CN217973377U - 一种多弧双开门的高产能镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种多弧双开门的高产能镀膜机，属于镀膜技术领域，本实用新型中镀膜筒身铰接两个镀膜筒盖，在每个镀膜筒盖内均设置有转架以及驱动转架旋转的驱动组件，在一个镀膜筒盖与镀膜筒身合闭进行镀膜时，可对另一个镀膜筒盖内的转架进行上料，节约取挂工件的时间，提高产能，还能两边使用不同的靶材，一台镀膜机不换靶洗靶能同时生产两种产品，同时驱动转架与驱动组件配合安装在镀膜筒盖内，避免出现镀膜筒盖合闭过程中驱动组件与转架产生联动偏差，导致驱动组件无法驱动转架旋转，而且在镀膜筒身与镀膜筒盖上均设置观察孔，可对镀膜机内镀膜状况进行实时把控。

Description

一种多弧双开门的高产能镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种多弧双开门的高产能镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对产品实现更均匀地镀膜，其使用也越来越频繁。

现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒体、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。在镀膜前，先将待加工的工件悬挂在镀膜筒体内的工件转架上，镀膜过程中工件转架随着设备的运行转动，使工件能与镀膜材料实现更均匀且更全面的接触，从而达到镀膜的目的。现有技术中的镀膜机在取挂工件上会消耗大量时间，严重影响生产效率，同时在镀膜过程中，无法对镀膜机内镀膜状况进行实时把控。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种多弧双开门的高产能镀膜机。

本实用新型所采取的技术方案如下：一种多弧双开门的高产能镀膜机，其包括镀膜筒身与设置在镀膜筒身侧壁上的若干弧源组件，所述镀膜筒身铰接有结构相同的第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖，所述第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖均可和镀膜筒身形成密封的镀膜腔体，所述第一镀膜筒盖内设置有的第一转架以及驱动第一转架旋转的第一驱动组件，所述第二镀膜筒盖内设置有与第一转架和第一驱动组件相同结构的第二转架与第二驱动组件，所述镀膜筒身、第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖上均设置有若干连通外界与镀膜腔体的观察孔，所述观察孔内密封设置有透明观察板，所述第一镀膜筒盖顶板设置有第一旋转靶材组件且位于所述第一转架的旋转中心，所述第二镀膜筒盖设置有与第一旋转靶材组件相同结构的第二旋转靶材组件。

所述第一旋转靶材组件包括设置在所述第一镀膜筒盖顶板上的靶材安装法兰，所述靶材安装法兰内转动设置有支撑座，所述支撑座内转动设置有转动轴，所述靶材安装法兰与支撑座之间设置有支撑座绝缘套，所述支撑座与转动轴之间设置有第一旋转轴封，所述转动轴下端连接有柱形靶材，所述转动轴下部套设有旋转轴套。

所述靶材安装法兰上连接有电机支撑板，所述电机支撑板上安装有靶材电机和与靶材电机连接的第一齿轮，所述转动轴上部设置有与第一齿轮相啮合的第二齿轮，所述第二齿轮设置有齿轮绝缘套，所述第二齿轮上侧的转动轴与电机支撑板之间设置有油封座，所述油封座与电机支撑板之间设置有油封绝缘套，所述油封座与转动轴之间设置有第二旋转轴封，所述油封座顶部设置有并紧盖。

所述第一转架包括安装在第一镀膜筒盖底板上的固定齿轮、可相对固定齿轮同心旋转的齿轮转盘、设置在齿轮转盘上的若干支撑杆以及与支撑杆上端连接的上转盘，所述齿轮转盘中间开设有贯穿齿轮转盘的转动槽，所述固定齿轮的上端面环周设置有若干设置有与转动槽转动配合的固定座，所述固定座上转动设置有抵接于齿轮转盘底部的承重轴承以及转动设置有抵接于转动槽内周壁的限位轴承。

所述齿轮转盘上设置有若干下通孔，所述下通孔内转动设置有转轴，所述转轴与齿轮转盘通过轴承座连接，所述转轴下端连接有与所述固定齿轮相啮合的转动齿轮，所述上转盘设置有与下通孔对应的上通孔，所述下通孔上侧的转轴开设有插孔，所述插孔侧壁设置有限位槽，所述插孔与上通孔之间设置有用于悬挂工件的挂杆。

所述固定齿轮中间开设有贯穿固定齿轮的固定槽，所述固定槽内的第一镀膜筒盖底板上设置有若干用于加强与固定齿轮连接强度的加强筋连接件，所述固定齿轮与第一镀膜筒盖底板之间设置有若干垫块，且在垫块与固定齿轮之间设置有绝缘垫。

所述第一镀膜筒盖顶板在所述电机支撑板两侧均设置有弧源转换碰头，在所述镀膜筒身顶板设置有可与弧源转换碰头相吸合的弧源转换座，所述第二镀膜筒盖顶板同样设置有弧源转换碰头。

所述第一驱动组件包括转动设置于所述第一镀膜筒盖底板上的主动转轴和设置在第一镀膜筒盖底板外侧的驱动电机组件，所述驱动电机组件包括驱动电机、减速器以及主动齿轮，所述主动转轴位于第一镀膜筒盖内的一端设置有与所述齿轮转盘相啮合的第一联动齿轮，位于第一镀膜筒盖外的一端设置有与主动齿轮相啮合的第二联动齿轮。

所述镀膜筒身设置有抽真空口，所述抽真空口内设置有百叶窗组件，所述抽真空口侧壁设置有驱动百叶窗组件活动的调节阀组件。

所述镀膜腔体内设置有若干加热管组件，所述镀膜腔体内设置有若干多弧气管组件。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型中镀膜筒身铰接两个镀膜筒盖，在每个镀膜筒盖内均设置有转架以及驱动转架旋转的驱动组件，在一个镀膜筒盖与镀膜筒身合闭进行镀膜时，可对另一个镀膜筒盖内的转架进行上料，节约取挂工件的时间，提高产能，还能两边使用不同的靶材，一台镀膜机不换靶洗靶能同时生产两种产品，同时驱动转架与驱动组件配合安装在镀膜筒盖内，避免出现镀膜筒盖合闭过程中驱动组件与转架产生联动偏差，导致驱动组件无法驱动转架旋转，而且在镀膜筒身与镀膜筒盖上均设置观察孔，可对镀膜机内镀膜状况进行实时把控。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本实用新型的范畴。

图1为本实用新型的示意图；

图2为本实用新型中第一旋转靶材组件的局部示意图；

图3为本实用新型中第一旋转靶材组件的局部剖视图；

图4为本实用新型中第一转架的爆炸图；

图5为本实用新型中第一转架的局部示意图一；

图6为本实用新型中第一转架的局部示意图二；

图7为本实用新型中第一驱动组件的示意图；

图8为本实用新型抽真空口的示意图；

图中，1-镀膜筒身，101-镀膜腔体，2-弧源组件，3-第一镀膜筒盖，301-弧源转换碰头，302-弧源转换座，4-第二镀膜筒盖，41-第二转架，42-第二驱动组件，43-观察孔，44-透明观察板，45-第二旋转靶材组件，5-第一转架，51-固定齿轮，511-固定槽，52-齿轮转盘，522-下通孔，521-转动槽，53-支撑杆，54-上转盘，541-上通孔，55-固定座，551-承重轴承，552-限位轴承，56-转轴，561-插孔，562-限位槽，57-转动齿轮，58-加强筋连接件，59-垫块，591-绝缘垫，6-第一驱动组件，61-主动转轴，62-驱动电机组件，621-驱动电机，622-减速器，623-主动齿轮，624-第一联动齿轮，625-第二联动齿轮，7-第一旋转靶材组件，71-靶材安装法兰，72-支撑座，73-转动轴，731-第二齿轮，732-齿轮绝缘套，733-靶心导嘴，734-旋转轴承，74-支撑座绝缘套，75-第一旋转轴封，76-柱形靶材，77-旋转轴套，78-电机支撑板，781-靶材电机，782-第一齿轮，79-油封座，791-油封绝缘套，792-第二旋转轴封，793-并紧盖，8-抽真空口，81-百叶窗组件，82-调节阀组件。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。

需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是 为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二” 仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再 一一说明。

本实用新型所提到的方向和位置用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「顶部」、「底部」、「侧面」等，仅是参考附图的方向或位置。因此，使用的方向和位置用语是用以说明及理解本实用新型，而非对本实用新型保护范围的限制。

如图1至图8所示，为本实用新型提供的一种实施例：

一种多弧双开门的高产能镀膜机，其包括镀膜筒身1与设置在镀膜筒身1侧壁上的若干弧源组件2，所述镀膜筒身1铰接有结构相同的第一镀膜筒盖3与第二镀膜筒盖4，所述第一镀膜筒盖3与第二镀膜筒盖4均可和镀膜筒身1形成密封的镀膜腔体101，所述第一镀膜筒盖3内设置有的第一转架5以及驱动第一转架5旋转的第一驱动组件6，所述第二镀膜筒盖4内设置有与第一转架5和第一驱动组件6相同结构的第二转架41与第二驱动组件42，在一个镀膜筒盖与镀膜筒身合闭进行镀膜时，可对另一个镀膜筒盖内的转架进行上料，节约取挂工件的时间，提高产能，还能两边使用不同的靶材，一台镀膜机不换靶洗靶能同时生产两种产品，一机多用。

所述镀膜筒身1、第一镀膜筒盖3与第二镀膜筒盖4上均设置有若干连通外界与镀膜腔体101的观察孔43，所述观察孔43内密封设置有透明观察板44，可对镀膜机内镀膜状况进行实时把控。

所述第一镀膜筒盖3顶板设置有第一旋转靶材组件7且位于所述第一转架5的旋转中心，所述第二镀膜筒盖4设置有与第一旋转靶材组件7相同结构的第二旋转靶材组件45。驱动转架与驱动组件配合安装在镀膜筒盖内，避免出现镀膜筒盖合闭过程中驱动组件与转架产生联动偏差，导致驱动组件无法驱动转架旋转。

进一步的，所述第一旋转靶材组件7包括设置在所述第一镀膜筒盖3顶板上的靶材安装法兰71，所述靶材安装法兰71内转动设置有支撑座72，所述支撑座72内转动设置有转动轴73，所述靶材安装法兰71与支撑座72之间设置有支撑座绝缘套74，所述支撑座72与转动轴73之间设置有第一旋转轴封75，所述转动轴73下端连接有柱形靶材76，所述转动轴73下部套设有旋转轴套77；所述靶材安装法兰71上连接有电机支撑板78，所述电机支撑板78上安装有靶材电机781和与靶材电机781连接的第一齿轮782，所述转动轴73上部设置有与第一齿轮782相啮合的第二齿轮731，所述第二齿轮731设置有齿轮绝缘套732，所述第二齿轮731上侧的转动轴73与电机支撑板78之间设置有油封座79，所述油封座79与电机支撑板78之间设置有油封绝缘套791，所述油封座79与转动轴73之间设置有第二旋转轴封792，所述油封座79顶部设置有并紧盖793，在转动轴73内转动设置有靶心导嘴733，且两者之间通过旋转轴承734连接，所述柱形靶材76内设置有靶心，靶心上端设置有与靶心导嘴733适配的靶心导嘴连接套。

进一步的，所述第一转架5包括安装在第一镀膜筒盖3底板上的固定齿轮51、可相对固定齿轮51同心旋转的齿轮转盘52、设置在齿轮转盘51上的若干支撑杆53以及与支撑杆53上端连接的上转盘54，所述齿轮转盘52中间开设有贯穿齿轮转盘52的转动槽521，所述固定齿轮51的上端面环周设置有若干设置有与转动槽521转动配合的固定座55，所述固定座55上转动设置有抵接于齿轮转盘52底部的承重轴承551以及转动设置有抵接于转动槽521内周壁的限位轴承552，可使齿轮转盘52与固定齿轮51的相对旋转更加稳定。

所述齿轮转盘52上设置有若干下通孔522，所述下通孔522内转动设置有转轴56，所述转轴56与齿轮转盘52通过轴承座连接，所述转轴56下端连接有与所述固定齿轮51相啮合的转动齿轮57，第一驱动组件6驱动齿轮转盘52相对固定齿轮51旋转，转动齿轮57则会实现公自转，在转动齿轮57同样设置有与其相啮合的转动齿轮，每个转动齿轮57均连接转轴56。

所述上转盘54设置有与下通孔522对应的上通孔541，所述下通孔522上侧的转轴56开设有插孔561，所述插孔561侧壁设置有限位槽562，所述插孔561与上通孔541之间设置有用于悬挂工件的挂杆。挂杆的下端通过插孔561与限位槽562配合连接和转轴56构成联动，这样使得齿轮转盘52在转动的过程中，通过各齿轮间的传动配合能带动挂杆进行独立转动，从而实现工件转架的公自转转动，使得挂杆上的工件能与镀膜材料实现更均匀且更全面的接触，从而进一步提升工件的镀膜质量与效率。

所述固定齿轮51中间开设有贯穿固定齿轮51的固定槽511，所述固定槽511内的第一镀膜筒盖3底板上设置有若干用于加强与固定齿轮51连接强度的加强筋连接件58，所述固定齿轮51与第一镀膜筒盖3底板之间设置有若干垫块59，且在垫块59与固定齿轮51之间设置有绝缘垫591，提升固定齿轮51与第一镀膜筒盖3底板之间连接的稳定性。

所述第一镀膜筒盖3顶板在所述电机支撑板78两侧均设置有弧源转换碰头301，在所述镀膜筒身1顶板设置有可与弧源转换碰头301相吸合的弧源转换座302，所述第二镀膜筒盖4顶板同样设置有弧源转换碰头，保证镀膜腔体101的密封性。

所述第一驱动组件6包括转动设置于所述第一镀膜筒盖3底板上的主动转轴61和设置在第一镀膜筒盖3底板外侧的驱动电机组件62，所述驱动电机组件62包括驱动电机621、减速器622以及主动齿轮623，所述主动转轴623位于第一镀膜筒盖3内的一端设置有与所述齿轮转盘52相啮合的第一联动齿轮624，位于第一镀膜筒盖3外的一端设置有与主动齿轮623相啮合的第二联动齿轮625。

所述镀膜筒身1设置有抽真空口8，所述抽真空口8内设置有百叶窗组件81，所述抽真空口8侧壁设置有驱动百叶窗组件81活动的调节阀组件82，调节阀组件82驱动百叶窗组件81封闭或者开启抽真空口8。

所述镀膜腔体101内设置有干加热管组件，对镀膜材料蒸汽进行保温，防止由于输送路径过长而产生凝固或温度下降的现象，从而对工件的镀膜效果其保障作用；所述镀膜腔体101内设置有若干多弧气管组件, 可向镀膜腔体101内输入气体，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，包括镀膜筒身（1）与设置在镀膜筒身（1）侧壁上的若干弧源组件（2），所述镀膜筒身（1）铰接有结构相同的第一镀膜筒盖（3）与第二镀膜筒盖（4），所述第一镀膜筒盖（3）与第二镀膜筒盖（4）均可和镀膜筒身（1）形成密封的镀膜腔体（101），所述第一镀膜筒盖（3）内设置有的第一转架（5）以及驱动第一转架（5）旋转的第一驱动组件（6），所述第二镀膜筒盖（4）内设置有与第一转架（5）和第一驱动组件（6）相同结构的第二转架（41）与第二驱动组件（42），所述镀膜筒身（1）、第一镀膜筒盖（3）与第二镀膜筒盖（4）上均设置有若干连通外界与镀膜腔体（101）的观察孔（43），所述观察孔（43）内密封设置有透明观察板（44），所述第一镀膜筒盖（3）顶板设置有第一旋转靶材组件（7）且位于所述第一转架（5）的旋转中心，所述第二镀膜筒盖（4）设置有与第一旋转靶材组件（7）相同结构的第二旋转靶材组件（45）。

2.根据权利要求1所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述第一旋转靶材组件（7）包括设置在所述第一镀膜筒盖（3）顶板上的靶材安装法兰（71），所述靶材安装法兰（71）内转动设置有支撑座（72），所述支撑座（72）内转动设置有转动轴（73），所述靶材安装法兰（71）与支撑座（72）之间设置有支撑座绝缘套（74），所述支撑座（72）与转动轴（73）之间设置有第一旋转轴封（75），所述转动轴（73）下端连接有柱形靶材（76），所述转动轴（73）下部套设有旋转轴套（77）。

3.根据权利要求2所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述靶材安装法兰（71）上连接有电机支撑板（78），所述电机支撑板（78）上安装有靶材电机（781）和与靶材电机（781）连接的第一齿轮（782），所述转动轴（73）上部设置有与第一齿轮（782）相啮合的第二齿轮（731），所述第二齿轮（731）设置有齿轮绝缘套（732），所述第二齿轮（731）上侧的转动轴（73）与电机支撑板（78）之间设置有油封座（79），所述油封座（79）与电机支撑板（78）之间设置有油封绝缘套（791），所述油封座（79）与转动轴（73）之间设置有第二旋转轴封（792），所述油封座（79）顶部设置有并紧盖（793）。

4.根据权利要求1所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述第一转架（5）包括安装在第一镀膜筒盖（3）底板上的固定齿轮（51）、可相对固定齿轮（51）同心旋转的齿轮转盘（52）、设置在齿轮转盘（51）上的若干支撑杆（53）以及与支撑杆（53）上端连接的上转盘（54），所述齿轮转盘（52）中间开设有贯穿齿轮转盘（52）的转动槽（521），所述固定齿轮（51）的上端面环周设置有若干设置有与转动槽（521）转动配合的固定座（55），所述固定座（55）上转动设置有抵接于齿轮转盘（52）底部的承重轴承（551）以及转动设置有抵接于转动槽（521）内周壁的限位轴承（552）。

5.根据权利要求4所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述齿轮转盘（52）上设置有若干下通孔（522），所述下通孔（522）内转动设置有转轴（56），所述转轴（56）与齿轮转盘（52）通过轴承座连接，所述转轴（56）下端连接有与所述固定齿轮（51）相啮合的转动齿轮（57），所述上转盘（54）设置有与下通孔（522）对应的上通孔（541），所述下通孔（522）上侧的转轴（56）开设有插孔（561），所述插孔（561）侧壁设置有限位槽（562），所述插孔（561）与上通孔（541）之间设置有用于悬挂工件的挂杆。

6.根据权利要求4所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述固定齿轮（51）中间开设有贯穿固定齿轮（51）的固定槽（511），所述固定槽（511）内的第一镀膜筒盖（3）底板上设置有若干用于加强与固定齿轮（51）连接强度的加强筋连接件（58），所述固定齿轮（51）与第一镀膜筒盖（3）底板之间设置有若干垫块（59），且在垫块（59）与固定齿轮（51）之间设置有绝缘垫（591）。

7.根据权利要求3所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述第一镀膜筒盖（3）顶板在所述电机支撑板（78）两侧均设置有弧源转换碰头（301），在所述镀膜筒身（1）顶板设置有可与弧源转换碰头（301）相吸合的弧源转换座（302），所述第二镀膜筒盖（4）顶板同样设置有弧源转换碰头。

8.根据权利要求3所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述第一驱动组件（6）包括转动设置于所述第一镀膜筒盖（3）底板上的主动转轴（61）和设置在第一镀膜筒盖（3）底板外侧的驱动电机组件（62），所述驱动电机组件（62）包括驱动电机（621）、减速器（622）以及主动齿轮（623），所述主动转轴（623）位于第一镀膜筒盖（3）内的一端设置有与所述齿轮转盘（52）相啮合的第一联动齿轮（624），位于第一镀膜筒盖（3）外的一端设置有与主动齿轮（623）相啮合的第二联动齿轮（625）。

9.根据权利要求1所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述镀膜筒身（1）设置有抽真空口（8），所述抽真空口（8）内设置有百叶窗组件（81），所述抽真空口（8）侧壁设置有驱动百叶窗组件（81）活动的调节阀组件（82）。

10.根据权利要求1所述的一种多弧双开门的高产能镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔体（101）内设置有若干加热管组件，所述镀膜腔体（101）内设置有若干多弧气管组件。

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