CN218372496U - 一种真空镀膜机的转架安装结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空镀膜机的转架安装结构，包括转架装置，固定于转架装置底部轴心位置的转轴，设于转架装置底部且通过轴承与转轴转动安装的基板，固定于基板底面的若干同向的滑轮，设于真空腔内用于导向滑轮的滑轨，以及设于基板上的锁固装置。转架装置底部的转轴通过轴承与基板配合安装，使得转架装置可相对基板独立转动；基板设置滑轮，再配合真空腔内的滑轨，可使转架装置整体沿滑轨滑出，使得镀膜工件的悬挂及取出十分方便，极大地提高了生产效率，也方便真空腔内的清理维护；而转架装置滑入真空腔并完成转轴的对接后，锁固装置可将基板的位置锁定，从而使转架装置在真空腔内稳定地运行。

Description

一种真空镀膜机的转架安装结构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是指一种真空镀膜机的转架安装结构。

背景技术

真空镀膜设备包括真空腔，以及设于真空腔内用于悬挂待镀膜工件的转架；为了使各工件镀膜均匀，转架自身、以及设于转架上的各装夹杆均需要在真空腔内持续转动，使得转架的结构较为复杂，因此，现有镀膜设备的转架基本是固定安装在真空腔内的。镀膜时，需要将转架上的各装夹杆逐个取出，悬挂好工件后再逐个装入，而完成镀膜后，需要再依次取出。一方面，这种方式因悬挂及取出工件导致效率较低，另一方面，真空腔内因空间限制而难以进行清理及维修。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可提高生产效率、且方便清理维护的真空镀膜机的转架结构。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种真空镀膜机的转架安装结构，包括转架装置，固定于所述转架装置底部轴心位置的转轴，设于所述转架装置底部且通过轴承与所述转轴转动安装的基板，固定于所述基板底面的若干同向的滑轮，设于真空腔内用于导向所述滑轮的滑轨，以及设于所述基板上的锁固装置。

一种优选方案，所述锁固装置包括一端平行地固定于所述基板上的固定板，所述固定板具有朝所述滑轮滑入方向的缺槽，所述固定板上还转动安装有一平行的转动板，所述转动板上具有可与所述缺槽合围成锁孔的卡槽；对应地，真空腔内固设有与所述锁孔配合的竖向的锁杆。

一种优选方案，所述固定板上还具有限位所述转动板的弧形的导向槽，而所述转动板上垂直地设有与所述导向槽适配的导向柱。

一种优选方案，所述固定板上还向上垂直伸出一拉杆。

一种优选方案，所述拉杆与所述转动板的转动轴一体设置，且所述拉杆为内六角螺栓。

一种优选方案，所述转架装置包括轴心位置与所述转轴固定的圆形底板，所述底板上绕周均匀固定有若干竖向向上的固定杆，固定杆的顶端固定有与所述底板平行的顶板，而所述顶板上绕周均匀设置有若干竖向向下的装夹杆，所述装夹杆的顶端与所述顶板转动配合，而所述装夹杆的下端穿过所述底板，并与所述底板下方的一齿轮组装配。

一种优选方案，所述齿轮组包括与各所述装夹杆底端套设固定的从动齿轮，以及套设固定于所述转轴上的主动齿轮。

一种优选方案，所述转架装置还包括一覆盖于所述底板上方的屏蔽罩，所述固定杆及所述装夹杆均穿过所述屏蔽罩顶面，而所述屏蔽罩还具有绕周的侧围板。

本实用新型的有益效果在于：转架装置底部的转轴通过轴承与所述基板配合安装，使得转架装置可相对所述基板独立转动；基板设置所述滑轮，再配合真空腔内的滑轨，可使转架装置整体沿滑轨滑出，使得镀膜工件的悬挂及取出十分方便，极大地提高了生产效率，也方便真空腔内的清理维护；而转架装置滑入真空腔并完成转轴的对接后，锁固装置可将基板的位置锁定，从而使转架装置在真空腔内稳定地运行；而且，转架装置通过滑轮及滑轨移出，无需搬动，降低了劳动强度且不会损坏内部结构。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为实施例中转架安装结构示意图；

图2为实施例中锁固装置的结构示意图；

图3为实施例中去除屏蔽罩后的转架安装结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：

参考图1至图3，本实施例以一种真空镀膜机的转架安装结构为例进行说明，包括转架装置1，固定于所述转架装置1底部轴心位置的转轴2，设于所述转架装置1底部且通过轴承与所述转轴2转动安装的基板3，固定于所述基板3底面的若干同向的滑轮4，设于真空腔内用于导向所述滑轮4的滑轨，以及设于所述基板3上的锁固装置5。

使用时，转架装置1及基板3整体沿滑轨移出真空腔，将待镀膜工件悬挂在转架装置1上后再推入真空腔内，使底部的转轴2与动力装置的输出轴对接，再通过锁固装置5将转架装置1的位置锁定；完成镀膜后，打开锁固装置5，将转架装置1滑出，再将镀膜工件取出即可。

转架装置1底部的转轴2通过轴承与所述基板3配合安装，使得转架装置1可相对所述基板3独立转动；基板3设置所述滑轮4，再配合真空腔内的滑轨，可使转架装置1整体沿滑轨滑出，使得镀膜工件的悬挂及取出十分方便，极大地提高了生产效率，也方便真空腔内的清理维护；而转架装置1滑入真空腔并完成转轴2的对接后，锁固装置5可将基板3的位置锁定，从而使转架装置1在真空腔内稳定地运行；而且，转架装置1通过滑轮4及滑轨移出，无需搬动，降低了劳动强度且不会损坏内部结构。

一种优选结构，所述锁固装置5包括一端平行地固定于所述基板3上的固定板51，所述固定板51具有朝所述滑轮4滑入方向的缺槽511，所述固定板51上还转动安装有一平行的转动板52，所述转动板52上具有可与所述缺槽511合围成锁孔的卡槽521；对应地，真空腔内固设有与所述锁孔配合的竖向的锁杆。进一步，所述固定板51上还具有限位所述转动板52的弧形的导向槽512，而所述转动板52上垂直地设有与所述导向槽512适配的导向柱522。转架装置1滑入真空腔完成对接后，所述锁杆对应地卡入所述固定板51的缺槽511内，此时只需转动所述活动板，即可使所述卡槽521从侧向卡入所述锁杆，完成对锁杆的锁定，同理，开启锁固装置5时也只需转动所述转动板52；该锁固装置5结构十分简单，操作也方便。导向槽512则能限制转动板52的转动位置及转动角度，保证锁固装置5的可靠性。在其它实施例中，锁固装置5还可以是插销结构、扣接结构等形式。

一种优选结构，所述固定板51上还向上垂直伸出一拉杆53。拉杆53可方便将转架装置1推入或拉出真空腔。进一步，所述拉杆53与所述转动板52的转动轴一体设置，且所述拉杆53为内六角螺栓。通过扳手转动所述拉杆53，即可锁紧或打开所述锁固装置5。

一种优选结构，所述转架装置1包括轴心位置与所述转轴2固定的圆形底板11，所述底板11上绕周均匀固定有若干竖向向上的固定杆12，固定杆12的顶端固定有与所述底板11平行的顶板13，而所述顶板13上绕周均匀设置有若干竖向向下的装夹杆14，所述装夹杆14的顶端与所述顶板13转动配合，而所述装夹杆14的下端穿过所述底板11，并与所述底板11下方的一齿轮组15装配。进一步，所述齿轮组15包括与各所述装夹杆14底端套设固定的从动齿轮，以及套设固定于所述转轴2上的主动齿轮。转轴2由动力装置驱动旋转时，可带动转架装置1整体绕轴心转动，同时，还能通过齿轮组15带动装夹杆14各自绕轴心转动，使得悬挂于装夹杆14上的各工件均能均匀地完成镀膜。

一种优选结构，所述转架装置1还包括一覆盖于所述底板11上方的屏蔽罩16，所述固定杆12及所述装夹杆14均穿过所述屏蔽罩16顶面，而所述屏蔽罩16还具有绕周的侧围板。该屏蔽罩16能防止镀膜材料溅射至下方的齿轮组15。

以上所述并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：包括转架装置，固定于所述转架装置底部轴心位置的转轴，设于所述转架装置底部且通过轴承与所述转轴转动安装的基板，固定于所述基板底面的若干同向的滑轮，设于真空腔内用于导向所述滑轮的滑轨，以及设于所述基板上的锁固装置。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述锁固装置包括一端平行地固定于所述基板上的固定板，所述固定板具有朝所述滑轮滑入方向的缺槽，所述固定板上还转动安装有一平行的转动板，所述转动板上具有可与所述缺槽合围成锁孔的卡槽；对应地，真空腔内固设有与所述锁孔配合的竖向的锁杆。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述固定板上还具有限位所述转动板的弧形的导向槽，而所述转动板上垂直地设有与所述导向槽适配的导向柱。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述固定板上还向上垂直伸出一拉杆。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述拉杆与所述转动板的转动轴一体设置，且所述拉杆为内六角螺栓。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述转架装置包括轴心位置与所述转轴固定的圆形底板，所述底板上绕周均匀固定有若干竖向向上的固定杆，固定杆的顶端固定有与所述底板平行的顶板，而所述顶板上绕周均匀设置有若干竖向向下的装夹杆，所述装夹杆的顶端与所述顶板转动配合，而所述装夹杆的下端穿过所述底板，并与所述底板下方的一齿轮组装配。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述齿轮组包括与各所述装夹杆底端套设固定的从动齿轮，以及套设固定于所述转轴上的主动齿轮。

8.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的转架安装结构，其特征在于：所述转架装置还包括一覆盖于所述底板上方的屏蔽罩，所述固定杆及所述装夹杆均穿过所述屏蔽罩顶面，而所述屏蔽罩还具有绕周的侧围板。

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