CN218345535U - 一种二极管加工用的真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种二极管加工用的真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域；为了对二极管表面进行有效除尘；包括真空镀膜箱、用于对二极管主体进行除尘的除尘部和对二极管主体进行放置的放置部，所述除尘部包括：驱动电机：其固定于真空镀膜箱底部外壁；调节板：其通过销固定于驱动电机输出轴外壁，所述调节板表面开设有腰型孔二。本实用新型通过设置有吹气组件可以在二极管主体进行真空镀膜之前，可以对二极管主体表面附着的灰尘进行清理，从而可以保证后续对其进行镀膜的效果，通过设置有腰型孔二可以对限位片二进行拨动，从而限位片二可以在限位杆二的导向作用下做直线运动，可以提高吹气组件在横向上的吹风范围。

Description

一种二极管加工用的真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种二极管加工用的真空镀膜装置。

背景技术

二极管主要是一种常见的电子元件，本身具有两个电极，且只能允许电流由单一方向流过，在对二极管进行加工生产的过程中，目前为了增加二极管整体的导电性，在二极管加工完毕后需要利用真空镀膜装置对其表面进行镀膜，真空镀膜主要有蒸发和溅射两种方式，其中蒸发包括有电子枪加热蒸发镀膜；

目前二极管在加工完毕后，会直接暴露在空气中，因此使得空气中含有的灰尘会附着在二极管表面，因此无法有效保证镀膜效果，影响二极管的良品率，因此需要设计一种真空镀膜装置，可以有效在镀膜之前对二极管表面附着的灰尘进行清理，提高二极管镀膜后的良品率；

经检索，中国专利申请号为CN202110415140.5的专利，公开了一种二极管生产用高效智能真空镀膜装置，包括智能真空镀膜机、操作显示屏和镀膜箱，所述智能真空镀膜机上设置有操作显示屏，且智能真空镀膜机的内部设置有镀膜箱，所述镀膜箱的内部安装有支撑轴，且支撑轴与智能真空镀膜机固定连接，所述支撑轴的外表面开设有定位槽，且支撑轴的外侧套接安装有连接块，所述连接块的内壁焊接固定安装有定位块，且定位块位于定位槽的内部。

上述专利中的一种二极管生产用高效智能真空镀膜装置存在以下不足：二极管在加工完毕后，会直接暴露在空气中，因此使得空气中含有的灰尘会附着在二极管表面，因此无法有效保证镀膜效果，影响二极管的良品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种二极管加工用的真空镀膜装置，包括真空镀膜箱、用于对二极管主体进行除尘的除尘部和对二极管主体进行放置的放置部，所述除尘部包括：

驱动电机：其固定于真空镀膜箱底部外壁；

调节板：其通过销固定于驱动电机输出轴外壁，所述调节板表面开设有腰型孔二；

竖板：其固定于真空镀膜箱底部内壁；

限位杆二：其活动连接于竖板表面开设的通孔内壁，限位杆二一端固定有驱动杆二，所述驱动杆二圆周外壁通过销固定有限位片二；

框架：其固定于限位片二顶部外壁；

T型杆：其活动连接于框架顶部开设的通孔内壁；

弹簧：其套接于T型杆圆周外壁；

安装块：其固定于T型杆顶部外壁，安装块表面固定有吹气组件；

弧形板：其固定于真空镀膜箱一侧内壁，且弧形板表面开设有弧形孔；

导向杆：其固定于安装块一侧外壁。

优选的：所述吹气组件包括：

安装块：其插接于安装块表面开设的通孔内壁；

控制阀一：其通过螺纹连接于吹气管一端；

吹风机：其固定于真空镀膜箱一侧外壁，所述控制阀一远离吹气管的一端通过螺纹连接于吹风机一端。

优选的：所述竖板表面的通孔内壁活动连接有限位杆一，所述限位杆一一端固定有驱动杆一。

作为本实用新型优选的：所述驱动杆一圆周外壁通过销固定有限位片，所述驱动杆一顶部外壁活动连接有卡板，所述调节板表面开设有腰型孔一。

作为本实用新型一种优选的：所述放置部包括放置架和插孔，所述插孔开设于放置架表面。

作为本实用新型一种优选的：所述真空镀膜箱顶部外壁固定有真空管，所述真空管一端固定有控制阀二。

进一步的：所述控制阀二远离真空管的一端固定有真空泵，所述真空泵远离控制阀二的一端固定有过滤筒。

作为本实用新型进一步的方案：所述真空镀膜箱两侧内壁固定有同一个滑杆，所述滑杆外壁固定有齿条，所述驱动杆一圆周外壁通过键连接有齿轮。

作为本实用新型再进一步的方案：所述真空镀膜箱顶部固定有镀膜电子枪组件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述真空镀膜箱一侧外壁通过合页连接有盖板。

本实用新型的有益效果为：

1.通过设置有吹气组件可以在二极管主体进行真空镀膜之前，可以对二极管主体表面附着的灰尘进行清理，从而可以保证后续对其进行镀膜的效果。

2.通过设置有腰型孔二可以对限位片二进行拨动，从而限位片二可以在限位杆二的导向作用下做直线运动，从而可以提高吹气组件在横向上的吹风范围。

3.通过设置有弧形孔可以对导向杆的移动路径进行导向，从而可以在安装块可以在横向上进行移动的过程中，可以在竖直方向上做弧线运动，从而可以进一步提高吹气组件的吹气范围。

4.通过设置有齿条可以在驱动杆一横向移动的过程中，可以带动齿轮进行旋转，进而可以带动放置架进行旋转，从而可以保证吹气组件可以对放置架上的二极管主体进行均匀吹动。

5.通过设置有插孔可以对二极管主体的引脚部位进行放置，从而可以快速对二极管主体进行取放，从而便于一次性对多个二极管主体进行真空镀膜。

附图说明

图1是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的背面结构示意图；

图3是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的剖视结构示意图；

图4是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的除尘组件整体结构示意图；

图5是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的二极管放置组件结构示意图；

图6是本实用新型提出的一种二极管加工用的真空镀膜装置的吹气组件爆炸结构示意图。

图中：1-真空镀膜箱、2-过滤筒、3-真空泵、4-镀膜电子枪组件、 5-盖板、6-真空管、7-控制阀一、8-吹风机、9-控制阀二、10-安装块、11-吹气管、12-弧形板、13-放置架、14-腰型孔一、15-滑杆、 16-调节板、17-限位杆一、18-竖板、19-驱动电机、20-限位杆二、 21-腰型孔二、22-二极管主体、23-插孔、24-驱动杆一、25-限位片、 26-齿轮、27-齿条、28-卡板、29-弧形孔、30-T型杆、31-弹簧、32- 限位片二、33-驱动杆二、34-导向杆、35-框架。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

实施例1：

一种二极管加工用的真空镀膜装置，如图1-6所示，包括真空镀膜箱1、用于对二极管主体22进行除尘的除尘部和对二极管主体22 进行放置的放置部，所述除尘部包括：

驱动电机19：其通过螺栓固定于真空镀膜箱1底部外壁；

调节板16：其通过销固定于驱动电机19输出轴外壁，所述调节板16表面开设有腰型孔二21；

竖板18：其通过螺栓固定于真空镀膜箱1底部内壁；

限位杆二20：其滑动连接于竖板18表面开设的通孔内壁，限位杆二20一端通过螺栓固定有驱动杆二33，所述驱动杆二33圆周外壁通过销固定有限位片二32；

框架35：其通过螺栓固定于限位片二32顶部外壁；

T型杆30：其滑动连接于框架35顶部开设的通孔内壁；

弹簧31：其套接于T型杆30圆周外壁，且弹簧31两端分别焊接于框架35顶部内壁和T型杆30底部内壁；

安装块10：其通过螺栓固定于T型杆30顶部外壁，安装块10 表面固定有吹气组件；

弧形板12：其通过螺栓固定于真空镀膜箱1一侧内壁，且弧形板12表面开设有弧形孔29；

导向杆34：其通过螺栓固定于安装块10一侧外壁；

通过设置有驱动电机19可以带动调节板16进行正反转，利用腰型孔二21可以在调节板16旋转的过程中对限位片二32进行拨动，从而可以将调节板16的旋转运动转化为限位片二32的直线运动，利用限位杆二20可以对限位片二32的移动路径进行导向，从而使得固定在安装块10上的吹气组件可以沿着横向进行往复移动，从而可以在水平方向上提高吹气组件的吹气范围，从而可以对多个二极管主体 22表面附着的灰尘进行清理，从而可以保证二极管主体22表面的整洁度，提高镀膜效果，通过设置有弧形孔29可以在安装块10横向移动的过程中，可以对导向杆34的移动路径进行导向，使得安装块10 在直线运动的同时可以沿着弧形孔29的轨迹做弧线运动，从而可以在竖向上控制吹气组件上下进行移动，从而可以进一步提高吹气组件的吹气范围。

优选地，所述吹气组件包括：

安装块10：其插接于安装块10表面开设的通孔内壁；

控制阀一7：其通过螺纹连接于吹气管11一端；

吹风机8：其通过螺栓固定于真空镀膜箱1一侧外壁，所述控制阀一7远离吹气管11的一端通过螺纹连接于吹风机8一端；

通过设置有吹风机8可以向吹气管11内鼓入空气，从而可以利用安装块10对吹气管11表面附着的灰尘进行清理。

为了对二极管主体22进行放置；如图4-5所示，所述放置部包括放置架13和插孔23，所述插孔23开设于放置架13表面；

通过设置有插孔23便于将二极管主体22的引脚部位进行插入，从而可以对二极管主体22进行快速安放，所述放置架13为多层结构，从而可以提高单次对二极管主体22进行真空镀膜的数量。

为了驱动放置架13做直线运动；如图4-5所示，所述竖板18表面的通孔内壁滑动连接有限位杆一17，所述限位杆一17一端通过螺栓固定有驱动杆一24，所述驱动杆一24圆周外壁通过销固定有限位片25，所述驱动杆一24顶部外壁转动连接有卡板28，所述调节板 16表面开设有腰型孔一14；

通过设置有卡板28可以对放置架13进行支撑，从而便于对放置架13进行取放，卡板28具有磁性，可以对放置架13起到吸附作用，从而可以保证放置架13在移动过程中的稳定性，利用腰型孔一14可以在其正反转的过程中可以对驱动杆一24的运动轨迹进行导向，从而可以将腰型孔一14的旋转运动转化为驱动杆一24的直线运动，从而使得吹气组件和放置架13之间可以进行反向运动，从而使得吹气管11可以对放置架13上安放的二极管主体22表面的灰尘进行清理。

为了对真空镀膜箱1内部进行抽真空；如图1所示，所述真空镀膜箱1顶部外壁通过螺栓固定有真空管6，所述真空管6一端通过螺栓固定有控制阀二9，所述控制阀二9远离真空管6的一端通过螺栓固定有真空泵3，所述真空泵3远离控制阀二9的一端通过螺栓固定有过滤筒2；

通过设置有真空泵3可以对真空镀膜箱1内部进行抽真空作业，同时在抽真空的过程中可以将二极管主体22表面的灰尘通过真空管 6导入到过滤筒2内进行吸附，所述过滤筒2内部填充有活性炭，从而具有较好的吸附性。

为了对二极管主体22进行真空镀膜；如图1所示，所述真空镀膜箱1顶部通过螺栓固定有镀膜电子枪组件4；

通过设置有镀膜电子枪组件4可以可以对二极管主体22实现镀膜，所述镀膜电子枪组件4为一个组件，包括有镀膜电子枪主体、储料箱和出料管，其中储料箱用于对待镀材料进行存储，其工作原理为利用镀膜电子枪所射出之电子束轰击待镀材料,将高能电子射束之动能转为熔化待镀材料之热能,同时利用电流大小控制热电子数目也可精密调控其蒸发速率，镀膜电子枪镀膜技术为已知现有技术，因此说明书中不再做过多阐述，其中镀膜电子枪镀膜技术属于热蒸发镀膜范畴。

为了对真空镀膜箱1实现开合；如图1所示，所述真空镀膜箱1 一侧外壁通过合页连接有盖板5；

通过设置有盖板5可以对真空镀膜箱1进行密封。

本实施例在使用时，首先将需要进行真空镀膜的二极管主体22 的引脚部位依次穿过放置架13上开设插孔23内，接着将放置架13 放置在卡板28上，之后将盖板5关闭，接着启动吹风机8的同时打开控制阀一7，使得吹风机8将空气通过吹气管11导入到真空镀膜箱1内部，同时启动驱动电机19，使得驱动电机19带动调节板16 做一定角度的正反转运动，利用调节板16上的腰型孔二21可以对限位片二32进行拨动，从而使得吹气管11可以在横向上做直线运动，同时利用弧形孔29可以对导向杆34的运动轨迹进行导向，从而使得吹气管11可以在竖向上进行移动，从而使得吹气管11可以对多个二极管主体22表面的灰尘进行吹动，吹动的过程中启动真空泵3，使得真空泵3对真空镀膜箱1内部进行抽气，在抽气的过程中同时可以将灰尘利用真空管6导入到过滤筒2内进行吸附，随着灰尘的不断吸附，将控制阀一7和吹风机8关闭，由于吹风机8不再将外界的空气导入到真空镀膜箱1内部，使得真空泵3在对真空镀膜箱1内的空气不断抽取的过程中，真空镀膜箱1内部逐渐处于真空状态，当真空镀膜箱1内部的真空度达到设定标准后，关闭控制阀二9，接着启动镀膜电子枪组件4，使得镀膜电子枪组件4通过热蒸发的方式来对二极管主体22表面进行镀膜，镀膜完毕后，利用吹风机8对二极管主体 22表面进行再次吹风，从而利用风力可以对二极管主体22表面进行降温冷却，二极管主体22冷却后将盖板5打开，接着将放置架13取出，从而完成整个真空镀膜过程。

实施例2：

一种二极管加工用的真空镀膜装置，如图5所示，为了驱动放置架13进行旋转；本实施例在实施例1的基础上作出以下补充：所述真空镀膜箱1两侧内壁通过螺栓固定有同一个滑杆15，所述滑杆15 外壁通过螺栓固定有齿条27，所述驱动杆一24圆周外壁通过键连接有齿轮26，且齿轮26和齿条27之间互相啮合；

通过设置有齿轮26可以在驱动杆一24做直线运动的过程中，可以沿着齿条27表面进行转动，从而使得在对二极管主体22进行除尘的过程中，使得放置架13可以进行旋转，从而可以使得放置架13不同位置的二极管主体22可以均匀和吹出的气体之间进行接触，从而可以提高除尘效果。

以上所述，为本实用新型较佳的具体实施方式，但并非本实用新型唯一的具体实施方式，任何熟悉本领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内结合现有技术或公众常识，在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种二极管加工用的真空镀膜装置，包括真空镀膜箱(1)、用于对二极管主体(22)进行除尘的除尘部和对二极管主体(22)进行放置的放置部，其特征是，所述除尘部包括：

驱动电机(19)：其固定于真空镀膜箱(1)底部外壁；

调节板(16)：其通过销固定于驱动电机(19)输出轴外壁，所述调节板(16)表面开设有腰型孔二(21)；

竖板(18)：其固定于真空镀膜箱(1)底部内壁；

限位杆二(20)：其活动连接于竖板(18)表面开设的通孔内壁，限位杆二(20)一端固定有驱动杆二(33)，所述驱动杆二(33)圆周外壁通过销固定有限位片二(32)；

框架(35)：其固定于限位片二(32)顶部外壁；

T型杆(30)：其活动连接于框架(35)顶部开设的通孔内壁；

弹簧(31)：其套接于T型杆(30)圆周外壁；

安装块(10)：其固定于T型杆(30)顶部外壁，安装块(10)表面固定有吹气组件；

弧形板(12)：其固定于真空镀膜箱(1)一侧内壁，且弧形板(12)表面开设有弧形孔(29)；

导向杆(34)：其固定于安装块(10)一侧外壁。

2.根据权利要求1所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述吹气组件包括：

安装块(10)：其插接于安装块(10)表面开设的通孔内壁；

控制阀一(7)：其通过螺纹连接于吹气管(11)一端；

吹风机(8)：其固定于真空镀膜箱(1)一侧外壁，所述控制阀一(7)远离吹气管(11)的一端通过螺纹连接于吹风机(8)一端。

3.根据权利要求2所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述竖板(18)表面的通孔内壁活动连接有限位杆一(17)，所述限位杆一(17)一端固定有驱动杆一(24)。

4.根据权利要求3所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述驱动杆一(24)圆周外壁通过销固定有限位片(25)，所述驱动杆一(24)顶部外壁活动连接有卡板(28)，所述调节板(16)表面开设有腰型孔一(14)。

5.根据权利要求4所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述放置部包括放置架(13)和插孔(23)，所述插孔(23)开设于放置架(13)表面。

6.根据权利要求5所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述真空镀膜箱(1)顶部外壁固定有真空管(6)，所述真空管(6)一端固定有控制阀二(9)。

7.根据权利要求6所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述控制阀二(9)远离真空管(6)的一端固定有真空泵(3)，所述真空泵(3)远离控制阀二(9)的一端固定有过滤筒(2)。

8.根据权利要求7所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述真空镀膜箱(1)两侧内壁固定有同一个滑杆(15)，所述滑杆(15)外壁固定有齿条(27)，所述驱动杆一(24)圆周外壁通过键连接有齿轮(26)。

9.根据权利要求8所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述真空镀膜箱(1)顶部固定有镀膜电子枪组件(4)。

10.根据权利要求9所述的一种二极管加工用的真空镀膜装置，其特征是，所述真空镀膜箱(1)一侧外壁通过合页连接有盖板(5)。

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