CN114086145A - 一种真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜机，涉及镀膜机技术领域，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，转架包括转动部和滑动部，转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架，滑动部包括两呈圆弧形结构的底架，两底架之间通过连杆固定，底架两端分别设置转轮，采用卧式设计，通过推车将转架送入到真空炉的内部，推车上的丝杆能够上下调节导轨的高度，使得导轨的高度能够与滑架的高度持平，方便将转架平稳的推入到真空炉内，并且通过限位杆不仅能够保证转架移动能够保持稳定，还可以通过限位杆旋接锁紧螺帽将转架的位置进行固定。

Description

一种真空镀膜机

技术领域

本发明涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。

但是现有的镀膜机在使用的时候也存在一定的缺陷，现有的镀膜机转架进入并安装在真空炉内操作麻烦，由于转架上安装需要镀膜的基片，质量大，如果将转架平稳的送入到真空炉的内部需要浪费大量的人力物力，而且如果不能保证转架在转动的时候保持稳定，可能会导致镀膜不均匀。因此我们有必要针对现有技术的不足，而提出一种真空镀膜机。

发明内容

为了克服现有技术中的不足，本发明提出一种真空镀膜机，其能够旋转暂时镀膜产品，并且能够适用于不同规格的镀膜样品。

为了实现上述目的，本发明的一种真空镀膜机，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，转架包括转动部和滑动部，转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架，滑动部包括两呈圆弧形结构的底架，两底架之间通过连杆固定，底架两端分别设置转轮，第一固定架和第二固定架通过转轮分别与底架呈转动连接，转轮的下方还设置滑轮；

推车包括车架和设置在车架底部的滚轮，车架前后内侧壁沿长度方向设置固定座，固定座上端面沿长度方向设置凹槽，凹槽内上下滑动连接呈T形结构的导轨，滑轮沿导轨的上端面滚动，固定座的底部还通过螺纹旋接丝杆，丝杆的顶部支撑导轨的下端面。

优选的，第二固定架上设置若干卡座，卡座的连接轴穿过第一固定架连接齿轮，第一固定架上设置若干与卡座位置相对应的卡槽，卡槽与卡座之间连接用于固定基片的挂架。

优选的，两底架的外侧壁上均垂直连接支撑架，两支撑架之间连接设置加热组件，加热组件水平设置在第一固定架和第二固定架之间。

优选的，真空炉包括箱炉和箱盖，箱炉呈卧式设计，箱炉的底部通过支撑座固定，箱炉的顶部通过滑杆滑动连接滑座，滑座的下方固定连接箱盖，箱盖滑动至箱炉开口处并通过锁紧件与箱炉密闭连接。

优选的，箱炉的腔室中部靠下位置对称设置两滑架，两滑架之间距离与两滑轮之间距离相适配，转架通过滑轮沿滑架滚动进入到箱炉的腔室内。

优选的，箱炉中间靠下位置设置限位杆，两底架上贯穿设置与限位杆位置相对应的限位孔，转架进入箱炉内部时，底架通过限位孔沿着限位杆移动，并且第一固定架下方的底架上设置锁紧螺帽，锁紧螺帽通过螺纹旋接限位杆的端部将转架与限位杆固定。

优选的，车架前后侧壁对称设置挡架，并且车架上端面远离真空炉的一侧设置推架，挡架和推架均通过铝型材焊接而成。

优选的，抽空机构包括抽空筒、真空泵和滑阀泵，抽空筒连通真空炉内部，抽空筒通过导管依次连接真空泵和滑阀泵。

优选的，抽空管顶部垂直设置液压缸，液压缸的伸缩杆伸入到抽空筒的内部并连接密封板，密封板用于封闭或打开抽空筒通道。

本发明具有以下有益效果：

本发明提出的真空镀膜机，采用卧式设计，通过推车将转架送入到真空炉的内部，推车上的丝杆能够上下调节导轨的高度，使得导轨的高度能够与滑架的高度持平，方便将转架平稳的推入到真空炉内，并且通过限位杆不仅能够保证转架移动能够保持稳定，还可以通过限位杆旋接锁紧螺帽将转架的位置进行固定，使得真空镀膜机在工作时，能够保持稳定。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步描写和阐述。

图1是本发明首选实施方式的一种真空镀膜机的整体结构示意图。

图2是图1中真空镀膜机的侧视图。

图3是图1中真空镀膜机的转架结构示意图。

图4是图1中真空镀膜机的真空炉结构示意图。

图5是图1中真空镀膜机的推车结构示意图。

图6是图1中真空镀膜机的抽空机构结构示意图。

附图标记：1、真空炉；11、箱炉；12、箱盖；13、支撑座；14、滑架；15、限位杆；16、滑杆；17、滑座；2、转架；21、第一固定架；22、第二固定架；23、支撑杆；24、齿轮；25、卡座；26、底架；27、锁紧螺帽；28、限位孔；29、连杆；210、转轮；211、滑轮；212、支撑架；213、加热组件；3、推车；31、车架；32、滚轮；33、推架；34、挡架；35、固定座；36、导轨；37、丝杆；4、抽空机构；41、抽空筒；42、液压缸；43、导管；44、真空泵；45、滑阀泵。

具体实施方式

下面将结合附图、通过对本发明的优选实施方式的描述，更加清楚、完整地阐述本发明的技术方案。

实施例

如图1和图2所示，本发明的一种真空镀膜机，包括真空炉1、转架2、推车3和抽空机构4，抽空机构4连接真空炉1用于将真空炉1抽取真空，转架2滑动连接在推车3上并被推车3送入至真空炉1的内部。

本实施例中，真空镀膜机的镀膜工作时在真空炉1内完成，首先通过推车3将转架2推送至真空炉1一侧，然后将转架2由推车3推入到真空炉1内，盖上箱盖12，利用抽空机构4将真空炉1的内部抽真空，在真空环境下，转架2上的基片完成镀膜工作。

如图3所示，转架2包括转动部和滑动部，转动部包括通过支撑杆23连接的第一固定架21和第二固定架22，滑动部包括两呈圆弧形结构的底架26，两底架26之间通过连杆29固定，底架26两端分别设置转轮210，第一固定架21和第二固定架22通过转轮210分别与底架26呈转动连接，转轮210的下方还设置滑轮211。

本实施例中，第二固定架22上设置若干卡座25，卡座25的连接轴穿过第一固定架21连接齿轮24，第一固定架21上设置若干与卡座25位置相对应的卡槽，卡槽与卡座25之间连接用于固定基片的挂架，两底架26的外侧壁上均垂直连接支撑架212，两支撑架212之间连接设置加热组件213，加热组件213水平设置在第一固定架21和第二固定架22之间。卡座25与卡槽之间连接挂架，挂架上安装需要镀膜的基片；整个转动部是转动连接在滑动部上，滑动部的两个底架26上均设置转轮210，第一固定架21和第二固定架22分别通过两个底架26上的转轮210支撑，并且第一固定架21和第二固定架22可以通过转轮210转动；在转架2进入到真空炉1的内部后，真空炉1内部设置的驱动电机驱动整个转架2转动，同时真空炉1的内部还固定设置与齿轮24相啮合的转盘，在转架2转动的时候，齿轮24沿着齿盘自转，实现挂架自转，使得挂架上的基片在随着整个转架2公转的同时能够自转，使得基片镀膜均匀。

如图5所示，推车3包括车架31和设置在车架31底部的滚轮32，车架31前后内侧壁沿长度方向设置固定座35，固定座35上端面沿长度方向设置凹槽，凹槽内上下滑动连接呈T形结构的导轨36，滑轮211沿导轨36的上端面滚动，固定座35的底部还通过螺纹旋接丝杆37，丝杆37的顶部支撑导轨36的下端面。

本实施例中，车架31前后侧壁对称设置挡架34，并且车架31上端面远离真空炉1的一侧设置推架33，挡架34和推架33均通过铝型材焊接而成。整个导轨36的底部通过丝杆37支撑，通过旋转丝杆37可以上下调节丝杆37的高度，丝杆37带动导轨36上下移动，使得导轨36高度与真空炉1的内部滑架14高度相持平，方便将整个转架2平稳的推入到真空炉1内部，挡架34主要用于保护转架2，防止转架2从推车3上脱落，推架33主要方便推动整个推车3移动。

如图4所示，真空炉1包括箱炉11和箱盖12，箱炉11呈卧式设计，箱炉11的底部通过支撑座13固定，箱炉11的顶部通过滑杆16滑动连接滑座17，滑座17的下方固定连接箱盖12，箱盖12滑动至箱炉11开口处并通过锁紧件与箱炉11密闭连接。

本实施例中，箱炉11的腔室中部靠下位置对称设置两滑架14，两滑架14之间距离与两滑轮211之间距离相适配，转架2通过滑轮211沿滑架14滚动进入到箱炉11的腔室内，箱炉11中间靠下位置设置限位杆15，两底架26上贯穿设置与限位杆15位置相对应的限位孔28，转件进入箱炉11内部时，底架26通过限位孔28沿着限位杆15移动，并且第一固定架21下方的底架26上设置锁紧螺帽27，锁紧螺帽27通过螺纹旋接限位杆15的端部将转架2与限位杆15固定。转架2在进入到真空炉1内部时，滑动部底部的滑轮211沿着滑架14滑动，同时底架26上的线限位孔28对准限位杆15，并沿着限位杆15按照固定轨迹移动，在转架2进入到箱炉11内部时，通过滑座17滑动箱盖12，使得箱盖12盖合在箱炉11上，使得箱炉11内部能够与外界隔离密闭。

如图6所示，抽空机构4包括抽空筒41、真空泵44和滑阀泵45，抽空筒41连通真空炉1内部，抽空筒41通过导管43依次连接真空泵44和滑阀泵45，抽空管顶部垂直设置液压缸42，液压缸42的伸缩杆伸入到抽空筒41的内部并连接密封板，密封板用于封闭或打开抽空筒41通道。

本实施例中，真空泵44和滑阀泵45相互配合，并通过导管43和抽空管将真空炉1内部抽真空，抽空后液压缸42驱动密封板封闭抽空筒41管道，使得真空炉1能够保持真空状态。

上述具体实施方式仅仅对本发明的优选实施方式进行描述，而并非对本发明的保护范围进行限定。在不脱离本发明设计构思和精神范畴的前提下，本领域的普通技术人员根据本发明所提供的文字描述、附图对本发明的技术方案所作出的各种变形、替代和改进，均应属于本发明的保护范畴。本发明的保护范围由权利要求确定。

Claims (9)

1.一种真空镀膜机，包括真空炉、转架、推车和抽空机构，所述抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空，所述转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部，其特征在于，所述转架包括转动部和滑动部，所述转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架，所述滑动部包括两呈圆弧形结构的底架，两所述底架之间通过连杆固定，所述底架两端分别设置转轮，所述第一固定架和第二固定架通过转轮分别与底架呈转动连接，所述转轮的下方还设置滑轮；

所述推车包括车架和设置在车架底部的滚轮，所述车架前后内侧壁沿长度方向设置固定座，所述所述固定座上端面沿长度方向设置凹槽，所述凹槽内上下滑动连接呈T形结构的导轨，所述滑轮沿导轨的上端面滚动，所述固定座的底部还通过螺纹旋接丝杆，所述丝杆的顶部支撑导轨的下端面。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述第二固定架上设置若干卡座，所述卡座的连接轴穿过第一固定架连接齿轮，所述第一固定架上设置若干与卡座位置相对应的卡槽，所述卡槽与卡座之间连接用于固定基片的挂架。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机，其特征在于，两所述底架的外侧壁上均垂直连接支撑架，两所述支撑架之间连接设置加热组件，所述加热组件水平设置在第一固定架和第二固定架之间。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空炉包括箱炉和箱盖，所述箱炉呈卧式设计，所述箱炉的底部通过支撑座固定，所述箱炉的顶部通过滑杆滑动连接滑座，所述滑座的下方固定连接箱盖，所述箱盖滑动至箱炉开口处并通过锁紧件与箱炉密闭连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述箱炉的腔室中部靠下位置对称设置两滑架，两所述滑架之间距离与两滑轮之间距离相适配，所述转架通过滑轮沿滑架滚动进入到箱炉的腔室内。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述箱炉中间靠下位置设置限位杆，两所述底架上贯穿设置与限位杆位置相对应的限位孔，所述转架进入箱炉内部时，所述底架通过限位孔沿着限位杆移动，并且所述第一固定架下方的底架上设置锁紧螺帽，所述锁紧螺帽通过螺纹旋接限位杆的端部将转架与限位杆固定。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述车架前后侧壁对称设置挡架，并且所述车架上端面远离真空炉的一侧设置推架，所述挡架和推架均通过铝型材焊接而成。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述抽空机构包括抽空筒、真空泵和滑阀泵，所述抽空筒连通真空炉内部，所述抽空筒通过导管依次连接真空泵和滑阀泵。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述抽空管顶部垂直设置液压缸，所述液压缸的伸缩杆伸入到抽空筒的内部并连接密封板，所述密封板用于封闭或打开抽空筒通道。

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