CN214226879U - 一种晶圆除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆除尘装置，包括操作台，操作台内开设有操作腔，操作腔的底部装配有真空吸附装置，操作腔的左侧壁通过卡接架装配有静电吸尘纸，操作腔内通过移动机构装配有静电棒，操作腔内转动连接有吹风装置。在操作腔内通过真空吸附装置对晶圆进行吸附固定，然后通过移动机构带动静电棒的运动，对晶圆表面的灰尘进行清洁，清洁过程中所产生的灰尘通过吹风装置吹入到静电吸尘纸的表面进行吸附收集，便于对灰尘进行后续处理，吹风装置可以进行吹风角度的调节，适用于不同的使用需求，通过本装置可以去除晶圆表面的灰尘，简便快捷。

Description

一种晶圆除尘装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆除尘技术领域，具体为一种晶圆除尘装置。

背景技术

晶圆被广泛地使用在纳米压印行业中，由于后期加工对晶圆的洁净度有着较高的要求，其洁净度直接决定了良品率的高低，因此晶圆的洁净度在产业化中备受关注。但晶圆结构表面无法用常规接触手段进行清洁，单纯的吹气操作也不能去除顽固灰尘。为此，我们提出一种晶圆除尘装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆除尘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆除尘装置，包括操作台，所述操作台内开设有操作腔，所述操作腔的底部装配有真空吸附装置，所述操作腔的左侧壁通过卡接架装配有静电吸尘纸，所述操作腔内通过移动机构装配有静电棒，所述操作腔内转动连接有吹风装置。

优选的，所述真空吸附装置包括固定安装于操作腔内的吸附台，所述吸附台的表面均匀开设有真空槽，所述操作台的内腔固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端通过连接管与连接槽相连接，所述连接槽与真空槽相连通。

优选的，所述移动机构包括移动架，所述移动架内固定安装静电棒，所述移动架的前后两端均滑动连接于滑槽内，所述移动架的后侧端内腔固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有贯穿至安装架内的固定轴，所述固定轴的端部固定安装有驱动齿轮，所述安装架内固定安装有驱动齿条，所述驱动齿轮与驱动齿条相啮合。

优选的，所述吹风装置包括转动连接于操作腔内的吹风架，所述操作台的前侧壁固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端与吹风架的前端固定连接，所述吹风架的内腔固定安装有风机，所述吹风架的侧壁均匀固定安装有出风管。

优选的，所述出风管内固定安装有防护网。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种晶圆除尘装置，在操作腔内通过真空吸附装置对晶圆进行吸附固定，然后通过移动机构带动静电棒的运动，对晶圆表面的灰尘进行清洁，清洁过程中所产生的灰尘通过吹风装置吹入到静电吸尘纸的表面进行吸附收集，便于对灰尘进行后续处理，吹风装置可以进行吹风角度的调节，适用于不同的使用需求，通过本装置可以去除晶圆表面的灰尘，简便快捷。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2本实用新型的俯视图。

图中：1、操作台，2、操作腔，3、真空吸附装置，31、吸附台，32、真空槽，33、真空泵，34、连接管，35、连接槽，4、卡接架，5、静电吸尘纸，6、移动机构，61、移动架，62、滑槽，63、第一电机，64、安装架，65、固定轴，66、驱动齿轮，67、驱动齿条，7、静电棒，8、吹风装置，81、吹风架，82、第二电机，83、风机，84、出风管，9、防护网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆除尘装置，包括操作台1，操作台1内开设有操作腔2，操作腔2的底部装配有真空吸附装置3，通过真空吸附装置3对晶圆进行吸附，真空吸附装置3包括固定安装于操作腔2内的吸附台31，吸附台31的表面均匀开设有真空槽32，操作台1的内腔固定安装有真空泵33，真空泵33的输出端通过连接管34与连接槽35相连接，连接槽35与真空槽32相连通，真空泵33电连接外部电源，真空槽32的表面均匀开设有贯穿至吸附台31的真空孔，真空泵33通电开启后，使真空槽32可以产生吸力对表面所放置的晶圆进行吸附固定。

操作腔2的左侧壁通过卡接架4装配有静电吸尘纸5，通过所设置的静电吸尘纸5可以对灰尘进行收集，操作腔2内通过移动机构6装配有静电棒7，操作腔2内转动连接有吹风装置8。

移动机构6包括移动架61，移动架61内固定安装静电棒7，移动架61的前后两端均滑动连接于滑槽62内，移动架61的后侧端内腔固定安装有第一电机63，第一电机63的输出端固定安装有贯穿至安装架64内的固定轴65，固定轴65的端部固定安装有驱动齿轮66，安装架64内固定安装有驱动齿条67，驱动齿轮66与驱动齿条67相啮合，静电棒7电连接外部电源，静电棒7通电开启后经过晶圆的表面可以对灰尘进行清除，通过移动机构6带动静电棒7进行移动。

吹风装置8包括转动连接于操作腔2内的吹风架81，操作台1的前侧壁固定安装有第二电机82，第二电机82的输出端与吹风架81的前端固定连接，吹风架81的内腔固定安装有风机83，吹风架81的侧壁均匀固定安装有出风管84，出风管84内固定安装有防护网9，风机83电连接外部电源，风机83通电开启后通过出风管84进行吹风，便于将晶圆表面的灰尘吹落或将灰尘吹至静电吸尘纸5，第二电机82和第一电机63均为脉冲步进电机，第二电机82和第一电机63均电连接外部电源和外部控制器，通过外部控制器控制第二电机82和第一电机63的输出端进行正转或反转，通过控制第一电机63的输出端正转或反转可以对移动架61的移动方向进行调节，通过控制第二电机82的输出端正转或反转，可以对出风管84的出风角度进行调节。

工作原理：在使用的过程中将需要除尘的晶圆放置到真空吸附装置3的表面，真空泵33通电开启后，使真空槽32可以产生吸力对表面所放置的晶圆进行吸附固定，然后分别开启移动机构6，静电棒7和吹风装置8，移动机构6动静电棒7进行移动对晶圆进行除尘，所掉落的灰尘通过吹风装置8吹向静电吸尘纸5进行收集，通过第一电机63和第二电机82可以分别对移动机构6的移动方向和吹风装置8的出风方向进行控制。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种晶圆除尘装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)内开设有操作腔(2)，所述操作腔(2)的底部装配有真空吸附装置(3)，所述操作腔(2)的左侧壁通过卡接架(4)装配有静电吸尘纸(5)，所述操作腔(2)内通过移动机构(6)装配有静电棒(7)，所述操作腔(2)内转动连接有吹风装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆除尘装置，其特征在于：所述真空吸附装置(3)包括固定安装于操作腔(2)内的吸附台(31)，所述吸附台(31)的表面均匀开设有真空槽(32)，所述操作台(1)的内腔固定安装有真空泵(33)，所述真空泵(33)的输出端通过连接管(34)与连接槽(35)相连接，所述连接槽(35)与真空槽(32)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆除尘装置，其特征在于：所述移动机构(6)包括移动架(61)，所述移动架(61)内固定安装静电棒(7)，所述移动架(61)的前后两端均滑动连接于滑槽(62)内，所述移动架(61)的后侧端内腔固定安装有第一电机(63)，所述第一电机(63)的输出端固定安装有贯穿至安装架(64)内的固定轴(65)，所述固定轴(65)的端部固定安装有驱动齿轮(66)，所述安装架(64)内固定安装有驱动齿条(67)，所述驱动齿轮(66)与驱动齿条(67)相啮合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆除尘装置，其特征在于：所述吹风装置(8)包括转动连接于操作腔(2)内的吹风架(81)，所述操作台(1)的前侧壁固定安装有第二电机(82)，所述第二电机(82)的输出端与吹风架(81)的前端固定连接，所述吹风架(81)的内腔固定安装有风机(83)，所述吹风架(81)的侧壁均匀固定安装有出风管(84)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆除尘装置，其特征在于：所述出风管(84)内固定安装有防护网(9)。

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