CN1977034B - 润滑剂组合物及用所述润滑剂组合物涂覆的制品、用于使光盘基底成型的压模、用于使光盘基底成型的成型设备、用于使光盘基底成型的方法、及润滑膜的形成方法 - Google Patents

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Abstract

通过在固定镜(21)上在其与压模(22)接触的部分中和/或在压模(22)上在其与固定镜(21)接触的部分中配置含磷酸酯的边界润滑膜(1)并在空腔(14)中填充材料来形成用于光盘的盘基。

Description

润滑剂组合物及用所述润滑剂组合物涂覆的制品、用于使光盘基底成型的压模、用于使光盘基底成型的成型设备、用于使光盘基底成型的方法、及润滑膜的形成方法
技术领域
本发明涉及润滑剂组合物、用其涂覆的制品、用于光盘基底的成型压模、用于光盘基底的成型设备、用于使光盘基底成型的方法、及形成润滑膜的方法。
背景技术
按照惯例，通过具有如图15所示的模具101的成型设备使用于光盘的盘基成型。模具101具有例如由钢材料如不锈钢制成的两个模具部件。该模具部件为固定模具部件102和可动模具部件103。可动模具部件103可打开。固定模具部件102具有固定镜121。固定镜121具有凹入和凸出形状的压模122，其转移光盘的凹入和凸出信息信号如槽脊(land)/凹槽或凹坑。在固定模具部件102中，形成浇道套(sprue bush)123，通过浇道套123注入作为盘基材料的树脂。
例如以下列方式通过模具101使盘基成型。在固定镜121上安装压模122后，将可动模具部件103向固定模具部件102移动。之后，关闭模具101。通过浇道套123将树脂注入空腔114，空腔114为在固定模具部件102和可动模具部件103之间形成的空间部分。将在压模122上形成的凹入和凸出形状转移到树脂。在转移凹入和凸出形状之后，冷却注入的树脂。在冷却注入的树脂后，打开可动模具部件103。在打开可动模具部件103后，通过排出器130排出在浇道套123中的树脂和在浇道套123中的作为盘基的成型基底，使得成型基底从可动模具部件103上剥离。在用于成型基底的排出器130的排出操作完成后，通过卸载器(未示出)将盘基转移到成型设备外部。
在一系列成型步骤中，当熔化树脂通过浇道套123注入空腔114中时，在压模122上，由于树脂粘度，拉伸应力在径向上起作用，且由于重复的加热和冷却，热应力起作用。另一方面，由于树脂粘度的拉伸应力和热应力在固定镜121上几乎不起作用。因此，这些应力产生在固定镜121和压模122之间在径向方向上起作用的摩擦力。结果，压模122和固定镜121的接触部分磨损。
这种磨损称作粘附磨损，并导致固定镜121的正面或压模122的背面磨损。即，压模122和固定镜121的接触表面微观上不是完全的平面。因此，接触表面具有凹入和凸出部分。该凹入和凸出部分导致盘基的正面以凹入和凸出形状形成，并导致压模122和固定镜121之间的摩擦力增加。增加的摩擦力防止压模122膨胀和收缩。在以这种状态形成的盘基中，地址凹坑变形，这导致地址错误，和槽脊/凹槽的圆度劣化，这导致伺服误差。如果盘基不满足这些容许的范围，该盘基作为不合格品处理。结果，产率降低。
因此，通常，将涂层涂覆到固定镜121上，以减小压模122和固定镜121的接触部分的摩擦力。涂层的主流为包含氢的无定形碳膜的DLC(类似金刚石的碳)涂层。DLC具有类似于金刚石的特性。与传统的氮化钛(TiN)涂层等相比，DLC涂层可抑制由粘附磨损引起的摩擦力增加。在例如日本专利申请未审公开No.HEI 10-64127，[0045]段中公开了其中由DLC制成的硬膜形成在压模的模具接触表面上的技术。
近年来，已开发了高密度光盘。例如，3.5英寸MO(磁光)盘使用MSR(磁性感应超分辨)技术和槽脊/凹槽组合记录技术的组合实现了2.3GB的记录容量。另外，DVD(数字通用光盘)可以16×速度的高速记录密度记录和再现数据。
当用于这些高密度光盘的盘基连续成型时，因为通过压模转移的凹入和凸出形状由于上述粘附磨损而逐渐劣化。因此，在光盘特性超出预定的地址错误或伺服误差的容许范围之前，必须研磨压模的背面或将该压模用好的压模替换。由于压模的研磨或替换耗费时间，生产率显著降低。因此，优选尽可能减小在压模和模具之间产生的摩擦力，以减少对于压模的研磨工作或替换工作。
但是，仅用在压模和模具之间形成的硬膜，在压模和模具之间产生的摩擦力未充分地减小。当上述3.5英寸MO盘成型约20,000回时，光盘的特性超出地址错误的容许范围。
当将油如蜡或润滑油涂于模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分时，在压模和模具之间产生的摩擦力可减小。
但是，油如蜡不具有耐热性。当在高温环境下长时间使用油时，其丧失稳定性。当进一步加热油时，水分从中丧失。水分不利地影响压模和模具。结果，成型体的质量劣化。另外，难以将油如蜡和润滑油均匀地涂在模具的正面上。因此，油和润滑油不具有再现性。另外，由于油如蜡和润滑油具有高粘度，它们易于捕集杂质如灰尘。结果，成型体的质量劣化。
涂于压模和模具之间的润滑剂要求以下特性，以减小在其之间产生的摩擦力。(1)润滑剂外观上不改变且是干燥的。(2)润滑剂具有耐溶剂性。(3)润滑剂强烈吸收到压模的背面中或被构成信号镜部分的材料强烈吸收。(4)润滑剂不改变其上涂覆处理剂的表面的粗糙度。(5)润滑剂具有耐热性。(6)在高温和高压环境下，润滑剂保持摩擦减小效果。接着，将详细描述特性(1)-(6)。
(1)首先，润滑剂外观上不改变且为干燥的。不优选压模的整个背面是油的和湿的，因为空气中的灰尘附着到压模，且杂质附着到处理的压模上。另外，当压模为湿的时，润滑剂可作为液体存在于背面上。由于当使盘基成型时施加的高压，信号表面可被润滑剂的处理剂污染。结果，润滑剂不利地影响盘基的质量。另外，润滑剂可附着到成型设备本身上。因此，必须保持用润滑剂处理的正面干燥。
(2)另外，润滑剂具有耐溶剂性。当压模安装到成型设备的模具上时，用挥发性有机溶剂擦拭和清洗压模的背面和成型设备的模具的信号镜部分。通常进行该擦拭和清洗，以防止杂质转移到压模和光盘基底的信号记录部分上并防止它们被油污染。用于这种情况的挥发性溶剂为例如酮类中的一种如丙酮、甲基乙基酮(MEK)，或甲苯，或醇类中的一种如乙醇或异丙醇(IPA)。其中，主要使用丙酮或甲基乙基酮(MEK)。当用这种高可溶性溶剂擦拭它们时，溶解大部分表面活性剂、润滑剂、树脂等。结果，它们从涂覆或处理的表面中丧失。因此，必须选择不溶于这些溶剂的处理剂。
(3)另外，润滑剂强烈吸收到压模的背面中或被构成信号镜部分的材料强烈吸收。尽管取决于溶解性，但必须均匀地和化学地将润滑剂吸收到正面上。当使用具有摩擦减小效果的有机硅树脂和氟化物树脂之一时，它们物理地吸收到压模的背面和信号镜部分中。因此，当擦拭它们时，这些树脂容易除去。因此，难以均匀地形成润滑膜。另外，处理剂转移到相对部件中。结果，润滑剂的效果不能长时间保持。
(4)另外，润滑剂不改变其上涂覆处理剂的表面的粗糙度。当表面粗糙度劣化时，在高温和高压环境下，劣化的粗糙度可转移到压模和光盘基底的信号记录部分。结果，它们可被不利地影响。尽管PTFE(聚四氟乙烯)、石墨/二硫化钼固体润滑剂等具有显著的摩擦减小效果，它们经常使表面粗糙度劣化。因此，难以实际上使用它们。另外，难以控制固体润滑剂的均匀的膜厚度。因此，固体润滑剂不能用于使光盘成型，该光盘要求具有大的表面粗糙度。另外，石墨型润滑剂和二硫化钼型润滑剂通常为粉末。由于粉末从处理表面脱落，从质量的观点来看，不能使用它们。
(5)另外，润滑剂具有耐热性。当光盘基底成型时，将在约400℃下加热的树脂注入压模中。在这点上，尽管压模的背面和信号镜部分迅速冷却，但由于光盘基底连续成型，它们在高压下在约200℃下连续被加热。在这种环境温度下，大部分表面活性剂和树脂的摩擦减小效果由于热解等而丧失。
(6)另外，在高温和高压环境下，润滑剂保持摩擦减小效果。对于减小在压模和模具之间产生的摩擦力的润滑剂来说，最重要的是满足这个特性。除了光盘的制造以外，从成本的观点来看，制造现场的装置运行率也是非常重要的。当设备停止且进行维护工作时，人为过失因素(如捕集杂质)增加。结果，光盘的产率受到不利地影响。优选设备尽可能长时间地连续运行。
但是，本领域技术人员知道难以发现满足特性(1)-(6)的润滑剂。因此，期望获得满足特性(1)-(6)的润滑剂。
另外，近年来，已强烈期望改善高密度光学记录介质如DVD的生产率，并量产下一代高密度光学记录介质如BD。在这种情况下，期望获得满足特性(1)-(6)的润滑剂。
因此，本发明的一个目的是提供一种润滑剂组合物，其在外观上不改变且为干燥的，具有耐溶剂性，强烈吸收到构成压模背面、信号镜部分等的材料中，不改变其上涂覆处理剂的表面的粗糙度，具有耐热性，且在高温和高压环境下保持摩擦减小效果；提供其上涂覆该润滑剂组合物的制品；用于光盘基底的成型压模；用于光盘基底的成型设备；用于使光盘基底成型的方法；和用于形成润滑膜的方法。
本发明的另一目的是提供一种润滑剂组合物，其具有优异的耐热性，使得润滑膜以高再现性形成以减小在模具和压模之间产生的摩擦力，且由此使光盘的质量和生产率改善，和制造成本降低；提供其上涂覆该润滑剂组合物的制品；用于光盘基底的成型压模；用于光盘基底的成型设备；用于使光盘基底成型的方法；和用于形成润滑膜的方法。
发明内容
本发明的发明人进行深入研究以解决相关技术的上述问题。接着，将描述发明人从研究中获得的结果。
发明人进行实验以研究润滑剂。但是，发明人未能发现满足上述特性(1)-(6)的润滑剂。本发明人对润滑剂进行了进一步深入的研究。结果，发明人发现在不同于光学记录介质领域中的以下材料。
即，发明人发现用作用于气泡(bubble)喷墨打印机的油墨组合物的添加剂的磷酸酯。发明人知道，当磷酸酯加入油墨组合物中时，将获得以下功能和效果。在喷墨打印机中，形成液滴的加热器主要由钽制成。由于对加热器施加高温，产生称作焦烧(cogation)的问题。即，油墨组合物作为干燥的油墨的沉积物附着到金属表面上。该焦烧防止温度转移。结果，不形成液滴。当磷酸酯作为油墨添加剂加入油墨时，通过油墨以磷酸酯对加热器表面处理。认为磷酸酯化学吸收到加热器的表面中。因此，在加热器表面上产生磷酸酯的耐热性效果。结果，获得焦烧防止效果。
作为发明人对作为添加剂的磷酸酯进行的实验的结果，当磷酸酯用作润滑剂而不是相关领域的添加剂时，发明人发现该润滑剂满足上述特性(1)-(6)。更具体地说，发明人发现当通过溶剂稀释的磷酸酯涂覆在信号镜表面和压模的背面上时，润滑剂满足上述特性(1)-(6)。
作为发明人深入研究磷酸酯的结果，发明人发现当使用具有全氟-分子结构的氟化物改性的磷酸酯时，可获得比磷酸酯高的摩擦减小效果和耐溶剂性。
根据以上研究进行了本发明。
为了解决上述问题，本发明的第一方面是包含磷酸酯类中的一种且具有极限压力环境耐受性的润滑剂组合物。
本发明的第二方面是用润滑剂组合物涂覆的制品，该润滑剂组合物包含磷酸酯类中的一种且具有极限压力环境耐受性。
本发明的第三方面是用于光盘基底的成型压模，该光盘基底具有形成在背面上的润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯类中的一种，该背面接触模具的镜面。
根据本发明的第三方面，由于润滑膜形成剂包含磷酸酯类中的一种，形成在压模上的润滑膜具有优异的耐热性。
本发明的第四方面是用于光盘基底的成型设备，该成型设备包含具有其上安装压模的镜面的模具；和形成在该镜面上的润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯类中的一种。
根据本发明的第四方面，由于润滑膜形成剂包含磷酸酯，形成在镜面上的润滑膜具有优异的耐热性。
本发明的第五方面是形成润滑膜的方法，该方法具有以下步骤：将包含磷酸酯类中的一种的润滑膜形成剂涂覆在基底上；和用不溶解润滑膜形成剂的溶剂擦拭在涂覆步骤时涂覆在基底上的润滑膜形成剂。
根据本发明的第五方面，据推测当润滑膜形成剂涂覆在基底上时，润滑膜形成剂化学吸收到基底中。由于润滑膜形成剂包含磷酸酯类中的一种，可在基底上形成具有优异耐热性的润滑膜。
本发明的第六方面是用于使光盘基底成型的方法，该方法包括以下步骤：在模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分上形成润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯类中的一种；将压模安装到模具上；和将材料注入到在安装步骤时其上已安装压模的模具中，和使盘基成型。
根据本发明的第六方面，据推测当润滑膜形成剂涂覆在模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分上时，润滑膜形成剂化学吸收到模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分中。由于润滑膜形成剂包含磷酸酯类中的一种，可在模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分上形成具有优异耐热性的润滑膜。
根据本发明的第六方面，优选该磷酸酯类中的一种包含单磷酸酯、二磷酸酯和三磷酸酯的至少一种。
根据本发明的第六方面，优选在进行涂覆步骤之前，在模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分上形成硬膜。
根据本发明的第六方面，优选在进行安装步骤之前，使在涂覆步骤时涂覆的形成润滑膜的试剂的厚度均匀。另外，优选通过用不溶解润滑膜形成剂的溶剂擦拭在涂覆步骤时涂覆的润滑膜形成剂的正面，使润滑膜的厚度均匀。因此，润滑膜可均匀地、薄地且可再现地形成。另外，可除去附着在涂层表面的不均匀涂覆的润滑膜形成剂和杂质如灰尘。
根据本发明，可显著减小在模具和压模之间产生的摩擦力。结果，可制造具有优异的凹入和凸出部分的光盘基底。因此，可改善光盘的质量和生产率。另外，由于压模的背面磨损较小，压模的寿命延长。结果，可抑制制造成本。
附图说明
图1是显示根据本发明第一实施方式的成型设备结构的实例的截面图；
图2是显示根据本发明第一实施方式的成型设备结构的实例的放大截面图；
图3是显示固定镜正面的邻近部分的放大截面图；
图4是显示边界润滑膜的吸收状态的实例的示意图；
图5是显示根据本发明第一实施方式的成型设备结构的实例的放大截面图；
图6是显示图5所示的固定镜21正面的邻近部分A的放大图；
图7是描述通过摩擦测试仪的摩擦系数的计算的示意图；
图8是显示在没有边界润滑膜的情况下凹坑形状的示意图；
图9是显示对应于在没有边界润滑膜的情况下凹坑形状的信号的示意图；
图10是显示在有边界润滑膜的情况下凹坑形状的示意图；
图11是显示对应于在有边界润滑膜的情况下凹坑形状的信号的示意图；
图12是显示在没有边界润滑膜的情况下跟踪误差信号的示意图；
图13是显示在有边界润滑膜的情况下跟踪误差信号的示意图；
图14是显示在盘连续成型的情况下跟踪误差的示意图；以及
图15是显示相关技术的光盘基底形成模具的结构的实例的截面图。
具体实施方式
接着，将描述本发明应用到润滑剂组合物的实例。在描述实施方式的所有附图中，相同或相应的部分用相同的附图标记表示。
(1)第一实施方式
(成型设备的结构)
图1是显示根据本发明第一实施方式的成型设备11结构的实例的截面图。图2是显示根据本发明第一实施方式的成型设备11结构的实例的放大截面图。
如图1所示，成型设备11具有固定模具部件12和可动模具部件13。当固定模具部件12和可孔模具部件13配合(fit)时，形成作为成型空间的空腔14。在成型设备11中，空腔14填充有熔化的盘基材料。结果，使盘基10成型。
固定模具部件12具有面对可动模具部件13的固定镜21。压模22安装在固定模具部件12上，使得压模22面对空腔14。压模22以具有中心开口部分的环状形状形成。压模22的一个主表面22a以对应于槽脊/凹槽、凹坑等的凹入和凸出形状形成。压模22安装在固定模具部件12的固定镜21上，使得主表面22a面对可动模具部件13。硬膜2和边界润滑膜1连续沉积在固定镜21的镜面上。下面将描述边界润滑膜1和硬膜2。
在固定模具部件12的中心附近配置浇道套23。在浇道套23的中心形成树脂注入开口24。树脂注入开口24连接到材料供给单元(未示出)。熔化的盘基材料通过树脂注入开口24从材料供给单元供应到空腔14中。
在浇道套23和固定镜21之间配置压模导轨25。当压模22安装在固定镜21上时，压模导轨25引导压模22的内缘部分。
另一方面，配置可动模具部件13，使得其面对固定模具部件12。通过在尖端具有滚珠轴承16的导向杆15，可动模具部件13可自由地接近固定模具部件12和从固定模具部件12分离。可动模具部件13具有面对固定模具部件12的可动镜31。可动模具部件13具有切割在空腔14中固化的盘基10的中心部分的浇口切割冲头(gate cut punch)32、将被浇口切割冲头32切割的中心部分排出的推顶杆33、和将盘基10从可动模具部件13排出的活动侧排出器34。浇口切割冲头32、推顶杆33和活动侧排出器34配置在可动侧模具部件13的中心附近。
浇口切割冲头32切割已从浇道套23供应到空腔14并已固化的盘基材料的流道(runner)部分等。浇口切割冲头32具有与光盘的中心孔几乎相同的外径。浇口切割冲头32可在浇口切割冲头32通过导向装置和驱动装置(未示出)伸向空腔14的方向上移动。
浇口切割冲头32和浇道套23通过具有滚珠轴承16的导向杆15定中心。
推顶杆33具有棒状形状。推顶杆33配置在浇口切割冲头32的中心处。推顶杆33可在推顶杆33通过导向装置和驱动装置(未示出)伸向空腔14的方向上移动。推顶杆33除去被浇口切割冲头32切割的部分。因此，在填充到空腔14中的盘基材料固化后，当推出推顶杆33时，可除去流道部分和浇道，即，流道部分和停留在浇道套23的供应部分中的盘基材料。
活动侧排出器34具有圆筒状，其具有与浇口切割冲头32的外径几乎相同的内径。活动侧排出器34围绕浇口切割冲头32。活动侧排出器34可在活动侧排出器34通过导向装置和驱动装置(未示出)伸向空腔14的方向上移动。因此，在空腔14填充有盘基材料和盘基10的中心孔形成后，活动侧排出器34推动盘基10的内缘以将盘基10从可动模具部件13中排出。
(边界润滑膜)
接着，将详细描述上述边界润滑膜1。图3是图2所示的固定镜21的正面的邻近部分A的放大图。边界润滑膜1的正面具有与压模22的背面相同的平面形状。至少对于与固定镜21的镜面上的压模22接触的部分，边界润滑剂1具有均一的厚度。至少在与固定镜21的镜面上的压模22接触的部分处通过DLC(类似金刚石的碳)涂层形成硬膜2。边界润滑膜1形成在硬膜2的正面上。
根据第一实施方式，作为硬膜2的材料，DLC用于减小正面的摩擦系数。可代替地使用其他硬质材料如氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)、碳氮化钛(TiCN)、氮化钛铝(TiAlN)、或TiKron(TiCrN)。另外，边界润滑膜1可直接形成在固定镜21的镜面上，而无需硬膜2。
图4是描述边界润滑膜1的吸收状态的示意图。据推测，边界润滑膜1化学吸收到其上形成硬膜2的固定镜21的镜面中。当其上形成硬膜2的固定镜21的边界润滑膜剂形成，且吸收部位3填充有边界润滑膜剂时，据推测边界润滑膜剂不再吸收到吸收部位3中。因此，当除去未吸收的边界润滑膜剂时，估计边界润滑膜1的厚度为约10nm-50nm。边界润滑膜1形成在固定镜21的镜面上，使得固定镜21的镜面的表面粗糙度劣化。
边界润滑膜1由包含磷酸酯类中的一种的边界润滑膜剂构成。该磷酸酯类中的一种是例如单磷酸酯、二磷酸酯和三磷酸酯的混合物。磷酸酯具有优异的耐热性。磷酸酯主要用作用于需要耐热性的材料例如阻燃剂的添加剂。更具体地说，磷酸酯用作用于喷墨打印机的打印油墨的分散剂。
边界润滑膜1由例如边界润滑膜剂构成，该边界润滑膜剂包含分别由以下化学式(1)、化学式(2)和化学式(3)表示的单磷酸酯、二磷酸酯和少量三磷酸酯。在这些化学式中，n表示氧化乙烯(EO)的平均附加摩尔浓度(averageadditional molarity)，R表示烷基或烷基芳基，R’表示金属盐如H、Na或K，或R(CH2CH2O)n基团。烷基为R＝CmH2m+1，其中m表示碳数，例如，m＝6-18，n＝0-10。
Figure A20068000043100131
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
R’：金属盐如H、Na或K，或R(CH2CH2O)n基团
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
Figure A20068000043100141
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
边界润滑膜剂可包含分别由以上化学式(1)、化学式(2)和化学式(3)表示的单磷酸酯、二磷酸酯和三磷酸酯的至少一种。当边界润滑膜1由这些边界润滑膜剂构成时，边界润滑膜1具有优异的耐热性，长时间保持其组分的稳定性，不包含水分，且加热下几乎不渗出水分。
(形成边界润滑膜的方法)
接着，将描述形成边界润滑膜1的方法的实例。首先，用溶剂将边界润滑膜剂稀释至适当的浓度。不限制溶剂的种类，只要其溶解边界润滑膜剂。例如，可使用有机溶剂如甲苯、苯、或甲基乙基酮(MEK)。此后，将制备的边界润滑膜剂用涂覆工具如废布(waste cloth)涂覆在固定镜21上。之后，用不溶解边界润滑膜剂的溶剂擦拭涂覆的边界润滑膜剂。在这种情况下，可用不溶解边界润滑膜剂的溶剂浸渍棉材料如废布或Bemcot或化学纤维。用棉材料或化学纤维擦拭涂覆的边界润滑膜剂。优选使用广泛用于清洁固定镜21和/或压模22的溶剂。该溶剂为例如丙酮、乙醇、或其混合物。
当擦拭边界润滑膜剂时，可有效除去在涂层表面上的杂质如灰尘。另外，可除去不均匀涂覆的边界润滑膜剂。结果，可在固定镜21上形成非常薄且没有杂质的边界润滑膜1。即，在相关技术中，难以可再现地在固定镜21的正面上以相等的厚度涂覆油和润滑油。但是，当擦拭边界润滑膜剂时，其可再现地在固定镜21上以相等的厚度涂覆。另外，油和润滑油具有高粘度。当它们涂覆在固定镜21的正面上时，杂质如灰尘易于附着到固定镜21的正面上。相反，由于边界润滑膜剂具有低粘度，杂质如灰尘几乎不附着到固定镜21的正面上。另外，当擦拭边界润滑膜剂时，可除去附着到涂层表面上的杂质如灰尘。
(盘基成型的方法)
接着，将描述使用成型设备11使盘基10成型的方法的实例。可动模具部件13向固定模具部件12移动，使得它们配合并形成空腔14。此后，用熔化的盘基材料填充空腔14。盘基材料为例如合成树脂材料如聚碳酸酯。将盘基材料在材料供给单元中加热并熔化。熔化的盘基材料通过作为供给通路的树脂注入开口24注入到空腔14中。
之后，将填充在空腔14中的盘基材料冷却并固化。另外，将盘基材料夹紧。当夹紧盘基材料时，可动模具部件13进一步向固定模具部件12移动。结果，压制填充在空腔14中的盘基材料。由此，形成在压模22的主表面22a上的凹入和凸起形状安全转移到盘基材料上。
在盘基材料已充分冷却和固化后，将浇口切割冲头32向固定模具部件12移动，即在浇口切割冲头32伸向空腔14的方向上移动。当浇口切割冲头32在浇口切割冲头32伸向空腔14的方向上移动时，可切割固化盘基材料的流道部分和浇道部分。由此，在填充在空腔14中的盘基材料已固化之后，在其中心处形成开口。
此后，在可动模具部件13从固定模具部件12分离的方向上，将可动模具部件13从固定模具部件12移动。由此，盘基10从安装在固定模具部件12上的压模22中分离。结果，盘基10的一个主表面暴露于外部。
之后，推顶杆33在推顶杆33伸向空腔14的方向上移动。结果，除去被浇口切割冲头32切割的部分。此后，活动侧排出器34在活动侧排出器34伸向空腔1 4的方向上移动。结果，推动盘基10的内缘部分，且盘基10从可动模具部件13中分离。在上述步骤中，盘基10成型。
注入到空腔14中的盘基材料的温度为约360℃-390℃。由于磷酸酯在这种高温环境下具有润滑特性，边界润滑膜1减小在当压模22膨胀和收缩时产生的摩擦力。结果，可防止压模22和固定镜21变形。
另外，当盘基10成型时，由填充在空腔14中的盘基材料的粘度引起的拉伸应力和由重复加热和冷却温度引起的热应力使压模22在径向方向上膨胀和收缩。在这点上，形成在固定镜21上的边界润滑膜1减小由在径向方向上的压模22的膨胀和收缩引起的摩擦力，以防止压模22和固定镜21变形。
由于防止压模22和固定镜21变形，因此其上已适当转移压模22的凹入和凸出形状的盘基10成型。以这种方式成型的盘基10可用作用于光盘如MO盘或DVD的盘基。
(2)第二实施方式
(成型设备的结构)
图5是显示根据本发明第二实施方式的成型设备的结构的实例。图6是显示图5所示的固定镜21的邻近A的放大图。如图5和图6所示，边界润滑膜51形成在固定镜21的镜面上。边界润滑膜52形成在压模22的背面上，其为信号表面的相反面。由于第二实施方式的成型设备的结构与第一实施方式的成型设备的结构相同，除了边界润滑膜51和52以外，因此在以下将仅描述边界润滑膜51和52。
边界润滑膜51和52各自包含磷酸酯类中的至少一种。作为磷酸酯类，可使用例如单磷酸酯、二磷酸酯和三磷酸酯。优选使用具有全氟分子结构的氟化物改性的磷酸酯。这是因为与单磷酸酯、二磷酸酯和三磷酸酯相比，氟化物改性的磷酸酯使压模寿命显著延长。在本说明书中，“寿命”是指可在成型设备的一次成型操作中连续成型的光盘数，即发射数(number ofshot)，而不是指压模寿命。
磷酸酯可为其主要成分为化学式(1)表示的单磷酸酯和化学式(2)表示的二磷酸酯的磷酸酯类中的一种。另外，磷酸酯可包含少量化学式(3)表示的三磷酸酯。另外，优选使用例如化学式(4)表示氟化物改性的磷酸酯。典型的磷酸酯的pH为酸性。但是，氟化物改性的磷酸酯的分子包含磷酸酯基团。氟化物改性的磷酸酯可用选自许多种碱性化合物和金属中的一种中和至适当的pH。磷酸酯具有优异的耐热性。磷酸酯主要用作需要耐热性的材料例如阻燃剂的添加剂。更具体地说，磷酸酯用作用于喷墨打印机的打印油墨的分散剂。
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
R’：金属盐如H、Na或K等，或R(CH2CH2O)n基团
Figure A20068000043100171
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
Figure A20068000043100172
n：氧化乙烯的平均附加摩尔浓度
R：烷基或烷基芳基
[F-(CF2CF2CF2O)n-CF2CF2CH2O]m-PO(OH)3-m...(4)
(制造压模的方法)
接着，将描述制造原盘压模(master stamper)(原版盘制作步骤)的方法的实例。首先，用例如专用研磨设备，以细磨料如氧化铈摩擦用于制造压模的作为基底的盘形玻璃原盘。在玻璃原盘变平后，将其仔细清洗，使得不残留磨料。之后，在已研磨和清洗的玻璃原盘上形成光致抗蚀剂层。光致抗蚀剂层成为用于作为形成在光盘上的凹槽或凹坑转移的信号图案的基底。
之后，用激光束辐射光致抗蚀剂层。用激光束使压模的原盘图案曝光，该压模的原盘图案将信号图案转移到光盘上。之后，使原盘图案显影。通过化学镀在原盘图案上形成金属基层。此后，通过电解电镀对于期望的压模厚度形成电镀膜。
之后，将其上已再现信号图案(原盘图案)的电镀金属膜从玻璃原盘上分离。将电镀金属膜清洗并充分干燥。结果，获得用于压模的原盘。
将保护片附着到压模的信号图案表面上。之后，研磨压模的背面，以改善平面度。为了获得期望的压模的背面的表面精度，可选择各种研磨方法中的一种。如上所述，作为研磨压模背面的方法，可采用使用磨料分散溶液的自由研磨方法或使用研磨带、研磨垫(也称作研磨盘)的方法，或各种研磨方法中的任一种。即，可通过任意方法研磨压模背面。最后，以预定的压模直径将压模冲孔(修整的)。结果，获得期望的压模。
(制备边界润滑膜剂)
当磷酸酯用作边界润滑膜剂时，以下列方式制备磷酸酯。用溶剂如有机溶剂例如甲苯、苯、或甲基乙基酮(MEK)稀释磷酸酯至适当的浓度。当使用金属盐如钾或钠盐时，纯水用作溶剂。更具体地说，甲苯用作溶剂。磷酸酯稀释至5重量％的浓度。尽管不限制边界润滑膜剂的浓度，但该浓度优选为0.1重量％-10重量％，更优选2重量％-5重量％。当该浓度为0.1重量％或更高时，获得边界润滑膜的效果。当该浓度为10重量％或更低时，可均匀地形成边界润滑膜。结果，在正面上可抑制干涉条纹的产生。另外，可防止磷酸酯作为固定成分沉积。当浓度为2重量％或更高时，可更加改善边界润滑膜的效果。当浓度为5重量％或更低时，可更加改善边界润滑膜的均匀性。结果，在正面上可更加抑制干涉条纹的产生。另外，可进一步防止磷酸酯作为固定成分沉积。
接着，将制备的磷酸酯置于螺管或大玻璃管或poly-bin中，然后轻轻振动数次。之后，将包含制备的磷酸酯的管在例如辊式破碎机上旋转约10分钟至1小时。但是，不限制该管在辊式破碎机上旋转的时间，只要可肉眼检查到边界润滑膜剂已溶于稀释溶剂中即可。结果，获得期望的边界润滑膜剂。另外，必要时，将获得的边界润滑膜剂通过膜滤器等过滤。过滤器的尺寸不受限制。由此，可容易地制备边界润滑膜剂。在制造现场，可制造期望量的边界润滑膜剂。
当氟化物改性的磷酸酯用作边界润滑膜剂时，以下列方式制备氟化物改性的磷酸酯。从摩擦减小效果的观点来看，优选使用氟化物改性的磷酸酯作为边界润滑膜剂。
以与上述磷酸酯相同的方式，用溶剂稀释氟化物改性的磷酸酯至适当的浓度。从溶解性的观点来看，氟化物溶剂用于稀释氟化物改性的磷酸酯。例如，可使用全氟己烷、聚氧全氟-n-亚烷基、或氢氟醚(hydrofluoroether)。更具体地说，用氢氟醚作为溶剂稀释氟化物改性的磷酸酯至0.5重量％的浓度。尽管不限制边界润滑膜剂的浓度，但优选该浓度为0.01重量％-10重量％，更优选0.3重量％-2.0重量％。当该浓度为0.01重量％或更高时，可获得边界润滑膜的效果。当该浓度为10重量％或更低时，可均匀地形成边界润滑膜。结果，可抑制在正面上的干涉条纹的产生。另外，可抑制磷酸酯的固体成分的沉积。当浓度为0.3重量％或更高时，可更加改善边界润滑膜的效果。当浓度为2.0重量％或更低时，可更均匀地形成边界润滑膜。结果，可进一步抑制在正面上的干涉条纹的产生。尽管不限制氟化物改性的磷酸酯的分子量，但其优选为2000-5000。
接着，将制备的氟化物改性的磷酸酯置于螺管或大玻璃管或poly-bin中，然后轻轻振动数次。之后，将包含制备的氟化物改性的磷酸酯的管在例如辊式破碎机上旋转约10分钟至1小时。但是，不限制该管在辊式破碎机上旋转的时间，只要可肉眼检查到边界润滑膜剂已溶于稀释溶剂中即可。结果，获得期望的边界润滑膜剂。另外，必要时，将获得的边界润滑膜剂可通过膜滤器等过滤。过滤器的尺寸不受限制。由此，可容易地制备边界润滑膜剂。在制造现场，可制造期望量的边界润滑膜剂。
(处理压模背面的方法)
接着，将描述处理压模背面的方法的实例。将保护片附着到压模的信号表面上。而将树脂等作为保护膜旋涂在压模的信号表面上。之后，在压模背面上进行预定的研磨处理。之后，用有机溶剂如丙酮、甲苯或醚醇对压模背面进行脱脂并清洁。之后，通过例如旋涂法将已稀释至预定浓度的边界润滑膜剂以预定量滴到压模的背面上，使得边界润滑膜剂均匀地涂覆在压模的整个背面上。
边界润滑膜剂可通过不同于旋涂法的方法形成在压模的背面上。作为其他简单的涂覆方法，可将适当量的边界润滑膜剂浸渍在废布或商品化的Bemcot中。用该废布或Bemcot将边界润滑膜剂直接涂覆在压模的背面上。在这点上，必须防止边界润滑膜剂流到压模的信号表面，其为正面。另外，重要的是清洁废布和Bemcot。作为在表面处理中的重点，必须将边界润滑膜剂涂覆在清洁的表面上。另外，作为涂覆方法，可将压模浸在边界润滑膜剂中，即可使用浸渍法，只要防止边界润滑膜流到压模的信号表面即可。
在边界润滑膜即涂覆在压模的背面上后，将压模在常温下干燥或通过炉等加热，使得溶剂完全蒸发。结果，边界润滑膜剂附着到压模的背面上。由此，边界润滑膜形成在压模的背面上。当通过炉等干燥溶剂时，加热温度优选接近稀释溶剂的沸点。尽管不限制干燥时间，但优选压模的背面在常温在干燥约30分钟或更长，或通过炉等干燥约10分钟至30分钟。
之后，通过不溶解边界润滑膜剂的非挥发性溶剂将灰尘和不均匀涂覆的边界润滑膜剂从压模的背面除去。优选取决于磷酸酯的种类而选择溶剂，用该溶剂擦拭边界润滑膜剂且该溶剂不溶解边界润滑膜剂。如果使用可溶解的溶剂，形成在压模背面上的润滑膜被擦拭和除去。由此，不能获得作为期望的表面处理效果的摩擦减小效果。当用非-可溶的溶剂清洁压模的背面时，可使表面润滑膜平滑。
(处理镜面的方法)
接着，将描述处理成型设备的信号镜面的方法。首先，用有机溶剂对信号镜面进行脱脂和清洁。更具体地说，将溶剂浸入废布或商品化Bemcot。用废布或Bemcot仔细擦拭镜面。在这种情况下使用的溶剂为有机溶剂如酮类中的一种例如丙酮、甲苯、或甲基乙基酮，或醇类中的一种例如异丙醇(IPA)。不限制所用的溶剂的类型。可使用任何溶剂，只要可对信号镜面进行脱脂和清洁。
之后，检查溶剂已从信号镜面完全蒸发。之后，将边界润滑膜剂以适当的量进入清洁的棉如商品化Bemcot或布(废布)中。用该棉或布，将边界润滑膜剂均匀地涂覆在信号镜面上。
在边界润滑膜剂已涂覆在信号镜面上后，在常温(室温)下干燥信号镜面，使得溶剂完全蒸发。结果，边界润滑膜剂附着到信号镜面上。结果，形成边界润滑膜。不限制干燥边界润滑膜剂的时间。但是，优选在常温下干燥信号镜面约30分钟或更长。
之后，通过不溶解边界润滑膜剂的非挥发性溶剂，将灰尘和不均匀涂覆的边界润滑膜剂从压模背面除去。优选取决于磷酸酯的种类而选择溶剂，用该溶剂擦拭边界润滑膜剂且该溶剂不溶解边界润滑膜剂。如果使用可溶解的溶剂，形成在压模背面上的润滑膜被擦拭和除去。由此，不能获得作为期望的表面处理效果的摩擦减小效果。当用非-可溶的溶剂清洁压模的背面时，可使表面润滑膜平滑。
处理表面的方法可在信号镜部分从模具上移除的状态下或在信号镜部分安装到成型设备中的状态下进行。当对从模具中移除的信号镜部分进行表面处理时，其可通过例如炉加热和干燥，使得溶剂蒸发。如压模背面的处理一样，优选信号镜部分加热和干燥的温度大约为稀释溶剂的沸点。优选信号镜部分干燥的时间为10分钟至30分钟。用于处理表面的方法可在光盘的制造现场容易地进行，而无需长时间和大量劳动。即，由于表面处理的时间可缩短，可改善光盘的生产率。
如上所述，根据第二实施方式，以预定的方式研磨用于光盘的压模的背面，其与信号表面的相反。化学处理背面，使得边界润滑膜形成在其上。之后，化学处理成型设备的信号镜面，使得边界润滑膜形成在其上。结果，与第一实施方式相比，可减小成型设备和安装在信号镜面上的压模的背面之间的摩擦。由此，与第一实施方式相比，装置停止的时间可缩短。结果，与第一实施方式相比，光盘连续制造的时间可延长。
接着，将参照实施例更具体地描述本发明。但是，本发明不限于这些实施例。
在以下实施例中，对于树脂温度、成型温度和合模力，以下列条件进行注入成型。
树脂温度：380℃±10℃
成型温度：125℃±3℃
合模力：35t-45t
在以下实施例中，使用包含分别由以上化学式(1)、化学式(2)和化学式(3)表示的单磷酸酯、二磷酸酯和少量三磷酸酯的混合物(由Toho ChemicalIndustry Co.，LTD.制造)。化学式(1)中的R’为H型。化学式(1)、化学式(2)和化学式(3)中的碳数为m＝18。EO的平均分子数为n＝2。
构成用于本发明这些实施例的边界润滑膜的磷酸酯可溶于溶剂如甲苯、苯、或甲基乙基酮(MEK)中。即，当使用该边界润滑膜剂时，可用这些可溶的溶剂稀释。
构成用于本发明这些实施例的边界润滑膜的磷酸酯不可溶于溶剂如二甲苯、溶剂石脑油、煤油、乙醇、DFM(二甲基甲酰胺)、丁基溶纤剂、乙二醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、乙酸乙酯、丙酮或水中。即，当使用该边界润滑膜剂时，在其涂覆后，用这种非-可溶的溶剂擦拭杂质如灰尘和不均匀涂覆的边界润滑膜剂，可以非常均匀的厚度非常薄地形成边界润滑膜1。
<实施例1>
用甲苯将边界润滑膜剂稀释至5重量％的浓度。将制备的边界润滑膜剂直接涂覆在固定镜21的镜面上，其上通过废布形成硬膜2。使用DLC作为硬膜2。作为固定镜21，使用FLMAX，其为用不锈钢原理制造的高合金的腔/核心材料。在将边界润滑膜剂涂覆在镜面上时，用丙酮擦拭杂质如灰尘和不均匀涂覆的边界润滑膜剂。在这些步骤中，边界润滑膜1以均匀的厚度非常薄地形成在固定镜21的镜面上。
之后，通过非接触型表面测试仪测量在镜面的中心线上的平均粗糙度(Ra)。测量结果表明，在边界润滑膜1形成之前在镜面的中心线上的平均粗糙度(Ra)为0.52[nm]，和在边界润滑膜1形成之后在镜面的中心线上的平均粗糙度(Ra)为0.53[nm]。因此，很明显在边界润滑膜1形成之前在镜面的中心线上的平均粗糙度与在边界润滑膜1形成之后的几乎相同。
<实施例2>
为了比较在边界润滑膜1形成之前和之后在固定镜21和压模22之间产生的摩擦力，在固定镜21的样品上形成边界润滑膜1。在边界润滑膜1形成之前产生的摩擦力和在边界润滑膜1形成之后产生的摩擦力通过摩擦测试仪测量。
该样品的材料与实施例1的固定镜21的材料相同，即ELMAX，其为用不锈钢原理制造的高合金的腔/核心材料。在镜面上形成由DLC制成的硬膜2。以与实施例1相同的方式在其上形成硬膜2的样品的镜面上形成边界润滑膜1。
接着，参考图7，描述使用摩擦测试仪计算摩擦系数的方法。摩擦测试仪具有支撑台部分35和检测部分37。支撑台部分35具有平台36和驱动部分(未示出)。平台36具有其上放置样品4的支撑表面。该样品具有直径未50mm的镜面。该驱动部分使平台(stage)36移动，使得放置在平台36上的样品4与支撑表面平行地径向移动。
检测部分37具有头38和负荷平台39。检测部分37可自由地接近平台36和从平台36分离。当测量摩擦力时，头38与在平台36上样品4接触，以对样品4产生摩擦力。为了计算样品4和压模22之间的摩擦系数，头38的材料为广泛用作压模22的材料的镍。
负荷平台39使头38对平台36上的样品4加压。负荷平台39施加到头38上的负荷可自由地变化。
传感器40和41测量在平台36的移动方向上施加到检测部分37上的压力，以测量在平台36上的样品4和头38之间产生的摩擦力。当平台36在图中向右移动时，传感器40检测施加到检测部分37的压力F1。当平台36在图中向左移动时，传感器41检测施加到检测部分37的压力F2。
以下列方式计算摩擦系数μ。在平台36通过驱动部分(未示出)移动使得在平台36上的样品4在1秒内在径向上移动一回的同时，测量压力F1和压力F2。用测量的压力F1和压力F2以及作为负荷平台重量的施加到样品4的头38的重量w，根据下式(1)计算摩擦系数μ。假定施加到样品4的头的重量w为65[g]。
μ＝((F1+F2)/2)/w...(1)
当不形成边界润滑膜1时，压力F1为17.6g且压力F2为14.4g。即，当不形成边界润滑膜1时，摩擦系数为约0.246。
当形成边界润滑膜1时，压力F1为14.4g且压力F2为11.6g。即，当形成边界润滑膜1时，摩擦系数为约0.2。
结果，很明显当接触固定镜21的压模22的边界润滑膜1形成时，固定镜21和压模22之间的摩擦系数可显著降低。
之后，通过成型设备使根据3.5英寸MO盘标准的光盘基底连续成型。由成型的光盘基底制造3.5英寸MO盘。之后，评价是否可用至少1×密度至20×密度的记录密度将数据记录到3.5英寸MO盘上和从3.5英寸MO盘上再现。
<实施例3>
以与实施例1相同的方式，在成型设备11的固定镜21的镜面上形成边界润滑膜1。通过成型设备11使光盘基底连续成型。之后，在成型的光盘基底上形成根据3.5英寸MO盘标准的记录膜和保护膜。结果，获得期望的光盘。
<比较例1>
以与实施例3相同的方式使光盘基底成型，除了不形成边界润滑膜1以外。之后，在成型的光盘基底上形成根据3.5英寸MO盘标准的记录膜和保护膜。结果，获得期望的光盘。
图8和图9显示了在使用成型设备20,000回后，通过不具有边界润滑膜1的成型设备形成的地址凹坑的凹入和凸出形状。图10和图11显示了在使用成型设备40,000回后，通过具有边界润滑膜1的成型设备形成的地址凹坑的凹入和凸出形状。
图8和图10是显示通过AFM(原子力显微镜)照相的地址凹坑的形状的示意图。图9和图11的纵轴表示在基底的径向上地址凹坑的深度[nm]，而横轴表示在基底的径向上的扫描面积[μm]。即，图9和图11用与图8的线A和图10的线B的凹入和凸出形状成比例的电压和频率连续显示正面的凹入和凸出形状。图8的箭头a和a’、箭头b和b’、与箭头c和c’分别对应于图9的点a和a’、点b和b’、与点c和c’。另外，图10的箭头d和d’、箭头e和e’、与箭头f和f’分别对应于图11的点d和d’、点e和e’、与点f和f’。
如图8和图9所示，在不具有边界润滑膜1的成型设备使用20,000回后，在盘上的凹坑的边缘塌陷，并发生地址错误。相反，如图10和图11所示，在具有边界润滑膜1的成型设备使用40,000回后，在盘上的凹坑的边缘不塌陷，并不发生地址错误。即，很明显生产率可改善超过2倍。
之后，通过成型设备11是根据一次写入型DVD 4.7GB标准的光盘基底成型。由成型的光盘基底实际制造DVD-R盘。评价是否可用1×速至8×速的记录速度将数据记录到制造的DVD-R盘上和从DVD-R盘上再现。
<实施例4>
以与实施例1相同的方式，在成型设备11的固定镜21的镜面上形成边界润滑膜1。通过成型设备11使光盘基底连续成型。之后，在成型的光盘基底上形成根据一次写入型DVD 4.7GB标准的记录膜。之后，用粘合层粘附光盘基底。结果，获得期望的光盘。
<比较例2>
以与实施例4相同的方式，使光盘基底连续成型，除了省略边界润滑膜1以外。之后，在成型的光盘基底上形成根据一次写入型DVD 4.7GB标准的记录膜。之后，用粘合层粘附光盘基底。结果，获得期望的光盘。
图12显示了通过在固定镜21上不具有边界润滑膜1的成型设备成型的盘的跟踪误差信号。图13显示了通过在固定镜21上具有边界润滑膜1的成型设备成型的盘的跟踪误差信号。图12和图13的纵轴表示电压，而其横轴表示在R58mm位置处的圆周(0°-360°)，其为盘的信号区域的最外缘。
如图12和图13所示，通过在固定镜21上具有边界润滑膜1的成型设备成型的盘的跟踪误差信号的平均振幅小于通过在固定镜21上不具有边界润滑膜1的成型设备成型的盘的跟踪误差信号的平均振幅。因此，很明显当在固定镜21上形成边界润滑膜1时，跟踪误差减小约10％，且产品的质量和产率改善。
图14显示了在盘连续成型的情况下的跟踪误差。图14的纵轴表示电压[V]，而其横轴表示盘样品数。便是跟踪误差的电压值是每个盘的跟踪误差的平均值。即，该电压值越低，跟踪状态越高。图14中的边界线A表示形成边界润滑膜1的定时。即，边界线A的左侧表示在形成边界润滑膜1之前成型的盘。相反，边界线A的右侧表示在形成边界润滑膜1之后成型的盘。
形成边界润滑膜1之前的跟踪误差信号的振幅平均值为0.84±0.13，而形成边界润滑膜1之后的跟踪误差信号的振幅平均值为0.77±0.08。因此，很明显当盘连续成型时，跟踪误差减小。
因此，根据本发明的第一实施方式，当用在其上形成接触压模22的边界润滑膜1的固定镜21形成光盘基底时，可以高质量以低成本有效地制造光盘。特别地，当通过根据第一实施方式的成型设备制造高密度3.5英寸MO盘时，由凹坑的拖滞引起的地址错误可显著减少。结果，生产率可改善超过2倍。
<实施例5>
首先，以下列方式制造根据DVD-R(16×)标准的原盘压模。通过使用细磨料的专用研磨设备摩擦作为基底的盘形玻璃原盘的正面。之后，清洁玻璃原盘，使得不残留磨料。结果，获得具有平整表面的玻璃基底。
之后，在已研磨和清洁的玻璃基底正面上形成光致抗蚀剂层。用激光束辐射该光致抗蚀剂层。用激光束使将信号图案转移到光盘上的压模的原盘图案曝光。之后，使原盘图案显影。结果，获得原盘图案。信号表面的图案为螺旋预-凹槽(pre-groove)。磁道间距为0.74μm，且凹槽深度为0.14μm-0.16μm。
通过化学镀在原盘图案上形成金属基层。之后，通过电解电镀对于期望的压模厚度形成电镀膜。电镀膜的厚度为0.3mm。
之后，将其上已再现信号图案(原盘图案)的电镀金属膜从玻璃原盘上分离。用专用溶剂溶解光致抗蚀剂层。将电镀金属膜清洁并充分干燥。结果，获得用于压模的原盘。
将保护片附着到压模的信号图案表面上。之后，研磨压模的背面以改善平面度。
通过使用研磨盘的干式研磨设备研磨压模的背面。
最后，以预定的压模直径(138mm)将压模冲孔(并修整)。结果，获得期望的压模。
之后，以下列方式制造边界润滑膜剂。将磷酸酯(由Toho ChemicalIndustry Co.，LTD.制造)和作为稀释剂的甲苯置于螺管中，混合，并轻轻振动数次。之后，在辊式破碎机上旋转该管约10分钟。结果，制造边界润滑膜剂。
边界润滑膜剂的组成如下。
边界润滑膜剂：磷酸酯(100％固体)粉末，5重量份
稀释溶剂：甲苯，95重量份
之后，用丙酮使以上述方式制造的压模的背面脱脂并清洁。结果，获得无灰尘的清洁表面。之后，将以上述方式制造的边界润滑膜剂以适当的量浸入废布中。用该废布将边界润滑膜剂直接涂覆在压模的背面上。将压模在常温下干燥30分钟。结果，使作为溶剂的甲苯完全蒸发。由此，边界润滑膜剂附着到压模的背面上。结果，形成边界润滑膜。之后，用丙酮将灰尘和不均匀涂覆的边界润滑膜剂从边界润滑膜上擦去。丙酮是对于边界润滑膜剂不可溶的蒸发溶剂。结果，获得具有在背面上形成的期望的边界润滑膜的压模。
接着，评价以上述方式获得的压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。
之后，以与上述压模相同的方式，在注入成型设备的模具的信号镜面上形成边界润滑膜。之后，将具有在背面上形成的边界润滑膜的压模安装在模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<实施例6>
以与实施例5相同的方式，制造压模。之后，以下列方式制造边界润滑膜剂。将氟化物改性的磷酸酯(Daikin Industries，LTD)和作为稀释剂的氢氟醚(由Sumitomo 3M LTD制造)置于螺管中，混合，并轻轻振动数次。之后，在辊式破碎机上旋转该管约10分钟。结果，制造边界润滑膜剂。
边界润滑膜剂的组成如下。
边界润滑膜剂：氟化物改性的磷酸酯(100％固体)，0.93重量份
稀释溶剂：氢氟醚，99.07重量份
之后，以与实施例5相同的方式在压模的背面上形成边界润滑膜，除了使用以上述方法制造的边界润滑膜剂以外。之后，评价以上述方式制造的压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。
以与上述压模相同的方式，在注入成型设备的模具的信号镜面上形成边界润滑膜。之后，将具有在背面上形成的边界润滑膜的压模安装在模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<实施例7>
以与实施例6相同的方式，制造具有在背面上形成的边界润滑膜的压模。之后，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。将具有在背面上形成的边界润滑膜的压模安装在信号镜面上不具有边界润滑膜的模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<实施例8>
以与实施例5相同的方式，制造压模。之后，以与实施例6相同的方式，在信号镜面上形成边界润滑膜。评价信号镜面的外观、粗糙度的劣化、耐溶剂性和接触角。之后，将不具有边界润滑膜的压模安装在具有在信号镜面上形成的边界润滑膜的模具上。之后，使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<实施例9>
以与实施例6相同的方式，制造具有在背面上形成的边界润滑膜的压模，除了使用根据BD-R标准的原盘压模以外。之后，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。之后，以与实施例6相同的方式，在信号镜面上形成边界润滑膜。之后，将具有在背面上形成的边界润滑膜的压模安装模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<比较例3>
以与实施例5相同的方式，制造根据DVD-R标准的压模。在压模的背面上不形成边界润滑膜的状态下，即在正常状态下，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。之后，将在背面上不具有边界润滑膜的压模安装在信号镜面上不具有边界润滑膜的模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<比较例4>
以与实施例9相同的方式，制造根据BD-R标准的压模。在不形成边界润滑膜的状态下，即在正常状态下，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。之后，将在背面上不具有边界润滑膜的压模安装在信号镜面上不具有边界润滑膜的模具上。使光盘基底重复注入成型。用注入成型的光盘基底，评价压模寿命。
<比较例5>
以与实施例5相同的方式，制造压模。之后，用通常干燥型氟化物树脂(由Fluoro Technology LTD制造，商品名：FluoroSurf FG-5030G)处理压模的背面。之后，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。结果，耐溶剂性差。当用浸渍丙酮的Bemcot或废布擦拭背面时，在背面上处理的氟化物树脂被除去。另外，很明显由于出现干涉条纹，难以使用氟化物使光盘基底注入成型。因此，在比较例5中，不用注入成型的光盘基底评价压模寿命。
<比较例6>
以与实施例5相同的方式，制造压模。之后，用作为常温硬化型的固体润滑剂的PTFE(聚四氟乙烯)处理压模的背面。之后，评价压模背面的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角。结果，很明显由于表面粗糙度的劣化大，表面粗糙度转移到光盘基底的信号表面上。因此，在比较例6中，不用注入成型的光盘基底评价压模寿命。
接着，将描述在实施例5-9和比较例3-6中的外观、粗糙度的劣化、滑脱角、耐溶剂性和接触角的评价结果。
(外观的评价)
用Bemcot或废布轻轻擦拭用表面润滑膜处理的表面数次。之后，肉眼观察表面是否变化。未观察到表面变化的情况表示为“○”，尽管观察到表面轻微变化，但在容许的范围内的情况表示为“△”，观察到表面变化且外观劣化的情况表示为“▲”，且明显观察到表面变化且不能制造满足DVD-R和BD-R标准的盘基(以下称作不可作为产品)的情况表示为“×”。当表面的外观为“○”或“△”时，可满意地制造满足DVD-R和BD-R标准的盘基。
(表面粗糙度的评价)
通过商品化二维表面粗糙度测试仪测量表面粗糙度。评价在边界润滑膜形成之前和之后表面参数(Ra、Rmax和Rz)是否变化，和表面粗糙度是否劣化。观察到表面参数不变化或表面粗糙度不劣化的情况表示为“○”，观察到表面粗糙度轻微劣化但在容许的范围内的情况表示为“△”，观察到表面粗糙度变化的情况表示为“▲”，且明显观察到表面粗糙度变化且可作为产品的情况表示为“×”。当表面粗糙度为“○”或“△”时，可满意地制造满足DVD-R和BD-R标准的盘基。
(滑脱角的评价)
将具有在其上处理的边界润滑膜的压模以背面向上的方式轻轻放置在平台上。将200g的重物置于压模的背面上。压模的一端逐渐向上倾斜。将重物开始移动的角度定义为滑脱角。根据定义，评价滑脱角代替静摩擦。滑脱角越小，摩擦越小。在该评价中，仅测量压模的背面。由于用于这些实施例的材料的滑脱角非常低，通过另一评价方法观察镜面的滑脱角。据说，滑脱角越低，摩擦减小效果越高且越优选。
(耐溶剂性的评价)
用浸渍丙酮的Bemcot或废布轻轻擦拭用边界润滑膜处理的表面数次。之后，肉眼观察表面是否变化。观察到表面不变化的情况表示为“○”，观察到表面轻微变化但在容许的范围内的情况表示为“△”，观察到表面变化的情况表示为“▲”，且明显观察到表面变化且不可作为产品的情况表示为“×”。当表面的外观为“○”或“△”时，可满意地制造满足DVD-R标准的盘基。
假定进行普通成型过程来评价耐溶剂性。在压模安装在模具上之前，用丙酮擦拭和清洁信号镜面和压模的背面，以防止信号镜面上的灰尘不利地影响压模，并防止杂质转移到压模的信号镜面上。但是，当它们被清洁时，其上处理的边界润滑膜剂可溶解并从其上除去。结果，效果可丧失。
当一个样品的耐溶剂性与另一样品相比时，最适当的是比较在用丙酮擦拭表面之前和之后的接触角。但是，为了在制造现场快速确定耐溶剂性，可在擦拭后观察表面。可取决于其上是否出现干涉条纹，在表面擦拭后丙酮是否以水滴的形状残留，或其是否覆盖有丙酮，来观察耐溶剂性。即，可取决于溶剂的润湿特性是否已变化，来肉眼观察耐溶剂性。通过肉眼观察润湿特性是否已变化来评价耐溶剂性。作为优选的状态，尽管根据本发明，耐溶剂性取决于边界润滑膜剂的结构，但当边界润滑膜由氟化物改性的磷酸酯制成时，优选边界润滑膜消失且散布水滴形状的溶剂。
(接触角的评价)
作为确定边界润滑膜剂是否已确实处理在表面上的简单方法，通常测量接触角。通过根据在表面上处理的化学物质(边界润滑膜剂)的分子结果，将纯水或十六烷的小滴滴落在表面上以确定表面的性质是亲水的还是亲油的，来测量该角度。根据这些实施例，通过由Kyowa Interface Science Co.，LTD.制造的FACE固定表面能分析装置(CA-XE型)测量在纯水或十六烷的液滴的量为3.1μl的情况下的接触角。但是，该评价目的在于确定边界润滑膜剂是否已结合到压模的背面或信号镜面上，而不是确定边界润滑膜剂的质量是好还是差。当在表面处理之前的接触角不同于表面处理之后的接触角时，假定表面已被处理。
(寿命性能的评价)
寿命性能的评价表示本发明的实质效果。即，寿命性能是实际的光盘生产线的性能。寿命值(发射数)越高，效果越高。
在本说明书中，寿命是指可在一次成型操作中连续成型的光盘(发射)数，而不是指压模寿命。
如前所述，由于压模的背面的材料不同于信号镜部分的材料，由于这些材料的热膨胀系数和刚性模量的差异而引起导致它们边界变形的摩擦磨损。在这点上，由于摩擦而在硬度低于信号镜部分的压模的背面中产生粘附磨损。由于粘附的物质或损失的物质像磨料一样起作用，其损伤压模的背面和信号镜部分的正面。结果，成型盘的精度劣化。因此，装置暂时停止。压模的背面被轻轻研磨并再利用。这种维护工作导致装置利用率降低，和生产成本增加。这是本发明克服的一个重要问题。
作为压模寿命已届满或成型装置停止的标准，确定当光盘的测量跟踪误差超过预定值时，压模寿命应已届满(成型装置的一次操作应已届满)。光盘的跟踪误差通过伺服误差测试仪(其为Sony的独特的公司内部标准评价测试仪)测量。当对于350-400mV的初始值，跟踪误差超过450mV的标准值时，确定压模寿命应已届满且成型操作和成型设备应停止。不用说，该值(发射数)越大，压模寿命越优选。
表1显示了实施例5-9和比较例3-6的评价结果。
比较例6 仅压模背面 固体润滑剂PTFE(聚四氟乙烯) × × 7 ○ 110 32 不可用
表1中的评价结果表明以下内容。
当比较在实施例5-9中的寿命性能评价结果和在比较例3中的寿命性能评价结果时，很明显当在压模的背面和信号镜面的至少一个上形成表面润滑膜时，与在压模背面和信号镜面两者上都不形成表面润滑膜的情况相比，压模寿命(发射数)可显著延长。
当实施例6的寿命性能评价结果与实施例7和8的寿命性能评价结果相比时，很明显当在压模背面和信号镜面两者上都形成表面润滑膜时，与在压模的背面和信号镜面中的一个上形成表面润滑膜的情况相比，压模寿命(发射数)可加倍。即，从压模寿命(发射数)延长(增加)的观点来看，很明显优选在压模背面和信号镜面两者上都形成表面润滑膜。
当实施例5的寿命性能评价结果与实施例6的寿命性能评价结果相比时，很明显由氟化物改性的磷酸酯制成的表面润滑膜与由磷酸酯制成的表面润滑膜相比，使得摩擦减小和压模寿命延长。另外，很明显为了延长压模寿命，重要的是减小压模的背面和保持成型设备的模具的压模的信号镜之间的摩擦。在用于光盘的注入成型步骤中，为了获得具有满足光盘所必需的特性如跟踪误差的长压模寿命和不降低装置利用率的光盘制造压模，根据本发明的方法可克服这些问题。
所进行的用于评价摩擦减小效果的表1中的滑脱角的评价结果是确定在压模的背面上的摩擦的方针。因此，这意味着当以特别的方式化学处理表面时，摩擦可减小。
为了方便，本说明书仅描述了实施例1-9和比较例1-6。但是，本发明的发明人已深入评价了其他各种边界润滑膜剂以完成本发明。根据评价结果，大部分这些边界润滑膜剂不起作用。当用有机溶剂如丙酮擦拭处理的表面时，产生图案如干涉条纹，这时外观的评价结果劣化。当用溶剂擦拭处理的表面时，边界润滑膜剂丧失。因此，未获得边界润滑膜剂的效果。为了简单地减小摩擦，尽管有机硅表面活性剂、树脂等是有效的，但它们可溶于溶剂如酮类中的一种如丙酮或甲苯、或醇类中的一种如乙醇或IPA(异丙醇)中。因此，当清洁成型设备的模具时，由于边界润滑膜剂丧失，不优选使用有机硅表面活性剂、树脂等。
作为评价其他表面活性剂、树脂等的重点，当表面处理的边界润滑膜剂像油一样湿时，边界润滑膜剂吸收灰尘。结果，发生杂质转移的问题。当在高温高压下使光盘基底成型时，由于有这些边界润滑膜剂流到信号表面上的风险，可允许使用这些边界润滑膜剂。
另一方面，在比较例5中，为了减小摩擦，使用具有大摩擦减小效果的固体润滑剂代替表面活性剂或树脂。但是，尽管可容易地从表1推测，在表面处理后，表面粗糙度劣化。关心超过压模的实际使用范围的粗糙度转移到信号表面上。另外，在处理的表面上观察到少量灰尘。因此，难以实际使用固体润滑剂。
在上述结果中，用在压模背面和成型设备的模具的信号镜面上形成的边界润滑膜，可减小摩擦，且压模寿命可延长，而没有压模背面和成型设备的模具的信号镜面的表面粗糙度的劣化。
为了以较高水平完成本发明，即减小压模背面和信号镜部分之间的摩擦，优选使用磷酸酯作为表面处理的边界润滑膜剂，该磷酸酯为具有润滑特性的表面活性剂，在基体中具有磷酸基团，且具有化学式(1)表示的结构，特别是化学式(4)表示的氟化物改性磷酸酯。这是因为其具有优异的摩擦减小效果，且可比其他更加延长压模寿命。
另外，作为本发明的益处，可重复使用边界润滑膜剂。如果边界润滑膜剂的效果变弱，当压模背面和信号镜面被清洁并然后在其上处理边界润滑膜时，可保持效果。
另外，作为与问题解决因素无关的内容，当观察用边界润滑膜剂处理的压模正面和和信号镜面时，它们是无色且无嗅的。因此，难以知道在它们上进行了什么处理。结果，如果压模作为产品出售，这种性质将成为优点。
本发明不限于上述实施方式。而在不脱离本发明范围和精神的情况下，可进行各种改进。
例如，在上述实施方式和实施例中使用的数值仅为示例值。当必要时，可使用不同的数值。
在上述实施方式和实施例中，本发明应用于DVD-R和BD-R。但是，本发明可应用于其他一次写入型光学记录介质。另外，本发明可应用于仅再现(reproduction-only)型和可记录型光学记录介质。更具体地说，本发明可应用于根据各种标准的光学记录介质如CD-DA(光盘-数字音频)、CD-ROM(光盘-只读存储器)、CD-R(光盘-可记录)、CD-RW(光盘-可重写)、DVD-R(数字通用光盘-可记录)、DVD+R(数字通用光盘+可记录)、DVD-RW(数字通用光盘-可重写)、DVD-RAM(数字通用光盘-随机存取存储器)、和DVD-ROM(数字通用光盘-只读存储器)。另外，本发明可应用于下一代高密度光学记录介质如HD-DVD(高清晰度数字通用光盘)、BD-ROM(蓝光盘-只读存储器)、BD-R(蓝光盘-可记录)、和BD-RE(蓝光盘-可重写)。另外，本发明可应用于将在不久的将来开发的光学记录介质。
另外，记录速度不限于上述实施方式和实施例的那些。而本发明可应用于具有各种记录速度的光学记录介质。另外，记录层的数量不限于一层。而本发明可应用于具有两层或多层记录层的光学记录介质。
另外，根据第一实施方式，尽管在固定镜21的正面上形成边界润滑膜1，但本发明不限于此。而边界润滑膜1可形成在由例如镍制成的压模22的背面上。而边界润滑膜1可形成在固定镜21和压模22两者上。另外，硬膜2可形成在压模22的背面上。
另外，本发明不仅可应用于3.5英寸MO盘和DVD-R的成型，还可应用于使用其上通过压模转移凹入和凸出形状的基底的其他记录介质基底。另外，本发明可应用于压模的凹入和凸出形状转移的成型制品的制造。
而且，在上述实施方式和实施例中，不限制压模的材料。例如，除镍以外，还可使用其他金属或陶瓷。在这种情况下，可获得与第一和第二实施方式相同的效果。
在上述实施方式和实施例中，不限制信号镜部分的材料。例如，可在信号镜部分中形成称作DLC的类似金刚石的碳。在这种情况下，可获得与第一和第二实施方式相同的效果。
在上述实施方式和实施例中，氟化物改性的磷酸酯作为边界润滑膜形成在成型设备的信号镜面和压模的背面上的情况。但是，氟化物改性的磷酸酯的应用不限于这些实施方式和实施例。而氟化物改性的磷酸酯可广泛应用于通过摩擦减小效果提供润滑特性的润滑剂组合物。另外，氟化物改性的磷酸酯的应用不限于通过摩擦减小效果提供润滑特性的润滑剂组合物。而氟化物改性的磷酸酯可用于各种应用如通过斥水性提供防水功能的防水剂组合物、通过斥油性提供防污功能的防污剂组合物、通过斥水性和斥油性提供防蚀功能的防蚀组合物、和提供耐溶剂性的耐溶剂性组合物。接着，将描述这些应用。
(1)通过摩擦减小效果提供润滑特性
磷酸酯已知作为极限压力添加剂。由于磷酸酯具有耐热性，其用于减小在高温环境下的制品的摩擦。除光盘成型设备的信号镜面以外，磷酸酯还可用于成型设备的滑动部分和驱动部分。特别地，磷酸酯可有效用于减小干燥滑动部分或干燥驱动部分的摩擦，该干燥滑动部分或干燥驱动部分被保护不是油和纸的喷溅。用于光盘成型设备的这些部分的具体实例为浇口切割冲头、产品推顶套、产品推顶杆、外缘环、和用于这些部分的滚珠轴承。另外，磷酸酯可用于模具定位装置柱的轴承、固定模具部件和可动模具部件的延伸部分、成型设备的连杆、和读取镜面。在上述中，例举了光盘成型设备。但是，本发明可应用于其他注入型成型设备。另外，对于所有的成型部件可预计同样的效果。成型部件的实例为压制模具、浇注模具、注入模具、转移模具、真空模具、鼓风模具、推模、膨胀成型口、纤维口、和砑光加工辊。另一方面，从高速滑动部分的摩擦减小的效果的观点来看，预期当滑动部分高速滑动时，产生摩擦热。在这种情况下，可有效使用极限压力添加剂。具体地说，例举了磁带。接触高速旋转的录像头的磁带包含润滑剂，数据记录到该磁带上并从该磁带再现。磷酸酯对于用于磁带的润滑剂具有优异的效果。特别地，已成为磁带主流的金属蒸发带使用氟化物改性的磷酸酯化学吸收到金属中的特性。尽管氟化物改性磷酸酯可包含在金属蒸发带中，当氟化物改性磷酸酯作为顶层形成在金属蒸发膜上时，氟化物改性磷酸酯作为非常薄的吸收膜存在于钴蒸发膜的正面上。结果，可获得优异的摩擦减小效果。
(2)使用斥水性提供防水功能
由于在如上所述的实施例和比较例的评价项目中水和十六烷的接触角的值，用氟化物改性的磷酸酯处理的表面具有充分的斥水性和斥油性。该性质和特性有效在各个领域起作用。斥水效果提供防水功能。当氟化物改性磷酸酯涂覆在玻璃或镜的正面上时，氟化物改性的磷酸酯起到消雾剂的作用。这应用于在高湿度环境如浴室和盥洗台中的照相机的透镜和玻璃和镜。作为高级的应用，当氟化物改性的磷酸酯涂覆在轿车的前面和后面玻璃时，驾驶员可具有清晰的视野并在雨天安全地驾驶轿车。只要其上涂覆氟化物改性的磷酸酯的制品的材料为金属、陶瓷、或玻璃，该制品可具有防水功能。需要斥水性的产品的实例为喷墨打印机的头。喷墨打印机使用水基墨。喷墨打印机从非常小的喷嘴开口喷射细液滴。喷嘴部分的材料为金属。优选喷射液滴的喷嘴部分具有疏水性。即，喷嘴部分需要斥水特性。如果喷嘴部分对于水具有良好的润湿特性，在喷嘴部分喷射液滴之前，墨在喷嘴部分中扩展。结果，不形成液滴。因此，它们不适当地喷射。由于液滴不喷射到待打印的物体上，出现打印缺陷。为了适当地喷射液滴，喷嘴部分需要良好的斥水性。因此，当喷嘴部分用氟化物改性的磷酸酯处理时，在喷嘴部分的金属表面上形成非常薄的疏水膜。结果，由于水可适当地排斥，墨滴的喷射性能可显著改善。该效果可应用于喷射型、压电型、和气泡喷射型中的任一种。尽管喷嘴部分可用氟化物改性的磷酸酯处理，但其可作为墨组分包含在墨本身中。特别地，在气泡喷射型中，当氟化物改性的磷酸酯包含在墨中时，可获得对于气泡喷射型的喷射方法的优点。气泡喷射型打印机主要使用形成液滴且由钽制成的金属加热器。由于高温施加于金属加热器，产生称作焦烧的问题。即，墨组合物的焦痕附着在金属的表面上。该焦痕防止喷嘴部分被加热。由此，对于喷嘴部分变得难以形成液滴。当氟化物改性的磷酸酯作为墨组合物加入墨中时，氟化物改性的磷酸酯在加热器上通过墨进行表面处理。结果，在作为氟化物改性的磷酸酯的特性获得耐热性的同时，由于形成化学吸收膜，可获得焦烧防止效果。当氟化物改性的磷酸酯在塑料上处理时，该效果可变弱，而不丧失。在这种情况下，在塑料表面被亲水处理后，当氟化物改性的磷酸酯涂覆在其上时，可获得同样的效果。
(3)使用斥油性提供防污功能
当制品的表面用氟化物改性的磷酸酯处理时，获得斥水性和斥油性两者。该性能和特性对于防污功能是有效的。作为具体实例，当氟化物改性的磷酸酯涂覆在光盘的读取表面或在记录表面上的硬涂层上时，由于指纹附着抑制效果，该表面可非常容易地擦拭。另外，氟化物改性的磷酸酯的涂层防止灰尘不利地在正面上扩展。同样地，如在防水功能中所述，油质灰尘可容易地从照相机的透镜、玻璃、和手表的玻璃表面上擦去，这些表面需要视觉清晰度。另外，当由金属、玻璃或陶瓷制成的附件置于其中有油雾的油质环境如厨房中和置于室内吸烟环境时，它们以油和烟焦油烟焦而变脏。如果它们留置长时间，灰尘附着到它们的表面上。在这种情况下，变得难以清洁它们。结果，它们变色。对于这种问题，氟化物改性的磷酸酯对于防污功能非常有效。
(4)使用斥水性和斥油性提供防锈功能
如上所述，由于磷酸酯的结构在金属的正面上通过磷酸基团形成非常薄的化学吸收膜，氟化物改性的磷酸酯对于锈具有防锈功能。处理的氟化物改性的磷酸酯的正面是无色且透明的。因此，氟化物改性的磷酸酯不使处理表面的外观劣化。如果由金属制成的附件需要耐锈蚀性，当附件用氟化物改性的磷酸酯涂覆时，附件的外观长时间不劣化且其具有防锈功能。另外，氟化物改性的磷酸酯可应用于像附件一样具有生锈问题的金属制品如螺杆、螺栓、螺母和钉子。
(5)提供耐溶剂性
尽管氟化物改性的磷酸酯可溶于氟化物溶剂中，但其不可溶于有机溶剂如酮类中的一种例如丙酮、甲苯、或甲基乙基酮(MEK)，或醇类中的一种例如IPA、乙醇或甲醇。在清洁环境如净室中，灰尘和污染物主要用溶剂清洁。当在高温下工作的成型设备捕集杂质时，该形状转移。因此，成型设备日常用挥发性有机溶剂擦拭和清洁。在这种情况下，如果用许多表面活性剂中的一种处理的表面用溶剂擦拭，表面处理剂可以溶剂而丧失。在这种情况下，当表面用氟化物改性的磷酸酯处理时，表面排斥不同于氟化物改性的磷酸酯的许多溶剂。因此，可有效使用氟化物改性的磷酸酯。

Claims (11)

1.用于光盘基底的成型压模，其具有形成在背面上的润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯，该背面接触模具的镜面。
2.权利要求1的成型压模，
其中该磷酸酯为氟化物改性的磷酸酯。
3.权利要求1的成型压模，
其中该磷酸酯包含单磷酸酯、二磷酸酯、和三磷酸酯中的至少一种。
4.用于光盘基底的成型设备，包括：
具有镜面的模具，在该镜面上安装有压模；和
形成在该镜面上的润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯。
5.权利要求4的成型设备，
其中该磷酸酯为氟化物改性的磷酸酯。
6.权利要求4的成型设备，
其中该磷酸酯包含单磷酸酯、二磷酸酯、和三磷酸酯中的至少一种。
7.一种使光盘基底成型的方法，包括以下步骤：
在模具的压模接触部分和/或压模的模具接触部分上形成润滑膜，该润滑膜包含磷酸酯；
将该压模安装在该模具上；和
将材料注入到在安装步骤时其上已安装压模的模具中，和使盘基成型。
8.权利要求7的使光盘基底成型的方法，进一步包括以下步骤：
在该模具的压模接触部分和/或该压模的模具接触部分上形成硬膜，该硬膜形成步骤在进行盘基成型步骤之前进行。
9.权利要求7的使光盘基底成型的方法，进一步包括以下步骤：
使形成润滑膜的试剂的厚度均匀，该厚度均匀步骤在安装步骤进行之前进行，其中该润滑膜在膜形成步骤时形成。
10.权利要求9的使光盘基底成型的方法，
其中该均匀步骤通过用不溶解该磷酸酯的溶剂擦拭在该膜形成步骤时形成的润滑膜的正面而进行。
11.一种形成润滑膜的方法，包括以下步骤：
将包含磷酸酯的润滑膜形成在基底上；和
用不溶解该磷酸酯的溶剂擦拭在该形成步骤时在基底上形成的润滑膜。
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