JPH0339239A - スタンパ - Google Patents
スタンパInfo
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- JPH0339239A JPH0339239A JP17471689A JP17471689A JPH0339239A JP H0339239 A JPH0339239 A JP H0339239A JP 17471689 A JP17471689 A JP 17471689A JP 17471689 A JP17471689 A JP 17471689A JP H0339239 A JPH0339239 A JP H0339239A
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- Japan
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- stamper
- solid lubricant
- resin
- molybdenum disulfide
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- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、情報の記録に用いられる光学式記録媒体の基
板の案内溝を形成するスタンパに関するものである。
板の案内溝を形成するスタンパに関するものである。
従来の技術
光学式記録媒体の基板には従来から案内溝が設けられて
おり、その案内溝を形成するには、案内溝の形状に対応
した凹凸を有するスタンパと呼ばれる金型と基板との隙
間へ溶融状態の樹脂を注入塗布し、樹脂を硬化させた後
、基板と硬化一体化した樹脂層を金型から剥離し、樹脂
層に案内溝を転写させる。あるいは、前記金型を使用し
、硬化性樹脂を射出成形法により基板を成形し、基板に
案内溝を転写させるという方法をとる。
おり、その案内溝を形成するには、案内溝の形状に対応
した凹凸を有するスタンパと呼ばれる金型と基板との隙
間へ溶融状態の樹脂を注入塗布し、樹脂を硬化させた後
、基板と硬化一体化した樹脂層を金型から剥離し、樹脂
層に案内溝を転写させる。あるいは、前記金型を使用し
、硬化性樹脂を射出成形法により基板を成形し、基板に
案内溝を転写させるという方法をとる。
ところでこのスタンパの製造方法は、第１図に示されて
いるようにまずガラス板を加工、研磨した後、洗浄、乾
燥する０次にそのガラス板上に、フォトレジストを塗布
する。塗布後、溶剤の除去とガラス基板とフォトレジス
トの密着性の向上を目的としてベーキングを行ない、レ
ーザー光で案内溝をカノティングし、その原盤を現像液
に漬けることにより現像を行なう０次にニッケルめっき
を行なうために無電解めっきあるいはスパツクなどによ
り原盤表面を導体化した後、電解めっき法によりニッケ
ル厚めつきを行なう。これがスタンパとなる。
いるようにまずガラス板を加工、研磨した後、洗浄、乾
燥する０次にそのガラス板上に、フォトレジストを塗布
する。塗布後、溶剤の除去とガラス基板とフォトレジス
トの密着性の向上を目的としてベーキングを行ない、レ
ーザー光で案内溝をカノティングし、その原盤を現像液
に漬けることにより現像を行なう０次にニッケルめっき
を行なうために無電解めっきあるいはスパツクなどによ
り原盤表面を導体化した後、電解めっき法によりニッケ
ル厚めつきを行なう。これがスタンパとなる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来のスタンパを用いて樹脂基板に案内
溝を転写させた場合、樹脂との離型性が悪いため、剥離
段階においてスタンパに過度の力が加わり、スタンパの
そりを防止するためにスタンパの裏に接着する鉄、ガラ
スなどのバッキングプレートを剥離させてしまうという
欠点を有していた０本発明は、前記従来の問題点を解決
するもので樹脂との離型性に優れたスタンパを提供する
ことを目的とする。
溝を転写させた場合、樹脂との離型性が悪いため、剥離
段階においてスタンパに過度の力が加わり、スタンパの
そりを防止するためにスタンパの裏に接着する鉄、ガラ
スなどのバッキングプレートを剥離させてしまうという
欠点を有していた０本発明は、前記従来の問題点を解決
するもので樹脂との離型性に優れたスタンパを提供する
ことを目的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するための本発明のスタンパは、第１図
９の剥離、洗浄工程の後に、離型性のよい二硫化モリブ
デン、グラファイトなどの固体潤滑剤がコーティングさ
れたものである。
９の剥離、洗浄工程の後に、離型性のよい二硫化モリブ
デン、グラファイトなどの固体潤滑剤がコーティングさ
れたものである。
作用
この固体潤滑剤が塗布されたスタンパを使用して案内溝
付き基板を作製すると、固体潤滑剤の摩擦係数が低いた
め、スタンパに無理な力が加わることなく、スタンパと
樹脂を容易に剥離できる。
付き基板を作製すると、固体潤滑剤の摩擦係数が低いた
め、スタンパに無理な力が加わることなく、スタンパと
樹脂を容易に剥離できる。
実施例
以下、本発明の一実施例について説明する。
第１図に示されている従来の方法に従い、スタンパを作
製し、そのスタンパの表面に、マグネトロンスパッタ法
により二硫化モリブデンをコーティングする。この本発
明のスタン・バを用いて、スタンパの上にフォトポリマ
ーを塗布し、ガラス基板を粟き、紫外線でフォトポリマ
ーを硬化させガラス基板ごとフォトポリマー層に案内溝
を転写させる方法により、光学式記録媒体の基板を作製
したところ、二硫化モリブデンのＷ！擦係数は、０．０
５であり、ニッケルの摩擦係数は、０．８であるため、
従来のスタンパを使用する場合と比較してスタンパと樹
脂との剥離が容易になり、スタンパに加わる力が半減し
た。従来のスタンパを用いた場合には１枚のスタンパで
基板約２０００枚しか作製できなかったが約２０００枚
作製できるようになった。
製し、そのスタンパの表面に、マグネトロンスパッタ法
により二硫化モリブデンをコーティングする。この本発
明のスタン・バを用いて、スタンパの上にフォトポリマ
ーを塗布し、ガラス基板を粟き、紫外線でフォトポリマ
ーを硬化させガラス基板ごとフォトポリマー層に案内溝
を転写させる方法により、光学式記録媒体の基板を作製
したところ、二硫化モリブデンのＷ！擦係数は、０．０
５であり、ニッケルの摩擦係数は、０．８であるため、
従来のスタンパを使用する場合と比較してスタンパと樹
脂との剥離が容易になり、スタンパに加わる力が半減し
た。従来のスタンパを用いた場合には１枚のスタンパで
基板約２０００枚しか作製できなかったが約２０００枚
作製できるようになった。
以上のように本実施例によれば、剥離工程におけるスタ
ンパを樹脂との離型性が向上し、スタンパに加わる力が
軽減できる。高真空状態でのマグネトロンスパッタ法を
用いるため、スタンパとの付着強度を強く、スタンパ表
面に塵を付着させずに二硫化モリブデンをコーティング
することが可能である。
ンパを樹脂との離型性が向上し、スタンパに加わる力が
軽減できる。高真空状態でのマグネトロンスパッタ法を
用いるため、スタンパとの付着強度を強く、スタンパ表
面に塵を付着させずに二硫化モリブデンをコーティング
することが可能である。
なお、本実施例では、固体潤滑剤を二硫化モリブデンと
したがグラファイトなど他のいかなる固体潤滑剤でもよ
い、また本実施例では、塗布方法をマグネトロンスパッ
タ法としたが、蒸着法。
したがグラファイトなど他のいかなる固体潤滑剤でもよ
い、また本実施例では、塗布方法をマグネトロンスパッ
タ法としたが、蒸着法。
ＣＶＤでもよい。
発明の効果
本発明は、光学式記録媒体の基板の案内溝を形成するス
タンパの表面に二酸化モリブデンなどの固体潤滑剤をコ
ーティングすることにより、スタンパと一樹脂との離型
性を向上させ、剥離工程においてスタンパに加わる力を
軽減させることができ、これによりスタンパの寿命が延
び、媒体のコストダウンが図れる優れたもので、ある。
タンパの表面に二酸化モリブデンなどの固体潤滑剤をコ
ーティングすることにより、スタンパと一樹脂との離型
性を向上させ、剥離工程においてスタンパに加わる力を
軽減させることができ、これによりスタンパの寿命が延
び、媒体のコストダウンが図れる優れたもので、ある。
第１図は従来のスタンパの作製工程図である。
ｈ・・・・・ガラス板の加工、研磨、２・・・・・・洗
浄、乾燥、３・・・・・・フォトレジストのコーティン
グ、４・・・・・・ベーキング、５・・・・・・記録、
６・・・・・・現像、７・・・・・・表面導体化、８・
・・・・・電祷、９・・・・・・剥離、洗浄。
浄、乾燥、３・・・・・・フォトレジストのコーティン
グ、４・・・・・・ベーキング、５・・・・・・記録、
６・・・・・・現像、７・・・・・・表面導体化、８・
・・・・・電祷、９・・・・・・剥離、洗浄。
Claims (2)
- （１）表面に固体潤滑剤をコーティングしたことを特徴
とするスタンパ。 - （２）固体潤滑剤が二硫化モリブデンまたは、グラファ
イトの単体あるいはそれらの混合物であることを特徴と
する請求項（１）記載のスタンパ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17471689A JPH0339239A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | スタンパ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17471689A JPH0339239A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | スタンパ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339239A true JPH0339239A (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15983400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17471689A Pending JPH0339239A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | スタンパ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339239A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7294294B1 (en) * | 2000-10-17 | 2007-11-13 | Seagate Technology Llc | Surface modified stamper for imprint lithography |
| US8029262B2 (en) * | 2005-04-28 | 2011-10-04 | Sony Corporation | Lubricant composition and article, disk molding stamper, disk molding apparatus, disk forming method, method of forming lubrication coating |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP17471689A patent/JPH0339239A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7294294B1 (en) * | 2000-10-17 | 2007-11-13 | Seagate Technology Llc | Surface modified stamper for imprint lithography |
| US7448860B2 (en) | 2000-10-17 | 2008-11-11 | Seagate Technology Llc | Surface modified stamper for imprint lithography |
| US8029262B2 (en) * | 2005-04-28 | 2011-10-04 | Sony Corporation | Lubricant composition and article, disk molding stamper, disk molding apparatus, disk forming method, method of forming lubrication coating |
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