CN117512533B - 真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明属于真空镀膜技术领域，旨在提供一种真空镀膜设备，包括架台，架台的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔和四个镀膜腔，过渡腔与四个镀膜腔均相连通，过渡腔与最左侧的镀膜腔之间设有插板阀；过渡腔的腔体内设有工件移栽机构，四个镀膜腔的内部上端设有移动小车，每两个相邻的镀膜腔的连接处的下方均设有两个溅射源机构。本发明具有多个溅射源依次对工件进行镀膜、节约时间、方便拿取工件、方便根据工件调节溅射源于工件之间距离的优点。

Description

真空镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜设备。

背景技术

红外镀膜工艺是一种广泛应用于红外技术和光学领域的技术手段，其主要是通过在光学元件表面镀覆一层特殊材料，以改变光学元件的透射、反射和吸收特性，从而实现对红外光的传输和控制。

溅射镀膜机是一种常用的表面处理设备，通过将材料蒸发并沉积在基底表面形成一层薄膜，以改善基底的物理、化学和光学性质；溅射源是溅射镀膜机的核心部件之一，通常由靶材和阴极组成，靶材是被沉积到基底表面的材料，可以是金属、合金或化合物等，阴极则提供了电子，使得靶材被激发并产生离子；在溅射镀膜过程中，需要一个气体环境来保护靶材和基底，并控制沉积速率和成分。通常使用惰性气体(如氩气)作为保护气体，并通过调节气压和流量来控制沉积速率；当阴极提供电子时，它们会与惰性气体中的原子或分子碰撞产生离子这些离子会被加速并撞击到靶材表面，从而使得靶材中的原子或分子被激发并蒸发；靶材蒸发的原子或分子会向基底表面沉积，并形成一层薄膜，沉积速率可以通过调节气压、流量和离子能量等参数来控制，同时，可以通过更换不同的靶材来改变沉积膜的成分和性质。

目前，市面上的红外镀膜设备大多是单开门设计，因此在需要多个靶枪依次进行镀膜时，则需要取出重新放置，而镀膜设备装载和卸载工件，每次更换工件都需要排气和抽真空，此过程时间相对较浪费，而且多个设备占用大量的空间。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空镀膜设备，具有多个溅射源依次对工件进行镀膜、节约时间、方便拿取工件、方便根据工件调节溅射源于工件之间距离的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

真空镀膜设备，包括架台，所述架台的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔和四个镀膜腔，所述过渡腔与四个镀膜腔均相连通，所述过渡腔与最左侧的镀膜腔之间设有插板阀；

所述过渡腔的腔体内设有工件移栽机构，四个所述镀膜腔的内部上端设有移动小车，每两个相邻的镀膜腔的连接处的下方均设有两个溅射源机构。

其中优选方案如下：

优选的：所述工件移栽机构包括安装板、两个第一滑行轨道、第一位移板、第二位移板、第一驱动机构、叉臂；

所述安装板为方形板，两个所述第一滑行轨道分别呈横向固定位于安装板的顶部前侧与顶部后侧，所述第一位移板滑移连接于两个第一滑行轨道之间，所述第二位移板滑移连接于第一位移板的顶部，所述叉臂转动连接于第二位移板的顶部右侧，所述第一驱动机构位于安装板的底部，所述第一驱动机构与第一位移板传动连接，所述第一位移板与第二位移板传动连接；

两个所述第一滑行轨道沿安装板的横向中心轴线镜像对称放置，位于前侧的第一滑行轨道的后侧部的上端与下端分别开设有横向的第一滑槽与第二滑槽，所述第一位移板的纵向竖截面呈“U”形，所述第一位移板的前侧部上端与后侧部上端均设有第一滚轮组件，两组所述第一滚轮组件分别位于其对应的第一滑槽内，所述第一位移板的前侧部下端固定设有横向放置的第一齿条，所述第一位移板通过第一齿条与第一驱动机构传动连接；

所述第一位移板的内部前侧壁上端与内部后侧壁上端均设有第二滚轮组件，所述第二位移板与两组第二滚轮组件滑移连接，所述第二位移板的纵向竖截面呈“冂”形，所述第二位移板的前侧部与后侧部均设有呈横向的第三滑槽，两组所述第二滚轮组件分别位于其对应的第三滑槽内。

优选的：所述安装板的顶部横向放置有第二齿条，所述第一位移板的内部底壁的中间位置设有第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮同轴固定连接，第二齿轮位于第一齿轮的后侧，所述第一齿轮与第二齿条相啮合；

所述第二位移板的内部顶壁横向放置有第三齿条，所述第一位移板的内部底壁的右侧设有第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮与第四齿轮同轴固定连接，第四齿轮位于第三齿轮的后侧，所述第四齿轮与第三齿条相啮合，所述第二齿轮与第三齿轮上套设有链条。

优选的：所述第一驱动机构包括第一电机、第五齿轮，所述第一电机固定位于架台左侧内部顶壁，所述位于前侧的第一滑行轨道的前侧部开设有第一方形穿孔，所述第一方形穿孔与第二滑槽相连通，所述第五齿轮位于第一方形穿孔内，所述第五齿轮与第一齿条相啮合，所述第五齿轮与第一电机传动连接。

优选的：所述工件移栽机构还包括顶升机构，所述顶升机构包括第二电机、第六齿轮、第七齿轮、丝杆、螺母座、两组导向机构，所述螺母座包括外壳与丝杆螺母，所述丝杆螺母转动连接于外壳内部，所述外壳与第二电机均固定位于架台左侧内部顶壁，所述丝杆与丝杆螺母螺纹连接，所述丝杆的顶部与安装板的底部转动连接，所述第六齿轮与第二电机的转动轴固定连接，所述第七齿轮与丝杆螺母固定连接，所述第六齿轮与第七齿轮相啮合；

两组所述导向机构分别固定位于安装板的底部前侧与底部后侧，两组所述导向机构沿安装板的横向中心轴线镜像对称放置，每组导向机构均包括两个连接块、两个第四齿条、两个第八齿轮、两个导向杆、两个安装块、转轴，所述安装板的底部右侧的前侧与后侧、两个第一滑行轨道的底部左侧均固定设有连接块，每个所述连接块上均固定设有第四齿条，两个所述转轴分别位于安装板的底部前方与底部后方，每个所述转轴的左端与右端均固定设有第八齿轮，每个所述第八齿轮均与其对应的第四齿条相啮合，所述安装板的四角处均固定设有法兰直线轴承，四个所述导向杆分别呈竖直状滑移连接于四个法兰直线轴承内，四个导向杆的底部均设有安装块，每个安装块分别套设于其对应的转轴上，所述架台的顶部左侧固定设有纵向竖截面呈“冂”形的安装架，四个所述安装块分别固定位于安装架的内部前侧壁与内部后侧壁；

所述安装架的顶部开设有第二方形穿孔，所述安装板位于第二方形穿孔内。

优选的：所述移动小车包括两组丝杆导轨滑台、放置板、第三电机、第九齿轮、第十齿轮、放置腔、工件盘，两组所述丝杆导轨滑台分别固定位于四个镀膜腔的内部顶壁的前侧与后侧，所述放置板与两组丝杆导轨滑台滑移连接，所述第九齿轮与第十齿轮均转动连接于放置板的顶部，所述第九齿轮与第十齿轮相互啮合，所述第十齿轮位于放置板中间位置，所述放置腔位于放置板正下方，所述第十齿轮与放置腔固定连接，所述第三电机固定位于放置板底部，所述第三电机与第九齿轮传动连接，所述工件盘固定位于放置腔内。

优选的：所述工件盘呈圆柱形，所述工件盘的顶部设有圆形槽，所述圆形槽的底部设有圆形穿孔，所述圆形槽内部设有压块，所述压块与圆形槽内部底壁之间设有工件；

所述工件盘的外侧壁上端设有圆环状的卡环，所述卡环的顶部与工件盘的顶部平齐，所述卡环的左侧与右侧均设有定位孔，所述卡环的前侧部设有贯穿前侧部至后侧部的第三方形穿孔；

所述放置腔包括连接杆、两个卡臂，所述连接杆顶部与第十齿轮固定连接，两个所述卡臂均为横向竖截面均成“C”形的板块，两个所述卡臂沿连接杆的轴线镜像对称放置，两个所述卡臂的“C”形开口的内部底壁均固定设有定位销，两个所述定位销分别与卡环的两个定位孔位置相对应。

优选的：每个所述溅射源机构均包括两组交叉导轨、升降机构、靶枪、调节机构，每组所述交叉导轨均包括固定轨和滑轨，每个所述固定轨均与架台固定连接，每个所述升降机构均包括固定板、两个三轴气缸、两个导向板、密封板、密封胶条，所述固定板呈“回”形，所述固定板固定位于其对应的两个滑轨的顶部，两个导向板分别固定位于固定板的顶部前侧与后侧，两个所述三轴气缸分别固定位于两个导向板的底部，所述密封板位于两个导向板的正上方，所述密封板的底部与两个三轴气缸的伸缩杆固定连接，所述密封胶条呈“回”形状，所述密封胶条固定位于密封板的顶部；

所述调节机构包括调节板、螺纹杆、两根限位杆、两根滑杆、螺纹座、手轮，所述调节板位于密封板的正下方，所述靶枪位于密封板的正上方，所述靶枪的底部固定设有连接板，两根所述限位杆固定位于调节板的顶部前侧与后侧，两根限位杆的顶部穿过密封板与连接板的底部固定连接，所述滑杆固定位于密封板的底部，所述滑杆滑移连接穿插于密封板内，所述螺纹座固定位于调节板底部，所述螺纹杆的顶部与密封板底部转动连接，所述螺纹杆与螺纹座螺纹连接，所述手轮固定位于螺纹杆的底部；

每个所述镀膜腔的底部均开设有与靶枪相对应的开口，每个所述密封板顶部均与其对应的镀膜腔的底部相抵。

优选的：每个所述镀膜腔底部的开口处均设有呈方环状的护板，所述护板的顶部与靶枪的顶部平齐，每个所述镀膜腔底部的开口处还设有遮挡机构，每个所述遮挡机构分别滑移位于其对应的护板的顶部；

所述遮挡机构包括旋转气缸、第十一齿轮、第十二齿轮、第十三齿轮、第五齿条、磁流体密封传动轴、移动板、遮挡板、滑行轨，所述旋转气缸固定位于其对应的镀膜腔的底部，所述第十一齿轮与旋转气缸固定连接，所述磁流体密封传动轴与其对应的镀膜腔固定连接，所述磁流体密封传动轴的底部固定设有第十二齿轮，所述第十二齿轮与第十一齿轮相啮合，所述磁流体密封传动轴的顶部固定设有第十三齿轮，所述第十三齿轮与第五齿条相啮合，所述第五齿条与移动板固定连接，所述滑行轨固定位于其对应的镀膜腔的内部底壁，所述移动板与滑行轨滑移连接，所述遮挡板与移动板固定连接，所述遮挡板位于护板的顶部。

综上所述，本发明具有以下有益效果：

1.通过工件移栽机构和移动小车的设置，能够起到方便将工件盘通过第三方形穿孔插入在工件移栽机构的叉臂的右侧，工件移栽机构工作，将工作盘放置在移动小车内，随后移动小车在四个镀膜腔内部移动的效果；

2.通过四个镀膜腔的设置，能够起到方便移动小车在镀膜腔内部左右移动，方便移动小车带动工件分别依次镀膜的效果；

3.通过溅射源机构的设置，能够起到方便调节靶枪高度、方便保持镀膜腔内密封、方便更换靶枪的效果。

附图说明

图1是实施例的整体结构造型示意图的前侧视图；

图2是实施例的整体结构造型示意图的主视图；

图3是实施例的整体结构造型示意图去除过渡腔开关门与四个镀膜腔顶部的前侧视图；

图4是实施例的工件移栽机构的前侧视图；

图5是实施例的工件移栽机构的前视图；

图6是图5中B-B方向的剖视图；

图7是图4中A的放大图；

图8是实施例的工件移栽机构插入移动小车后的左视图；

图9是图8中C-C方向的剖视图；

图10是移动小车的前视图；

图11是图10中D-D方向的剖视图；

图12是溅射源机构的前视图；

图13是图12中E-E方向的剖视图；

图14是溅射源机构的左侧视图；

图15是遮挡机构的前视图；

图16是遮挡机构的左视图。

图中，1、架台；2、过渡腔；3、镀膜腔；4、插板阀；5、工件移栽机构；6、移动小车；7、溅射源机构；111、安装架；311、护板；312、遮挡机构；313、旋转气缸；314、第十一齿轮；315、第十二齿轮；316、第十三齿轮；317、第五齿条；318、磁流体密封传动轴；319、移动板；320、遮挡板；321、滑行轨；511、安装板；512、第一滑行轨道；513、第一位移板；514、第二位移板；515、第一驱动机构；516、叉臂；517、第一滚轮组件；518、第一齿条；519、第二滚轮组件；520、第二齿条；521、第一齿轮；522、第二齿轮；523、第三齿条；524、第三齿轮；525、第四齿轮；526、链条；527、第一电机；528、第五齿轮；529、顶升机构；530、第二电机；531、第六齿轮；532、第七齿轮；533、丝杆；534、螺母座；535、导向机构；536、外壳；537、丝杆螺母；538、连接块；539、第四齿条；540、第八齿轮；541、导向杆；542、安装块；543、转轴；545、法兰直线轴承；611、丝杆导轨滑台；612、放置板；613、第三电机；614、第九齿轮；615、第十齿轮；616、放置腔；617、工件盘；618、压块；619、工件；620、卡环；621、连接杆；622、卡臂；623、定位销；711、交叉导轨；712、升降机构；713、靶枪；714、调节机构；715、固定轨；716、滑轨；717、固定板；718、三轴气缸；719、导向板；720、密封板；721、密封胶条；722、调节板；723、螺纹杆；724、限位杆；725、滑杆；726、螺纹座；727、手轮；728、连接板。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向。

真空镀膜设备，如图1、图2和图11所示，包括架台1，架台1的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔2和四个镀膜腔3，过渡腔2与四个镀膜腔3均相连通；

过渡腔2的腔体内设有工件移栽机构5，用于放置和取出工件619；

四个镀膜腔3的内部上端设有移动小车6，用于放置工件移栽机构5送来的工件619，并带动工件619左右移动依次镀膜；

每两个相邻的镀膜腔3的连接处的下方均设有两个溅射源机构7，四个镀膜腔3的下方共设有六个溅射源机构7，用于对工件619进行溅射镀膜；

过渡腔2与最左侧的镀膜腔3之间设有插板阀4，插板阀4用于将过渡腔2与镀膜腔3间隔开。

在过渡腔2和四个镀膜腔3的前侧部均设有开关门，方便对过渡腔2和四个镀膜腔3内部进行维护与监控。

如图3、图4、图5、图6、图9所示，工件移栽机构5包括安装板511、两个第一滑行轨道512、第一位移板513、第二位移板514、第一驱动机构515、叉臂516、顶升机构529；

安装板511为方形板，两个第一滑行轨道512分别呈横向固定位于安装板511的顶部前侧与顶部后侧，第一位移板513滑移连接于两个第一滑行轨道512之间，第二位移板514滑移连接于第一位移板513的顶部，叉臂516转动连接于第二位移板514的顶部右侧，第一驱动机构515位于安装板511的底部，第一驱动机构515与第一位移板513传动连接，第一位移板513与第二位移板514传动连接；

两个第一滑行轨道512沿安装板511的横向中心轴线镜像对称放置，位于前侧的第一滑行轨道512的后侧部的上端与下端分别开设有横向的第一滑槽与第二滑槽，第一位移板513的纵向竖截面呈“U”形，第一位移板513的前侧部上端与后侧部上端均设有第一滚轮组件517，两组第一滚轮组件517分别位于其对应的第一滑槽内，第一位移板513的前侧部下端固定设有横向放置的第一齿条518，第一位移板513通过第一齿条518与第一驱动机构515传动连接；

第一位移板513的内部前侧壁上端与内部后侧壁上端均设有第二滚轮组件519，第二位移板514与两组第二滚轮组件519滑移连接，第二位移板514的纵向竖截面呈“冂”形，第二位移板514的前侧部与后侧部均设有呈横向的第三滑槽，两组第二滚轮组件519分别位于其对应的第三滑槽内。

第一滚轮组件517和第二滚轮组件519均包括呈横向与纵向间隔放置的滚轮。

安装板511的顶部横向放置有第二齿条520，第一位移板513的内部底壁的中间位置设有第一齿轮521和第二齿轮522，第二齿轮522与第一齿轮521同轴固定连接，第二齿轮522位于第一齿轮521的后侧，第一齿轮521与第二齿条520相啮合；

第二位移板514的内部顶壁横向放置有第三齿条523，第一位移板513的内部底壁的右侧设有第三齿轮524和第四齿轮525，第三齿轮524与第四齿轮525同轴固定连接，第四齿轮525位于第三齿轮524的后侧，第四齿轮525与第三齿条523相啮合，第二齿轮522与第三齿轮524上套设有链条526。

第一驱动机构515包括第一电机527、第五齿轮528，第一电机527固定位于架台1左侧内部顶壁，位于前侧的第一滑行轨道512的前侧部开设有第一方形穿孔，第一方形穿孔与第二滑槽相连通，第五齿轮528位于第一方形穿孔内，第五齿轮528与第一齿条518相啮合，第五齿轮528与第一电机527传动连接。

第一电机527工作，带动第五齿轮528转动，第五齿轮528与第一齿条518相啮合，因此第五齿轮528带动第一位移板513向右移动，由于两组第一滚轮组件517的设置，因此，在方便第一位移板513向右移动的同时，还起到了限位的作用；由于第一位移板513向右移动，第一齿轮521与第二齿条520相啮合，第一齿轮521在第二齿条520固定的情况下顺时针转动，第二齿轮522与第一齿轮521同轴固定连接，第二齿轮522与第三齿轮524上套设有链条526，第二齿轮522带动第三齿轮524顺时针转动，第三齿轮524与第四齿轮525同轴固定连接，因此第四齿轮525转动，第四齿轮525与第三齿条523相啮合，因此带动第二位移板514向右移动，转动位于第二位移板514顶部右侧的叉臂516向右移动，将叉臂516插入至移动小车6内。

顶升机构529包括第二电机530、第六齿轮531、第七齿轮532、丝杆533、螺母座534、两组导向机构535，螺母座534包括外壳536与丝杆螺母537，丝杆螺母537转动连接于外壳536内部，外壳536与第二电机530均固定位于架台1左侧内部顶壁，丝杆533与丝杆螺母537螺纹连接，丝杆533的顶部与安装板511的底部转动连接，第六齿轮531与第二电机530的转动轴固定连接，第七齿轮532与丝杆螺母537固定连接，第六齿轮531与第七齿轮532相啮合；第二电机530带动第六齿轮531转动，第六齿轮531带动第七齿轮532转动，第七齿轮532带动丝杆螺母537转动，进而在两组导向机构535的作用下，带动丝杆533上下移动，进而带动安装板511上下移动，其中为了方便固定第二电机530，在第二电机530的顶部设有支撑杆，给第六齿轮531留有安装的空间。

两组导向机构535分别固定位于安装板511的底部前侧与底部后侧，两组导向机构535沿安装板511的横向中心轴线镜像对称放置，每组导向机构535均包括两个连接块538、两个第四齿条539、两个第八齿轮540、两个导向杆541、两个安装块542、转轴543，安装板511的底部右侧的前侧与后侧、两个第一滑行轨道512的底部左侧均固定设有连接块538，每个连接块538上均固定设有第四齿条539，位于前侧的两个连接块538的前侧部设有呈竖直状的第四齿条539，位于后侧的两个连接块538的后侧部设有呈竖直状的第四齿条539，两个转轴543分别位于安装板511的底部前方与底部后方，每个转轴543的左端与右端均固定设有第八齿轮540，每个第八齿轮540均与其对应的第四齿条539相啮合，安装板511的四角处均固定设有法兰直线轴承545，四个导向杆541分别呈竖直状滑移连接于四个法兰直线轴承545内，四个导向杆541的底部均设有安装块542，每个安装块542分别套设于其对应的转轴543上，架台1的顶部左侧固定设有纵向竖截面呈“冂”形的安装架111，四个安装块542分别固定位于安装架111的内部前侧壁与内部后侧壁；

安装架111的顶部开设有第二方形穿孔，安装板511位于第二方形穿孔内。

由于转轴543是通过安装块542限位的，因此，当安装板511升降时，四个导向杆541起到第一步限位的效果，为了进一步限位，四个第四齿条539与其对应的第八齿轮540相互啮合，并带动其对应的第八齿轮540转动，达到进一步限位的效果。

如图1、图3、图8、图9、图10、图11所示，移动小车6包括两组丝杆导轨滑台611、放置板612、第三电机613、第九齿轮614、第十齿轮615、放置腔616、工件盘617，两组丝杆导轨滑台611分别固定位于四个镀膜腔3的内部顶壁的前侧与后侧，放置板612与两组丝杆导轨滑台611滑移连接，第九齿轮614与第十齿轮615均转动连接于放置板612的顶部，第九齿轮614与第十齿轮615相互啮合，第十齿轮615位于放置板612中间位置，放置腔616位于放置板612正下方，第十齿轮615与放置腔616固定连接，第三电机613固定位于放置板612底部，第三电机613与第九齿轮614传动连接，工件盘617固定位于放置腔616内。

工件盘617呈圆柱形，工件盘617的顶部设有圆形槽，圆形槽的底部设有圆形穿孔，圆形槽内部设有压块618，压块618与圆形槽内部底壁之间设有工件619；

工件盘617的外侧壁上端设有圆环状的卡环620，卡环620的顶部与工件盘617的顶部平齐，卡环620的左侧与右侧均设有定位孔，卡环620的前侧部设有贯穿前侧部至后侧部的第三方形穿孔；

放置腔616包括连接杆621、两个卡臂622，连接杆621顶部与第十齿轮615固定连接，两个卡臂622均为横向竖截面均成“C”形的板块，两个卡臂622沿连接杆621的轴线镜像对称放置，两个卡臂622的“C”形开口的内部底壁均固定设有定位销623，两个定位销623分别与卡环620的两个定位孔位置相对应。

工件盘617的初始状态通过第三方形穿孔插接于叉臂516的右侧部，叉臂516向右移动，带动工件盘617向右位移，此时，工件盘617位于放置腔616内，而叉臂516在顶升机构529的作用下向下降落，工件盘617此时通过两个定位孔插接于放置腔616的两个卡臂622的定位销623内，此时，叉臂516向左移动，叉臂516抽离工件盘617；在溅射源机构7进行工作时，第三电机613带动第九齿轮614转动，进而带动第十齿轮615转动，第十齿轮615带动连接杆621转动，最终，带动两个卡臂622转动，使得工件盘617转动，使工件盘617的工件619底部镀膜均匀。

如图1、图12、图13、图14所示，每个溅射源机构7均包括两组交叉导轨711、升降机构712、靶枪713、调节机构714，每组交叉导轨711均包括固定轨715和滑轨716，每个固定轨715均与架台1固定连接，每个升降机构712均包括固定板717、两个三轴气缸718、两个导向板719、密封板720、密封胶条721，固定板717呈“回”形，固定板717固定位于其对应的两个滑轨716的顶部，两个导向板719分别固定位于固定板717的顶部前侧与后侧，两个三轴气缸718分别固定位于两个导向板719的底部，密封板720位于两个导向板719的正上方，密封板720的底部与两个三轴气缸718的伸缩杆固定连接，密封胶条721呈“回”形状，密封胶条721固定位于密封板720的顶部；

调节机构714包括调节板722、螺纹杆723、两根限位杆724、两根滑杆725、螺纹座726、手轮727，调节板722位于密封板720的正下方，靶枪713位于密封板720的正上方，靶枪713的底部固定设有连接板728，两根所述限位杆724固定位于调节板722的顶部前侧与后侧，两根限位杆724的顶部穿过密封板720与连接板728的底部固定连接，所述滑杆725固定位于密封板720的底部，所述滑杆725滑移连接穿插于密封板720内，所述螺纹座726固定位于调节板722底部，所述螺纹杆723的顶部与密封板720底部转动连接，所述螺纹杆723与螺纹座726螺纹连接，所述手轮727固定位于螺纹杆723的底部；

每个镀膜腔3的底部均开设有与靶枪713相对应的开口，每个密封板720顶部均与其对应的镀膜腔3的底部相抵。

不同靶枪713的厚度是不一致的，因此，为了防止靶枪713与移动小车6相撞和找到最佳的溅射位置，因此使用手轮727带动螺纹杆723转动，在密封板720固定的条件下，通过调节板722上下移动，进而带动限位杆724上下移动，最终带动靶枪713上升与下移。

当需要更换靶枪713时，两个三轴气缸718的伸缩杆下降，带动调节机构714与密封板720下降，随后沿着两组交叉导轨711，将溅射源机构7向前拉动，进而可将溅射源机构7拖出，更换靶枪713。

如图3、图11、图14、图15、图16所示，由于移动小车6带着工件619，是自左向右依次进行镀膜的，因此，未工作的靶枪713很容易受到正在工作的靶枪713的污染，为了防止污染，在每个镀膜腔3底部的开口处均设有呈方环状的护板311，护板311的顶部与靶枪713的顶部平齐，每个镀膜腔3底部的开口处的前侧还设有遮挡机构312，每个遮挡机构312分别滑移位于其对应的护板311的顶部，而移动小车6位于遮挡机构312的上方，避免与遮挡机构312相互干涉，当靶枪713需要工作时，遮挡机构312产生位移。

遮挡机构312包括旋转气缸313、第十一齿轮314、第十二齿轮315、第十三齿轮316、第五齿条317、磁流体密封传动轴318、移动板319、遮挡板320、滑行轨321，旋转气缸313固定位于其对应的镀膜腔3的底部，第十一齿轮314与旋转气缸313固定连接，磁流体密封传动轴318与其对应的镀膜腔3固定连接，磁流体密封传动轴318的底部固定设有第十二齿轮315，第十二齿轮315与第十一齿轮314相啮合，磁流体密封传动轴318的顶部固定设有第十三齿轮316，第十三齿轮316与第五齿条317相啮合，第五齿条317与移动板319固定连接，滑行轨321固定位于其对应的镀膜腔3的内部底壁，移动板319与滑行轨321滑移连接，遮挡板320与移动板319固定连接，遮挡板320位于护板311的顶部。旋转气缸313带动第十一齿轮314转动，进而带动第十二齿轮315转动，最终通过磁流体密封传动轴318带动第十三齿轮316转动，第十三齿轮316与第五齿条317啮合，带动移动板319移动，通过滑行轨321，对移动板319进行限位，而滑行轨321为V型导轨，在移动板319的后侧部的上端与下端均设有两个V型滚轮，在起到限位的同时，方便移动板319左右移动。

具体实施过程：

步骤一：真空镀膜设备处于初始状态，此时插板阀4为上升打开状，每个靶枪713均属于不工作状态，每个遮挡机构312的遮挡板320均位于其对应的靶枪713的顶部，移动小车6位于最左侧的镀膜腔3的内部左侧；

步骤二：操作人员将工件619放置于工件盘617的圆形槽的内部底壁，并且在工件619的顶部放置有压块618，对工件619进行限位；

打开过渡腔2前侧的开关门，转动叉臂516，使叉臂516的右端转动至前端，将工件盘617通过第三方形穿孔插接与叉臂516上，再次转动叉臂516，使叉臂516恢复至初始位置；

关紧过渡腔2前侧的开关门；

步骤四：第一驱动机构515的第一电机527工作，带动第一电机527顶部的第五齿轮528转动，第五齿轮528与第一位移板513前侧部下端的第一齿条518相啮合，因此在第五齿轮528与第一位移板513向右移动；

由于第一位移板513向右移动，第一位移板513的内壁底壁的第一齿轮521与安装板511顶部的第二齿条520相啮合，因此，在第二齿条520固定的情况下，第一齿轮521伴随着第一位移板513的右移而顺时针转动；

由于第二齿轮522与第一齿轮521同轴固定连接，第二齿轮522与第三齿轮524上套设有链条526，第二齿轮522带动第三齿轮524顺时针转动，第三齿轮524与第四齿轮525同轴固定连接，因此第四齿轮525顺时针转动；

而第四齿轮525与第二位移板514的内部顶壁的第三齿条523相啮合，因此带动第二位移板514向右移动，转动位于第二位移板514顶部右侧的叉臂516向右移动;

步骤五：叉臂516带着工件盘617插入至移动小车6的放置腔616内，此时工件盘617的卡环620位于放置腔616的两个卡臂622的“C”形开口的内部上端；

顶升机构529的第二电机530工作，第二电机530带动第六齿轮531转动，第六齿轮531带动第七齿轮532转动，由于螺母座534的外壳536是固定的，丝杆533锁母与外壳536转动连接，第七齿轮532带动丝杆螺母537转动，进而在两组导向机构535的限位作用下，带动丝杆533向下移动，进而带动安装板511向下移动，安装板511向下移动，进而带动叉臂516向下移动，最终带动工件盘617向下移动；

工件盘617此时通过两个定位孔插接于放置腔616的两个卡臂622的定位销623内，此时，叉臂516向左移动，叉臂516抽离工件盘617，并回到过渡腔2内；

步骤六：插板阀4关闭，将过渡腔2与四个镀膜腔3间隔开，过渡腔2与四个镀膜腔3内部抽取真空，四个镀膜腔3内部送入惰性气体；

步骤七：移动小车6带着工件盘617自左向右移动，依次在六个溅射源机构7顶部对工件619进行溅射镀膜；

当到达对应溅射源机构7时，此时，旋转气缸313工作，带动第十一齿轮314转动，第十一齿轮314与第十二齿轮315相啮合，进而带动第十二齿轮315转动，第十二齿轮315与磁流体密封传动轴318固定连接，通过磁流体密封传动轴318带动第十三齿轮316转动，第十三齿轮316与第五齿条317啮合，通过第五齿条317带动移动板319移动，进而使位于靶枪713顶部的遮挡板320离开靶枪713，靶枪713工作，对位于靶枪713上方的工件619进行镀膜；

此时，未工作的靶枪713的遮挡板320均位于其对应的靶枪713的顶部，当工作的靶枪713镀膜完成，移动小车6带动工件619移动至下一个靶枪713，完成工作的靶枪713的遮挡板320复位，待工作的靶枪713的遮挡板320产生位移，方便靶枪713工作；

步骤八：移动小车6带着工件盘617将工件619镀膜完成，移动小车6带着工件盘617移动至最左侧的镀膜腔3的内部左侧，此时，过渡腔2与四个镀膜腔3内通入气体，确保气压一致，插板阀4打开，工件移栽机构5工作，工件移栽机构5的叉臂516插入至工件盘617的第三方行穿孔内，工件移栽机构5的顶升机构529带动安装板511上升，工件盘617的定位孔脱离放置腔616的卡臂622的定位销623，工件619移载机构带动叉臂516向左移动，工件盘617脱离移动小车6回到过渡腔2内；

步骤九：操作人员打开过渡腔2前侧的开关门，转动叉臂516，使叉臂516的右端转动至前端，将工件盘617取出；

步骤十：重复步骤二至步骤九，对工件619进行镀膜；

步骤十一：需要更换靶枪713时，两个三轴气缸718的伸缩杆下降，带动调节机构714与密封板720下降，随后沿着两组交叉导轨711，将溅射源机构7向前拉动，进而可将溅射源机构7拖出，更换靶枪713；

更换靶枪713后，需要调节靶枪713的高度，转动手轮727，通过手轮727带动螺纹杆723转动，在调节板722通过限位杆724与连接板728固定的条件下，且通过两根滑杆725进行限位，螺纹杆723带动调节板722上升与下移，进而带动靶枪713上升与下移。

本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.真空镀膜设备，其特征在于：包括架台（1），所述架台（1）的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔（2）和四个镀膜腔（3），所述过渡腔（2）与四个镀膜腔（3）均相连通，所述过渡腔（2）与最左侧的镀膜腔（3）之间设有插板阀（4）；

所述过渡腔（2）的腔体内设有工件移栽机构（5），四个所述镀膜腔（3）的内部上端设有移动小车（6），每两个相邻的镀膜腔（3）的连接处的下方均设有两个溅射源机构（7）；

每个所述溅射源机构（7）均包括两组交叉导轨（711）、升降机构（712）、靶枪（713）、调节机构（714），每组所述交叉导轨（711）均包括固定轨（715）和滑轨（716），每个所述固定轨（715）均与架台（1）固定连接，每个所述升降机构（712）均包括固定板（717）、两个三轴气缸（718）、两个导向板（719）、密封板（720）、密封胶条（721），所述固定板（717）呈“回”形，所述固定板（717）固定位于其对应的两个滑轨（716）的顶部，两个导向板（719）分别固定位于固定板（717）的顶部前侧与后侧，两个所述三轴气缸（718）分别固定位于两个导向板（719）的底部，所述密封板（720）位于两个导向板（719）的正上方，所述密封板（720）的底部与两个三轴气缸（718）的伸缩杆固定连接，所述密封胶条（721）呈“回”形状，所述密封胶条（721）固定位于密封板（720）的顶部；

所述调节机构（714）包括调节板（722）、螺纹杆（723）、两根限位杆（724）、两根滑杆（725）、螺纹座（726）、手轮（727），所述调节板（722）位于密封板（720）的正下方，所述靶枪（713）位于密封板（720）的正上方，所述靶枪（713）的底部固定设有连接板（728），两根所述限位杆（724）固定位于调节板（722）的顶部前侧与后侧，两根限位杆（724）的顶部穿过密封板（720）与连接板（728）的底部固定连接，所述滑杆（725）固定位于密封板（720）的底部，所述滑杆（725）滑移连接穿插于密封板（720）内，所述螺纹座（726）固定位于调节板（722）底部，所述螺纹杆（723）的顶部与密封板（720）底部转动连接，所述螺纹杆（723）与螺纹座（726）螺纹连接，所述手轮（727）固定位于螺纹杆（723）的底部；

每个所述镀膜腔（3）的底部均开设有与靶枪（713）相对应的开口，每个所述密封板（720）顶部均与其对应的镀膜腔（3）的底部相抵。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述工件移栽机构（5）包括安装板（511）、两个第一滑行轨道（512）、第一位移板（513）、第二位移板（514）、第一驱动机构（515）、叉臂（516）；

所述安装板（511）为方形板，两个所述第一滑行轨道（512）分别呈横向固定位于安装板（511）的顶部前侧与顶部后侧，所述第一位移板（513）滑移连接于两个第一滑行轨道（512）之间，所述第二位移板（514）滑移连接于第一位移板（513）的顶部，所述叉臂（516）转动连接于第二位移板（514）的顶部右侧，所述第一驱动机构（515）位于安装板（511）的底部，所述第一驱动机构（515）与第一位移板（513）传动连接，所述第一位移板（513）与第二位移板（514）传动连接；

两个所述第一滑行轨道（512）沿安装板（511）的横向中心轴线镜像对称放置，位于前侧的第一滑行轨道（512）的后侧部的上端与下端分别开设有横向的第一滑槽与第二滑槽，所述第一位移板（513）的纵向竖截面呈“U”形，所述第一位移板（513）的前侧部上端与后侧部上端均设有第一滚轮组件（517），两组所述第一滚轮组件（517）分别位于其对应的第一滑槽内，所述第一位移板（513）的前侧部下端固定设有横向放置的第一齿条（518），所述第一位移板（513）通过第一齿条（518）与第一驱动机构（515）传动连接；

所述第一位移板（513）的内部前侧壁上端与内部后侧壁上端均设有第二滚轮组件（519），所述第二位移板（514）与两组第二滚轮组件（519）滑移连接，所述第二位移板（514）的纵向竖截面呈“冂”形，所述第二位移板（514）的前侧部与后侧部均设有呈横向的第三滑槽，两组所述第二滚轮组件（519）分别位于其对应的第三滑槽内。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装板（511）的顶部横向放置有第二齿条（520），所述第一位移板（513）的内部底壁的中间位置设有第一齿轮（521）和第二齿轮（522），所述第二齿轮（522）与第一齿轮（521）同轴固定连接，第二齿轮（522）位于第一齿轮（521）的后侧，所述第一齿轮（521）与第二齿条（520）相啮合；

所述第二位移板（514）的内部顶壁横向放置有第三齿条（523），所述第一位移板（513）的内部底壁的右侧设有第三齿轮（524）和第四齿轮（525），所述第三齿轮（524）与第四齿轮（525）同轴固定连接，第四齿轮（525）位于第三齿轮（524）的后侧，所述第四齿轮（525）与第三齿条（523）相啮合，所述第二齿轮（522）与第三齿轮（524）上套设有链条（526）。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述第一驱动机构（515）包括第一电机（527）、第五齿轮（528），所述第一电机（527）固定位于架台（1）左侧内部顶壁，所述位于前侧的第一滑行轨道（512）的前侧部开设有第一方形穿孔，所述第一方形穿孔与第二滑槽相连通，所述第五齿轮（528）位于第一方形穿孔内，所述第五齿轮（528）与第一齿条（518）相啮合，所述第五齿轮（528）与第一电机（527）传动连接。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述工件移栽机构（5）还包括顶升机构（529），所述顶升机构（529）包括第二电机（530）、第六齿轮（531）、第七齿轮（532）、丝杆（533）、螺母座（534）、两组导向机构（535），所述螺母座（534）包括外壳（536）与丝杆螺母（537），所述丝杆螺母（537）转动连接于外壳（536）内部，所述外壳（536）与第二电机（530）均固定位于架台（1）左侧内部顶壁，所述丝杆（533）与丝杆螺母（537）螺纹连接，所述丝杆（533）的顶部与安装板（511）的底部转动连接，所述第六齿轮（531）与第二电机（530）的转动轴固定连接，所述第七齿轮（532）与丝杆螺母（537）固定连接，所述第六齿轮（531）与第七齿轮（532）相啮合；

两组所述导向机构（535）分别固定位于安装板（511）的底部前侧与底部后侧，两组所述导向机构（535）沿安装板（511）的横向中心轴线镜像对称放置，每组导向机构（535）均包括两个连接块（538）、两个第四齿条（539）、两个第八齿轮（540）、两个导向杆（541）、两个安装块（542）、转轴（543），所述安装板（511）的底部右侧的前侧与后侧、两个第一滑行轨道（512）的底部左侧均固定设有连接块（538），每个所述连接块（538）上均固定设有第四齿条（539），两个所述转轴（543）分别位于安装板（511）的底部前方与底部后方，每个所述转轴（543）的左端与右端均固定设有第八齿轮（540），每个所述第八齿轮（540）均与其对应的第四齿条（539）相啮合，所述安装板（511）的四角处均固定设有法兰直线轴承（545），四个所述导向杆（541）分别呈竖直状滑移连接于四个法兰直线轴承（545）内，四个导向杆（541）的底部均设有安装块（542），每个安装块（542）分别套设于其对应的转轴（543）上，所述架台（1）的顶部左侧固定设有纵向竖截面呈“冂”形的安装架（111），四个所述安装块（542）分别固定位于安装架（111）的内部前侧壁与内部后侧壁；

所述安装架（111）的顶部开设有第二方形穿孔，所述安装板（511）位于第二方形穿孔内。

6.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述移动小车（6）包括两组丝杆导轨滑台（611）、放置板（612）、第三电机（613）、第九齿轮（614）、第十齿轮（615）、放置腔（616）、工件盘（617），两组所述丝杆导轨滑台（611）分别固定位于四个镀膜腔（3）的内部顶壁的前侧与后侧，所述放置板（612）与两组丝杆导轨滑台（611）滑移连接，所述第九齿轮（614）与第十齿轮（615）均转动连接于放置板（612）的顶部，所述第九齿轮（614）与第十齿轮（615）相互啮合，所述第十齿轮（615）位于放置板（612）中间位置，所述放置腔（616）位于放置板（612）正下方，所述第十齿轮（615）与放置腔（616）固定连接，所述第三电机（613）固定位于放置板（612）底部，所述第三电机（613）与第九齿轮（614）传动连接，所述工件盘（617）固定位于放置腔（616）内。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述工件盘（617）呈圆柱形，所述工件盘（617）的顶部设有圆形槽，所述圆形槽的底部设有圆形穿孔，所述圆形槽内部设有压块（618），所述压块（618）与圆形槽内部底壁之间设有工件（619）；

所述工件盘（617）的外侧壁上端设有圆环状的卡环（620），所述卡环（620）的顶部与工件盘（617）的顶部平齐，所述卡环（620）的左侧与右侧均设有定位孔，所述卡环（620）的前侧部设有贯穿前侧部至后侧部的第三方形穿孔；

所述放置腔（616）包括连接杆（621）、两个卡臂（622），所述连接杆（621）顶部与第十齿轮（615）固定连接，两个所述卡臂（622）均为横向竖截面均成“C”形的板块，两个所述卡臂（622）沿连接杆（621）的轴线镜像对称放置，两个所述卡臂（622）的“C”形开口的内部底壁均固定设有定位销（623），两个所述定位销（623）分别与卡环（620）的两个定位孔位置相对应。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：每个所述镀膜腔（3）底部的开口处均设有呈方环状的护板（311），所述护板（311）的顶部与靶枪（713）的顶部平齐，每个所述镀膜腔（3）底部的开口处还设有遮挡机构（312），每个所述遮挡机构（312）分别滑移位于其对应的护板（311）的顶部；

所述遮挡机构（312）包括旋转气缸（313）、第十一齿轮（314）、第十二齿轮（315）、第十三齿轮（316）、第五齿条（317）、磁流体密封传动轴（318）、移动板（319）、遮挡板（320）、滑行轨（321），所述旋转气缸（313）固定位于其对应的镀膜腔（3）的底部，所述第十一齿轮（314）与旋转气缸（313）固定连接，所述磁流体密封传动轴（318）与其对应的镀膜腔（3）固定连接，所述磁流体密封传动轴（318）的底部固定设有第十二齿轮（315），所述第十二齿轮（315）与第十一齿轮（314）相啮合，所述磁流体密封传动轴（318）的顶部固定设有第十三齿轮（316），所述第十三齿轮（316）与第五齿条（317）相啮合，所述第五齿条（317）与移动板（319）固定连接，所述滑行轨（321）固定位于其对应的镀膜腔（3）的内部底壁，所述移动板（319）与滑行轨（321）滑移连接，所述遮挡板（320）与移动板（319）固定连接，所述遮挡板（320）位于护板（311）的顶部。