CN102994957B - 无扩散泵式复合膜镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成。

Description

无扩散泵式复合膜镀膜机

技术领域

本发明涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。 

背景技术

在卷绕式真空镀膜机中，装有送料辊、冷却滚筒，以及展平辊。送料辊上装有基体膜卷。基体膜卷上的基体膜依次绕过冷却滚筒、展平辊。通过展平辊对基体膜进行展平，在展平后对通过蒸发源将金属蒸汽蒸到基体膜上，完成镀膜操作。 

在镀膜工作中至少有送料辊、冷却滚筒、展平辊，三个旋转部件需要精确配合工作。因为基体膜非常薄，非常脆弱，在这些旋转部件进料速度出现差池后，很容易造成基体膜撕裂的故障。要精确控制三个部件的进料速度完全同步非常困难，需要复杂的机械机构，以及自动化系统进行支持，会带来成本高。 

另外传统的真空镀膜机，采用的真空泵都是扩散泵。扩散泵存在耗能高、启动时间长、抽真空效果差等问题。扩散泵所消耗的能耗，已经占据了整个真空镀膜机的能耗的一大部分。 

发明内容

本发明的目的在于，提供一种无扩散泵式复合膜镀膜机，以解决上述技术问题。 

本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现： 

无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统。 

罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性， 并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。 

所述罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，所述高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成； 

所述罗茨泵单体包括一罗茨泵主体，所述罗茨泵主体设有一进气口，以及一出气口，所述罗茨泵主体包括一罗茨泵腔，所述罗茨泵腔底部设有一底座，所述进气口和所述出气口分别设置在所述罗茨泵腔两侧。 

原有的罗茨泵单体的进气口和出气口都是分别设置在上方和下方。在将多个罗茨泵单体组合成高真空多级罗茨泵时，因为受到高度限制，只能是将多个罗茨泵单体水平放置。多个水平放置的罗茨泵单体连接过程中需要用到大量连接管路以及转弯接头。连接管路和转弯接头造成系统复杂化，同时会为空气流动造成阻力，影响抽真空效果。 

本发明将进气口和出气口设置在两侧，各个罗茨泵单体间可以较为直接的进行多级连接，省去大量连接管路和转弯接头，进而简化系统，降低空气流通阻力，提高抽真空效果。 

所述进气口设有锁紧接头，所述出气口设有与所述锁紧接头配套的锁紧接口。 

组合成高真空多级罗茨泵过程中，在连接多个罗茨泵主体时，可以直接将上级罗茨泵主体的所述出气口上的所述锁紧接口，连接次级罗茨泵主体的所述进气口的所述锁紧接头。从而直接省略连接管路，进一步简化结构，降低空气流通阻力，和提供抽真空效果。 

所述锁紧接头与所述锁紧接口距离所述底座的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接对接安装。 

所述罗茨泵主体还包括一提供动力的电机，所述电机设有电机外壳，所述电机外壳为密封腔体结构，所述电机外壳与所述罗茨泵腔联通。 

因为将电机封存在所述电机外壳内，而所述电机外壳与所述述罗茨泵腔联通，所以可以省去电机转轴与罗茨泵主体内的转子连接时使用的密封系统，并提高系统可靠性，以及提供工作效率。但是这会使电机处于真空状态下运行。所以需要使用真空电机。 

所述电机采用一水冷式真空密封电机，所述水冷式真空密封电机包括转子和定子，所述定子上设有由导线绕制而成的定子线圈，所述导线外套有塑 料套管。通过塑料套管将导线密封，进而实现与外部的绝缘，杜绝因为电离离子或者导电粒子的存在造成短路烧毁电机的风险。 

所述转子上设有有导线绕制而成的转子线圈，绕制所述转子线圈的导线外套有塑料套管。 

也可以，所述转子采用永磁转子。水冷式真空密封电机构成永磁电机结构，以节省能源，并减小提交。 

还包括一水冷系统，所述水冷系统包括一水循环系统和一驱动水循环的驱动系统，所述水循环系统包括一散热管，所述散热管绕制在所述定子上。 

通过散热管吸收定子上的热量，进而避免定子因无法散热而造成过热，损坏设备，甚至烧毁。 

所述塑料套管采用橡胶套管。以保证结构牢固。 

所述镀膜室内设有高低可调节蒸发箱系统，所述蒸发箱系统内设有作为蒸发源的蒸发箱，所述蒸发箱设置在一蒸发箱支架上，所述蒸发箱通过一升降机构连接所述蒸发箱支架。 

通过上述设计，允许蒸发箱在升降机构的作用下调整高度，以便于实现对镀层的厚度、均匀度调整。相对一传统的结构，本发明所生产的产品更加丰富。 

所述升降机构采用一电动升降机构，所述电动升降机构包括一连接所述蒸发箱的升降部件，所述升降部件通过一减速机构连接一伺服电机，所述伺服电机的控制端连接一控制系统，所述控制系统设有一人机交互机构。 

通过人机交互系统，控制伺服电机的工作状态，进而控制升降部件升降，再进而控制所述蒸发箱升降。 

所述电动升降机构还设有一定位锁紧机构，所述定位锁紧机构设有一锁紧部件，所述锁紧部件连接一电动机构，所述电动机构的控制端连接所述控制系统，受所述控制系统控制。 

在蒸发箱的高度调整到合适位置时，通过所述锁紧机构对升降机构进行锁紧，进而实现牢固定位，以便于稳定工作。 

所述镀膜室内设有送料辊、冷却滚筒、展平辊，所述展平辊采用滑差式展平辊，所述滑差式展平辊包括一展平辊辊体，所述展平辊辊体连接转轴， 

所述展平辊辊体包括一辊筒、一辊芯，所述辊筒为筒状，所述辊芯为管 状；所述辊筒套接在所述辊芯外，构成滑动连接； 

所述转轴连接到所述辊芯上。 

通过上述设计，将展平辊辊体分成辊筒与辊芯两部分，并且构成滑动连接关系。在展平辊主体与其他部件在进料速度上出现不匹配时，在基体膜的拉力下，所述辊筒相对于辊芯产生相对滑动，在转动关系上产生滑差，通过滑差消除展平辊主体与其他部件在进料速度上出现的不匹配关系，从而避免基体膜在拉力下损坏的可能性。 

所述辊筒套接在所述辊芯外，并在所述辊筒套接与所述辊芯之间填充阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。 

还可以，所述辊筒与所述辊芯之间设有阻尼器件，通过所述阻尼器件所述辊筒与所述辊芯连接在一起。 

所述阻尼器件可以采用轴承，轴承的滚珠与轴承支架间充有阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。 

通过上述设计，有效消除了展平辊与其他转动部件在进料时因为进料速度不匹配，造成对基体膜不匹配的问题。相对于以往通过复杂的机械机构和自动化系统进行支持的方式，具有结构简单、成本低、性能稳定等特点。 

所述冷却滚筒采用伸缩冷却滚筒，包括一辊筒套、一冷却滚筒芯，所述辊筒套在所述冷却滚筒芯外，所述辊筒套为筒状，所述冷却滚筒芯为管状；所述辊筒套接在所述辊芯外； 

还包括一冷却液输送管路，所述冷却液输送管路呈螺旋状绕制在所述冷却滚筒芯外侧。 

上述设计中通过螺旋状的冷却液输送管路，为冷却滚筒芯输送冷却液，进而使套在外部的辊筒套获得冷却，再进而使绕在上面的基体膜获得冷却。 

所述冷却液输送管路采用金属波纹管。可以采用钢制的金属波纹管。通过金属波纹管上的波纹结构的弹性，吸收掉热胀冷缩带来的长度变化，避免因为长度变化造成的设备损坏。 

所述冷却液输送管路固定在所述冷却滚筒芯外侧，所述辊筒套在所述冷却液输送管路外，并与所述冷却滚筒芯转动连接。所述辊筒套围绕所述冷却滚筒芯转动。 

还可以是，所述冷却滚筒芯上设有一转轴，所述冷却滚筒芯与所述辊筒 套固定连接。伸缩冷却滚筒通过转轴实现转动。 

所述蒸发箱上排列有至少两个蒸发舟，所述蒸发箱上方为长方形结构，所述蒸发舟设有长方形开口； 

至少两个所述蒸发舟在所述蒸发箱上方的长方形结构中斜向平行排布。 

传统的蒸发舟放置方式都是与长方形结构的宽度方向一致。这种排布方式因为在需要镀膜的膜体传送过程中，存在镀膜间隙，可能会存在镀层不均匀的问题，并且镀层厚度难以精确控制。会有较多金属蒸汽碰到蒸发舟壁，并凝固在上面。不便于提高金属蒸汽的利用率。因为金属蒸汽会散发到周围空间，所以会对周围环境造成污染。采用本发明中的技术后，则解决了上述问题。 

所述蒸发舟排成两排，一排靠近所述长方形结构的左侧一边，另一排靠近所述长方形结构的右侧一边；且两排中的各所述蒸发舟交错排布。以避免膜体的局部镀膜部分过热。 

所述蒸发箱外侧设有至少两个送丝盘，所述蒸发箱内侧设有至少导向支架，所述导向支架设有进丝口和出丝口，所述出丝口朝向所述蒸发舟。在工作过程中，通过出丝口不断为所述蒸发舟送丝。 

所述送丝盘上绕制有铝丝。为所述蒸发舟内不断提供铝丝，进而产生铝蒸汽，在膜体上镀上铝膜镀层。 

所述展平辊采用热涨式铝导辊，包括一铝导辊基体，所述铝导辊基体外附着有一铁质层，所述铁质层外镀有硬质金属层。所述硬质金属层可以是镍层，或者是钛层。 

本发明采用铝制的铝制导辊基体，因为铝具有密度小的特点，因此作为基体能够满足质量轻的要求。可以使导辊具有较小的质量，进而就有很小的惯性，能够迅速调整转动速度，以迅速适应镀膜时产生的各种状况。 

铝硬度低，很容易划伤，容易损坏，硬度难以满足要求。为了提高硬度，需要在外层镀硬度高的金属层，但是铝很容易氧化，很难在铝层外镀上金属。本发明中在铝导辊基体外附着了一层铁质层，将铁质层作为过渡层，以便于镀上硬质金属层，比如镍金属层或者钛金属层。 

附图说明

图1为高真空多级罗茨泵系统的结构示意图； 

图2为水冷式真空密封电机定子部分剖视图； 

图3为高低可调节蒸发箱系统的结构示意图； 

图4为滑差式展平辊主视结构示意图； 

图5为滑差式展平辊侧视结构示意图； 

图6为滑差式展平辊内部结构示意图； 

图7为蒸发舟排布结构示意图； 

图8为热涨式铝导辊结构示意图。 

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本发明。 

参照图1，无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。 

罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统a，高真空多级罗茨泵系统a由至少两台罗茨泵单体1a逐级连接构成。罗茨泵单体1a包括一罗茨泵主体，罗茨泵主体设有一进气口2a，以及一出气口3a，罗茨泵主体包括一罗茨泵腔5a，罗茨泵腔5a底部设有一底座4a，进气口2a和出气口3a分别设置在罗茨泵腔5a两侧。 

原有的罗茨泵单体1a的进气口2a和出气口3a都是分别设置在上方和下方。在将多个罗茨泵单体1a组合成高真空多级罗茨泵时，因为受到高度限制，只能是将多个罗茨泵单体1a水平放置。多个水平放置的罗茨泵单体1a连接过程中需要用到大量连接管路以及转弯接头。连接管路和转弯接头造成系统复杂化，同时会为空气流动造成阻力，影响抽真空效果。 

本发明将进气口2a和出气口3a设置在两侧，各个罗茨泵单体1a间可以较为直接的进行多级连接，省去大量连接管路和转弯接头，进而简化系统，降低空气流通阻力，提高抽真空效果。进气口2a设有锁紧接头，出气口3a 设有与锁紧接头配套的锁紧接口。 

组合成高真空多级罗茨泵过程中，在连接多个罗茨泵主体时，可以直接将上级罗茨泵主体的出气口3a上的锁紧接口，连接次级罗茨泵主体的进气口2a的锁紧接头。从而直接省略连接管路，进一步简化结构，降低空气流通阻力，和提供抽真空效果。锁紧接头与锁紧接口距离底座4a的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接对接安装。 

罗茨泵主体还包括一提供动力的电机，电机设有电机外壳，电机外壳为密封腔体结构，电机外壳与罗茨泵腔5a联通。因为将电机封存在电机外壳内，而电机外壳与述罗茨泵腔5a联通，所以可以省去电机转轴与罗茨泵主体内的转子连接时使用的密封系统，并提高系统可靠性，以及提供工作效率。但是这会使电机处于真空状态下运行。所以需要使用真空电机。 

参照图2，电机采用一水冷式真空密封电机，水冷式真空密封电机包括转子和定子，定子上设有由导线b61绕制而成的定子线圈，导线b61外套有塑料套管b62。通过塑料套管b62将导线b61密封，进而实现与外部的绝缘，杜绝因为电离离子或者导电粒子的存在造成短路烧毁电机的风险。 

转子上设有有导线b61绕制而成的转子线圈，绕制转子线圈的导线b61外套有塑料套管b62。 

也可以，转子采用永磁转子。水冷式真空密封电机构成永磁电机结构，以节省能源，并减小提交。 

还包括一水冷系统，水冷系统包括一水循环系统和一驱动水循环的驱动系统，水循环系统包括一散热管b63，散热管b63绕制在定子上。通过散热管b63吸收定子上的热量，进而避免定子因无法散热而造成过热，损坏设备，甚至烧毁。塑料套管b62采用橡胶套管。以保证结构牢固。 

参照图3，镀膜室内设有高低可调节蒸发箱系统，蒸发箱系统内设有作为蒸发源的蒸发箱c1，蒸发箱c1设置在一蒸发箱支架上，蒸发箱c1通过一升降机构连接蒸发箱支架。通过上述设计，允许蒸发箱c1在升降机构的作用下调整高度，以便于实现对镀层的厚度、均匀度调整。相对一传统的结构，本发明所生产的产品更加丰富。 

升降机构采用一电动升降机构，电动升降机构包括一连接蒸发箱c1的升降部件，升降部件通过一减速机构连接一伺服电机，伺服电机的控制端连接 一控制系统，控制系统设有一人机交互机构。通过人机交互系统，控制伺服电机的工作状态，进而控制升降部件升降，再进而控制蒸发箱c1升降。 

电动升降机构还设有一定位锁紧机构，定位锁紧机构设有一锁紧部件，锁紧部件连接一电动机构，电动机构的控制端连接控制系统，受控制系统控制。在蒸发箱c1的高度调整到合适位置时，通过锁紧机构对升降机构进行锁紧，进而实现牢固定位，以便于稳定工作。 

参照图4、图5、图6，镀膜室内设有送料辊、冷却滚筒、展平辊，展平辊采用滑差式展平辊，滑差式展平辊包括一展平辊辊体d1，展平辊辊体d1连接转轴d11，展平辊辊体d1包括一辊筒d2、一辊芯d3，辊筒d2为筒状，辊芯d3为管状；辊筒d2套接在辊芯d3外，构成滑动连接；转轴d11连接到辊芯d3上。 

通过上述设计，将展平辊辊体d1分成辊筒d2与辊芯d3两部分，并且构成滑动连接关系。在展平辊主体与其他部件在进料速度上出现不匹配时，在基体膜的拉力下，辊筒d2相对于辊芯d3产生相对滑动，在转动关系上产生滑差，通过滑差消除展平辊主体与其他部件在进料速度上出现的不匹配关系，从而避免基体膜在拉力下损坏的可能性。 

辊筒d2套接在辊芯d3外，并在辊筒d2套接与辊芯d3之间填充阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。还可以，辊筒d2与辊芯d3之间设有阻尼器件，通过阻尼器件辊筒d2与辊芯d3连接在一起。阻尼器件可以采用轴承，轴承的滚珠与轴承支架间充有阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。 

通过上述设计，有效消除了展平辊与其他转动部件在进料时因为进料速度不匹配，造成对基体膜不匹配的问题。相对于以往通过复杂的机械机构和自动化系统进行支持的方式，具有结构简单、成本低、性能稳定等特点。 

冷却滚筒采用伸缩冷却滚筒，包括一辊筒套、一冷却滚筒芯，辊筒套在冷却滚筒芯外，辊筒套为筒状，冷却滚筒芯为管状；辊筒套接在辊芯外；还包括一冷却液输送管路，冷却液输送管路呈螺旋状绕制在冷却滚筒芯外侧。 

上述设计中通过螺旋状的冷却液输送管路，为冷却滚筒芯输送冷却液，进而使套在外部的辊筒套获得冷却，再进而使绕在上面的基体膜获得冷却。 

冷却液输送管路采用金属波纹管。可以采用钢制的金属波纹管。通过金属波纹管上的波纹结构的弹性，吸收掉热胀冷缩带来的长度变化，避免因为 长度变化造成的设备损坏。冷却液输送管路固定在冷却滚筒芯外侧，辊筒套在冷却液输送管路外，并与冷却滚筒芯转动连接。辊筒套围绕冷却滚筒芯转动。 

还可以是，冷却滚筒芯上设有一转轴，冷却滚筒芯与辊筒套固定连接。伸缩冷却滚筒通过转轴实现转动。 

参照图7，蒸发箱c1上排列有至少两个蒸发舟c2，蒸发箱c1上方为长方形结构，蒸发舟c2设有长方形开口。至少两个蒸发舟c2在蒸发箱c1上方的长方形结构中斜向平行排布。 

传统的蒸发舟c2放置方式都是与长方形结构的宽度方向一致。这种排布方式因为在需要镀膜的膜体传送过程中，存在镀膜间隙，可能会存在镀层不均匀的问题，并且镀层厚度难以精确控制。会有较多金属蒸汽碰到蒸发舟c2壁，并凝固在上面。不便于提高金属蒸汽的利用率。因为金属蒸汽会散发到周围空间，所以会对周围环境造成污染。采用本发明中的技术后，则解决了上述问题。 

蒸发舟c2排成两排，一排靠近长方形结构的左侧一边，另一排靠近长方形结构的右侧一边；且两排中的各蒸发舟c2交错排布。以避免膜体的局部镀膜部分过热。蒸发箱c1外侧设有至少两个送丝盘，蒸发箱c1内侧设有至少导向支架，导向支架设有进丝口和出丝口，出丝口朝向蒸发舟c2。在工作过程中，通过出丝口不断为蒸发舟c2送丝。送丝盘上绕制有铝丝。为蒸发舟c2内不断提供铝丝，进而产生铝蒸汽，在膜体上镀上铝膜镀层。 

参照图8，展平辊采用热涨式铝导辊，包括一铝导辊基体e1，铝导辊基体e1外附着有一铁质层e2，铁质层e2外镀有硬质金属层e3。硬质金属层e3可以是镍层，或者是钛层。 

本发明采用铝制的铝制导辊基体，因为铝具有密度小的特点，因此作为基体能够满足质量轻的要求。可以使导辊具有较小的质量，进而就有很小的惯性，能够迅速调整转动速度，以迅速适应镀膜时产生的各种状况。 

铝硬度低，很容易划伤，容易损坏，硬度难以满足要求。为了提高硬度，需要在外层镀硬度高的金属层，但是铝很容易氧化，很难在铝层外镀上金属。本发明中在铝导辊基体e1外附着了一层铁质层e2，将铁质层e2作为过渡层，以便于镀上硬质金属层e3，比如镍金属层或者钛金属层。 

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。 

Claims (9)

1.无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统；

所述镀膜室内设有送料辊、冷却滚筒、展平辊，所述展平辊采用滑差式展平辊，所述滑差式展平辊包括一展平辊辊体，所述展平辊辊体连接转轴，

所述展平辊辊体包括一辊筒、一辊芯，所述辊筒为筒状，所述辊芯为管状；所述辊筒套接在所述辊芯外，构成滑动连接；

所述转轴连接到所述辊芯上；

所述辊筒套接在所述辊芯外，并在所述辊筒套接与所述辊芯之间填充阻尼油。

2.根据权利要求1所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，所述高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成；

所述罗茨泵单体包括一罗茨泵主体，所述罗茨泵主体设有一进气口，以及一出气口，所述罗茨泵主体包括一罗茨泵腔，所述罗茨泵腔底部设有一底座，所述进气口和所述出气口分别设置在所述罗茨泵腔两侧。

3.根据权利要求2所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，

所述罗茨泵主体还包括一提供动力的电机，所述电机设有电机外壳，所述电机外壳为密封腔体结构，所述电机外壳与所述罗茨泵腔联通；

所述电机采用一水冷式真空密封电机，所述水冷式真空密封电机包括转子和定子，所述定子上设有由导线绕制而成的定子线圈，所述导线外套有塑料套管；

还包括一水冷系统，所述水冷系统包括一水循环系统和一驱动水循环的驱动系统，所述水循环系统包括一散热管，所述散热管绕制在所述定子上。

4.根据权利要求1所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述镀膜室内设有高低可调节蒸发箱系统，所述高低可调节蒸发箱系统内设有作为蒸发源的蒸发箱，所述蒸发箱设置在一蒸发箱支架上，所述蒸发箱通过一升降机构连接所述蒸发箱支架。

5.根据权利要求1所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述冷却滚筒采用伸缩冷却滚筒，包括一辊筒套、一冷却滚筒芯，所述辊筒套在所述冷却滚筒芯外，所述辊筒套为筒状，所述冷却滚筒芯为管状；所述辊筒套接在所述辊芯外；

还包括一冷却液输送管路，所述冷却液输送管路呈螺旋状绕制在所述冷却滚筒芯外侧。

6.根据权利要求4所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述蒸发箱上排列有至少两个蒸发舟，所述蒸发箱上方为长方形结构，所述蒸发舟设有长方形开口；

至少两个所述蒸发舟在所述蒸发箱上方的长方形结构中斜向平行排布。

7.根据权利要求5所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述展平辊采用热涨式铝导辊，包括一铝导辊基体，所述铝导辊基体外附着有一铁质层，所述铁质层外镀有硬质金属层。

8.根据权利要求7所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述硬质金属层为镍层。

9.根据权利要求7所述的无扩散泵式复合膜镀膜机，其特征在于，所述硬质金属层为钛层。