CN220520595U - 一种真空镀膜镀件除尘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜镀件除尘装置，涉及真空镀膜机技术领域，包括电机舱主体、辅助机构、支撑机构和除尘机构，所述电机舱主体下端安装有镀膜机，所述镀膜机一端安装有辅助机构。本实用新型通过设置的电机舱主体、镀膜机、支撑机构和除尘机构，可以通过装置中安装有的电机舱主体内的电机启动工作带动支力架在贴舱环上开设的滑轨内进行旋转，此时支力架内的滑块带动微弹立棒和静电绒套旋转，因为伸缩杆的作用力，使得微弹立棒上的静电绒套能均匀接触需要镀膜的工件表面，而微弹立棒也具有微弹的效果，能充分保护工件在清扫时不被损坏和位移，而静电绒套运动过程产生静电能同时对工件表面灰尘进行吸附和清扫的工作，提升装置的除尘效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜镀件除尘装置。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种，目前的真空镀膜机在对待镀膜件，或者称为基片，进行镀膜时，需要待镀膜件的待镀膜表面保持无尘状态，因此需要一种真空镀膜镀件除尘装置。
现有的技术公开号为CN217757619U的专利文献中提供一种真空镀膜镀件除尘装置，包括外壳、基片放置板、固定板、滑动块、平移单元、横臂、摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率，但是CN217757619U技术在进行操作时，无法高效的对需要镀膜的物品表面进行除尘操作，同时无法在电机上的轴带动内部工件除尘时保证镀膜机真空状态工作的问题，为此急需一种真空镀膜镀件除尘装置。
实用新型内容
基于此，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜镀件除尘装置，以解决现有的真空镀膜镀件除尘装置在使用的时候，无法高效的对需要镀膜的物品表面进行除尘操作，同时无法在电机上的轴带动内部工件除尘时保证镀膜机真空状态工作的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体、辅助机构、支撑机构和除尘机构，所述电机舱主体下端安装有镀膜机，所述镀膜机一端安装有辅助机构,所述辅助机构包括套轴管、外封圈、密封垫和内封圈，所述镀膜机一端安装有套轴管，所述套轴管外端安装有外封圈，所述外封圈内端安装有密封垫，所述套轴管一端安装有内封圈。
所述镀膜机内端安装有支撑机构。
所述支撑机构一端安装有除尘机构。
优选地，所述内封圈与套轴管螺纹连接，且内封圈上端表面与镀膜机内端表面紧密贴合。
优选地，所述支撑机构包括贴舱环、滑轨和支力架，所述镀膜机内端安装有贴舱环，所述贴舱环内端开设有滑轨，所述滑轨内端安装有支力架。
优选地，所述贴舱环与镀膜机螺纹连接，且支力架通过滑轨与贴舱环构成滑动结构。
优选地，所述除尘机构包括滑槽、伸缩杆、滑块、微弹立棒和静电绒套，所述支力架内端开设有滑槽，所述滑槽内端安装有伸缩杆，所述伸缩杆一端安装有滑块，所述滑块下端安装有微弹立棒，所述微弹立棒外端套设有静电绒套。
优选地，所述微弹立棒通过伸缩杆与支力架构成伸缩结构，且支力架的外端表面与静电绒套的内端表面紧密贴合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过设置的电机舱主体、镀膜机、支撑机构和除尘机构，可以通过装置中安装有的电机舱主体内的电机启动工作带动支力架在贴舱环上开设的滑轨内进行旋转，此时支力架内的滑块带动微弹立棒和静电绒套旋转，随着安装于镀膜机中心端的需要镀膜的工件的表面进行逐一清扫，因为伸缩杆的作用力，使得微弹立棒上的静电绒套能均匀的接触每个需要镀膜的工件表面，而微弹立棒也具有微弹的效果，能充分保护工件在清扫时不被损坏和位移，并且静电绒套运动过程产生静电能同时对工件表面灰尘进行吸附和清扫的工作，提升装置的除尘效率；
2、本实用新型通过设置的电机舱主体、镀膜机和辅助机构，可以通过装置中安装有的套轴管套设在电机舱主体内工作电机与支力架连接轴上，并且套轴管穿过镀膜机上端的开孔之后，再操作外封圈与内封圈同时向镀膜机开孔处旋扭至最紧，由于密封圈的作用力，当电机上的轴带动支力架转动进行除尘工作时，能保障镀膜机内部的真空效果，提升装置的密封性。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖视图；
图2为本实用新型辅助机构的结构示意图；
图3为本实用新型支撑机构的结构示意图；
图4为本实用新型除尘机构的结构示意图。
图中：1、电机舱主体；2、镀膜机；3、辅助机构；301、套轴管；302、外封圈；303、密封垫；304、内封圈；4、支撑机构；401、贴舱环；402、滑轨；403、支力架；5、除尘机构；501、滑槽；502、伸缩杆；503、滑块；504、微弹立棒；505、静电绒套。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
请参阅图1-4，一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体1、辅助机构3、支撑机构4和除尘机构5，电机舱主体1下端安装有镀膜机2，镀膜机2一端安装有辅助机构3,辅助机构3包括套轴管301、外封圈302、密封垫303和内封圈304，镀膜机2一端安装有套轴管301，套轴管301外端安装有外封圈302，外封圈302内端安装有密封垫303，套轴管301一端安装有内封圈304，内封圈304与套轴管301螺纹连接，且内封圈304上端表面与镀膜机2内端表面紧密贴合，通过装置中安装有的套轴管301套设在电机舱主体1内工作电机与支力架403连接轴上，并且套轴管301穿过镀膜机2上端的开孔之后，再操作外封圈302与内封圈304同时向镀膜机2开孔处旋扭至最紧，由于密封圈的作用力，当电机上的轴带动支力架403转动进行除尘工作时，能保障镀膜机2内部的真空效果，提升装置的密封性。
请参阅图1-4，一种真空镀膜镀件除尘装置，镀膜机2内端安装有支撑机构4，支撑机构4包括贴舱环401、滑轨402和支力架403，镀膜机2内端安装有贴舱环401，贴舱环401内端开设有滑轨402，滑轨402内端安装有支力架403，贴舱环401与镀膜机2螺纹连接，且支力架403通过滑轨402与贴舱环401构成滑动结构，通过装置中安装有的电机舱主体1内的电机启动工作带动支力架403在贴舱环401上开设的滑轨402内进行旋转，此时支力架403内的滑块503带动微弹立棒504和静电绒套505旋转，提升装置的工作效率。
请参阅图1-4，一种真空镀膜镀件除尘装置，支撑机构4一端安装有除尘机构5，除尘机构5包括滑槽501、伸缩杆502、滑块503、微弹立棒504和静电绒套505，支力架403内端开设有滑槽501，滑槽501内端安装有伸缩杆502，伸缩杆502一端安装有滑块503，滑块503下端安装有微弹立棒504，微弹立棒504外端套设有静电绒套505，微弹立棒504通过伸缩杆502与支力架403构成伸缩结构，且支力架403的外端表面与静电绒套505的内端表面紧密贴合，可以通过微弹立棒504上的静电绒套505因为伸缩杆502的作用力，能均匀的接触每个需要镀膜的工件表面，而微弹立棒504也具有微弹的效果，能充分保护工件在清扫时不被损坏和位移，并且静电绒套505运动过程产生静电能同时对工件表面灰尘进行吸附和清扫的工作，提升装置的除尘效率。
工作原理：使用时，优先将电机舱主体1安装在镀膜机2顶端以螺纹固定，并且电机的轴穿过镀膜机2顶端开孔安装在支力架403中端，套轴管301套设在电机舱主体1内工作电机与支力架403连接轴上，并且套轴管301穿过镀膜机2上端的开孔之后，再操作外封圈302与内封圈304同时向镀膜机2开孔处旋扭至最紧，由于密封圈的作用力，当电机上的轴带动支力架403转动进行除尘工作时，能保障镀膜机2内部的真空效果，而电机工作带动支力架403在贴舱环401上开设的滑轨402内进行旋转，此时支力架403内的滑块503带动微弹立棒504和静电绒套505旋转，随着安装于镀膜机2中心端的需要镀膜的工件的表面进行逐一清扫，因为伸缩杆502的作用力，使得微弹立棒504上的静电绒套505能均匀的接触每个需要镀膜的工件表面，而微弹立棒504也具有微弹的效果，能充分保护工件在清扫时不被损坏和位移，并且静电绒套505运动过程产生静电能同时对工件表面灰尘进行吸附和清扫的工作，这样就完成了装置的使用过程，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体(1)、辅助机构(3)、支撑机构(4)和除尘机构(5)，其特征在于：所述电机舱主体(1)下端安装有镀膜机(2)，所述镀膜机(2)一端安装有辅助机构(3),所述辅助机构(3)包括套轴管(301)、外封圈(302)、密封垫(303)和内封圈(304)，所述镀膜机(2)一端安装有套轴管(301)，所述套轴管(301)外端安装有外封圈(302)，所述外封圈(302)内端安装有密封垫(303)，所述套轴管(301)一端安装有内封圈(304)；
所述镀膜机(2)内端安装有支撑机构(4)；
所述支撑机构(4)一端安装有除尘机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述内封圈(304)与套轴管(301)螺纹连接，且内封圈(304)上端表面与镀膜机(2)内端表面紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述支撑机构(4)包括贴舱环(401)、滑轨(402)和支力架(403)，所述镀膜机(2)内端安装有贴舱环(401)，所述贴舱环(401)内端开设有滑轨(402)，所述滑轨(402)内端安装有支力架(403)。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述贴舱环(401)与镀膜机(2)螺纹连接，且支力架(403)通过滑轨(402)与贴舱环(401)构成滑动结构。
5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述除尘机构(5)包括滑槽(501)、伸缩杆(502)、滑块(503)、微弹立棒(504)和静电绒套(505)，所述支力架(403)内端开设有滑槽(501)，所述滑槽(501)内端安装有伸缩杆(502)，所述伸缩杆(502)一端安装有滑块(503)，所述滑块(503)下端安装有微弹立棒(504)，所述微弹立棒(504)外端套设有静电绒套(505)。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述微弹立棒(504)通过伸缩杆(502)与支力架(403)构成伸缩结构，且支力架(403)的外端表面与静电绒套(505)的内端表面紧密贴合。
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