B6 (cs) 1998-05-04 1999-05-03 Dusíkem dotovaný niobový prášek a zpusob jeho výroby, anoda kondenzátoru a zpusob její výroby, a kondenzátor

Country Status (16)

Country Link
US (4) US6051044A (cs)
EP (1) EP1082739B2 (cs)
JP (2) JP4972249B2 (cs)
KR (1) KR20010043327A (cs)
CN (1) CN1252756C (cs)
AT (1) ATE289447T1 (cs)
AU (1) AU747827B2 (cs)
BR (1) BR9910241A (cs)
CA (1) CA2331624A1 (cs)
CZ (1) CZ302337B6 (cs)
DE (1) DE69923773T3 (cs)
HK (1) HK1037897A1 (cs)
IL (1) IL139430A (cs)
PT (1) PT1082739E (cs)
RU (1) RU2217832C2 (cs)
WO (1) WO1999057739A1 (cs)

Families Citing this family (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6165623A (en) * 1996-11-07 2000-12-26 Cabot Corporation Niobium powders and niobium electrolytic capacitors
US6051044A (en) 1998-05-04 2000-04-18 Cabot Corporation Nitrided niobium powders and niobium electrolytic capacitors
EP1137021B1 (en) 1998-08-05 2008-01-23 Showa Denko Kabushiki Kaisha Sinter of niobium for capacitor, and method of manufacture thereof
US6416730B1 (en) * 1998-09-16 2002-07-09 Cabot Corporation Methods to partially reduce a niobium metal oxide oxygen reduced niobium oxides
US6391275B1 (en) 1998-09-16 2002-05-21 Cabot Corporation Methods to partially reduce a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides
US6462934B2 (en) 1998-09-16 2002-10-08 Cabot Corporation Methods to partially reduce a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides
US6605129B1 (en) * 1999-02-25 2003-08-12 Showa Denko Kabushiki Kaisha Powdered niobium, sintered body thereof, capacitor using the sintered body and production method of the capacitor
CN100381234C (zh) 1999-03-19 2008-04-16 卡伯特公司 通过研磨制备铌和其它金属粉末
US6375704B1 (en) 1999-05-12 2002-04-23 Cabot Corporation High capacitance niobium powders and electrolytic capacitor anodes
US6600646B1 (en) * 1999-08-11 2003-07-29 Showa Denko Kabushiki Kaisha Niobium powder, sintered body thereof and capacitor using same
US6960237B2 (en) 1999-07-15 2005-11-01 Showa Denko Kabushiki Kaisha Niobium powder, sintered body thereof and capacitor using the same
US6593532B1 (en) * 1999-10-11 2003-07-15 H. C. Starck, Inc. Electrode lead wires
US6545858B1 (en) * 1999-11-30 2003-04-08 Showa Denko K.K. Capacitor
US6432161B1 (en) * 2000-02-08 2002-08-13 Cabot Supermetals K.K. Nitrogen-containing metal powder, production process thereof, and porous sintered body and solid electrolytic capacitor using the metal powder
RU2246376C2 (ru) * 2000-03-01 2005-02-20 Кабот Корпорейшн Азотированные вентильные металлы и способы их получения
US6576099B2 (en) 2000-03-23 2003-06-10 Cabot Corporation Oxygen reduced niobium oxides
US6835225B2 (en) 2000-04-21 2004-12-28 Showa Denko K.K. Niobium sintered body, production method therefor, and capacitor using the same
JP4647744B2 (ja) * 2000-04-21 2011-03-09 昭和電工株式会社 コンデンサ用ニオブ粉、それを用いた焼結体及びそれを用いたコンデンサ
BR0110333A (pt) * 2000-04-24 2003-01-07 Showa Denko Kk Pó de nióbio, corpo sinterizado do mesmo e capacitor
EP1154449B1 (en) * 2000-05-11 2007-06-06 NEC TOKIN Toyama, Ltd. Manufacturing method of solid electrolytic capacitor
JP3718412B2 (ja) * 2000-06-01 2005-11-24 キャボットスーパーメタル株式会社 ニオブまたはタンタル粉末およびその製造方法
DE10030387A1 (de) * 2000-06-21 2002-01-03 Starck H C Gmbh Co Kg Kondensatorpulver
US6436268B1 (en) 2000-08-02 2002-08-20 Kemet Electronics Corporation Non-aqueous electrolytes for anodizing
CN100477040C (zh) 2000-08-10 2009-04-08 昭和电工株式会社 铌粉、铌烧结体以及使用该烧结体的电容器
US6652619B2 (en) * 2000-08-10 2003-11-25 Showa Denko K.K. Niobium powder, sintered body thereof, and capacitor using the same
DE10041901A1 (de) * 2000-08-25 2002-03-07 Starck H C Gmbh Kondensatoranode auf Basis Niob
US6554884B1 (en) * 2000-10-24 2003-04-29 H.C. Starck, Inc. Tantalum and tantalum nitride powder mixtures for electrolytic capacitors substrates
JP2002134368A (ja) * 2000-10-26 2002-05-10 Showa Denko Kk コンデンサ用粉体、焼結体及びその焼結体を用いたコンデンサ
IL155746A0 (en) * 2000-11-06 2003-12-23 Cabot Corp Modified oxygen reduced valve metal oxides
EP1264321B1 (en) * 2000-11-30 2006-08-16 Showa Denko K.K. Niobium powder for capacitor, sintered body thereof and capacitor using the sintered body
US6447570B1 (en) * 2000-11-30 2002-09-10 Vishay Sprague, Inc. Sintered Tantalum and Niobium capacitor pellets doped with Nitrogen, and method of making the same
EP1275124B1 (en) 2000-12-01 2005-05-04 Showa Denko K.K. Niobium powder for capacitor, sintered body thereof and capacitor using the sintered body
WO2002075758A1 (en) * 2001-03-16 2002-09-26 Showa Denko K.K. Niobium for capacitor and capacitor using sintered body of the niobium
WO2003008673A1 (fr) * 2001-07-18 2003-01-30 Showa Denko Kabushiki Kaisha Ruban metallique consistant en un alliage de metal acide-terreux et condensateur dote dudit ruban
JP4187953B2 (ja) * 2001-08-15 2008-11-26 キャボットスーパーメタル株式会社 窒素含有金属粉末の製造方法
BRPI0206094B1 (pt) * 2001-10-02 2016-10-25 Showa Denko Kk pó de nióbio, corpo sinterizado do mesmo, produto quimicamente modificado do mesmo e capacitor utilizando os mesmos
JP3965300B2 (ja) * 2002-01-18 2007-08-29 Ｎｅｃトーキン株式会社 Ｎｂ固体電解コンデンサおよびその製造方法
JP2004143477A (ja) * 2002-10-22 2004-05-20 Cabot Supermetal Kk ニオブ粉末およびその製造方法、並びにそれを用いた固体電解コンデンサ
US7655214B2 (en) * 2003-02-26 2010-02-02 Cabot Corporation Phase formation of oxygen reduced valve metal oxides and granulation methods
US7157073B2 (en) 2003-05-02 2007-01-02 Reading Alloys, Inc. Production of high-purity niobium monoxide and capacitor production therefrom
US7445679B2 (en) * 2003-05-16 2008-11-04 Cabot Corporation Controlled oxygen addition for metal material
JP4773355B2 (ja) 2003-05-19 2011-09-14 キャボット コーポレイション ニオブ酸化物及び酸素が低減したニオブ酸化物の製造方法
PT1498391E (pt) * 2003-07-15 2010-06-21 Starck H C Gmbh Pó de subóxido de nióbio
US7142409B2 (en) * 2003-07-28 2006-11-28 Cabot Corporation Nitrided valve metal material and method of making same
US6965510B1 (en) * 2003-12-11 2005-11-15 Wilson Greatbatch Technologies, Inc. Sintered valve metal powders for implantable capacitors
DE102004011214A1 (de) * 2004-03-04 2005-10-06 W.C. Heraeus Gmbh Hochtemperaturbeständiger Niob-Draht
US20050225927A1 (en) * 2004-04-06 2005-10-13 Tagusagawa Solon Y Processes for the production of niobium oxides with controlled tantalum content and capacitors made therefrom
KR100712503B1 (ko) * 2005-01-13 2007-05-02 삼성전자주식회사 하드디스크 드라이브의 서보 데이터 작성 방법 및 이를이용한 셀프 서보 기록 방법
US7099143B1 (en) 2005-05-24 2006-08-29 Avx Corporation Wet electrolytic capacitors
US8264819B2 (en) 2005-08-19 2012-09-11 Avx Corporation Polymer based solid state capacitors and a method of manufacturing them
GB0517952D0 (en) * 2005-09-02 2005-10-12 Avx Ltd Method of forming anode bodies for solid state capacitors
US7480130B2 (en) * 2006-03-09 2009-01-20 Avx Corporation Wet electrolytic capacitor
US7511943B2 (en) 2006-03-09 2009-03-31 Avx Corporation Wet electrolytic capacitor containing a cathode coating
DE112007001100T5 (de) 2006-05-05 2009-05-14 Cabot Corp., Boston Tantalpulver mit glatter Oberfläche und Verfahren zur Herstellung desselben
JP4884108B2 (ja) * 2006-06-30 2012-02-29 三洋電機株式会社 電解コンデンサ
GB0622463D0 (en) * 2006-11-10 2006-12-20 Avx Ltd Powder modification in the manufacture of solid state capacitor anodes
US7554792B2 (en) * 2007-03-20 2009-06-30 Avx Corporation Cathode coating for a wet electrolytic capacitor
US7649730B2 (en) * 2007-03-20 2010-01-19 Avx Corporation Wet electrolytic capacitor containing a plurality of thin powder-formed anodes
US7460356B2 (en) 2007-03-20 2008-12-02 Avx Corporation Neutral electrolyte for a wet electrolytic capacitor
US7760487B2 (en) * 2007-10-22 2010-07-20 Avx Corporation Doped ceramic powder for use in forming capacitor anodes
US7760488B2 (en) * 2008-01-22 2010-07-20 Avx Corporation Sintered anode pellet treated with a surfactant for use in an electrolytic capacitor
US7852615B2 (en) * 2008-01-22 2010-12-14 Avx Corporation Electrolytic capacitor anode treated with an organometallic compound
US7768773B2 (en) * 2008-01-22 2010-08-03 Avx Corporation Sintered anode pellet etched with an organic acid for use in an electrolytic capacitor
US8430944B2 (en) * 2008-12-22 2013-04-30 Global Advanced Metals, Usa, Inc. Fine particle recovery methods for valve metal powders
GB0902486D0 (en) * 2009-02-13 2009-04-01 Metalysis Ltd A method for producing metal powders
US8203827B2 (en) * 2009-02-20 2012-06-19 Avx Corporation Anode for a solid electrolytic capacitor containing a non-metallic surface treatment
US8687347B2 (en) * 2011-01-12 2014-04-01 Avx Corporation Planar anode for use in a wet electrolytic capacitor
US20180144874A1 (en) 2016-10-21 2018-05-24 Global Advanced Metals, Usa, Inc. Tantalum Powder, Anode, And Capacitor Including Same, And Manufacturing Methods Thereof
KR102389784B1 (ko) 2018-03-05 2022-04-22 글로벌 어드밴스드 메탈스 유에스에이, 아이엔씨. 구형 분말을 함유하는 애노드 및 커패시터
CA3091448C (en) 2018-03-05 2024-03-19 Craig Sungail Spherical tantalum powder, products containing the same, and methods of making the same
WO2020123265A1 (en) 2018-12-12 2020-06-18 Global Advanced Metals Usa, Inc. Spherical niobium alloy powder, products containing the same, and methods of making the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63244543A (ja) * 1987-03-30 1988-10-12 Toshiba Corp マグネトロン用陰極部
JPH01167206A (ja) * 1987-12-22 1989-06-30 Kobe Steel Ltd ニオブ窒化物の製造方法
JPH039426A (ja) * 1989-06-06 1991-01-17 Toshiba Corp ソフトウェア開発環境保管システム
US5448447A (en) * 1993-04-26 1995-09-05 Cabot Corporation Process for making an improved tantalum powder and high capacitance low leakage electrode made therefrom

Family Cites Families (84)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1123015A (en) * 1964-08-07 1968-08-07 Union Carbide Corp A process for producing sintered anodes
US3630718A (en) * 1965-06-25 1971-12-28 Starck Hermann C Fa NONPYROPHORIC METAL POWDER OF A METAL FROM THE GROUP IVb, Vb AND VIb OR THE ACTINIUM SERIES OF THE PERIODIC TABLE
US3427132A (en) * 1967-04-12 1969-02-11 Nat Res Corp Tantalum nitride powder and method for its preparation
US3496076A (en) * 1968-03-28 1970-02-17 Sprague Electric Co Niobium anodizing electrolyte and anodizing process
CH515996A (de) * 1968-06-06 1971-11-30 Starck Hermann C Fa Verfahren zur Herstellung von hochreinem Niob und/oder Tantal
US3635693A (en) * 1969-01-27 1972-01-18 Starck Hermann C Fa Method of producing tantalum or niobium powder from compact bodies
US3847658A (en) * 1972-01-14 1974-11-12 Western Electric Co Article of manufacture having a film comprising nitrogen-doped beta tantalum
US3825802A (en) * 1973-03-12 1974-07-23 Western Electric Co Solid capacitor
DE2517180C3 (de) * 1975-04-18 1979-04-19 Fa. Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von feinem hochkapazitiven Erdsäuremetallpulver für Elektrolytkondensatoren
US4009007A (en) 1975-07-14 1977-02-22 Fansteel Inc. Tantalum powder and method of making the same
US4017302A (en) * 1976-02-04 1977-04-12 Fansteel Inc. Tantalum metal powder
JPS5345660A (en) 1976-10-05 1978-04-24 Starck Hermann C Fa Tantalum and niobium powder manufacture
US4084965A (en) * 1977-01-05 1978-04-18 Fansteel Inc. Columbium powder and method of making the same
US4141720A (en) * 1978-05-16 1979-02-27 Nrc, Inc. Tantalum powder reclaiming
DE3130392C2 (de) * 1981-07-31 1985-10-17 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur Herstellung reiner agglomerierter Ventilmetallpulver für Elektrolytkondensatoren, deren Verwendung und Verfahren zur Herstellung von Sinteranoden
DE3140248C2 (de) * 1981-10-09 1986-06-19 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verwendung von dotiertem Ventilmetallpulver für die Herstellung von Elektrolytkondensatoranoden
SU1057995A1 (ru) 1981-12-05 1983-11-30 Предприятие П/Я А-3529 Способ изготовлени объемно-пористого анода электролитического конденсатора
JPS58154221A (ja) * 1982-03-10 1983-09-13 株式会社東芝 ニオブ電解コンデンサの製造方法
DE3232245A1 (de) * 1982-08-30 1984-03-01 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verbesserung der fliessfaehigkeit und erhoehung der schuettdichte von hochkapazitiven ventilmetallpulvern
US4441927A (en) * 1982-11-16 1984-04-10 Cabot Corporation Tantalum powder composition
DE3309891A1 (de) * 1983-03-18 1984-10-31 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur herstellung von ventilmetallanoden fuer elektrolytkondensatoren
DE3336453C2 (de) * 1983-10-06 1985-11-28 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur Oberflächenvergrößerung von Niob und Tantal in Form von agglomerierten oder nicht agglomerierten Pulvern
US4544403A (en) 1984-11-30 1985-10-01 Fansteel Inc. High charge, low leakage tantalum powders
US4684399A (en) * 1986-03-04 1987-08-04 Cabot Corporation Tantalum powder process
DE3779870T2 (de) 1986-11-08 1992-12-24 Showa Denko Kk Festelektrolytkondensator und verfahren zu seiner herstellung.
US4722756A (en) * 1987-02-27 1988-02-02 Cabot Corp Method for deoxidizing tantalum material
US4740238A (en) * 1987-03-26 1988-04-26 Fansteel Inc. Platelet-containing tantalum powders
JPH0770438B2 (ja) 1987-07-08 1995-07-31 昭和電工株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JPH0727851B2 (ja) 1987-07-08 1995-03-29 昭和電工株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JPH0640538B2 (ja) 1987-07-15 1994-05-25 昭和電工株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JPH0777180B2 (ja) 1987-08-20 1995-08-16 昭和電工株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JPH063786B2 (ja) 1987-10-21 1994-01-12 三洋電機株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JPH01124214A (ja) 1987-11-10 1989-05-17 Showa Denko Kk 固体電解コンデンサの製造方法
US5211741A (en) * 1987-11-30 1993-05-18 Cabot Corporation Flaked tantalum powder
US4940490A (en) * 1987-11-30 1990-07-10 Cabot Corporation Tantalum powder
US5261942A (en) 1987-11-30 1993-11-16 Cabot Corporation Tantalum powder and method of making same
US5580367A (en) 1987-11-30 1996-12-03 Cabot Corporation Flaked tantalum powder and method of using same flaked tantalum powder
JPH01241110A (ja) 1988-03-23 1989-09-26 Asahi Glass Co Ltd 電気二重層コンデンサ
JPH01241813A (ja) 1988-03-23 1989-09-26 Nec Corp オープン機構付き固体電解コンデンサ
JPH01319921A (ja) 1988-06-21 1989-12-26 Seiko Electronic Components Ltd 電気二重層コンデンサ
DE3820960A1 (de) * 1988-06-22 1989-12-28 Starck Hermann C Fa Feinkoernige hochreine erdsaeuremetallpulver, verfahren zu ihrer herstellung sowie deren verwendung
JPH02123724A (ja) 1988-11-02 1990-05-11 Elna Co Ltd 固体電解コンデンサの製造方法
JPH02298013A (ja) 1989-05-12 1990-12-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体電解コンデンサ
US5242481A (en) * 1989-06-26 1993-09-07 Cabot Corporation Method of making powders and products of tantalum and niobium
US5050034A (en) 1990-01-22 1991-09-17 Endress U. Hauser Gmbh U. Co. Pressure sensor and method of manufacturing same
US5234491A (en) * 1990-05-17 1993-08-10 Cabot Corporation Method of producing high surface area, low metal impurity
JPH04271106A (ja) 1990-12-26 1992-09-28 Tama Electric Co Ltd コンデンサおよびコンデンサネットワークおよび抵抗コンデンサネットワーク
JPH05129160A (ja) 1991-10-30 1993-05-25 Ryuichi Yamamoto 固体電解コンデンサおよびその製造方法
DE4214722C2 (de) 1992-05-04 1994-08-25 Starck H C Gmbh Co Kg Feinteilige Metallpulver
US5245514A (en) 1992-05-27 1993-09-14 Cabot Corporation Extruded capacitor electrode and method of making the same
JP2923391B2 (ja) 1992-06-03 1999-07-26 富士通東和エレクトロン株式会社 電解コンデンサの製造方法
US5284531A (en) * 1992-07-31 1994-02-08 Cabot Corporation Cylindrical metal fibers made from tantalum, columbium, and alloys thereof
JP3281658B2 (ja) 1992-11-30 2002-05-13 三洋電機株式会社 固体電解コンデンサとその製造方法
US5412533A (en) * 1993-06-22 1995-05-02 Rohm Co., Ltd. Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof
JPH07153650A (ja) 1993-11-26 1995-06-16 Elna Co Ltd 固体電解コンデンサの製造方法
JPH07220982A (ja) 1994-01-31 1995-08-18 Elna Co Ltd 固体電解コンデンサの製造方法
JP3199096B2 (ja) 1994-02-15 2001-08-13 エルナー株式会社 固体電解コンデンサ
JP3504058B2 (ja) 1996-03-19 2004-03-08 株式会社東芝 薄膜キャパシタおよび半導体記憶装置
JPH10135080A (ja) 1996-10-31 1998-05-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体電解コンデンサ及びその製造方法
US6165623A (en) 1996-11-07 2000-12-26 Cabot Corporation Niobium powders and niobium electrolytic capacitors
US6185090B1 (en) 1997-01-29 2001-02-06 Vishay Sprague, Inc. Method for doping sintered tantalum and niobium pellets with nitrogen
JP3254163B2 (ja) 1997-02-28 2002-02-04 昭和電工株式会社 コンデンサ
US6024914A (en) 1997-09-01 2000-02-15 Nec Corporation Process for production of anode for solid electrolytic capacitor
KR100596284B1 (ko) 1998-03-31 2006-07-03 시오노기 앤드 컴파니, 리미티드 5-히드록시벤조[비]티오펜-3-카복실산 유도체의 제조 방법
JPH11312628A (ja) 1998-04-30 1999-11-09 Nec Corp 固体電解コンデンサ及び製造方法
US6051044A (en) 1998-05-04 2000-04-18 Cabot Corporation Nitrided niobium powders and niobium electrolytic capacitors
JP3196832B2 (ja) 1998-05-15 2001-08-06 日本電気株式会社 固体電解コンデンサ及びその製造方法
EP1137021B1 (en) 1998-08-05 2008-01-23 Showa Denko Kabushiki Kaisha Sinter of niobium for capacitor, and method of manufacture thereof
JP3973299B2 (ja) 1998-08-26 2007-09-12 昭和電工株式会社 コンデンサ
US6391379B1 (en) 1998-09-04 2002-05-21 Kemet Electronics Corporation Process of preparing a solid electrolytic capacitor containing a conductive polymer counter electrode
US6391275B1 (en) 1998-09-16 2002-05-21 Cabot Corporation Methods to partially reduce a niobium metal oxide and oxygen reduced niobium oxides
DE19847012A1 (de) 1998-10-13 2000-04-20 Starck H C Gmbh Co Kg Niobpulver und Verfahren zu dessen Herstellung
US6529367B1 (en) 1998-12-15 2003-03-04 Showa Denko Kabushiki Kaisha Niobium capacitor and method of manufacture thereof
JP4263795B2 (ja) 1998-12-22 2009-05-13 昭和電工株式会社 コンデンサ
JP2000188241A (ja) 1998-12-22 2000-07-04 Nec Corp 固体電解コンデンサ及びその製造方法
EP1093137A4 (en) 1999-02-16 2006-07-26 Showa Denko Kk NIOBIUM POWDER, SINTERED ELEMENT BASED ON NIOBIUM, CAPACITOR COMPRISING THIS ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE CAPACITOR
JP2000269091A (ja) 1999-03-17 2000-09-29 Showa Kyabotto Super Metal Kk 電解コンデンサ用金属粉末ならびにこれを用いた電解コンデンサ用陽極体および電解コンデンサ
US6960237B2 (en) 1999-07-15 2005-11-01 Showa Denko Kabushiki Kaisha Niobium powder, sintered body thereof and capacitor using the same
JP3585791B2 (ja) 1999-11-04 2004-11-04 Ｎｅｃトーキン株式会社 固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法及びその製造方法に用いられる連続焼結装置
JP3907358B2 (ja) 1999-11-04 2007-04-18 日本ケミコン株式会社 固体電解コンデンサの製造方法
JP2001172701A (ja) 1999-12-14 2001-06-26 Showa Kyabotto Super Metal Kk ニオブ粉末およびその製造方法と、このニオブ粉末を用いた多孔質焼結体および固体電解コンデンサー
US6545858B1 (en) 1999-11-30 2003-04-08 Showa Denko K.K. Capacitor
JP4422258B2 (ja) 1999-11-30 2010-02-24 昭和電工株式会社 コンデンサ
US6423110B1 (en) 1999-12-08 2002-07-23 Showa Denko K.K. Powder composition for capacitor and sintered body using the composition, and capacitor using the sintered body

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63244543A (ja) * 1987-03-30 1988-10-12 Toshiba Corp マグネトロン用陰極部
JPH01167206A (ja) * 1987-12-22 1989-06-30 Kobe Steel Ltd ニオブ窒化物の製造方法
JPH039426A (ja) * 1989-06-06 1991-01-17 Toshiba Corp ソフトウェア開発環境保管システム
US5448447A (en) * 1993-04-26 1995-09-05 Cabot Corporation Process for making an improved tantalum powder and high capacitance low leakage electrode made therefrom

Also Published As

Publication number Publication date
CN1307725A (zh) 2001-08-08
CN1252756C (zh) 2006-04-19
CZ20004099A3 (en) 2001-06-13
AU747827B2 (en) 2002-05-23
US6616728B2 (en) 2003-09-09
IL139430A0 (en) 2001-11-25
US6051044A (en) 2000-04-18
US20020069724A1 (en) 2002-06-13
ATE289447T1 (de) 2005-03-15
JP2003505586A (ja) 2003-02-12
KR20010043327A (ko) 2001-05-25
BR9910241A (pt) 2002-05-21
US20040089100A1 (en) 2004-05-13
EP1082739B1 (en) 2005-02-16
HK1037897A1 (en) 2002-02-22
DE69923773T2 (de) 2006-01-05
DE69923773T3 (de) 2012-01-19
JP2010174377A (ja) 2010-08-12
RU2217832C2 (ru) 2003-11-27
WO1999057739A1 (en) 1999-11-11
IL139430A (en) 2004-07-25
JP4972249B2 (ja) 2012-07-11
US6338816B1 (en) 2002-01-15
CA2331624A1 (en) 1999-11-11
EP1082739A1 (en) 2001-03-14
DE69923773D1 (de) 2005-03-24
EP1082739B2 (en) 2011-09-28
AU3780499A (en) 1999-11-23
PT1082739E (pt) 2005-06-30
US6896715B2 (en) 2005-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ302337B6 (cs) Dusíkem dotovaný niobový prášek a zpusob jeho výroby, anoda kondenzátoru a zpusob její výroby, a kondenzátor
US6165623A (en) Niobium powders and niobium electrolytic capacitors
CZ303551B6 (cs) Niobové prášky pro anody elektrolytických kondenzátoru s vysokou kapacitou a zpusob výroby vlockovitého niobového prášku
CZ20013359A3 (cs) Způsob výroby niobu a jiných kovových práąků mletím
EP1340235B1 (en) Powder for capacitor, sintered body thereof and capacitor using the sintered body
EP1204126A1 (en) Niobium powder, its sintered body, and capacitor comprising the same
AU2002218510A1 (en) Powder for capacitor, sintered body thereof and capacitor using the sintered body
EP1075884A2 (en) Niobium powders and niobium electrolytic capacitors
MXPA00010826A (es) Polvos de niobio nitrurado y capacitores electroliticos de niobio
MXPA99004261A (en) Niobium powders and niobium electrolytic capacitors

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20140503