CN217809646U - 一种具有导轨式双固定转架的镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，属于镀膜技术领域，其包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身、若干弧源组件以及设置在镀膜筒身前的地轨，所述地轨上设置有转架推车，所述转架推车上设置有第一滑轨，所述第一滑轨内设置有可滑移的转架滑座，所述转架滑座上设置有第一转架滑轨，所述镀膜腔体的底部设置有与第一转架滑轨适配的第二转架滑轨，在所述第一转架滑轨与第二转架滑轨上设置有可滑动的转架，所述镀膜筒身的底板安装有与所述转架联动的驱动组件和用于在转架位于镀膜腔体内后可限制其在第二转架滑轨上移动的限位组件；本实用新型可节省取挂工件的时间，避免镀膜腔体内因长时间开门导致降温，提高生产效率。

Description

一种具有导轨式双固定转架的镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种具有导轨式双固定转架的镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对产品实现更均匀地镀膜，其使用也越来越频繁。

现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒身、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。在镀膜前，先将待加工的工件悬挂在镀膜筒身内的工件转架上，镀膜过程中工件转架随着设备的运行转动，使工件能与镀膜材料实现更均匀且更全面的接触，从而达到镀膜的目的。现有技术中一些大型的镀膜装置，其中的工件转架可悬挂大量的工件，在上料时需消耗大量的时间，而镀膜腔体在门长时间打开容易造成热量损失，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种具有导轨式双固定转架的镀膜机。

本实用新型所采取的技术方案如下：一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身与设置在镀膜筒身侧壁上的若干弧源组件，所述镀膜筒身铰接连接有镀膜筒盖，其还包括设置在镀膜筒身前的地轨，所述地轨上设置有转架推车，所述转架推车上设置有朝向镀膜腔体的第一滑轨，所述第一滑轨内设置有可滑移的转架滑座，所述转架滑座上设置有第一转架滑轨，所述镀膜腔体的底部设置有与第一转架滑轨适配的第二转架滑轨，在所述第一转架滑轨与第二转架滑轨上设置有可滑动的转架，所述镀膜筒身的底板安装有与所述转架联动的驱动组件和用于在转架位于镀膜腔体内后可限制其在第二转架滑轨上移动的限位组件。

所述转架滑座与转架推车之间设置有调节组件，所述调节组件包括设置在转架滑座下端的直齿条、与直齿条配合的第一齿轮以及与第一齿轮连接的第一转动轴，所述第一转动轴的两端通过第一轴承座固定在转架推车上，所述第一转动轴远离第一齿轮一端设置有第二齿轮，所述转架推车一侧设置有推车架，所述推车架上设置有第三齿轮和与第三齿轮连接的手轮，所述第二齿轮与第三齿轮上通过链条联动，所述地轨一端设置有上料架，所述上料架设置有与第一转架滑轨适配的第三转架滑轨。

所述转架包括转动支撑板、设置在转动支撑板下端面和所述第一转架滑轨与第二转架滑轨配合的滑轮组件、设置在转动支撑板上端面固定齿轮以及设置在固定齿轮上方且可相对固定齿轮与转动支撑板旋转的转动齿盘，所述转动齿盘上设置有若干与固定齿轮相啮合的转动齿轮，所述转动齿盘上设置有与转动齿轮相等数量的通孔，所述转动齿轮连接有穿过所述通孔的第二转动轴，所述第二转动轴与转动齿盘之间设置有第二轴承座连接，所述第二转动轴穿过所述通孔一端设置有卡槽，所述转动齿盘与驱动组件联动。

所述转动齿盘上设置有衬板，所述衬板的外环周设置有若干支撑杆，所述支撑杆上连接有顶板，所述顶板中部设置有挂具网。

所述转动支撑板下端面设置有支撑板底架，所述转动齿盘下端面外环周设置有若干可在转动支撑板上端面滚动的支撑轮。

所述驱动组件包括转动设置于镀膜筒身底部的转轴、转动设置于转轴的转动块、设置在转轴两端且随转轴转动的第一联动齿轮与第二联动齿轮、设置于镀膜筒身外侧且用于驱动转轴转动的驱动电机、与驱动电机连接且与第二联动齿轮相啮合的主动齿轮以及设置于转动块的从动齿轮，所述从动齿轮转动设置于转动块且位于第一联动齿轮一侧并与之啮合，所述从动齿轮与所述转动齿盘相啮合。

所述限位组件包括设置在镀膜腔体底部的偏压组件，所述偏压组件位于所述第二转架滑轨的末端，所述偏压组件包括设置在镀膜筒身底板上的固定板与设置在固定板上的固定轴，所述固定轴远离固定板一端连接有偏压碰头，所述偏压碰头与固定板之间设置有弹簧，所述偏压碰头位于所述支撑板底架的移动路径上。

所述滑轮组件包括有与所述第二转架滑轨相垂直的限位块，所述限位组件还包括位于第二转架滑轨外侧与限位块配合的限位挡板，所述限位挡板包括限位设置在镀膜筒身底板上的限位底座，所述限位底座上设置有可旋转的挡块，所述挡块上端面设置有挂板，所述挡块位于限位块的移动路径上。

所述镀膜筒盖上设置有连通外界与镀膜腔体的观察孔，所述观察孔内密封设置有透明观察板。

所述所述镀膜腔体内设置有若干加热管与若干多弧气管组件，所述镀膜筒身设置有若干抽真空口。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型中在镀膜腔体的底部设置有滑轨，让转架可从镀膜腔体内移出，同时闸在镀膜筒身前的地面上安装有地轨，在地轨上设置有转架推车，转架推车同样设置有滑轨，转架可移动到转架推车，适用于大型镀膜机，本镀膜机可以配备多个转架，可在外面将工件悬挂到转架上，比较方便，然后通过转架推车将转架移动至镀膜腔体进行镀膜，同时可对另一个转架进行上料，节省取挂工件的时间，避免镀膜腔体内因长时间开门导致降温，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本实用新型的范畴。

图1为本实用新型的部分示意图；

图2为本实用新型中地轨与转架推车的示意图；

图3为本实用新型中调节组件的局部示意图；

图4为本实用新型中转架的局部爆炸图；

图5为本实用新型中转架的部分示意图；

图6为本实用新型中转动齿轮的局部示意图；

图7为本实用新型中驱动组件与偏压组件的示意图；

图8为本实用新型中限位挡板的示意图；

图9为本实用新型的示意图；

图中，1-镀膜筒身,101-镀膜腔体,102-第二转架滑轨,2-弧源组件,3-镀膜筒盖,31-观察孔,32-透明观察板,4-地轨,41-上料架,42-第三转架滑轨,5-转架推车,51-第一滑轨,501-直齿条,502-第一齿轮,503-第一转动轴,504-第一轴承座,505-第二齿轮,506-推车架,507-第三齿轮,508-手轮,6-转架滑座,61-第一转架滑轨,7-转架,701-转动支撑板,702-固定齿轮,703-转动齿盘,704-转动齿轮,705-通孔,706-第二转动轴,707-第二轴承座,708-卡槽,709-卡槽,710-支撑杆,711-顶板,712-挂具网,713-支撑板底架,714-支撑轮,715-限位块,8-驱动组件,801-转轴,802-转动块,803-第一联动齿轮,804-第二联动齿轮,805-驱动电机,806-主动齿轮,807-从动齿轮, 91-偏压组件,92-限位挡板,901-固定板,902-固定轴,903-偏压碰头,904-偏压碰头,905-限位底座,906-挡块,907-挂板,10-加热管,11-抽真空口。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。

需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。

本实用新型所提到的方向和位置用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「顶部」、「底部」、「侧面」等，仅是参考附图的方向或位置。因此，使用的方向和位置用语是用以说明及理解本实用新型，而非对本实用新型保护范围的限制。

如图1至图9所示，为本实用新型提供的一种实施例：

一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体101的镀膜筒身1与设置在镀膜筒身1侧壁上的若干弧源组件2，镀膜腔体101内设置有靶材组件，所述镀膜筒身1铰接连接有镀膜筒盖3，其还包括设置在镀膜筒身1前的地轨4，所述地轨4铺设在镀膜筒身1前的地面上，其包括三条横截面为山脊状直线导轨，所述地轨4上设置有转架推车5，转架推车5底部设置有与地轨4适配的滑轮，所述转架推车5上设置有朝向镀膜腔体101的第一滑轨51，所述第一滑轨51内设置有可滑移的转架滑座6，转架滑座6，两侧设置有若干滑轮与第一滑轨51配合，所述转架滑座6上设置有第一转架滑轨61，所述镀膜腔体101的底部设置有与第一转架滑轨61适配的第二转架滑轨102，第一转架滑轨61与第二转架滑轨102为间距相同两根导杆；在所述第一转架滑轨61与第二转架滑轨102上设置有可滑动的转架7，在镀膜腔体101的底部设置有滑轨，让转架7可从镀膜腔体101内移出，同时闸在镀膜筒身1前的地面上安装有地轨4，在地轨4上设置有转架推车5，转架推车5同样设置有滑轨，转架7可移动到转架推车5进行上下工件，适用于大型镀膜机；所述地轨4一端设置有若干上料架41，所述上料架41设置有与第一转架滑轨61适配的第三转架滑轨42；本镀膜机可以配备多个转架7，在上料架41放置有转架7，可在上料架41处将工件悬挂到转架7上，比较方便，然后将上料架41上的转架7移动至转架推车5，由转架推车5顺着地轨4移动至镀膜腔体101前，再顺着第二转架滑轨102移动至镀膜腔体101内进行镀膜，同时可对其它上料架41的转架7进行上料，节省取挂工件的时间，避免镀膜腔体101内因长时间开门导致降温，提高生产效率。

所述镀膜筒身1的底板安装有与所述转架7联动的驱动组件8和用于在转架位于镀膜腔体101内后可限制其在第二转架滑轨102上移动的限位组件，在转架7顺着第二转架滑轨102移动至镀膜腔体101内，限位组件可限制转架7移动，驱动组件8驱动转架7旋转进行镀膜。

进一步的，所述转架滑座6与转架推车5之间设置有调节组件，所述调节组件包括设置在转架滑座6下端的直齿条501、与直齿条501配合的第一齿轮502以及与第一齿轮502连接的第一转动轴503，所述第一转动轴503的两端通过第一轴承座504固定在转架推车5上，所述第一转动轴503远离第一齿轮502一端设置有第二齿轮505，所述转架推车5一侧设置有推车架506，所述推车架506上设置有第三齿轮507和与第三齿轮507连接的手轮508，所述第二齿轮505与第三齿轮507上通过链条联动，通过转动手轮508使第三齿轮507同步旋转，再通过第二齿轮505与第三齿轮507的链轮传动使第一转动轴503旋转，第一转动轴503上的第一齿轮502配合直齿条501可使转架滑座6在沿第二转架滑轨102方向进行移动。

进一步的，所述转架7包括转动支撑板701、设置在转动支撑板701下端面和所述第一转架滑轨61与第二转架滑轨102配合的滑轮组件、设置在转动支撑板701上端面固定齿轮702以及设置在固定齿轮702上方且可相对固定齿轮702与转动支撑板701旋转的转动齿盘703，所述转动齿盘703上设置有若干与固定齿轮702相啮合的转动齿轮704，所述转动齿盘703上设置有与转动齿轮704相等数量的通孔705，所述转动齿轮704连接有穿过所述通孔705的第二转动轴706，所述第二转动轴706与转动齿盘703之间设置有第二轴承座707连接，所述第二转动轴706穿过所述通孔705一端设置有卡槽708，该卡槽708可以连接挂杆来悬挂更多的工件，所述转动齿盘703与驱动组件8联动，驱动组件8会驱动转动齿盘703相对固定齿轮702旋转，从而使与固定齿轮702相啮合的若干转动齿轮704能独立旋转。

进一步的，所述转动齿盘703上设置有衬板709，所述衬板709的外环周设置有若干支撑杆710，所述支撑杆710上连接有顶板711，所述顶板711中部设置有挂具网712，可悬挂工件。

进一步的，所述转动支撑板701下端面设置有支撑板底架713，所述转动齿盘703下端面外环周设置有若干可在转动支撑板701上端面滚动的支撑轮714，使转动齿盘703相对转动支撑板701旋转更加稳定。

进一步的，所述驱动组件8包括转动设置于镀膜筒身1底部的转轴801、转动设置于转轴801的转动块802、设置在转轴801两端且随转轴801转动的第一联动齿轮803与第二联动齿轮804、设置于镀膜筒身1外侧且用于驱动转轴801转动的驱动电机805、与驱动电机805连接且与第二联动齿轮804相啮合的主动齿轮806以及设置于转动块802的从动齿轮807，所述从动齿轮807转动设置于转动块802且位于第一联动齿轮803一侧并与之啮合，在转架7顺着第二转架滑轨102移动至镀膜腔体101内时，转动齿盘703会与从动齿轮807相啮合，驱动电机805驱动主动齿轮806带动第二联动齿轮804旋转，可使与第二联动齿轮804位于同转轴801的第一联动齿轮803同步旋转，从而带动从动齿轮807使转动齿盘703旋转。

进一步的，所述限位组件包括设置在镀膜腔体101底部的偏压组件91，所述偏压组件91位于所述第二转架滑轨102的末端，所述偏压组件91包括设置在镀膜筒身1底板上的固定板901与设置在固定板901上的固定轴902，所述固定轴902远离固定板一端连接有偏压碰头903，所述偏压碰头903与固定板901之间设置有弹簧904，所述偏压碰头903位于所述支撑板底架713的移动路径上，在在转架7顺着第二转架滑轨102移动至镀膜腔体101内的一定位置时，偏压碰头903会抵住支撑板底架713，使转动齿盘703与从动齿轮807相啮合，确保传动结构的稳定性且避免了两者在接触时对双方造成的磕碰，延长它们的使用寿命。

进一步的，所述滑轮组件包括有与所述第二转架滑轨102相垂直的限位块715，所述限位组件还包括位于第二转架滑轨102外侧与限位块715配合的限位挡板92，所述限位挡板92包括限位设置在镀膜筒身1底板上的限位底座905，所述限位底座905上设置有可旋转的挡块906，所述挡块906上端面设置有挂板907，所述挡块906位于限位块715的移动路径上，在在转架7顺着第二转架滑轨102移动至镀膜腔体101内的一定位置时，即转动齿盘703与从动齿轮807相啮合后，或者偏压碰头903会抵住支撑板底架713后，通过旋转挡块906阻挡限位块715移动，从而使转架7不移动。

进一步的，所述镀膜筒盖3上设置有连通外界与镀膜腔体101的观察孔31，所述观察孔31内密封设置有透明观察板32，在镀膜过程中可对镀膜腔体11的状况进行实时观察。

进一步的，所述镀膜腔体101内设置有若干加热管10，对镀膜材料蒸汽进行保温，防止由于输送路径过长而产生凝固或温度下降的现象，从而对工件的镀膜效果其保障作用。所述镀膜筒身1设置有若干抽真空口11，抽真空口11与抽真空装置连接，为镀膜腔体101提供真空环境。所述镀膜腔体101内设置有若干气管组件，可向镀膜腔体101内输入气体，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体（101）的镀膜筒身（1）与设置在镀膜筒身（1）侧壁上的若干弧源组件（2），所述镀膜筒身（1）铰接连接有镀膜筒盖（3），其特征在于，还包括设置在镀膜筒身（1）前的地轨（4），所述地轨（4）上设置有转架推车（5），所述转架推车（5）上设置有朝向镀膜腔体（101）的第一滑轨（51），所述第一滑轨（51）内设置有可滑移的转架滑座（6），所述转架滑座（6）上设置有第一转架滑轨（61），所述镀膜腔体（101）的底部设置有与第一转架滑轨（61）适配的第二转架滑轨（102），在所述第一转架滑轨（61）与第二转架滑轨（102）上设置有可滑动的转架（7），所述镀膜筒身（1）的底板安装有与所述转架（7）联动的驱动组件（8）和用于在转架位于镀膜腔体（101）内后可限制其在第二转架滑轨（102）上移动的限位组件。

2.根据权利要求1所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述转架滑座（6）与转架推车（5）之间设置有调节组件，所述调节组件包括设置在转架滑座（6）下端的直齿条（501）、与直齿条（501）配合的第一齿轮（502）以及与第一齿轮（502）连接的第一转动轴（503），所述第一转动轴（503）的两端通过第一轴承座（504）固定在转架推车（5）上，所述第一转动轴（503）远离第一齿轮（502）一端设置有第二齿轮（505），所述转架推车（5）一侧设置有推车架（506），所述推车架（506）上设置有第三齿轮（507）和与第三齿轮（507）连接的手轮（508），所述第二齿轮（505）与第三齿轮（507）上通过链条联动，所述地轨（4）一端设置有上料架（41），所述上料架（41）设置有与第一转架滑轨（61）适配的第三转架滑轨（42）。

3.根据权利要求1所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述转架（7）包括转动支撑板（701）、设置在转动支撑板（701）下端面和所述第一转架滑轨（61）与第二转架滑轨（102）配合的滑轮组件、设置在转动支撑板（701）上端面固定齿轮（702）以及设置在固定齿轮（702）上方且可相对固定齿轮（702）与转动支撑板（701）旋转的转动齿盘（703），所述转动齿盘（703）上设置有若干与固定齿轮（702）相啮合的转动齿轮（704），所述转动齿盘（703）上设置有与转动齿轮（704）相等数量的通孔（705），所述转动齿轮（704）连接有穿过所述通孔（705）的第二转动轴（706），所述第二转动轴（706）与转动齿盘（703）之间设置有第二轴承座（707）连接，所述第二转动轴（706）穿过所述通孔（705）一端设置有卡槽（708），所述转动齿盘（703）与驱动组件（8）联动。

4.根据权利要求3所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述转动齿盘（703）上设置有衬板（709），所述衬板（709）的外环周设置有若干支撑杆（710），所述支撑杆（710）上连接有顶板（711），所述顶板（711）中部设置有挂具网（712）。

5.根据权利要求3所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述转动支撑板（701）下端面设置有支撑板底架（713），所述转动齿盘（703）下端面外环周设置有若干可在转动支撑板（701）上端面滚动的支撑轮（714）。

6.根据权利要求3所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述驱动组件（8）包括转动设置于镀膜筒身（1）底部的转轴（801）、转动设置于转轴（801）的转动块（802）、设置在转轴（801）两端且随转轴（801）转动的第一联动齿轮（803）与第二联动齿轮（804）、设置于镀膜筒身（1）外侧且用于驱动转轴（801）转动的驱动电机（805）、与驱动电机（805）连接且与第二联动齿轮（804）相啮合的主动齿轮（806）以及设置于转动块（802）的从动齿轮（807），所述从动齿轮（807）转动设置于转动块（802）且位于第一联动齿轮（803）一侧并与之啮合，所述从动齿轮（807）与所述转动齿盘（703）相啮合。

7.根据权利要求5所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述限位组件包括设置在镀膜腔体（101）底部的偏压组件（91），所述偏压组件（91）位于所述第二转架滑轨（102）的末端，所述偏压组件（91）包括设置在镀膜筒身（1）底板上的固定板（901）与设置在固定板（901）上的固定轴（902），所述固定轴（902）远离固定板一端连接有偏压碰头（903），所述偏压碰头（903）与固定板（901）之间设置有弹簧（904），所述偏压碰头（903）位于所述支撑板底架（713）的移动路径上。

8.根据权利要求3所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述滑轮组件包括有与所述第二转架滑轨（102）相垂直的限位块（715），所述限位组件还包括位于第二转架滑轨（102）外侧与限位块（715）配合的限位挡板（92），所述限位挡板（92）包括限位设置在镀膜筒身（1）底板上的限位底座（905），所述限位底座（905）上设置有可旋转的挡块（906），所述挡块（906）上端面设置有挂板（907），所述挡块（906）位于限位块（715）的移动路径上。

9.根据权利要求1所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述镀膜筒盖（3）上设置有连通外界与镀膜腔体（101）的观察孔（31），所述观察孔（31）内密封设置有透明观察板（32）。

10.根据权利要求1所述的一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔体（101）内设置有若干加热管（10）与若干多弧气管组件，所述镀膜筒身（1）设置有若干抽真空口（11）。

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