CN1576388A - 真空蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及的真空蒸镀装置包括：真空腔室，在该真空腔室的内外升降自如地设置的杆状的蒸发源，工件支承机构，其支承相对于下降到前述真空腔室内的前述蒸发源而配置成包围该蒸发源的工件(W)。前述真空腔室具有固定腔室部以及移动腔室部，所述移动腔室部相对于前述固定腔室部连结分离自如地设置并且安装了前述工件支承机构。在前述蒸发源上升并退避到前述真空腔室外的状态下，任一方的移动腔室部相对于前述固定腔室部水平移动并连结，进行真空蒸镀处理。通过这样的构成，无需升降下盖并使工件支承机构从真空腔室出入，就能够进行真空蒸镀装置的维护。

Description

真空蒸镀装置

技术领域

本发明涉及真空蒸镀装置，其在真空气氛中使从蒸发源放出的蒸发物质堆积在被处理件(工件)表面上，从而涂敷保护膜。

背景技术

电弧离子镀(AIP)法是真空蒸镀法的一种，是指：在真空腔室内设置蒸发源，使其作为阴极，在与阳极之间产生真空电弧放电，使阴极材料从蒸发源蒸发，将其堆积在收纳于真空腔室内的工件的表面上，从而在工件的表面上包覆了保护膜。

作为实施该AIP法的真空蒸镀装置，在例如日本专利第3195492号公报中记载了以下装置，其具有：真空腔室、设于该真空腔室内的杆状蒸发源、工件支承机构，该工件支承机构对以包围该杆状蒸发源的方式配置的工件进行支承。前述真空腔室包括：搭载了前述工件支承机构的下盖、固定了前述杆状蒸发源的腔室主体，前述下盖相对于前述主体升降自如地设置。

在该装置中，为了回收处理完毕的工件，使下盖从腔室主体下降至不产生干涉的位置，在此处使工件支承机构从下盖水平移动到回收区域，在该区域进行回收。又，为了供给未处理的工件，在回收后的工件支承机构上安装了未处理的工件后，将工件支承机构移动到下盖之上，使下盖上升并与腔室主体气密地连结，由此供给到真空腔室内。

又，在公报中，记载有以下的真空蒸镀装置作为其它的装置形式：具有：真空腔室、在该真空腔室的内外升降自如地设置的杆状蒸发源、工件支承机构，该工件支承机构对以包围该杆状蒸发源的方式配置的工件进行支承；在前述真空腔室上设有开口部，所述开口部通过开闭门而气密地开闭自如。在该装置中，前述蒸发源上升退避至真空腔室外之后，能够将搭载了前述工件的工件支承机构穿过前述开口部，从而在真空腔室的内外移动。

在该装置中，为了回收处理完毕的工件，在使前述蒸发源上升退避至真空腔室外之后，打开开闭门，使工件支承机构从前述开口部向真空腔室外水平移动，在腔室外进行回收。又，为了供给未处理的工件，在回收后的工件支承机构上安装了未处理的工件之后，将其向真空腔室内移动并收容于腔室内，关闭开闭门，从而供给到真空腔室内。

在前述任一种类型的真空蒸镀装置中，前述工件支承机构通常都具有载置工件并使其旋转的旋转台，用来均匀地涂敷工件的外周面，通过设于真空腔室的下盖一侧的驱动机构来驱动该旋转台使其旋转。

在使前述下盖升降的类型的真空蒸镀装置中，为了使搭载了工件支承机构的下盖升降，而需要较大的升降装置，且需要大的升降空间。进而，因为需要使工件支承机构能够从下盖移动，并且每次回收·供给工件时都需要连动地连结设于下盖一侧的驱动机构及前述旋转台，所以装置的构造变得复杂。

另一方面，在使蒸发源升降的类型的真空蒸镀装置中，虽然不需要前述真空蒸镀装置那样的大升降装置及升降空间，但是仍然需要使工件支承机构在真空腔室的内外移动，所以装置的构造变得复杂。

又，在任一种类型的真空蒸镀装置中，因为在进行真空腔室的内表面的清洗或对设于真空腔室内的阳极等各种部件进行维护时都受到作业空间的限制，所以作业性差。

发明内容

本发明鉴于相关问题而作出，其目的在于提供一种真空蒸镀装置，无需升降下盖以及使支承工件的工件支承机构从真空腔室出入，且容易对附设于真空腔室的内表面或其内的阳极等的各种部件进行维护。

本发明涉及的真空蒸镀装置在工件的表面上蒸镀从蒸发源蒸发的物质，从而形成保护膜，包括：真空腔室，前述真空腔室具有固定腔室部以及相对于前述固定腔室部连结分离自如地设置的移动腔室部；杆状的蒸发源，其安装在前述固定腔室部上，前述蒸发源设置为在前述真空腔室的内外移动自如；工件支承机构，其安装在前述移动腔室部上，支承相对于移动到前述真空腔室内的前述蒸发源而配置成包围前述蒸发源的前述工件；水平移动机构，其在前述蒸发源移动并退避到前述真空腔室外的状态下，使前述移动腔室部相对于前述固定腔室部连结分离自如地水平移动。

根据前述真空蒸镀装置，因为在真空蒸镀处理后，在使前述蒸发源移动并退避到前述真空腔室外之后，通过水平移动机构能使具有工件支承机构的移动腔室部从固定腔室部分离，并且水平移动到退避位置，所以无需将工件支承机构从真空腔室另外取出，在退避位置上，从与固定腔室部分离了的移动腔室部的大的分割开口部，可以直接从工件支承机构上取出处理完毕的工件以及供给未处理的工件，作业性优良。

在前述真空蒸镀装置中，能够设置2组以上由前述移动腔室部及前述水平移动机构所构成的组。由此，能够交替地使用移动腔室部来进行真空蒸镀处理，能够提高生产性。

又，在前述真空蒸镀装置中，作为前述水平移动机构，能够设置水平旋转移动机构或者水平直线移动机构，所述水平旋转移动机构使前述移动腔室部以旋转轴为中心旋转，并在水平方向上移动；所述水平直线移动机构使前述移动腔室部沿水平方向直线地移动。进而，在设置2组以上由移动腔室部及前述水平移动机构所构成的组的情况下，能够并用地设置前述水平旋转移动机构及水平直线移动机构。通过设置所述水平移动机构，通过旋转运动或直线运动，能够容易地进行移动腔室部与固定腔室部的连结、分离、以及向退避位置的水平移动。

又，可做成以下形式：前述真空腔室整体上具有：筒状的躯干部、闭塞该躯干部的上部开口及下部开口的上盖及下盖，前述固定腔室部包括上盖固定部，所述上盖固定部在前述上盖中包括穿过真空腔室的中心线的中心部，前述移动腔室部包括下盖移动部，所述下盖移动部在下盖中包括穿过真空腔室的中心线的中心部，前述固定腔室部与移动腔室部由穿过前述躯干部的中央部的分割面分割。

通过这样地做成分割面穿过躯干部的中央部的形式，能够在固定腔室部、移动腔室部上容易地形成大的分割开口部。又，因为在固定腔室部、移动腔室部上具有穿过真空腔室的中心线的中心部的上盖固定部和下盖移动部，所以能够在前述上盖的中心部上形成蒸发源的出入口，又，能够在下盖的中心部上设置前述工件支承机构的旋转台的旋转轴，在其附近附设有一直与前述旋转轴连动地连结的旋转驱动机构，所以前述旋转台的安装构造、驱动机构变得简单，能够做成整体平衡且稳定的装置结构。

在前述真空蒸镀装置中，作为前述工件支承机构，能够使用具有旋转台与多个工件保持件的支承机构，所述旋转台以前述蒸发源的中心线为旋转中心；所述工件保持件分别可旋转地直立设置在该旋转台的外周上部。又，能够在前述移动腔室部上设置遮护板，所述遮护板用于抑制从前述蒸发源蒸发的物质附着在前述真空腔室的内表面上。进而，在AIP用真空蒸镀装置的情况下，能够在前述移动腔室部上设置在与前述蒸发源之间产生电弧放电的阳极板。通过预先在移动腔室部上设置阳极板及遮护板等的部件，能够在退避位置上容易地从前述分割开口部进行这些部件的维护或各腔室部的内表面的清洗，所以维护性也优良。

附图说明

图1是第1实施方式涉及的AIP用真空蒸镀装置的整体俯视图，表示使用第2移动腔室部进行真空蒸镀处理的过程。

图2是该真空蒸镀装置的主要部分剖面(图1的A-A线剖视图)。

图3是表示使用该真空蒸镀装置中的第1移动腔室部进行真空蒸镀处理的过程的俯视图。

图4是第2实施方式涉及的AIP用真空蒸镀装置的整体俯视图。

图5是第3实施方式涉及的AIP用真空蒸镀装置的整体俯视图。

图6是表示种种分割形式的真空腔室的侧视示意图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。

图1～图3是按使用顺序表示第1实施方式涉及的AIP用真空蒸镀装置的图，首先，以图1及图2所示的使用状态为基础来说明本装置的构成。

该装置备有：真空腔室1；杆状的蒸发源2，沿着该真空腔室1的中心线而在腔室内外升降自如地设置；工件支承机构3，对相对于配置在前述真空腔室1内的前述蒸发源2以包围该蒸发源2的方式同心状配置的工件进行支承。

前述真空腔室1由以下部件构成：设置在框架4上的固定腔室部6、相对于前述固定腔室部6而连结分离自如地设置的2组移动腔室部7A、7B。为了便于说明，根据需要而将图1的上侧的移动腔室部称为第1移动腔室部7A，将下侧的移动腔室部称为第2移动腔室部7B，在不需要对两者加以区别时就仅称为移动腔室部7。在后述的其它实施方式中也是这样。

相对于前述固定腔室部6的正表面，在横向(图的上下方向)的左右，支柱9A、9B可转动地直立设置在框架4、4上。各支柱9A、9B经由支承臂10A、10B而支承着第1、第2移动腔室部7A、7B，起到作为各移动腔室部7A、7B的旋转轴的作用。各支柱9A、9B通过省略了图示的流体压力缸或马达等的驱动机构而能够旋转，通过各支柱9A、9B的转动而使第1、第2移动腔室部7A、7B相对于固定腔室部6可分别自如地连结分离，并且，在水平方向上旋转移动，使得在与固定腔室部6的连结位置与退避位置之间自如地接近·离开。另外，前述支柱9A、9B与未图示的驱动机构等一起构成水平旋转驱动机构。

在前述固定腔室部6上连结了任一个的移动腔室部7(在图1中为第2腔室部7B)的状态下，前述真空腔室1整体上由以下部件构成：筒状躯干部51、闭塞该躯干部51的上部开口及下部开口的上盖52及下盖53。前述真空腔室1含有在前述上盖52中划分上盖固定部52F与上盖移动部52M的划分线，所述上盖固定部52F包含穿过真空腔室1的中心线的中心部，所述上盖移动部52M是该上盖固定部52F之外的其它区域；前述真空腔室1还含有在前述下盖53中划分下盖移动部53M与下盖固定部53F的划分线，所述下盖移动部53M包含穿过前述中心线的中心部，所述下盖固定部53F是该下盖移动部53M之外的其它区域；具有利用前述躯干部51的中心线(真空腔室1的中心线)以及在该躯干部51内交叉的分割面DP而分割成2部分的形式。在前述上盖52的中心部形成有使前述蒸发源2升降的出入口。前述固定腔室部6由前述上盖固定部52F、下盖固定部53F、以及将其相连的躯干部51的躯干部固定部51F构成，前述移动腔室部7由前述上盖移动部52M、下盖移动部53M、将其相连的躯干部51的躯干部移动部51M构成。在前述固定腔室部6与移动腔室部7的分割部上附设有凸缘11、12，所述凸缘11、12具有用于确保气密性的密封件。

在前述固定腔室部6上附设有用于使蒸发源2在真空腔室1的内外升降的升降组件14。该升降组件14包括：升降导向件15、沿着该升降导向件15而移动自如地设置的滑块16、用于使该滑块16沿着升降导向件15升降的丝杠17、使该丝杠17正反旋转的驱动马达18。在前述滑块16的下部安装蒸发源2、并且将蒸发源2配置在真空腔室1内时，设有闭塞板19，其开设于上盖52(上盖固定部52F)，用于气密地闭塞蒸发源2的出入口。通过前述升降组件14，前述蒸发源2在真空腔室1内的处理位置与真空腔室1外的退避位置之间升降。前述升降组件14不一定非得附设在固定腔室部6上，例如可以附设在框架4上。另外，在图1中省略了前述升降组件14的图示。

在前述移动腔室部7上附设有前述工件支承机构3。该工件支承机构3包括：可围绕真空腔室1的中心线旋转地被支承的旋转台22、等间隔地立设在该旋转台22的外周部上的柱状的工件保持件23。前述旋转台22通过气密且旋转自如地设于中心部的转台支承轴24而被支承，所述中心部穿过前述下盖53(下盖移动部53M)的真空腔室1的中心线。在前述下盖移动部53M的下方附设有驱动马达25，其输出轴与前述转台支承轴24连动地连结。另外，在前述工件保持件23上重合地保持有多个环状的工件W。

前述工件保持件23旋转自如地支承在前述旋转台22上，在其下部设置自转用齿轮27，该齿轮27与经由支承台而安装在下盖移动部53M上的环形齿轮28(在图1中省略了其记载)啮合。因此，若旋转台22旋转，则工件保持件23以转台支承轴24为中心进行公转，并且通过自转用齿轮27的旋转而进行自转。由此，保持于工件保持件23上的工件W的外周面被均匀地涂敷蒸发物质。

又，在前述转台支承轴24上设有用于水冷却旋转台22及前述工件保持件23的冷却水供给排出管30，经由旋转接头31，冷却水被供给、排出。从前述旋转接头31的供给口32供给的冷却水流经：冷却水供给排出管30、转台支承轴24、设于旋转台22及工件保持件23的内部的冷却流路，从而再次回到冷却水供给排出管30，从旋转接头31的排出口33向外部排出。

又，在前述移动腔室部7的下盖移动部53M上安装有遮护板35(在图1中省略了其记载)，以使包围立设于前述旋转台22上的工件保持件23的列周围。通过该遮护板35，在进行真空蒸镀时，能够防止以下问题：从蒸发源2放射的蒸发物质穿过保持于工件保持件23上的工件W的间隙而堆积在真空腔室1的内表面上。虽然不一定非得设置前述遮护板35，但是通过设置遮护板35，能够防止真空腔室1的内表面被蒸发物质所污染，减轻其去除作业，提高维护性。

又，在将蒸发源2配置在真空腔室1内时，在前述工件保持件23的列的内侧、且包围前述蒸发源2的外侧的阳极板36(在图1中省略了其记载)安装在上盖移动部52M上。不一定必须需要前述阳极板36，而可以将连结固定腔室部6与移动腔室部7并使之一体化的真空腔室1本身作为阳极。本来，象本实施方式这样，工件W存在于真空腔室1与蒸发源2之间的情况下，通过设置阳极板36而显著提高电弧的放电稳定性。又，在图例中，工件加热用的加热器37安装在上盖移动部52M上，以使加热部配置在保持于前述工件保持件23上的工件W与遮护板35之间。虽然由于蒸镀处理而在该加热器37上也堆积了蒸镀物质，但通过预先将其设置在移动腔室部7上，而提高加热器7的维护性。

在此，对于上述第1实施方式涉及的真空蒸镀装置的使用例进行说明。

首先，如图1所示，将任一方的移动腔室部(在图1中为第2移动腔室部7B)连结在固定腔室部6上来构成真空腔室1，使用升降组件14使得蒸发源2从真空腔室外的退避位置下降到真空腔室内的处理位置，使真空腔室1的内部成为真空，从而进行真空蒸镀处理。在真空蒸镀处理结束后，使蒸发源2上升并保持于退避位置后，如图3所示，使用水平旋转移动机构使第2移动腔室部7B从固定腔室部6分离，使支柱9B旋转并旋转驱动到退避位置。在退避位置上，从第2移动腔室部7B的分割开口部回收保持于工件保持件23上的处理完毕的工件W，并且安装未处理的工件。又，根据需要，进行附设于第2移动腔室部7B上的阳极板36及遮护板35的清扫及更换等的作业。另一方面，在第2移动腔室部7B从固定腔室部6移动到退避位置后，并且已搭载了未处理的工件，在退避位置使用水平旋转移动机构将待机中第1移动腔室部7A旋转移动到固定腔室部6一侧，如图3所示，与固定腔室部6气密地连结，通过该第1移动腔室部7A与固定腔室部6来构成真空腔室1，下降蒸发源2来进行真空蒸镀处理。以后，同样地交替使用第2移动腔室部7B与第1移动腔室部7A来进行真空蒸镀处理。又，通过使第1移动腔室部7A与第2移动腔室部7B一起旋转移动到退避位置，在固定腔室部6的前表面上形成大的作业空间，能够进行固定腔室部6的清扫、维护等。

这样，因为在移动腔室部7上附设有工件支承机构3来进行工件的供给·取出，附设有阳极板36及遮护板35来在真空蒸镀处理后进行维护，所以在真空蒸镀处理结束后，使移动腔室部7从固定腔室部6分离并旋转移动到退避位置，由此，在该位置，能够容易地从移动腔室部7的开口较大的分割开口部以安装着或取下规定的部件地状态进行各种作业。

又，因为在移动腔室部7上附设有工件支承机构3，所以在一直连动地连结着旋转台22与含有其驱动马达25的驱动机构的状态下能够水平地移动，不需要在每次回收、供给工件时都得切离或连结旋转台22与其驱动机构，能够使旋转台22的驱动机构简化。又，能够使冷却水通过冷却水供给排出管30而从转台支承轴24向旋转台22等送出及从其回收，由此进行旋转台22等的冷却。因此，能够容易地进行旋转台22或工件保持件23的冷却，甚至于工件W的冷却。

又，在上述实施方式中，因为设有2组的移动腔室部7A、7B，所以在将一个移动腔室部(在图1中为第2腔室部7B)连结到固定腔室部6上并进行真空蒸镀处理期间，另一个移动腔室部(在图1中为第1腔室部7A)能够在退避位置进行所需的作业，能够事先准备好下一次的真空蒸镀处理。因此，能够交替地将2组的移动腔室部7A、7B连结到固定腔室部6上加以使用，生产性优良。

以下，虽然对于其它实施方式进行说明，但是对与前述第1实施方式相同的构成标注相同的标记，省略其说明，以不同点为中心进行说明。

图4表示第2实施方式涉及的AIP用真空蒸镀装置的整体配置，该装置与第1实施方式同样地，备有相对于固定腔室部6而左右地旋转移动的2组第1、第2移动腔室部7A、7B，还在其正表面上设有自如地接近离开地水平直线移动的第3移动腔室部7C。该第3移动腔室部7C利用由导引导向件或流体压力缸等构成的水平直线移动机构(省略图示)，能够在与固定腔室部6的连结位置与退避位置之间水平移动。

在该实施方式中，因为设有3组移动腔室部，所以能够依次使用各移动腔室部7A、7B、7C来进行真空蒸镀处理。又，能够交替地使用任意2组的移动腔室部来进行真空蒸镀处理，将剩余的1组作为后备，用于定期检查或需要长时间的维护中。

图5表示第3实施方式的AIP用真空蒸镀装置的整体配置，在该装置中，也相对于一个固定腔室部6而具有3组移动腔室部7A、7B、7C。各移动腔室部通过移动台车等的水平直线移动机构而在第3退避位置P3与第1、第2退避位置P1、P2之间水平自如地移动，所述第3退避位置P3设定在相对于固定腔室部6的连结面成直角方向(连结分离方向)的后方，所述第1、第2退避位置P1、P2相对于前述连结分离方向而设定在右横方向、左横方向上。

在该实施方式中，首先使在第3退避位置P3等待的第3移动腔室部7C水平直线移动到固定腔室部6一侧，与固定腔室部6连结，进行真空蒸镀处理。在真空蒸镀处理后，使该移动腔室部7C后退至第3退避位置P3，使退避在第1退避位置P1并搭载了未处理工件的第1移动腔室部7A经由交叉点C而水平移动到固定腔室部6一侧，与固定腔室部6连结，进行真空蒸镀处理。另一方面，后退到第3退避位置P3的第3移动腔室部7C，在该位置进行处理完毕的工件的回收、未处理工件的供给、适当的维护。若使用了第1移动腔室部7A的真空蒸镀处理结束，则使第1移动腔室部7A移动到第1退避位置P1，在那里进行处理完毕的工件的回收等。另一方面，使退避在第2退避位置P2并搭载了未处理工件的第2移动腔室部7B经由交叉点C而与固定腔室部6连结，进行真空蒸镀处理。这样，能够依次使用第1、第2、第3移动腔室部7A、7B、7C来进行真空蒸镀处理。又，也能够使任一组的移动腔室部(例如7C)保持在退避位置(P3)不动，交替地使用其它2组的移动腔室部来进行真空蒸镀处理。

在上述第3实施形式中，尽管移动腔室部7为3组，但通过设定适当的退避位置，也可以为4组以上。此外，也可以是上述第1实施方式的装置与第4实施方式的装置的组合装置。

在前述各实施方式中，固定腔室部6与移动腔室部7通过从上盖52斜向遍及下盖53的分割面而将真空腔室1的躯干部51分割，但分割面相对于真空腔室1的取法不限于上述的例子。作为分割方式，如图6(1)～(5)所示，固定腔室部6包括在上盖中具有穿过真空腔室1的中心线的中心部的上盖固定部52F，移动腔室部7包括在下盖中具有穿过真空腔室1的中心线的中心部的下盖移动部53M，能够采用由穿过真空腔室1的躯干部51的中央部的分割面来进行分割的各种方式。

即，图6(1)是上述实施方式的分割方式的例子，该图(2)是通过从躯干部的上端到下端将躯干部整体斜向切断的分割面DP来进行分割的例子，该图(3)是通过从躯干部的上端到中央部沿垂直方向切断、并在中央部斜向切断、并从中央部到下端沿垂直方向切断的分割面DP来进行分割的例子，该图(4)是通过从躯干部的上端到中央部沿垂直方向切断、并在中央部横向切断、进而朝向下端沿垂直方向切断的弯曲状的分割面DP来进行分割的例子，该图(5)是通过从躯干部的上端到下部沿垂直方向切断、并在下部沿横向切断躯干部的分割面DP进行分割的例子。

因为在任一种情况下，分割面都通过躯干部51的中央部，所以能够形成大的分割开口部。进而，因为在固定腔室部6上具有包括穿过真空腔室1的中心线的中心部的上盖固定部52F，所以能够在前述中央部上形成蒸发源的出入口，还能够附设使蒸发源升降的升降组件。又，因为在移动腔室部7上也具有包括穿过前述中心线的中心部的下盖移动部53M，所以能够在下盖的中心部上贯通地设置旋转台的转台支承轴，并且附设其旋转驱动部。固定腔室部6与移动腔室部7的连结部(分割开口缘部)其分割方式为：在将移动腔室部7连结在固定腔室部6上之际以全部的部分进行对接(在图6中为(1)～(3))，由此，具有可容易地确保连结部的气密性的优点。又，固定腔室部6与移动腔室部7的分割方式不限于图6所示，例如虽然能够以多个部分来构成移动腔室部7，但是因为构造变得复杂的同时还必须确保各部分之间的气密性，所以真空腔室1的分割方式优选地为2分割。

在上述实施方式中，虽然使用了使移动腔室部沿水平方向移动的水平移动机构，但是其移动方向为大致水平即可。在此所说的水平移动机构中，使移动腔室部沿着从水平方向稍稍倾斜的方向移动也没关系。

虽然上述实施方式是AIP用真空蒸镀装置的例子，但是本发明不限于AIP用，能够适用于由从蒸发源放出的蒸发物质来在工件的表面上形成保护膜的表面处理装置，例如适用于溅镀用真空蒸镀装置。

本发明适用于以下真空蒸镀装置：在真空气氛中使从蒸发源放出的蒸发物质堆积在工件上，从而涂敷保护膜，例如适用于电弧离子镀装置或溅镀装置。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀装置，在工件的表面上蒸镀从蒸发源蒸发的物质，从而形成保护膜，包括：

真空腔室，前述真空腔室具有固定腔室部以及相对于前述固定腔室部连结分离自如地设置的移动腔室部；

杆状的蒸发源，安装在前述固定腔室部上，前述蒸发源设置为在前述真空腔室的内外移动自如；

工件支承机构，安装在前述移动腔室部上，前述工件支承机构支承相对于移动到前述真空腔室内的前述蒸发源而配置成包围前述蒸发源的前述工件；

及水平移动机构，在前述蒸发源移动并退避到前述真空腔室外的状态下，使前述移动腔室部相对于前述固定腔室部连结分离自如地水平移动。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，设有2组以上由前述移动腔室部及前述水平移动机构所构成的组。

3.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述水平移动机构使前述移动腔室部以旋转轴为中心旋转，并使之在水平方向上移动。

4.如权利要求2所述的真空蒸镀装置，在前述2组以上的组的至少1组中，前述水平移动机构使前述移动腔室部以旋转轴为中心旋转，并使之在水平方向上移动。

5.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述水平移动机构使前述移动腔室部沿水平方向直线地移动。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述真空腔室整体上具有：筒状的躯干部、闭塞该躯干部的上部开口及下部开口的上盖及下盖，前述固定腔室部包括上盖固定部，所述上盖固定部在前述上盖中包括穿过真空腔室的中心线的中心部，前述移动腔室部包括下盖移动部，所述下盖移动部在下盖中包括穿过真空腔室的中心线的中心部，前述固定腔室部与移动腔室部由穿过前述躯干部的中央部的分割面分割。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述工件支承机构具有旋转台与多个工件保持件，所述旋转台以前述蒸发源的中心线为旋转中心；所述工件保持件分别可旋转地直立设置在前述旋转台的外周上部上。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述移动腔室部备有遮护板，所述遮护板用于防止从前述蒸发源蒸发的物质附着在前述真空腔室的内表面上。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述移动腔室部备有阳极板，所述阳极板用于在与前述蒸发源之间产生电弧放电。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀装置，前述移动腔室部备有加热工件用的加热器。

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