TWI324634B - - Google Patents

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1324634 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種潤滑劑組合物及塗布有其之物品、光 碟用基板之成形壓印模、光碟用基板之成形模具裝置，光 碟用基板之成形方法及潤滑膜之形成方法。 【先前技術】 先前’光碟用之碟片基板藉由具備例如圖15所示之模具 101之成形裝置而成形。模具101具備由不銹鋼等鐵系材料 而製成之兩個模具即固定侧模具102以及可動侧模具103， 可動側模具103可進行開模，於固㈣模具1G2之固定鏡月 ⑵上設置有壓印模122 ’其具備用以轉印光碟之凸槽/凹 槽或訊坑等凹凸資訊信號之凹凸形狀。又，於固定側模具 102内形成有用以注入作為_ 忭马磲片基板之材料的樹脂之澆口 套筒123。 由模具HH成形碟片基板，以例如如下方式進行。於固 定鏡片⑵上安裝塵印模122後’將可動側模具1〇3向接近 固定侧模具H)2側之方向移動’關閉模具ι〇ι。藉由洗口套 筒⑵向形成於固定側模具1〇2與可動側模具1〇3之間的空 隙部腔體m中填充樹脂’並將刻於壓印模122上之凹凸形 ㈣印至樹脂上β於轉印該凹凸形狀後’使經過填充之樹 :冷卻’並於冷卻後，使可動側模具糊模。該開模結 束後，頂舉作為通過脫模器13〇而存在於洗口套筒123上之 =旨與藉由腔體m而成形之光碟用碟月基板的成形體， 使成形體自可動側模具103上刻離'结束該脫模器η。之嗔 110675.doc 1324634 射動作後，藉由未圖示之取出機將碟片基板移送至成形裝 置外部〇 ^ 當如此之一系列成形步驟中，藉由澆口套筒123而將溶 融樹脂填充至腔體114時’於壓印模122中，藉由樹脂黏性 而使作用於半徑方向上之拉伸應力或藉由反覆進行加熱以 及冷卻而使溫度所引起之熱應力起作用。另一方面，於固 定鏡片121中，由樹脂黏性所引起之拉伸應力以及熱應力 將幾乎不起作用。因此，藉由該等應力，而將於固定鏡片 121與壓印模122之間，在半徑方向上產生摩擦力，因此壓 印模122與固定鏡片121會通過相互接觸部分而出現磨損。 該磨損稱為黏著磨損，會於固定鏡片121之表面或壓印 模122之背面產生凹凸起伏。即，微觀上壓印模122以及固 疋鏡片121之接觸面，並非完全之平面，於相互接觸面上 形成有凹凸。該凹凸不僅會使碟片基板之表面出現凹凸， 而且增大壓印模122與固定鏡片121之摩擦力，導致妨礙壓 印模122之膨脹收縮運動。於如此狀態下所成形之碟片基 板’將會誘發導致位址錯誤之位址訊坑形狀之變形或導致 伺服裝置錯誤之凸槽/凹槽圓度之惡化，彼等超過許可範 圍之碟片基板將成為不合格品，並導致良率下降。 因此，通常藉由對固定鏡片121施加塗層，而降低壓印 模122與固定鏡片121之接觸部分之摩擦力。至於該塗層， 其主流為具有與鑽石相似之物性，且含有氫原子之非晶石夕 石反媒之DLC(類鑽碳（Diamond like carbon))塗層。DLC塗層 與由氮化欽（TiN)等製成之先前之塗層相比，可抑制由黏 110675.doc 1324634 著磨損引起之摩擦力增大。例如，於日本專利特開平1〇_ 64U7號公報之段落_5]中，揭示有於與壓印模模具之接 觸面上’形成包含DLC之硬質膜。 然而，近年來，開發有高密度光碟。例如，35英吋 • Μ〇(磁碟⑽啊0沖碟中，將磁氣超解析（MSR : MagneticaUy induced Super Res〇hui〇n)技術與凸槽 / 凹槽併 用記錄技術加以組合，實現2.3十億位元元組之記錄容 _ 量。又，DVD(數位多功能光碟（Dighal如如丨e， 可於16倍速等高倍速記錄密度中，進行記錄再生。 由於連續成形此種高密度光碟用之碟片基板之情形時， • 目上述黏著磨損，由壓印模所轉印之凹凸形狀將會逐新惡 化，故而，於光碟特性超出特定位址錯誤或祠服裝置錯誤 之許可範圍前，必須研磨麼印模背面，或者更換塵印模其 本身。於壓印模之研磨或更換作業中，會花費時間導致生 產性顯著下降，故而較好的是極力減輕壓印模與模具之間 • 所產生之摩擦力，減少壓印模之研磨或更換作業。 然而，如上所述，僅於壓印模與模具之間設置硬質膜， 則不能充分降低壓印模與模具之間所產生之摩擦力。例如 使上述3.5英吋M0碟片成形之情形時，於2萬次射出，即2 . 萬次成形左右，光碟特性超出位址錯誤之許可範圍。 可藉由將蠟等油脂或潤滑油塗布於與模具之壓印模接觸 之部分及/或與壓印模之模具接觸之部分，而降低壓印模 與模具之間所產生之摩擦力。 然而’蠟等油脂存在有以下問題：因不耐熱，故長期於 110675.doc 1324634 阿熱下缺乏穩定性’進而會因加熱而使所含水分排出，導 致對廢印模或模具產生影響，招致成形體品質下降。又， 蠟等油脂或潤滑油，難以以均句厚度塗布於模具表面上， 缺之再現性。X ’蠛等油脂或潤滑油，因黏性較強，故而 存有易於附著垃圾等異物’導致成形體品質下降之問題。

…、:而，業者要求用於降低壓印模與模具之間所產生之摩 擦力之潤滑劑具有以下特性。即，要求⑴於外觀上無任何 變化’處於乾燥狀態’⑺具有耐溶劑性，（3)堅固吸附於 構成屋印模㈣或信號鏡片部之材料上，（锻布處理劑後 表面粗糙度不會產生變化，（5)具有耐熱性，（6)於高溫高 磨環境下持續具有降低摩擦之效果。以下，就該等⑴〜⑻ 之特性加以詳細說明。 (1)首先，要求於外觀上無任何變化，處於乾燥狀態。 又，若壓印模背面整體處於油性濕潤狀態，則會附著有大 氣中之塵土或灰塵，或操作時附著有某種異物故而較為 不理想。又，一般認為處於濕潤狀態係於壓印模背面上存 在有液體，故可設想成形時因高壓影響，其處理劑會流入 信號面，因此可認為將會對品質產生不良影響。進而，因 亦存有附著於成形機自身之可能性，故而，所處理之表面 必須為乾燥狀態。 (2)又，要求具有耐溶劑性。其原因在於，將壓印模安裝 於成形機模具時，需要以揮發性有機溶劑拂栻清洗壓印模 责面以及成形機模具信號鏡片部。其目的在於，通過一般 性拂拭1清洗’防止因異物混入而導致向壓印模以及光碟美 110675.doc 1324634 板之信號記錄部分進行形狀轉印 田4 久降去油巧。此時所使 用之揮發性溶劑一般為溶解性 审贫位 阿之丙酮或丁酮（MEK)、

曱本4酮類、乙醇或異丙醇（IP .± m 寸_頰。其中，較多的是 使用丙酮、丁酮（MEK)。若以該溶 幻谷解性較向之溶劑進行拂 拭’則幾乎所有界面活性劑戍潤 减上 丨削次潤'月劑、樹脂劑等均會溶 解，並自經過塗布或處理之表面消 月失。因此，必須選擇不 >谷解於該等溶劑之處理劑。

(3)進而，要求堅固吸附於構成壓印模背面或信號鏡片部 之材料。亦存在溶解性問題’然而要求均句且化學性吸附 於表面。當使用具有降低摩擦效果之石夕樹脂或敦系樹脂之 情形時，該等樹脂材料僅物理性吸附於壓印模背面或信號 鏡片面部上，故而拂拭時容易拭取，不僅無法保持均句之 膜’而且處理劑會轉印至反作用方，因此並無效用持續 性。

(4)進而，又要求塗布處理劑後之表面粗糙度不會產生變 化。若表面粗糙度劣化’則可能於高溫高壓環境下，經過 惡化之粗糙度向壓印模或光碟基板之信號記錄部分進行形 狀轉印，導致產生不良影響。可獲得相當之降低摩擦效果 之PTFE(四氟化乙烯）或石墨系、二硫化鉬系固體潤滑劑等 大多會使表面粗糙度惡化，故難以得到實用化。又，有時 固體潤滑劑等亦難以控制均勻之膜厚，因而難以用於要求 相當高之表面粗糙度之光碟成形。進而石墨系或二硫化箱 系基本上為粉末狀，因此粉末會自經過處理之表面會落 下，就品質而言無法使用。 H0675.doc -10· )^4 (5) 又’要求具有耐轨性。冬士、价 df)〇°r ^ 、 田成形光碟基板時，接近約 t射出至壓印模。此時卩㈣㈣Μ 二於广間付到冷部’但為持續進行光碟基板之成形， 活性：ί 了持續施加接近約2〇0。。之溫度。幾乎所有界面 摩擦效果。 又下因熱分解等而失去降低 (6) 進而’要求於高溫高 I。乱 衣纟兄下持續具有降低摩擦效 逄"、’關鍵在於用於降低壓印模與模具之間 所產生之摩擦力之潤滑劑。 “疋否製造光碟，製造現場 X ㈣成本方面而言至關重要。若停止設備運 轉’則亦會因維雙蓉％秘 社里肢么 捲入異物等人為失誤因素， 、、-。果將會對光碟之良率亦產 止設備持續進行生產。 ’ ?的是盡可能不停 二而’如同以本發明之領域中業者之知識可瞭解到，發 本上返⑴〜(6)之特性之潤滑劑係極其困難的。因此， 業者期望獲得滿足上述⑴〜(6)之特性之濁滑劑。 進而換言之，近年來’業者強烈期望提高歸等高密度 光圮錄媒體之生產性，或BDf 卜代间社、度光記錄媒體 ^生產’故於如此之狀況下，更加殷切期望獲得滿足 上述（1)〜(6)特性之潤滑劑。 :此’本發明之目的在於提供一種潤滑劑組合物及塗布 :之物品、光碟用基板之成形壓印模、 ㈣具裝置、使用有其之光碟用基板之成形方法及润滑； 之形成方法，其特徵在於，其於外觀上無任何變化，並處 110675.doc 1324634 於乾燥狀態’具有耐溶劑性，堅固搏糾#播士师匕 月J I土 空回吸附於構成壓印模背面 或信號鏡片部等之材料上，於 + 士 + 河付上於塗布處理劑後表面粗糙度不 會產生變化，具有耐执枓 八负啊热性，且於尚溫高壓環境下持續具有 降低摩擦效果。 又’本發明之目的在於提供—種潤滑劑組合物及塗布有 其之物品、光碟用基板之成形壓印模、光碟用基板之成形 模具裝置、使用有其之光碟用基板之成形方法及潤滑膜之

形成方法’其特徵在於’其可設置耐熱性優良並可良好降 低模具與虔印模之間的摩擦力且再現性較好之濁滑膜，藉 此’可提高光碟之品質以及生產性，並且可抑制製造成 本。 【發明内容】 本發明者’為解決先前技術所具有之上述課題而進行精 心研究。以下對其概要加以說明。

本發明者們藉由實驗不斷進行精心研究後，無法發現先 前之用作潤滑劑者中，滿足上述⑴〜(6)之特性者。因此， 本發明者們進而進行精心研究後’於完全不同於光記錄媒 體之領域中發現以下材料。 即’發現於氣泡式喷射型喷墨印表機用油墨組合物用作 添加劑之麟& g|。根據本發明者之見解，則可認為若將該 磷齩知添加於油墨組合物中，則其可達到以下作用效果。 P表機中开> 成液滴之加熱器自身主要由鉅金屬構 成同1施加於該纽材料之金屬力口熱器，目*會產生稱為 焦黏之問題。於所謂金屬表面上因油墨組合物燒焦附著之 110675.doc 現象’耗黏將阻H度，成為使㈣無法形成之原因。 藉由於油墨中添加磷酸醋作為油墨組合物，而介由油墨並 通過碟酸㈣加熱H進行表面處[此時，可認為碟酸醋 化學性吸附於加熱器表面。藉此，填㈣所具有之耐熱性 效果將呈現於加熱器表面上’故可獲得防止焦黏之效果。 因此，本發明者們對作為該添加劑之磷酸酯，進行實 驗’進而精心研究之結果，發現磷酸醋不僅可用作如先前 、·4、加劑且碟酸酯自身可用作潤滑劑，因此可滿足上述 ()()之特!生。更具體而言，可藉由將由溶劑所稀釋之磷 酸§曰塗布於信號鏡片面或壓印模背面等，而滿足上述 (1)〜（6)之特性。 進而，關於磷酸酯，本發明者們精心研究之結果，若使 子、’*〇構；過全既化之氟改性型，則可確保高於鱗酸酯 之降低摩擦效果與耐溶劑性。 本發明係基於以上研究而製作者。 為解决上述課題，第一發明係一種含有磷酸酯類且具有 極壓環境耐久性之潤滑劑組合物。 發月係、種被覆有含有碟酸醋類且具有極壓環境耐 久性之潤滑劑組合物之物品。 第三發明係於與模具所具有之鏡片面相接觸之背面中， 具有含有磷酸酯類之潤滑膜之光碟用基板之成形壓印模。 於第二發明中’由於潤滑膜形成劑含有磷酸酯類，故而 形成於壓印模上之潤滑膜之耐熱性優良。 第四發明係一種光碟用基板之成形模具裝置，該光碟用 110675.doc -13 - 1324634 . &板之成形模具裝置具有模具，其具有安裝有壓印模之鏡 面；及潤滑膜’其含有設置於鏡面上之磷酸酯類。 於第四發明中’由於潤滑膜形成劑含有磷酸酯，故形成 於鏡面上之潤滑膜之耐熱性優良。 、第五發明係一種潤滑膜之形成方法，該潤滑膜之形成方 法，、有塗布步驟，其將含有碟酸酿類之调滑膜形成劑塗布 於基材上·，及拭取步驟，其藉由對潤滑膜形成劑具有不溶 '!·生之溶劑而拭取藉由塗布步驟而塗布於基材上之潤滑膜形 成劑。 於第五發明中，可推測到藉由於基材上塗布潤滑膜形成 齊卜而使潤滑膜形成劑化學性吸附於基材上。由於潤滑膜 ㊉成劑含㈣㈣類，故可於基材上形成对熱性優良之调 滑膜。 第六發明係一種光碟用基板之成形方m碟用基板 之成形方法具有： Φ 成膜步驟，其於模具之與壓印模之接觸部及/或上述壓 印模之與上述模具之接觸部中，形成含有鱗酸酿類之潤滑 膜； 女裝步驟，其將上述壓印模安裝於上述模具上；及 成形步驟，其藉由上述安裝步驟而將材料填充於安裝有 上述壓印模之上述模具上，並使碟片基板成形。 於第/、發明中，可推測到藉由將潤滑膜形成劑塗布於模 具之與壓印模之接觸部及/或壓印模之與模具之接觸部 上而使潤滑膜形成劑化學性吸附於模具之與壓印模之接 H0675.doc -14- 1324634 觸部及/或壓印模之與模具之接觸部。由於潤滑膜形成劑 含有峨酸醋類，故可使时熱性優良之潤滑膜形成於模具之 與愿印模之接觸部及/或壓印模之與模具之接觸部。 於第六發明中，較好是餐s旨類含有磷酸單自旨 '墙酸二 酉旨以及麟酸三醋中至少一個。 於第六發明中，較好是於塗布步驟前，將硬質膜形成於 模具之與壓印模之接觸部及/或麼印模之與模具之接觸部 上0 於第六發明中，較好是於安I步驟前，使藉由塗布步驟 而塗布之潤滑膜形成劑之厚度均勻化。進而，較好是，藉 由對潤滑膜形成劑具有不溶性之溶劑，而拭取藉由奪布步 驟所塗布之潤滑膜形❹丨之表面，使潤滑膜之厚度均勾 化。藉此，潤滑膜之厚度變薄且均勾，並且再現性良好地 付到形成，進而可去除潤滑膜形成劑之塗布斑點及附著於 塗布面上之髒污等異物。 根據本發明，可大幅降低模具與壓印模間之摩擦力，故 可製造形成有良好凹凸之光碟用之基板。藉此，可提高光 碟-質及生產性。又’由於壓印模f面之磨損得到減輕， 故而可提高壓印模壽命，抑制製造成本。 【實施方式】 以下’就將本發明適用於潤滑劑組合物之例加以說明。 :者，於以下實施形態之所有圖中，對同-或相應部分賦 予同一符號。 (1)第一實施形態 I10675.doc •15· 1324634 (成形模具裝置之結構） 圖1係表示本發明第一實施形態之成形模具裝置11之一 構成例之剖面圖。圖2係表示本發明第一實施形態之成形 模具裝置11之一構成例之放大剖面圖。 如圖1所示，該成形模具裝置n具備固定侧模具12及可 動側模具13，並可藉由使該等固定側模具12與可動側模具 13相碰，而形成作為成形空間之腔體14。於該成形模具裝 置11中，於腔體14中填充經過溶融之碟片基板材料，而使 碟片基板10成形。 固定側模具12於與可動側模具13相對向之側面上具備固 定鏡片21，並於形成腔體14之側的面上安裝有壓印模22。 該壓印模22係於中央部具有開口之圓環狀，而於該壓印模 22之一個主面22a上，形成有與凸槽/凹槽或訊坑等相對應 之凹凸。壓印模22以一個主面22a側與可動侧模具13相對 向之方式安裝於固定側模具12之固定鏡片21上。於固定鏡 片21之鏡面上，依次積層有硬質膜2、邊界潤滑膜丨。後文 中將對邊界潤滑膜1及硬質膜2進行敍述。 於固定側模具12之大致中心部中設置有澆口套筒23。該 澆口套筒23之中心設置有樹脂射出孔24。該樹脂射出孔 連接於材料供給裝置（未圖示）。介由樹脂射出孔24，自材 料供給裝置將經過溶融之碟片基板材料供給至腔體14内。 又，於澆口套筒23與固定鏡片21之間，設置有壓印模導 引1§ 25。該壓印模導引器25係當相對於固定鏡片21安裝壓 印模22時，用於引導壓印模22之内周部者。 110675.doc -16- 1324634 • 另一方面，可動側模具13配置為與固定侧模具12相對 向，並且藉由於前端設置有滾珠軸承16之導引柱15，而可 自由接近或離開固定侧模具12。可動側模具13於與固定側 模具12相對向之側面具有可動鏡片31。可動侧模具13於其 大致中心部具備：切割成形機32，其切割於腔體14内固化 之碟片基板10之中心部；擠麼銷33，其擠壓經過該切割成 形機32切割之中心部；及可動侧脫模器34，其藉由可動侧 _ 模具13而使碟片基板10脫膜》 該切割成形機32係將自澆口套筒23供給至腔體14内且凝 結之碟片基板材料中洗道部等切割者，並具有尺寸與光碟 中心孔大致相同之外徑。該切割成形機32可藉由未圖示之 導引機構或驅動機構而移動於伸出至腔體14内之方向上。 切割成形機32與澆口套筒23之中心調整，可藉由具備上 述滾珠軸承16之導引柱15而進行。 擠壓銷33具有棒狀形狀，配置於切割成形機32之中心 • 部。該擠壓銷33可藉由未圖示之導引機構或驅動機構而移 動於伸出至腔體14内之方向上，並將經過上述切割成形機 32切割之部分除去。因此，填充於腔體14内之碟片基板材 • 料凝結後，可藉由擠壓該擠壓銷33，而除去澆道部與澆 口，即澆道部與積存於澆口套筒23供給部之碟片基板材 料。 可動側脫模器34構成為呈現具有尺寸與切割成形機μ之 外徑大致相同之内徑之筒狀，並設置為包圍切割成形機 32。該可動側脫模器34可藉由未圖示之導引器裝置或驅動 110675.doc 1324634 裝置，而移動於伸出至腔體14内之方向上。因此，於腔體 14内填充有碟片基板材料，如上所述，於形成碟片基板1〇 之中心孔後，該可動側脫模器34擠壓碟片基板1〇之内周 側’使碟片基板10自可動側模具J 3中脫膜。 (邊界潤滑膜） 此處，對上述邊界潤滑膜丨加以詳細說明。圖3係圖2所 示之固定鏡片21之表面附近部a之放大圖。邊界潤滑膜工之 表面具有與壓印模22背面相同之平面形狀，並以均勻厚度 形成於固定鏡片21之鏡面中至少與壓印模22接觸之部分 上。於固定鏡片21之鏡面中至少與壓印模22接觸之部分 中’藉由DLC (類鑽碳）塗層而形成有硬質膜2，硬質膜2表 面設置有邊界潤滑膜1。 於該第一實施形態中’由於表面摩擦係數得到降低，故 而使用DLC作為硬質膜2之材料，然而，亦可使用氮化欽 (TiN)、氮化鉻（CrN)、碳氮化鈦（TiCN)，氮化鋁鈦 (TiAIN)、氮化鉻鈦（TiCrN)等其他高硬度材料。又，亦可 於固疋鏡片21之鏡面上直接設置邊界潤滑膜1而無需形成 硬質膜2。 圖4係用於說明邊界潤滑膜1之吸附狀態之圖。可推測邊 界潤滑膜1化學性吸附於形成有硬質膜2之固定鏡片21之鏡 面上。可認為若於形成有硬質膜2之固定鏡片21之鏡面上 塗布邊界潤滑膜劑，並由邊界潤滑膜劑填充吸附處3，則 邊界潤滑膜劑不會更進一步吸附《藉此，可藉由將並未吸 附之邊界潤滑膜劑除去，而推測邊界潤滑膜1為例如1〇 110675.doc -18· 1324634 nm〜50 nm左右。又，邊界潤滑瞑成為即使形成於形成 有硬質膜2之固定鏡片21之鏡面上，固定鏡片21之鏡面上 之表面粗糙度亦不會出現惡化。 邊界潤滑膜1具有包含磷酸酯類之邊界潤滑膜劑。磷酸 酯類係例如磷酸單酯、磷酸二酯以及磷酸三酯之混合物。 磷酸酯類耐熱性優良，並主要用於添加於阻燃劑等必須具

有耐熱性者之中。更具體而言，磷酸酯類可用作於噴墨印 表機中所使用之印刷油墨等之分散劑。 例如，邊界潤滑膜1包含有具有分別表示於以下化學式 (1)、化學式（2)及化學式（3)中的磷酸單酯及磷酸二酯 '微 量磷酸三酯之邊界潤滑膜劑。化學式中之η係氧化乙烯 (ΕΟ)之平均附加莫耳數，R係烷基或烷芳基，r，係η、μ 或Κ等金屬鹽或R(CH2CH2〇)n基。烷基尺係尺 中之m係碳原子數。例如，可自m=6〜1 8、n= 定。 -CmH2m+1。式 G〜10中加以選

η:氧化乙烯之平均加成莫耳數 R:烷基或烷基烯丙基 R’ ：®或納、鉀等金屬盟或 110675. doc 1324634

•…⑵ R0-[CH2CH20]n

R0-[CH2CH20]n η:氧化乙烯之平均加成莫耳數 烷基或烷基烯丙基

Ο R0-CCH2CH20]n n:氧化乙烯之平均加成莫耳數 R:烷基或烧基烯丙基 再者，邊界潤滑膜劑可含有分別表示於上述化學式（1 )、 化學式（2)以及化學式（3)中的磷酸單酯、磷酸二酯以及磷 酸三酯中至少一個。可藉由通過該等邊界潤滑膜劑構成邊 界潤滑膜1，而形成耐熱性優良，並可長期保持成分穩定 性，且可防止含有水分，故幾乎不會因受到加熱而排出水 分之邊界潤滑膜1。 (邊界潤滑膜形成方法） 其次，就邊界潤滑膜1之形成方法之一例加以說明。首 先，藉由溶劑而將邊界潤滑膜劑稀釋調製到適當濃度。至 於溶劑，若為可溶解邊界潤滑膜劑者，則並無特別限定， 例如，可使用曱苯、苯、丁酮（ΜΕΚ)等有機溶劑。繼之， 藉由廢料等塗布工具而將經過調製之邊界潤滑膜劑塗布 (塗層）於固定鏡片21上。繼而，藉由對於邊界潤滑膜劑具 110675.doc -20- 1324634 有不溶性之溶劑而拭取經過塗布之邊界潤滑膜劑。例如， 該拭取藉由使對於邊界潤滑膜劑具有不溶性之溶劑滲透至 廢料、BEMCOT等綿質材料或化學纖維中，而拂拭經過塗 布之邊界潤滑膜劑。較好的是，該溶劑係可廣泛使用於清 洗固疋鏡片21及/或壓印模22者，例如丙嗣、乙醇或該等 之混合劑。

可藉由該拭取，而不僅有效除去塗布面之垃圾等異物， 而且可除去成為塗布斑點之邊界潤滑膜劑，故可於固定鏡 片21上形成非常薄且無異物之良好邊界潤滑膜〗。即，先 前將油脂或潤滑油塗布於固定鏡片21之表面上時，較難以 均勻厚度塗布於固定鏡片21之表面上，故缺乏再現性，然 而’藉由該拭取則可以均勾厚度且良好再現性將邊界调滑 膜劑塗布於固定鏡片21上…先前油脂或潤滑油黏性較 強，若塗布於固定鏡片21之表面上，則易於附著垃圾等異 物，然而’邊界潤滑膜劑由於其黏性較低，故而，垃圾等

異物難以附著’進而，可藉由該拭取，而將附著於塗層面 之垃圾等異物除去。 (碟片基板之成形方法） 繼而，就成形模具裝置Η之成形碟片基㈣之方法一例 加以說明。首先’使可動側模具13移動於接近固定側模且 12之方向±，並使固定侧模具12與可動侧模具…目碰而形 ^腔體14 °繼而’於腔體14内填充經過溶融之碟片基板材 料。至於該碟片基板材料，可使用例如聚碳酸醋 脂材料。該碟片基板材料於材料供給裝置内受到加 110675.doc 1324634 並以樹脂射出孔24為供給路徑，將其供給至 其-人，將填充於腔體14内之碟片基板材料進行冷卻，並 使之凝結’並且對該碟片基板材料進行鎖模。再者，當對 碟片基板材料進行鎖模時，可使可動側模具13移動於更接 近固疋側模具12之方向上。藉此，充填於腔體"内之碟片

基板材料將經受加麼，使設於塵印模22之一個主面Ua上 之凹凸得到可靠轉印。 繼而’當碟片基板材料受到充分冷卻而凝結後，使切割 成形機32移動於接近固定側模具12之方向，即向腔體㈣ 伸出之方向上。可藉由使切割成形機32移動於向腔體Μ内 伸出之方向上’而切割經過凝結之碟片基板材料中之澆道 相及洗口部。藉此’當填充於腔體14内部之碟片基板材 料凝結後，可於中央部形成有開口。

為溶融狀態 腔體14内。 繼而，使可動側模具13移動於離開固定側模具12之方向 上。藉此’凝結後之碟片基板1G，可離開安裝於固定側模 具12上之Μ印模22 ’其—個主面可露出於外側。 繼而，藉由使擠屋銷33移動於向腔體14内伸出之方向 上’而除去經過上述㈣成形機32㈣之部分^繼而，藉 由使可動側脫模器34移動於向腔體14内伸出之方向上，而 推壓碟片基板Η)之内周部’使碟片基板1G自可動側模❹ 中脫膜。藉由以上步驟，而使碟片基板1()得到成形。 射出至腔體14内之碟片基板材料之溫度約為 360d餐醋類即使於如此之高溫下亦具有潤滑 I10675.doc •22· 1324634 性，故而可藉由邊界潤滑膜 膨脹伸縮運動時之摩擦力， 變形。 又，當碟片基板1〇成形時’由填充於腔體14内之碟片基 板材料之黏性而引起之拉伸應力，或者由反覆作用之加熱 M及冷卻之溫度而引起之㈣力，將使㈣模22向半徑方 向伸縮運動。此時，設置於固定鏡片21上之邊界潤滑⑴

將會降低㈣模22向半徑方向伸料之摩擦力，故可防止 塵印模22以及固定鏡片21變形。 由於壓印模22以及固定鏡片21之變形得到防止，故而可 成形壓印模22之凹凸形狀得到良好轉印之碟片基板⑺。如 此成形之碟片基板1〇可用作磁碟、DVD等光碟用之碟片基 板0 (2)第二實施形態 (成形模具裝置之結構）

1而降低產生於壓印模22進行 防止壓印模22以及固定鏡片21 圖5係表示本發明第二實施形態之成形模具裝置之一構 成例之放大剖面圖。圖6係圖5所示之固定鏡片21之表面附 近A之放大圖。如圖5以及圖6所示，於固定鏡片21之鏡面 上設置有邊界潤滑膜5 1，與壓印模22之信號面相反側之背 面上設置有邊界潤滑膜52。該第二實施形態之成形模具裝 置之構成’除邊界潤滑膜51、52以外，與上述第一實施形 態相同，故而以下就邊界潤滑膜5 1、52加以說明。 邊界潤滑膜5 1、52含有一種或兩種以上磷酸酯類。至於 磷酸酯類’可使用例如磷酸單酯、磷酸二酯、璘酸三雜， I10675.doc •23· 1324634 而較好的是使用分子結構經過全氟化之氟改性磷酸醋。其 原因在於’氟改性碟酸g旨，與㈣單醋、⑽二醋以及鱗 酸三醋㈣’可大幅度延長壓印模之使用期限。再者，於 本說明書中，使用期限並非表示壓印模原本之壽命，而是 表示一次成形工作時不停止機器持續進行工作之光碟成形 數量，即射出量。

磷酸酯係例如以化學式丨所示之磷酸單酯以及化學式2所 不之磷酸二酯為主成分之磷酸酯類，進而，亦可含有化學 式3所示之微量磷酸三酯。又，至於氟改性磷酸酯，較好 的是使用例如化學式4所示者。磷酸酯之pH通常為酸性， 但由於分子中具有磷酸基’故而可藉由較多之鹼性化合物 或金屬類等而申和為適當pH加以使用。磷酸酯類具有優良 之对熱性’故主要用於添加至阻燃劑等必須具有耐熱性 者。更具體而言’磷酸酯類可用作於喷墨印表機所使用之 印刷油墨等之分散劑。 RO-[CH2〇H2〇]n 〇 P …·⑴ H0 η:氧化乙烯之平均加成莫耳數 R:烷基或烷基烯丙基 R’ ：氫或鈉、鉀等金屬鹽或R(CW)^ 110675.doc -24- • . . (2)1324634 R0-[CH2CH20]n R0-[CH2CH20〕n

R〇-[CH2CH2〇〕n R0-[CH2CH20〕n n:氧化乙烯之平均加成莫耳數 R:烷基或烷基烯丙基

Ο ….（3) R0-[CH2CH20]n

η:氣化乙烯之平均加成莫耳數 R:烷基或烷基烯丙基 [F-(CF2CF2CF2〇)n-CF2CF2CH2〇]m-P〇(〇H)3-m ----(4) (壓印模之製作方法）

以下，就主壓印模之製作方法（製作母盤工序）之一例加 以說明。首先，例如使用專用研磨裝置，藉由氧化鈽等微 粒子研磨劑對成為壓印模製作時之基盤之圓形玻璃母盤進 行擦拭處理，獲得平坦面後，仔細進行清洗以使研磨劑不 會殘留。繼而，於經過研磨、清洗之玻璃母盤面上形成光 阻層。該光阻層係成為形成光碟之凹槽或訊坑轉印用之信 號圖案之底層者。 繼而，照射鐳射光束至光阻層，使成為光碟信號圖案化 轉印用之壓印模母盤圖案曝光，再進行顯影處理。藉此， 可獲得母盤圖案。繼而，於所獲得之母盤圖案上以非電解 電鍍形成金屬底層後，藉由電解電鍍快速不停頓地形成電 鑄膜直至達到所期望之壓印模結構厚度為止。 繼而，自玻璃母盤將複製有電鍍之信號圖案化（母盤圖 110675.doc -25- 1324634 案）之電鍍金屬膜剝離，以專用溶劑使光阻層溶解，並加 以清洗’再使之完全乾燥藉此獲得作為㈣模之母盤。 繼而，於所獲得之壓印模經過信號圖案化之面上，貼押 保護薄層進行保護後，研磨背面，以提高平坦精度。= 處’於研磨背面時為獲得所期望之表面精度，而可^擇各 種研磨方式。至於如前所述之㈣模背面之研磨方法，可 使用-面利用研磨劑分散液等一面進行研磨之無蒸鍍法：

或者使用研磨膠帶或研磨墊（有時亦稱為研磨碟片方法 等各種研磨方法，但對壓印模背面之研磨方式並無限制。 最後，衝壓出特定之壓印模徑（切邊）。藉由以上操作，可 獲得所需之壓印模。 (邊界潤滑膜劑之製備） 當使用磷酸酯作為邊界潤滑膜劑時，例如以如下方式進 行製備。以甲苯、苯、丁嗣（MEK)等有機溶劑作為溶媒， 將破酸醋稀釋調製至適當濃度。_、納等之金屬鹽類等亦 可以去離子水為溶媒。更具體而言，例如，將甲苯用作容 媒，並將麟酸醋調製至5 wt%之濃度。關於邊界潤滑膜劑 之濃度並無特別限制，較好的是〇1 wt%〜1〇 wt%之範圍 内，更好的是2 wt%〜5 wt〇/〇之範圍内。其原因在於，若使 之為°，1 Wt%以上’則可獲得作為邊界濁滑膜之效果，而 若使之為10 wt%以下，則可均勻形成邊界潤滑膜，以抑制 表面上產生干擾條紋圓形，並且抑制磷酸酯之固體成分折 出。又，其原因在於，若使之為2 wt%以上，則可進—步 提高作為邊界潤滑膜之效果，若使之為5 wt%以下，則可 110675.doc • 26 · 1324634 更加提高邊界潤滑膜之均勻性， 紋圖形之產生，並且可進—步：：步抑制表面上干擾條 出。 ，抑制磷酸酯之固體成分析 繼而，將經過調製之磷酸酯裝 ^ ^ ^ + ^ 例如螺旋管或者略大之 中絲絲1Λ、 盈數-人後，例如使其於混煉機 轉〇为鐘至1小時左右。對時 沾θ 對時間並無特別限定，可行 的疋’以目視可確認到邊只 中… ⑨J邊界潤滑膜劑已溶解於稀釋溶劑 又，:由以上操作，而可獲得作為目標之邊界潤滑膜劑。 T根據需要’以㈣㈣器等過濾、所獲得之邊 π 二再者，對筛檢程式之大小並無特別限制。如此 邊界潤滑膜劑之製備可容易且迅速地進行，故而可於 氣k現場適時製作所需數量。 當使用氟改性旨料邊界潤滑㈣之情形時，例如 以t下所示之方式進行製備。再者，考慮到降低摩擦效果 之觀點，較好的是使用氟改性碟酸醋作為邊界㈣媒劑。 與上料㈣相同，通過溶劑絲改性魏S旨稀釋調製 為適當濃度。用於稀釋之溶劑’就溶解性方面而言，可使 用氟系溶劑。例如’可列舉全氟己院、聚氧全氟正伸院、 氫氟越等。更具體而言’例如，將氫氟謎用作溶媒，並將 敦改性構酸醋調製至0.5 wt%濃度。關於邊界潤滑膜劑之 濃度並無特別限制，齡招^ Μ 3 和較好的是0·01 Wt%〜10 wt%之範圍 内，更好的是0.3 Wt%〜2.0 wt%之範圍内。其原因在於若 使之為0_01 Wt%以上，則可獲得作為邊界潤滑膜之效果， 若使之為10 Wt%以下，則可均勾形成邊界潤滑媒，抑制表 110675.doc -27- 1324634 面上之干擾條紋圖形之產生，且可抑制磷酸酯之固體成分 析出。又，其原因在於，若使之為〇 3 wt%以上則可進 一步提高作為邊界潤滑膜之效果，而若使之為2 〇 以 下，則可更加帛高邊界潤滑膜之均句&，進一步抑制表面 上之干擾條紋圖形之產生，且可進一步抑制磷酸醋之固體 成分析出。又，關於氟改性磷酸酯之分子量並無特別限 制，至於實際使用範圍，較好的是2〇〇〇〜5〇〇〇之範圍内。

繼而，將經過調製之氟改性磷酸酯裝入例如螺旋管或者 略大之玻璃管或塑膠瓶中，輕微振盪數次後，例如使其於 混煉機中旋轉1G分鐘至H、時左右。對時間並無特別限

了行的疋以目視確逐到邊界潤滑膜劑已溶解於稀釋 溶劑中。可藉由以上操作，而獲得作為目標之邊界潤滑膜 劑。又，亦可根據需要，以薄膜過濾器等過濾所獲得之邊 界潤滑膜劑。再者’關於篩檢程式之大小並無特別限制。 如此般，邊界潤滑膜劑之製備可容易且迅速地進行，故可 於製造現場適時製作所需數量。 (廢印模背面處理之方法） =下，就壓印模背面處理方法之一例加以說明。首先， 於壓印模之信號面側貼附保護薄層，或對樹脂等進行旋轉 塗層於壓印模之乜號面形成保護膜。繼而，對壓印模背 面進行特疋研磨處理後，藉由例如丙嗣、甲苯或乙醇等有 機溶劑，進行脫脂、清潔❶繼而，例如藉由旋轉塗層法， 適量滴下稀釋至上述適當濃度之邊界潤滑膜劑，並於壓印 模背面之整個面上，進行均勻塗布。 110675.doc •28· 1324634 再者’於壓印模背面進行塗層之方法並非限定於旋轉塗 層’作為其以外之簡單方法，例如可列舉使邊界潤滑膜劑 適量滲透至廢料或市售之BEMCOT等中，直接於壓印模背 面進行塗布之方法。其中，重要的是，當進行塗層時，必 須充分注意不要使邊界潤滑膜劑滲透至表侧信號面侧，以 及所使用之廢料類或BEMCOT等應該較為清潔。當然，表 面處理之要點在於，應於沒有汙跡之清潔面上進行。又，

至於塗層方法，若可適當防止邊界潤滑膜劑之滲透，則可 使用直接使壓印模浸潰到邊界潤滑膜劑中之方法，即使用 浸潰方法。

繼而’如上所述，將邊界潤滑膜劑塗層於壓印模背面 後，例如’以常溫乾燥或烘箱等進行加熱乾燥，使溶劑完 全揮發。藉此，邊界潤滑膜劑將固著於壓印模背面上，而 形成邊界潤滑膜。再者，以烘箱等進行加熱乾燥之情形 時，較好的是，該加熱溫度接近稀釋溶劑之沸點。又，乾 燥時間並無特別限定，於常溫下較好的是進行約30分鐘以 上，而加熱乾燥之情形，則較好的是約1〇分鐘以上3〇分鐘 以下之範圍内。 繼而，使用邊界潤滑膜劑為不溶性之揮發性溶劑，拭取 塗層時所附著之垃圾或塗布斑點。進行拭取時之溶劑，根 據磷酸酯之種類進行選擇，較好的是，放入不溶解邊界潤 滑膜劑者。其原、因在於，若使用具有溶解性之溶齊！，則2 拭形成於壓印模背面上之表面潤滑膜，會使之消除，故而 將導致無法獲得作為所期待之表面處理效果的降低摩擦效 110675.doc •29· 1324634 果。又，亦可藉由通過不溶性溶劑拂拭壓印模背面，而獲 得可使表面潤滑膜平滑（平滑化）之優點。 (鏡面處理之方法） 以下，就成形機模具信號鏡面處理方法之一例加以說 明。首先，藉由例如有機溶劑將信號鏡片之表面進行脫 . 脂、清洗β更具體而言’使溶劑滲透至例如廢料或市售 BEMCOT等中，仔細拂拭鏡片表面。至於所使用之有機溶 φ 齊]，可使用例如㈣、甲苯、丁酮等酮類或乙醇、異丙醇 (ΙΡΑ)等醇類。再者，溶劑種類並無特別限定，若為可將信 號鏡片表面之污垢去除，並脫脂、清洗者，則可進行^ 用。 繼而，當確認到溶劑自信號鏡片表面完全揮發後，例如 使邊界潤滑膜劑適量滲入市售BEMC〇T等乾淨之綿或布 (廢料類）中，並均勻塗布於信號鏡面上。 一 繼而，將邊界潤滑膜劑塗布於信號鏡面後，例如於常溫 •(室溫）下進行乾燥使溶劑完全揮發。藉此，邊界潤滑膜劑 可固著於信號鏡片表面上，而成為邊界潤滑膜。乾燥時間 並無特別限定，但較好的是於常溫下進行約3〇分鐘以上。 • 繼而，使用邊界潤滑膜劑成分為不溶性之揮發性溶劑拭 . 取塗層時所附著之垃圾或塗布斑點。拭取時之溶劑，可根 據磷酸酯種類進行選擇，較好的是邊界潤滑膜劑成分不溶 解者。若使用具有溶解性之溶劑，則會因拂栻形成於壓印 模背面上之表面潤滑膜而導致使之消失，故而，將無法獲 得所期待之作為表面處理效果的降低摩擦效果。又，可藉 110675.doc •30- 由不溶性溶劑拂拭屡gp U ^ 塋P模#面，而獲仵可使表面潤滑膜平 滑（平滑化）之優點。 ' 再者，上述表面處理之方法，可於將信號鏡片面部自模 具甲拆卸後之狀態，以及將信號鏡片面部安裝於成形機後 之狀態之任—者中進行4拆卸後進行表面處理時，亦可 以例如烘箱等進行加熱乾燥而使溶劑揮發。該加熱乾燥之 溫度，與上述壓印模背面之表面處理相同，較好的是接近 稀釋溶劑之沸點，乾躁時間則較好的是10分鐘以上30 以内之範圍。該表面處理方法，由於非常簡單，故而於光 碟之製造現場進行時可無需花費時間與工夫。π，由於可 縮短表面處理所需要之時間，故而可提高光碟生產性。 如上所述，於該第二實施形態中，對與光碟用壓印模之 信號面相反側之背面實行特定研磨處理，並對該背面進行 化學性表面處理’藉此形成邊界潤滑膜後，進而’藉由對 成形機側之信號鏡面進行化學性表面處理而形成邊界调滑 膜’故而’與第-實施形態相比’可降低成形機與安裝於 信號鏡面上之壓印模背面之摩擦。因此，與第一實施形態 相比，可進一步縮短設備停止時間，並進一步延長連續生 產光碟之期間。 以下，藉由實施例對本發明加以具體說明，但本發明並 非限定於該等實施例。 於以下實施例中，以如下所示之方式，控制射出成形時 之樹脂溫度、鑄模溫度以及鎖模力。 樹脂溫度：380°c士 10°c 110675.doc •31 · 1324634

鑄模溫度：125°C±3°C 鎖模力：35t〜40t 又於以下實施例中，作為邊界潤滑膜劑，使用含有分 =如上述化學式⑴以及化學式（2)、化學式（3)所示之碟酸 單酯以及磷酸二酯、微量磷酸三酯之混合物（東邦化學工 業股份公司製造使化學式（1)中之R，為11型，化學式 (1)、化學式（2)、化學式（3)中各自之碳數m=18，E〇之平^ 莫耳數n=2。 構成用於本發明實施例中之邊界潤滑膜之磷酸酯，相對 於甲苯、苯、丁酮（MEK)等溶劑具有溶解性。即，於使用 該邊界潤滑膜劑之情形時，可藉由該等溶解性之溶劑而進 行稀釋》 構成用於本發明實施例中之邊界潤滑膜之磷酸酯，相對 於二甲苯、石腦油溶劑、煤油、乙醇、DFM(二曱基甲醯 胺）、丁基溶纖素、乙二醇單曱醚、二乙二醇二甲醚、乙 酸乙酯、丙酮、水等溶劑具有不溶性。即，於使用該邊界 潤滑膜劑酯之情形時’塗層後藉由該等不溶性之溶劑，栻 取垃圾等異物或塗層斑點，藉此可形成非常薄且厚度均勻 之良好之邊界潤滑膜1。 <實施例1> 首先，使用甲苯將該邊界潤滑膜劑調製成濃度為5 wt%。繼之，藉由廢料，而將如此調製之邊界潤滑膜劑直 接塗層於形成有硬質膜2之固定鏡；i 21之鏡面上。再者， 使用DLC作為硬質膜2,使用作為基於不銹鋼概念而製造 110675.doc -32- 1324634 - 之高合金腔模、芯材的ELMAX作為固定鏡片21。繼而， 於塗層後使用丙酮拭取垃圾等異物或塗層斑點。藉由以上 步驟，可於固定鏡片21之鏡面上形成非常薄且厚度均句之 良好之邊界潤滑膜1。 繼而，使用非接觸式表面檢査機，測量鏡面中心線之平 均粗糙度（Ra)。該測量結果，形成邊界潤滑膜〗前之鏡面 中心線之平均粗糙度（Ra)為〇.52[nm]，與此相對形成邊 φ 界潤滑膜1後之鏡面中心線之平均粗糙度（Ra)為0.53 [nm]。 由此可知，鏡面中心線之平均粗糙度，於邊界潤滑膜1形 成前與形成後幾乎並無變化。 <實施例2> 為比較邊界潤滑膜1形成前與形成後產生於固定鏡月21 與壓印模22之間之摩擦力，而於固定鏡片2丨之樣品上形成 邊界潤滑膜1，分別藉由摩擦測試機測量形成前與形成後 之摩擦係數。 • 再者，以變得與上述實施例1之固定鏡片21相同之方 式’樣品之材質使用於鏡面上形成有DLC材質之硬質媒2 者，作為與固定鏡片21相同基於不銹鋼概念而製造之高合 金腔模、芯材的ELMAX。又，邊界潤滑膜丨，以與上述實 施例1相同之方式，形成於形成有硬質膜2之樣品鏡面上。 參照圖7 ’就摩擦測試機算出摩擦係數之方法加以說 明。摩擦測試機具有載置部35與檢測部37。載置部35具有 平臺36 ’其具有載置有包含直徑為5〇 mm之鏡面之樣品4之 載置面；及未圖示之驅動部，其可以載置於平臺36之樣〇口 110675.doc -33· 1 4與載置面平行並移動於半徑 元。 °上之方式使平臺36移位 檢·Ί/ϊ 37具有頭部％與 開平臺36。-s 、 了千臺39 ,並可自由接近或離 碩部3 8係測量摩擦力样 接觸，並蛊样。/ ’、時，與平臺36上之樣品4 廢印模22之摩#_ 之。户分。為計算出樣品4與 模挪質之^ 頭部％之㈣’使用廣泛用作厂堅印 負荷平臺39係用以於平臺％ 加壓者。藉由自朴工* 上之樣印4上對頭部38進行 立谁"樹 、何平至39而對頭部38所施加之負重，可任 思進^丁變化。 感測1§ 4 0、41，Μ 士 ：日丨旦τ ^ m . ’、’量平臺36之移位方向中檢測部37 力。n而測里平臺36上樣品4與頭部38間所產生之摩擦 H 40對圖中平臺36移位於順時針方向時之檢測部 ΓΓΙΓ之壓力F1進行檢測，感測器41對圖中平臺36移 :於逆時針方向時之檢測部37中所受到之壓心進行檢 藉由未圖示之驅動部，以平臺36上樣品4於半徑方向上】 秒鐘往返一次之方式使平臺％移位元，並測量壓力Η以及 壓力F2，根據經過測量之屋力F1以及屋力F2,與藉由負荷 平臺之負重而施加於樣品4之頭部38之負重w，以 算出摩擦係數μ。再者，施加於樣品4中之頭部負重 65[g]。 K=((Fl.F2)/2)/w .⑴ 於並未設置邊界潤滑膜1之狀態下，壓力？1為17.6 g，壓 110675.doc •34- 1324634 力F2為14.4 g。即’於未設置邊界潤滑膜1之狀態下摩擦係 數μ為約0.246。 於設置有邊界潤滑膜1之狀態下，壓力F1S144 g，壓力 F2為11.6 g。即，於設置有邊界潤滑膜1之狀態下摩擦係數 μ為 0.2。 根據該結果可知，藉由將邊界潤滑膜1設置於與固定鏡 片21之壓印模22接觸之部分上，而可大幅降低固定鏡片21 與壓印模22之間的摩擦係數。 繼而’藉由成形模具裝置連續成形以3.5英吋Μ〇磁碟規 格為基準之光碟基板’並由經過成形之光碟基板實際製造 3.5英叫·ΜΟ磁碟’評價所製造之3.5英吋Μ〇磁碟是否可於 至少1倍密度至20倍密度之記錄密度中進行記錄再生。 <實施例 以與實施例1相同之方式，將邊界潤滑膜丨形成於成形模 ”裝置11之固定鏡片21之鏡面上。繼之，使用該成形模具 裝置11，連續成形光碟基板。其後，使以3.5英吋ΜΟ磁碟 之規格為基準之記錄膜以及保護膜形成於所成形之光碟基 板上’獲得作為目標之光碟。 <比較例1 > 除省略邊界潤滑膜丨之形成以外，其餘全部以與實施例3 同之方式，連續成形光確基板。其後，使以Μ英对M〇 ”規格為基準之记錄膜以及保護膜形成於所成形之光 碟基板上’獲得作為目標之光碟。 圖8以及圖9，表不未設置邊界濶滑膜丨之成形模具裝置 H0675.doc -35- 1324634 中2萬次射出後位址訊坑之凹凸形狀。又，圖10以及圖 11 ’表示設置有邊界满滑膜1之成形模具裝置中4萬次射出 後位址訊坑之凹凸形狀。 圖8以及圖10係表示原子力顯微鏡（afm : Atomic Force Microscope)中之位址訊坑形狀之圖。又，圖9以及圖 之縱轴表示位址訊坑之深度[nm]，橫轴表示基板半徑方向 之掃猫區[μπι]。即’圖9以及圖11分別於圖8之線a以及圖 φ 10之線B上之凹凸中，藉由成比例之電壓與頻率，連續表 示表面之凹凸形狀。圖8中之箭頭a、a，，箭頭a、a，以及箭 頭c、c’與圖9中之點a、a，’點b、b，以及點c、c，相對應。圖 10中之箭頭d、d’ ’箭頭e、ei以及箭頭f、f，與圖n中之點 d、d，，點e、e’以及點f、f，相對應。 如圖8以及圖9中所示，未設置邊界潤滑膜丨之成形模具 裝置中，2萬次射出後之光碟中，訊坑端面形狀變形，產 生位兀址錯誤。如圖10以及圖u所示，設置有邊界潤滑膜 • 1之成形模具裝置中，即使4萬次射出後之光碟，訊坑端面 之形狀亦不會變形，故不會產生位元址錯誤。即，可知悉 可將生產性提高2倍以上。 繼而’藉由成形模具裝置U而成形以可記錄之DVD4.7 十億位元元規格為基準之光碟基板，並由經過成形之光碟 基板實際製造DVD-R ’評價經過製造之DVD_r*否可於1 倍速至8倍速之記錄速度中可進行記錄再生。 <實施例4> 以與實施例1相同之方式’將邊界潤滑膜1形成於成形模 110675.doc • 36 - 八裝置11之固定鏡片21之鏡面上。繼之，使用該成形模具 裝置11 ’連續成形光碟基板。其後，將以可記錄之 OVD4.7十億位元元規格為基準之記錄膜形成於經過成形 之光碟基板上後，介由接著層而貼合光碟基板，獲得作為 目標之光碟。 〈比較例2> 除省略邊界潤滑膜1之形成以外，其餘全部與實施例4相 同之方式，連續成形光碟基板。其後，將以可記錄之 DVD4.7十億位元元規格為基準之記錄膜形成於經過成形 之光碟基板上後，介由接著層而貼合光碟基板，獲得作為 目標之光碟。 圖12表示藉由固定鏡片21中未設置邊界潤滑膜丨之成形 模具裝置而成形之碟片追蹤錯誤信號，圖13表示藉由固定 鏡片21中設置有邊界潤滑膜丨之成形模具裝置而成形之碟 片追蹤錯誤信號。圖12以及圖13中縱軸表示電壓[v]，橫 軸表示作為碟片信號區域之最外周的汉58 mm之位置上之 圓周範圍（0。〜360。）。 如圖12以及圖13所示，與藉由固定鏡片21中未設置邊界 调滑膜1之成形模具裝置而成形之碟片相比，#由固定鏡 片以中設置有S界潤滑膜！之成形才莫具裝置而成形之碟片 的追蹤錯誤信號之振幅平均性變小。藉此可知悉，若於固 定鏡片2!上形成邊界潤滑膜i，則追蹤錯誤會降低約 10%，故可提高產品之品質以及良率。 圖！4表示連續成形碟時之追蹤錯誤。κι钟，縱轴表示 110675.doc •37 • 電壓[V] ’橫軸表示碟片樣品編號。表示追蹤錯誤之電壓 值係各碟片中之追蹤錯誤之平均值。即，表示電壓值越小 則追蹤越良好。圖14中之邊界線A表示形成邊界潤滑膜丨之 時序。即，邊界線A之左側係形成邊界潤滑膜丨之前，線A 之右側係形成邊界潤滑膜1之後。 可知悉，邊界潤滑膜丨形成前之追蹤錯誤信號之振幅平 均值為0.84±G.13，與此相對，邊界潤滑膜i形成後之追縱 φ 錯誤信號之振幅平均值，減小為0.77士0.08，故即使連續成 形，追蹤錯誤亦得到改善。 由上述可知，根據本發明之第一實施形態，可藉由使用 於與壓印模22之接觸部上形成有邊界潤滑膜1之固定鏡片 21成形光碟基板，而以低成本高效率製造良好之光碟。尤 其，尚密度3.5英吋M0磁碟，對改善訊坑之影響而引起之 追蹤錯誤具有較強效果，故可使生產性提高兩倍以上。 <實施例5 > 鲁首先，以如下方式製作以DVD-R(16X)規格為基準之主 壓印模首先，使用專用研磨裝置，藉由微粒子研磨劑對 麼印模製作時作為基板之圓形玻璃母盤進行擦拭處理，以 不殘留研磨劑之方式仔細清洗。藉此，獲得具有平坦面之 . 玻璃母盤。 繼而，於經過研磨、清洗之玻璃母盤表面上，形成光阻 層對°亥光阻層照射鐳射光束，並使成為光碟信號圖案化 轉印用之壓印模母盤圖案曝光，進行顯影處理。藉此，可 獲得母盤圖案。再者，信號表面圖案於螺旋形預刻凹槽中 110675.doc -38- 1324634 使軌道間距寬度為0.74 μπι，使凹槽深度為0.14 μιη〜0.16 μηι 〇 繼而’於所獲得之母盤圖案上通過非電解電鍍形成金屬 底層後’通過電解電鍍快速形成電鑄膜直至達到所期望之 壓印模結構厚度。再者，使電鑄膜之厚度為0 3 mm。 繼而’自玻璃母盤將複製有電鍍之信號圖案化（母盤圖 案）之電鍍金屬臈剝離，並以專用溶劑溶解、清洗光阻

層，使之完全乾燥。於該狀態下獲得作為壓印模之母盤。 繼而，於所獲得之壓印模之經過信號圖案化之面上貼付 保護薄層進行保護後，將背面進行研磨，提高平坦精度。 再者，壓印模之背面研磨令，一律以乾式研磨機研磨碟 片。 最後，衝壓出特定壓印模徑（直徑138 mm)，獲得作為目 標之壓印模（切邊）。 繼而以如下方式製作邊界潤滑膜劑。將磷酸酯（東邦 化學工業有限公司製造），與㈣稀釋劑之甲苯裝入螺旋 管中加以混合，並輕微«數讀，於混煉機上旋轉10分 鐘左右’製作邊界潤滑膜劑。 以下，表示邊界潤滑膜劑之組成。 邊界潤滑膜劑：填酸酿（100%固體）粉末5重量份 稀釋溶劑：甲苯95重量份 繼而’藉由丙酮脫脂、渣棬 ,_ , 和从如上方式製作之壓印模之 者面’獲得沒有污垢之清潔 ' 。繼而，使以如上方式而製 作之邊界潤滑膜劑適量滲透 心王層枓中，直接塗布於壓印模 110675.doc -39. 1324634 於常溫下乾燥30分鐘，使作為溶劑的f苯完全揮 發。藉此，邊界潤滑膜劑將固著於虔印模背面上，形成邊 界潤滑膜。繼而，藉由丙酮拭取附著於邊界潤滑膜表面之 垃圾或塗斑I卜再者’丙酮係相對於邊界㈣膜劑具有不 溶性之揮發性溶#卜藉由以上操作，可獲得料為目標之 邊界潤滑膜設置於背面上之壓印模。

觀

繼而，針對以如上方式而獲得之塵印模背面，就立 、粗糙度劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行 外 評 繼而’以與上述壓印模相同之方或 俠作丨j <万式’亦於射出成形機模 具之信號鏡片表面上形成邊界潤滑臈。繼而，將設置有邊 界潤滑膜之壓印模安裝於模具中，重複操作光碟基板之射 出成形，並對壓印模使用期限進行評價。 <實施例6>

首先，以與上述實施例5完全相同之方式，製作壓印 模。繼而，以如下方式製作邊界潤滑膜劑❶將氟改性磷酸 酯（大金化學產品銷售股份公司），與作為稀釋劑之氫氟醚 (住友3M公司製造）裝入螺旋管中加以混合，並輕微振盪數 -人後，於混煉機上旋轉丨〇分鐘左右，製作邊界潤滑膜劑。 以下’表示邊界潤滑膜劑之組成。 邊界潤滑膜劑：磷酸酯（1 〇〇%固體）粉末0.93重量份 稀釋溶劑：甲苯99.07重量份 繼而’除使用如上所製作之邊界潤滑膜劑以外，以與上 述實施例5相同之方式，於壓印模背面形成邊界潤滑膜。 110675.doc •40· 繼而’針對以如上方式所獲得之壓印模背面，就其外觀、 粗链度劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評價。 繼而’以與上述壓印模相同之方式，亦於射出成形機模 具之彳S號鏡片表面形成邊界潤滑膜。繼而，將設置有邊界 潤滑膜之壓印模安裝於模具中，重複操作光碟基板之射出 成形’並對壓印模使用期限進行評價。 <實施例7> 首先’以與上述實施例6完全相同之方式，製作於與信 號面相反側之背面上設有邊界潤滑膜之壓印模。繼而，針 對以如上方式所獲得之壓印模之背面，就其外觀、粗糙度 劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評價。繼而將 設有邊界潤滑膜之壓印模安裝於信號鏡面上並未設有邊界 潤滑膜之模具中’重複操作光碟基板之射出成形，並對塵 印模使用期限進行評價。 〈實施例8> 首先以與上述實施例5完全相同之方式，製作壓印 模。繼而m述實施例6相同之方式於信錢面上形 成邊二濶滑膜、繼而，針對以如上方式所獲得之信號鏡 面就其外觀、粗链度劣化、耐溶劑性以及接觸角進行評 仏繼而，將並未設有邊界潤滑膜之壓印模安裝於信號鏡 面上設有邊制滑膜之模具中，重複操作光碟基板之射出 成形，並對壓印模使用期限進行評價。 〈實施例9> 除使主愿印模以BD R規格為基準以外以與實施例6完 110675.doc -41 · 全相同之方式’製作於背面設置有邊界潤滑膜之壓印模。 繼而’針對以如上方式所獲得之壓印模之背面，就其外 觀、粗糙度劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評 價繼而’以與上述實施例6相同之方式於信號鏡面上形 成邊界潤滑膜。繼而，將設有邊界潤滑膜之壓印模安裝於 模具中，重複操作光碟基板之射出成形，並對壓印模使用 期限進行評價。 <比較例3> 首先，與上述實施例5完全相同之方式，製作以dvd_r 規格為基準之壓印模後，於並未形成邊界㈣膜之狀態， 通常使用之狀態下針對壓印模背面，就其外觀、粗糙度劣 :匕、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評價。繼而，將於 背面並未設置邊界潤滑膜之壓印模安裝於信號鏡面上並未 設有邊界潤滑膜之模具中，重 董複操作光碟基板之射出成 形，並對壓印模使用期限進行評價。 <比較例4> 首先，以與上述實施例9完全相同之方式，製作以BD-R 規格為基準之壓印模後，於並未形成邊㈣滑膜之狀態 下，即通常使用之狀態下針對壓印模背面’就其外觀、粗 糙度劣化、滑動角、对溶劑性以及接觸角進行評價。繼 而’將於背面並未設置有邊只 邊界淵滑膜之壓印模安裝於信號 界湖清膜之模具中，重複操作光碟基板 之射出成形，並對壓印模使用期限進行評價。 <比較例5> M0675.doc -42- 首先以與上述實施例5完全相同之方式，製作壓印 模繼而，藉由常溫乾燥型之氟系樹脂（氟科技股份有限 △司製1^，商品名：Fluoro surf FG-5〇3〇G)處理壓印模之 彦面繼而，針對以如上方式而獲得之壓印模背面，就其 外觀、粗糙度劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評 價。其結果可知’由於耐溶劑性較差，且以滲人有丙酮之 BEMCOT或廢料類摩擦，則將導致經過表面處理之氣系樹 曰將被除去，進而，於外觀上亦將產生干擾條紋圖形，故 而氟樹脂難以用於射出成形。為》tb，於該比較例5中，並 未對由反覆射出成形而得到之壓印模使用期限進行評價。 <比較例6> 首先’以與上述實施例5完全相同之方式，製作壓印 模繼而’使用作為常溫硬化型之固體潤滑劑之ptfe(四 氟化乙烯）對該壓印模背面進行表面處理。繼而，針對以 如上方式而獲得之壓印模背面，就其外觀、粗糙度劣化、 滑動角、耐溶劑性以及接觸角進行評價。其結果可知，表 面粗链度惡化較大，且該表面之粗糙轉印於光碟基板之信 號面中。為此，於該比較例6中，並未對重複射出成形而 成之壓印模使用期限進行評價。 以下’就上述實施例5〜9以及比較例3〜6中之外觀、粗糙 度劣化、滑動角、耐溶劑性以及接觸角之評價内容加以說 明。 (外觀評價） 將經過表面處理之面以BEMCOT或廢料類輕輕擦拭數次 110675.doc •43- 1324634

後’以目視觀察該面，並評價是否存在變化。使未觀察到 變化之情形為「〇」’使可觀察到略微變化但屬於允許範圍 内之情形時為「△」，使可觀察到變化並外觀上存有問題 之情形設為「▲」，使存有明顯變化且無法生產滿足dvd· R以及BD-R規格之碟片基板（以下，稱為非適用商品）之情 形設為「X」。此處，若為「〇」以及「△」位準之外觀， 則可良好生產滿足DVD-R以及BD-R之規格之碟片基板。 (表面粗糙度評價）

使用市售之二維表面粗糙度計測量表面粗糙度並評價 於表面處理前後表面性參數（Ra · Rmax · Rz)中是否存在變 化，或表面粗糙度是否於劣化之方向上存在變化。當表面 性參數並無變化，或表面粗糙度於劣化方向上並未變化之 情形設為「〇」’可觀察到粗糙度略微產生變化但屬於允許 祀圍内之情形設為「△」，使可觀察到粗糙度變化之情形 為「▲」，使粗糙度存在明顯變化，且為非適用商品之情 形為「X」。此處’若為「〇」以及「△」位準之外觀，貝: 可良好生產滿足DVD-R以及BD_R之規格之碟片基板。 (滑動角之評價） 將表面處理後之壓印模以其背面側朝上之方式靜置於平 臺上’將負重200 g之站喝置於其上，使塵印模之一方緩 慢=上方傾斜’將4碼開始出現動作之角度作為滑動角、。 ill義ί:代替靜止摩擦評價，並且表示數值較小者為低 摩察。此^價中僅測㈣印模背面。信號鏡面之 由於該實施例中所使用之材質本身以該測試方法評價則將 H0675.doc •44- 十分低，故而以其他評價方法確認效果。可認為數值越 小’越有降低摩擦效果，故較為理想。 (耐溶劑性評價） 耐溶劑性評價係使用滲透有丙酮之BEMC0T或廢料類， 4輕擦拭經過表面處理之面數次後，以目視觀察該面評價 疋否出現變化。使並未觀察到變化之情形為「〇」，使觀察 J略微變化但屬於允許範圍内之情形為「△」，使觀察到 變化之情形為「▲」，存有明顯變化，且為非適用商品之 凊形為「X」。此處，若為「〇」以及「△」位準之外觀， 則可良好生產滿足DVD-R以及BD-R之規格之碟片基板。 該耐溶劑性之評價係假設於成形步驟中日常施行之作業 之*平價方法。將壓印模設置於模具前，為防止由信號面之 >可垢所造成之對壓印模之不良影響或由異物混入所引起之 對壓印模信號面之異物形狀轉印，而以丙酮預先拂拭清潔 信號鏡面以及壓印模背面。該清潔可能會造成經過表面處 理之邊界潤滑膜劑溶解，並自表面消失，而導致失去效 果。 以下加以敍述，然而為比較耐溶劑性，最適合的是，測 量以丙酮拂拭前後之接觸角，然而於製造現場快速進行判 斷時，較多的是觀察外觀上拂拭後之表面。一定程度上可 以溶劑浸潤性變化區別是否於表面上產生干擾條紋圖形， 或於以丙酮擦拭後丙酿j以珠狀零星存在，或者是否完全由 丙網覆蓋。該耐溶劑性評價在於以目視判斷其浸潤性變 化。較理想的狀態亦取決使用其之邊界潤滑膜劑之結構， -45- 110675.doc 丄 . …、而本發明中尤其好的是於特氟改性磷酸酯之情形時，將 溶劑彈出使之以珠狀零星存在。 (接觸角之評價） 作為判斷於表面處理後邊界潤滑膜劑是否於其表面受到 °靠處理之簡易方法，通常採用測量接觸角之方法。根據 於其表面所處理之化學物質（邊界潤滑膜劑）之分子結構， 通過使去離子水或十六烷等液滴滴下至表面上，測量角度 •""判斷表面性質為親水性還是親油性。於該實施例中，： 用協和介面科學（股份）公司之FACE固體表面能量解析裝置 (CA XE型）測f去離子水以及十六烷之液滴量3.i叫之接 ' 觸角其中’該Sf價並非判斷好壞，而是判斷邊界潤滑膜 齊丨是否充分結合於壓印模背面或信號鏡片表面。若於處理 前後數值出現變化，則視為經過表面處理。 (使用期限實績評價） 該使用期限實績sf價係表示本發明實質性效果者。其係 饞 實際光碟製造流水線之管峰，g i W 旦 扒踝之貫凟，且表示使用期限數值（射出 量）越大越好，且效果極大。 *再者’該說明書中使用期限，表承並非壓印模之原本之 哥命，而是指1次成形工作時不停止機器，連續工作之光 • 碟成形數量，即射出量。 如以上所述’然而由於遷印模背面與信號鏡片部之素材 不同，故而因熱膨脹係數或各自素材之剛性率不同，於接 觸之邊界伴隨變形會產生摩擦磨損現象。此時，硬度低於 信號鏡片部之屋印模背面會產生摩擦而引起之黏著磨損， 110675.doc -46- 1324634 因其黏著物或脫落物產生與研磨劑相同之作用之影響，會 導致損傷壓印模背面以及信號鏡片部表面，成為成形碟片 精度惡化之原因。為此，一般而言，將臨時停止設備，並 .里微研磨壓印模背面再進行使用。其維護作業係導致設備 利用性下降以及成本提高的原因之一，亦係本發明所欲克 服之重要課題。 至於壓印模使用期限或停止成形設備之判斷，測量光碟 • 之追蹤錯誤，並以超出規格值時刻作為壓印模使用期限 (可連續操作1次成形設備）°光碟之追蹤錯誤使用作為索尼 $有之公司内部標準評價機之伺服裝置錯誤測試機進行測 量。當相對於初始值通常為350〜400 mV，而超過規格值 mV^時刻’作為壓印模使用期限，而停止成形以及成 形機。毋庸多言，較好的是數值（射出量）較大者。 表1表不實施例5〜9以及比較例3〜6之評價結果。 110675.doc • 47· 1324634

【1<】 110675.doc 使用期限實績 (射出量） 〇 〇 〇 〇 〇 ν〇" 〇\ 〇 〇 〇 〇 〇 〇 I 〇 〇 〇 〇 無法使用 無法使用 K。） 十六烧 <10 S 00 (N 接觸芦 去離子水 v〇 Os S r- oo *Τί 00 S 〇 耐溶劑性 〇 〇 〇 ο Ο 1 1 X 〇 滑動角(°) 〇〇 m 1 沄 沄 <N (N 卜 粗糙度劣化 〇 〇 〇 ο 〇 1 1 〇 X 外觀評價 〇 〇 〇 ο Ο 1 1 ◄ X 表面處理劑 磷酸酯 氟改性磷酸酯 氟改性磷酸酯 氟改性磷酸酯 氟改性磷酸酯 未處理 未處理 常溫乾燥型氟樹脂 1固體潤滑劑PTPE 處理物件 壓印模背面+信號鏡面 壓印模背面+信號銳面 僅壓印模背面 僅信號銳面 壓印模背面+信號鏡面 未處理 未處理 僅壓印模背面 僅壓印模背面 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 實施例9 |比較例3 I 比較例4 比較例5 比較例6 发"2^«έθ : 3dld -48- ^24634 由表1之評價結果可知以下之情形β 將實施例5〜9中使用期限實績評價之結果，與比較例^中 使用期限實績評價之結果加以比較，可知悉，於愿印模背 面以及信號鏡面之至少其中之一者中設置有表面潤滑膜之 情形，與壓印模背面以及信號鏡面之任一者中均未設置表 面淵滑膜之情形相比較’可大幅延長㈣模使用 出量）。 將實施例6中之使用期限實績評價之結果，與比較例7、 :中之使用期限實績評價之結果加以比較，可知悉廢印模 背面以及信號鏡面之兩者設置有表面潤滑臈之情形，與壓 印模背面以及信號鏡片面之其中任一者設置表面潤滑膜之 情形相比較，可使壓印模使用期限（射出量）延長大致2倍。 即，可知悉，若考慮到延長壓印模使用期限（射出量）之觀 點，則較好的是於壓印模背面以及信號鏡面之兩者中均設 置表面潤滑膜。

進而，將實施例5中之使用期限實績之評價結果，與實 施例6中之使用期限實績之評價結果加以比較，則可知 悉，包含氟改性磷酸酯之表面潤滑膜，與包含磷酸酯之表 面润滑膜相比，可降低摩擦，且可延長壓印模使用期限。 又，可知悉，延長壓印模之使用期限，重要的是降低壓印 模#面與保持成形機模具壓印模之信號鏡片之間之摩擦， 且較為有效。於光碟之射出成形工序中，為獲得滿足追蹤 錯誤等之光碟要求特性，且不降低設備利用性之所謂壓印 模使用期限較長之光碟製造用壓印模可藉由使用本發明 110675.doc -49· 1324634 所揭示之方法而解決該課題。 為驗證降低摩擦效果而進行之表1之滑動角評價，成為 判斷全部i印模背面之摩擦之關鍵，但可認纟#由施行某 種化學性表面處理而可獲得降低摩擦之效果。 此處’為方便起見，就實施例1〜9與比較例1〜6加以揭 不，然而本發明者們，對他其他各種邊界潤滑膜劑進行精 “研九直至完成本發明為止。根據該研究，其他邊界潤滑 膜劑大多為若以丙酮等有機溶劑拂栻處理後之表面，則會 產生干擾條紋圖形，於外觀評價中會產生問題，或者以溶 劑拂^邊界潤滑膜劑，會使之消失，導致完全無法獲得效 果。右僅僅降低摩帛，則對於石夕系界面活性劑或樹脂等存 有效果，然而對於丙酮或甲苯等酮類或乙醇或IPA(異丙醇） 等醇類等溶劑為可溶，當清潔成形機模具時，會導致邊界 潤滑膜劑消失，其結果較為不理想。 作為研究其他界面活性劑或樹脂等時之重點，若使用處 理後表面之狀態處於如同塗布有油之濕潤狀態之邊界润滑 膜劑，則-直吸附有塵土或灰塵，產生異物形狀轉印之問 題’或者於高溫高壓下進行成形時，該邊界潤滑膜劑可能 會流入信號面，故而會經常導致無法使用。 方面藉由降低摩擦，而於比較例5中實施除界面 活性劑或樹脂類之外’獲得較大效果之固體潤滑劑。兑 中，亦可自表！容易推測到，但處理後表面性會惡化。粗 糙度超過壓印模之實用範圍之粗糙度位準，可能會導致粗 縫度轉印至信號面侧。進而自經過處理之表面確認有雖為 II0675.doc •50· 1324634 微量仁如粉末下落般之污垢’因此難以使之實用化。 據乂上、’、。果’可藉由設置邊界潤滑膜，而降低摩擦， 且延長壓印模使用期限而不會損害壓印模背面以及成形機 模具之彳§號鏡面之表面性狀。 為使本發明達到更高位準，並為降低>1印模背面與信號 鏡片部之摩擦，而較好的是使用於以進行表面處理之邊界 捫/月膜劑中具有潤滑性之界面活性劑為主骨架中具有磷酸 基，且具有化學式1所示之結構之磷酸酯類，其中，尤其 好的是使用具有化學式4所示之結構之氟改性磷酸酯。其 原因在於，可獲得優良之降低摩擦效果，並可進而延長壓 印模使用期限。 又，至於本發明之優點，存有以下優點：該邊界潤滑膜 劑可重複使用，當效果變差之情形時，對壓印模背面以及 信號鏡面進行清洗後，再度進行相同表面處理可持續具有 該效果。 進而’與解決課題之直接要因雖無關聯，但存有以下優 點：即使以目視觀察表面處理後之壓印模以及信號鏡面， 其亦為無色透明且無臭，且無法發現外觀上進行過何種處 理’故而可成為壓印模外售時之益處。 本發明並非僅限定於上述本發明之實施形態’並可於不 脫離本發明之要旨範圍内可進行各種變形或應用。 例如，上述實施形態以及實施例中所列舉之數值僅為示 例’可根據需要，而使用與此不同之數值。 又，於上述實施形態以及實施例中，雖就將本發明適用 110675.doc -51 - 1324634 於DVD-R或BD-R等之例加以說明’然而本發明亦可適用 於其以外之可記錄之光記錄媒體，進而，可適用於再生專 用型或可讀寫型等光記錄媒體。更具體而言，可適用於 CD-DA(Compact Disc-Digital Audio，數位聲訊光碟），〇〇- ROM(Compact Disc-Read Only Memory，緊密光碟-唯讀記 憶體），CD-R(C〇mpact Disc-Recordable，可記錄之緊密光 碟），CD-RW(Compact Disc-ReWritable，可重寫之緊密光 碟）’ DVD-R(Digital Versatile Disc-Recordable，可記錄之 數位化通用光碟），DVD+R(Digital Versatile Disc+ Recordable ’數位化通用光碟+可記錄），DVD-RW(Digital Versatile Disc-ReWritable，可重寫之數位化通用光碟）， DVD-RAM(Digital Versatile Disc-Random Access Memory ’數位化通用光碟·隨機存取記憶體），以及〇乂〇-ROM(Digital Versatile Disc-Read Only Memory，數位化通 用光碟-唯讀記憶體）等各種規格之光記錄媒體。又，本發 明亦可適用於HD-DVD(Heigh Definition Digital Versatile Disc，高精度數位化通用光碟），BD-ROM(Blu-ray Disc-Read Only Memory ， 藍 光光碟 .唯讀 記憶體） ， bd_r(b1u· ray Disc-Recordable，可記錄之藍光光碟），以及bD_ RE(Blu-ray Disc-REWritable ’可重寫之藍光光碟）等下一 代咼密度光記錄媒體。進而，本發明亦可適用於今後可能 開發之光記錄媒體中。 又，記錄速度亦並非限定於上述實施形態以及實施例， 且可適用於各種記錄速度之光記錄媒體。進而，記錄層亦 110675.doc •52· 1324634 並非限定於1層，亦可適用2層以上之光記錄媒體。 又’於上述第一實施形態中，將邊界潤滑膜1設於固定 鏡片21之表面，然而並非限定於此，既可將邊界潤滑膜】 設置於包含鎳等之壓印模22之背面，亦可將邊界潤滑膜j 设於固定鏡片21與壓印模22之兩者中。又，亦可將硬質膜 2設置於壓印模22之背面。 又’並非僅限定於3.5英吋M0磁碟、DVD-R，亦可適用 於使用有藉由壓印模而轉印有凹凸形狀之基板之其他記錄 媒體用基板之成形中。又，並非僅限於記錄媒體用基板， 亦可適用於轉印壓印模之凹凸形狀而形成之其他成形體之 製造中。 又，於上述實施形態以及實施例中，壓印模材料並非特 別限定，例如，除鎳金屬以外，亦可使用例如金屬或陶 曼。於該情形時’亦可獲得與上述第1以及第2實施形態相 同之效果。 又’於上述實施形態以及實施例中，信號鏡片部之材料 並非特別限定’亦可將例如稱為DLC之類鑽碳設置於信號 鏡片部中。於該情形時，亦可獲得與上述第丨以及第2實施 形態相同之效果。 於上述實施形態以及實施例令’以將氟改性磷酸酯適用 於成形模具裝置之信號鏡面或壓印模背面之邊界潤滑膜之 情形為例進行說明，然而，氟改性磷酸酯並非僅限定於該 例，亦可廣泛適用於因降低摩擦效果而賦予潤滑性之潤滑 劑組合物中。又，氟改性磷酸酯，並非僅限定於由降低摩 110675.doc •53· 1324634 ㈣果而賦予潤滑性之_劑組合物中，亦可使用於由斥 水性而賦予防水功能之防水劑組合物，由斥油性而賦予防 污垢功能之防汙劑组人 ，，σ物’由斥水斥油性而賦予防銹功能 之防銹劑組合物，賦子 羽賦予耐溶劑性之耐溶劑組合物等各種用 途以下，對該等用途加以說明。 ⑴由降低摩擦效果而賦予潤滑性 幕所周知，錢s旨本身可用作極壓添加劑。利用其耐熱 • 而可利用於高溫環境下要求降低摩擦者。除光 碟成形機之信號錄 鏡面之外，亦可使用於成形機自身之滑動 P或I動。ρ纟其對於油或油脂之液狀飛散等成為問題之 •部分的乾性滑動部分或乾性驅動部分之摩擦降低較為有 f至於光碟成形機内之具體例，可列舉切割成形機、產 ⑽頂出襯套或產品頂針、外圓環或該等零件部分中所使用 之滾珠轴承等。進而亦可適用於模具定心用之導引柱之軸 承或固定模具以及可動模具之洗注部，成形機連接桿、讀 • &鏡面中。列舉光碟製造用成形機作為-例加以說明，缺 而對其他射出成形機亦為有效。又，成形部材自整體而言 •亦可預見相同效果。該等係沖壓成形用模具、铸造成形用 :、射出成形用模具、傳送成形用模具、真空成形用模 具、喷射成形用模具、擠壓成形用型模、膨脹成形用套圈 纖維纺嘴’壓光機加工用滾筒等。另一方面，考慮到高速 滑動部分之摩擦降低之觀點，預想高速進行滑動時會產生 摩裇”’、仁於此，亦可利用極壓添加劑之效果。具體而 言’可列舉磁帶。與高速旋轉之錄影機磁頭接觸，而得到 110675.doc -54- 1324634 記錄、再生之磁帶中添加有润滑劑。即使作為該磁帶用潤 滑劑，亦可發揮優良效果。尤其，近年來成為主流之蒸鑛 磁帶中，氟改性錢醋之結構方面，則有化學性吸附於 金屬上之特性’並可通過添加系統而使用，但藉由對付著 蒸鐘膜後之該表面上進行外塗層，崎為主之錢膜表面 上存在極其均Μ作為薄膜之氟改㈣㈣作為吸附膜， 故而可獲得優良之降低摩擦效果。 (2)藉由斥水性而賦予防水功能 由後述實施例以及比較例之評價專案所示之水或十六烧 之接觸角數值中可看出，以氟改性錢_處理之表面顯示 出相當程度之斥水斥油枓。 &吓油陡。4特質、特性於各種方面均

揮效果。其斥水效果可成A 為防水功忐，若於玻璃或鏡等表 面上進行塗層’則可防霧， 務右將其塗層於攝像機或眼鏡等 透鏡、浴室、洗面台孳.、甚痒έ ,〇專濕度較面之環境中之鏡片上，更進 步而5，塗層於汽車之前或後玻璃i ^ ^ ^ 1欠敉喝上，則可於雨天時可 獲得清晰視野’提高安全性。 右作為物件之材料传金屬杰 陶究、玻璃類，則可適用u Μ係金屬或 ……σ 防水功能之所有者。至於要 未斥水性之產一，可列舉 墨印表機之油墨為水系H機之列印頭。用於噴 y、微小液滴必須自極小之喷嘴 喷出。此時，構成噴嚆A H嘴孔 之喷嘴部分-般而：！ 材料為金屬。將該液滴喷出 怎噴嘴冲刀叙而言較好的是且古徒 將水彈出之性質。若對；之7 ‘。即’必須具有 於液滴喷线，於噴嘴部分嘴::會之:散之浸難良好，則 滴，導致噴出效果欠佳。姓 、 而無法形成液 ，因液滴無法噴至印刷物， I10675.doc •55· ‘ 印刷不良。如欲進行良好喷出，則噴嘴部分脫水情況 必須良好，故斥水性較為關鍵。因此，藉由將嗔嘴部分以 該氟改性礙酸龍進行處理，而於喷嘴部分之金屬表面形成 極薄膜之疏水性薄膜’因此可良好進行脫水，由此可顯著 . 衫油墨液滴之嘴出性能。該效果與喷出方式、壓電方式 $喷墨方式等無關’並可得到適用。又，亦存有於喷嘴部 分進行處理之方法，附加於油墨自身中，作為油墨組合物 •'亦較為有效。尤其，於喷墨方式中藉由附加於油墨中，而 可獲得與喷墨方式之噴出方法相關之益處。其主要使用组 金屬，然而形成液滴之加熱器自身通過金屬將高溫施加於 ' 該紐材料之金屬加熱器，因此會產生所謂焦黏之問題。於 各種金屬表面中附著有油墨組合物之焦結現象中，該焦結 會遮擔溫度，成為無法形成液滴之原因。於油墨中添加該 氟改性鱗酸醋，作為油墨組合物，藉此介由油墨對加熱器 進行表面處理，因此耐熱性之特性得到利用，且形成化學 _ °及㈣，藉此可獲得防止焦黏之效果^ #物件物f為塑膝 之情形時，有時根據其反應形態效果可能消弱，然而並非 效果全無。此時，首先於塑膠表面施行親水性處理後進行 _ 塗層’則可獲得相同效果。 • (3)藉由斥油性賦予防汙功能 以與上述相同之方式，以氟改性磷酸酯進行處理之表面 表現出相當之斥水性與斥油性，該特點、特性即使於防汙 功能方面亦將發揮效果。至於具體例，作為指紋附著抑制 效果，只要對光碟之讀取面或記錄面上之硬塗層上進行塗 110675.doc -56- U24634 層，則極其易於擦取，且於表面上延伸，進而不會出現惡 ★之匱形同樣於防水功能方面亦有敍述，攝像機或眼鏡 等透鏡，或者手錶之玻璃面等要求視覺上清晰之性質者中 可易於擦取油性污垢。進而，以金屬、玻璃、陶究材料所 ^乍之各種裝飾品中’於廚房等油以霧狀飛散之環境或於 至内吸煙之境等+ ,自然會因油或香煙之焦油而受到污 水’若長期放置’則塵土或灰塵將於表面勒化，即使進行

清掃’有時'衫會脫落並導致變色。作為防汙功能，對於 如此問題，亦非常有效。 (4) 藉由斥水斥油性而賦予防銹功能 先前亦有敍述，於磷酸酯之結構方面，由於於金屬表面 上介㈣酸基而製作極薄膜之化學吸附膜，故亦具有對於 鏽之防錄功能。經過處理之表面為無色透明，㈣不會損 害外觀》以金屬材料製作之裝飾品令，對尤其需要_者 進仃塗層，藉此可長期賦予防銹功能且不會損害外觀。不 僅限於裝飾品，亦可應用於例如即使一根螺釘、螺柱或螺 母’一般對金屬而言生銹亦會成為問題者。 (5) 賦予耐溶劑性 氟改性磷酸酯可溶於氟系溶劑中，然而不會溶解於—般 所使用之丙酮、甲苯、丁酮（MEK)等酮類有機溶劑或者 IPA或者乙醇或甲醇等醇類等溶劑中。於潔淨室等要求清 潔環境之場所中，大多以溶劑拂拭塵土或灰塵類之塵埃= 染。又，當於高壓下所成形之成形機等亦夾有異物時為 事先以壓力直接轉印其形狀，而以揮發性有機溶劑拂栻清 H0675.doc -57- 1324634 洗之情形為日常所見。該情形時，若以溶劑拂拭由較多之 界面活性劑等處理之表面’則會產生表面處理劑因溶劑消 而失之問題。即使於如此之情形時，以氟改性磷酸酯處理 之表面除氟系溶劑以外，因其可撣落之性質，故可有效利 用。 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明第一實施形態之成形模具裝置之一構 成例之剖面圖。 圖2係表示本發明第一實施形態之成形模具裝置之一構 成例的放大剖面圖。 圖3係表示固定鏡片之表面附近部之放大剖面圖。 圖4係表示邊界潤滑膜之吸附狀態之一例之圖。 圖5係表示本發明第一實施形態之成形模具裝置之一構 成例之放大剖面圖。 圖6係圖5所示之固定鏡片21之表面附近a之放大圖。 圖7係用於說明摩擦測試機算出摩擦係數之圖。 圖8係表示無邊界潤滑膜時之訊坑形狀之圖。 圖9係表示無邊界潤滑膜時之訊坑形狀之信號之圖。 圖1〇係表示具有邊界潤滑膜時之訊坑形狀之圖。 圖U係表示具有邊界潤滑膜時之訊坑形狀之信號之圖。 圖12係表^無邊界_料之追賴難號之圖。 圖13係表示具有邊界潤滑膜時之追蹤錯誤信號之圖。 圓14係表示連續成形時之追蹤錯誤之圖。 圖15係表示先前之光榉其 ^尤磲基板成形用模具之一構成例之剖 ll0675.doc •58- 1324634 面圖。

【主要元件符號說明】 1， 51，52 邊界潤滑膜 2 硬質膜 10 碟片基板 11 模具裝置 12 * 102 固定側模具 13， 103 可動側模具 14， 114 腔體 15 導引柱 16 滾珠軸承 21， 121 固定鏡片 22， 122 壓印模 22a 壓印模22之一個主面 23 澆口套筒 24 樹脂射出孔 25 壓印模導引器 31 可動鏡片 32 切割成形機 33 擠壓銷 34 可動側脫模器 35 載置部 36 平臺 37 檢測部 110675.doc -59- 1324634 38 頭部 39 負荷平臺 40，41 感測器 101 模具 123 澆口套筒 130 脫模器 110675.doc ·60·

Claims (1)

1324634 第095115403號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(98年10月） 十、申請專利範圍： 1· 一種光碟用基板之成形壓印模，其具有：固定鏡片；及 潤滑膜’該潤滑膜係設置於固定鏡片之鏡面上，且具有 10 nm〜50 nm之厚度；其中，上述潤滑膜含有磷酸醋 類’且化學性吸附於上述固定鏡片之鏡面上。 2.如請求項1之成形壓印模’其中上述磷酸酯類為氟改性 磷酸酯。 3·如請求項1之成形壓印模，其中上述磷酸酯類含有磷酸 單酯、磷酸二酯以及磷酸三酯中至少一個。 4. 一種光碟用基板之成形模具裝置，其具有：模具，該模 具具有安裝有壓印模之固定鏡片；及潤滑膜，該潤滑膜 6又置於上述固定鏡片之鏡面上，且具有1〇 nm〜50 nm之 厚度；其中’上述潤滑膜含有磷酸酯類，且化學性吸附 於上述固定鏡片之鏡面上。 5.如請求項4之成形模具裝置’其中上述磷酸酯類為氟改

6·如請求項4之成形模具裝置，其中上述磷酸酯類含有磷 酸單酯、磷酸二酯以及磷酸三酯中至少一個。 7. —種光碟用基板之成形方法，其具有： 成膜步驟’該成膜步驟於模具之與壓印模之接觸部及/ 或上述壓印模之與上述模具之接觸部中，形成含有磷酸 酯類之潤滑膜； 安裝步驟，該安裝步驟將上述壓印模安裝於上述模具 上；及 110675-981023.doc 1324634 贫年’:月，修(Ο正替換頁 成形步驟，該成形步驟將材料填充至藉由上述安裝步夕 驟而安裝有上述壓印模之上述模具中，並使碟片基板成 形； 其中於上述安裝步驟前，更進而具有藉由對上述填酸 西旨具有不溶性之溶劑，拭取藉由上述成膜步驟所形成之 上述潤滑瞑表面，以使上述潤滑膜之厚度均勻之均勻化 步驟。 8. 如請求項7令| 步驟前，$ 基板之成形方法，其中於上述成膜 及/劣而具有於上述模具之與上述壓印模之接觸部 汉’双上迷题g 步驟。 卩^之與上述模具之接觸部上形成硬質膜之 110675-981023.doc 1324634 第095115403號專利申請案 中文圖式替換頁(98年10月） 年θ 日垮I吏替換頁 101

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