CN113416928B - 一种金属化膜生产用镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明的一种金属化膜生产用镀膜装置，属于真空镀膜装置技术领域，包括真空箱、移动架、旋转组件、自转组件、蒸发组件以及遮挡组件，移动架通过多组万向轮设置在真空箱内壁的底部，旋转组件设置在移动架的顶部，自转组件通过轴承座设置在旋转组件的顶部，蒸发组件设置在移动组件的下方，遮挡组件设置在蒸发组件的上方，本发明的有益效果是，在旋转组件以及自转组件的作用下，镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转，还能够沿着连接杆的轴心实现自转，使得在镀膜时镀膜层更加均匀，在蒸发组件以及遮挡组件的作用下，可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前，对蒸发材料进行遮挡，防止此时镀件进行低质量的镀膜。

Description

一种金属化膜生产用镀膜装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜装置技术领域，具体讲是一种金属化膜生产用镀膜装置。

背景技术

金属化镀膜是为了在非金属材料上镀上一层金属膜，使这些非金属材料具有了抗静电及电磁屏蔽功能，同时增强其表面强度，使之具有金属光泽等等金属材料的特性，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(塑料、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，然而现有的技术在进行金属化镀膜的过程中，由于镀件在装置中只能绕着固定的轴转动，容易造成镀膜不均匀的情况，影响镀膜质量，而且现有的镀膜装置在蒸镀材料被加热充分之前就被镀在了镀件上，这也会降低镀膜的质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种金属化膜生产用镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的技术方案是：包括有：

真空箱；

移动架，设置在真空箱内；

旋转组件，设置在移动架的顶部；

自转组件，设置在旋转组件的上方；

蒸发组件，设置在移动架的下方；

遮挡组件，设置在蒸发组件的上方；

其中，旋转组件包括有支撑柱、驱动电机、第一转盘以及固定在移动架顶部的连接转轴，所述支撑柱设置在移动架的顶部，所述驱动电机竖直设置在支撑柱的顶部，连接转轴内部中空，所述连接转轴设置在支撑柱之外，所述第一转盘设置在驱动电机的上方，连接转轴的顶部与所述第一转盘的底部转动连接，所述第一转盘的中心处开设有第一齿槽，所述驱动电机的输出轴上套设有第一齿轮，第一齿轮在第一齿槽的内部，且第一齿轮与第一齿槽啮合。

进一步的，所述自转组件包括有第二转盘、轴承座以及多组镀件架，所述第二转盘设置在第一转盘的上方，所述轴承座的底部与第一转盘的顶部转动连接，轴承座的顶部与第二转盘的底部转动连接，所述第二转盘的中心处开设有第二齿槽，所述轴承座的内部开设有供驱动电机输出轴通过的孔槽，所述驱动电机的输出轴上套设有第二齿轮，所述第二齿轮与第二齿槽啮合，多组所述镀件架呈圆周分布在第一转盘的顶部。

进一步的，每组所述镀件架包括有套管、从动齿轮以及镀件托，所述第二转盘的侧壁开设有圆形齿盘，所述套管的底部与所述第一转盘的顶部固定连接，套管的顶部与从动齿轮转动连接，所述从动齿轮与第二转盘啮合，所述从动齿轮上固定连接有连接杆，所述连接杆通过套管延伸至第一转盘的下方，所述套管的底部安装有可拆卸的镀件托。

进一步的，所述蒸发组件包括有蒸发器、蒸发台以及坩埚，所述蒸发器设置在真空箱内壁的底部，所述蒸发台设置在蒸发器的上方，所述蒸发台的顶部开设有圆形通槽，所述坩埚通过所述通槽设置在蒸发台上。

进一步的，所述遮挡组件包括有驱动部件、两块遮挡板以及两个导轨，两个所述导轨平行设置在蒸发台的顶部，两个所述导轨分别位于坩埚的两侧，两块遮挡板并列设置在两个导轨的顶部，每块遮挡板均与两个导轨滑动配合。

进一步的，所述驱动部件包括有转动电机、两组互相平行的齿条组以及两个连接齿轮，所述转动电机设置在蒸发台底部的一侧，两组齿条组分别设置在两块遮挡板底部的两侧，每组齿条组均包括有两个相互平行的齿条，两个齿条相对的一侧均设有齿槽，两个齿条分别与两块遮挡板的底部固定连接，每个所述连接齿轮对应两个齿条，且所述连接齿轮设置在两个齿条之间，每个连接齿轮均和与自身对应的两个齿条啮合，所述转动电机的输出轴上套设有螺纹杆，所述螺纹杆与靠近转动电机一侧的遮挡板螺纹连接。

进一步的，所述真空箱的顶部设置有真空泵，所述真空泵的输出端与真空箱内部连通。

进一步的，所述移动架的底部设置有多组万向轮，所述真空箱内壁的底部开设有供万向轮通过的限位槽。

本发明通过改进在此提供一种金属化膜生产用镀膜装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

其一，在旋转组件以及自转组件的作用下，镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转，还能够沿着连接杆的轴心自转，使得在镀膜时镀膜层更加均匀，具体的，镀膜生产开始后，驱动电机开始工作，由于驱动电机输出轴上套设的第一齿轮与第一转盘上开设的第一齿槽啮合，第一转盘开始转动，继续带动位于第一齿盘上的镀件架转动，从而实现了镀件的公转效果，此时，由于驱动电机上套设的第二齿轮又与第二转盘上开设的第二齿盘啮合，第二转盘也随之发生转动，第二转盘外侧的圆形齿盘又与每组从动齿轮啮合，从动齿轮的底部又通过连接杆与镀件托连接，从而使得镀件能够沿着连接杆的轴心转动。

其二，在蒸发组件以及遮挡组件的作用下，可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前，对蒸发材料进行遮挡，防止此时镀件被镀膜，因为此时蒸发箱内的参与气体多，镀膜效果差，可用性低，具体的，当镀膜过程开始时，转动电机转动，由于转动电机通过螺纹杆与其自身靠近的一块遮挡板螺纹连接，又由于遮挡板与导轨滑动配合，此时遮挡板开始在水平方向上运动，两块遮挡板的底部两侧设置的两组平行齿条，每组平行齿条之间设置有连接齿轮，连接齿轮又分别与两个齿条啮合，因此当其中一块遮挡板发生运动时，另一块遮挡板就会随之靠近或者远离，从而实现了对蒸发材料的遮挡或者开启。

其三，移动架底部设置的万向轮与真空箱内壁底部的限位槽滑动配合，可以有效地对移动架以及固定在移动架上的其他组件进行限位，使得移动架始终位于真空箱内壁底部的蒸发组件正上方，以提高镀膜效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:

图1为本发明立体结构示意图；

图2为本发明的部分结构图；

图3为本发明的侧视图；

图4为本发明的局部剖视图；

图5为图4中A处放大图；

图6为图4的B处放大图；

图7为本发明部分剖视示意图；

图8为图7中C处放大图。

附图标记说明：1、真空箱；2、旋转组件；3、自转组件；4、移动架；5、蒸发组件；6、遮挡组件；11、第一转盘；12、第二转盘；13、从动齿轮；14、连接转轴；15、镀件托；16、蒸发器；17、蒸发台；18、万向轮；19、坩埚；20、转动电机；21、轴承座；22、套管；23、连接杆；24、遮挡板；25、支撑柱；26、驱动电机；30、真空泵；31、第一齿轮；32、第一齿槽；33、齿条；34、连接齿轮；35、导轨；37、第二齿轮；38、第二齿槽；39、圆形齿盘；40、镀件架；41、圆形通槽。

具体实施方式

下面将结合附图1至图8对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种金属化膜生产用镀膜装置，如图1-图8所示，包括有：

真空箱1；

移动架4，设置在真空箱1内；

旋转组件2，设置在移动架4的顶部；

自转组件3，设置在旋转组件2的上方；

蒸发组件5，设置在移动架4的下方；

遮挡组件6，设置在蒸发组件5的上方；

其中，旋转组件2包括有支撑柱25、驱动电机26、第一转盘11以及固定在移动架4顶部的连接转轴14，所述支撑柱25设置在移动架4的顶部，所述驱动电机26竖直设置在支撑柱25的顶部，连接转轴14内部中空，所述连接转轴14设置在支撑柱25之外，所述第一转盘11设置在驱动电机26的上方，连接转轴14的顶部与所述第一转盘11的底部转动连接，所述第一转盘11的中心处开设有第一齿槽32，所述驱动电机26的输出轴上套设有第一齿轮31，第一齿轮31在第一齿槽32的内部，且第一齿轮31与第一齿槽32啮合；当加工过程开始时，工作人员将镀件放置在镀件托15上，然后将移动架4推入真空箱1内，关上箱门，驱动电机26开始工作，由于驱动电机26输出轴上套设有第一齿轮31，第一转盘11上开设有第一齿槽32，第一齿轮31与第一齿槽32啮合，第一转盘11开始转动，由于镀件架40设置在第一转盘11上，第一转盘11带动镀件架40转动，镀件架40继续带动镀件沿着第一转盘11的圆周方向转动。

具体的，所述自转组件3包括有第二转盘12、轴承座21以及多组镀件架40，所述第二转盘12设置在第一转盘11的上方，所述轴承座21的底部与第一转盘11的顶部转动连接，轴承座21的顶部与第二转盘12的底部转动连接，所述第二转盘12的中心处开设有第二齿槽38，所述轴承座21的内部开设有供驱动电机26输出轴通过的孔槽，所述驱动电机26的输出轴上套设有第二齿轮37，所述第二齿轮37与第二齿槽38啮合，多组所述镀件架40呈圆周分布在第一转盘11的顶部；驱动电机26转动，由于驱动电机26输出轴上套设有第二齿轮37，第二转盘12上开设有第二齿槽38，第二齿轮37与第二齿槽38啮合，第二转盘12开始转动。

具体的，每组所述镀件架40包括有套管22、从动齿轮13以及镀件托15，所述第二转盘12的侧壁开设有圆形齿盘39，所述套管22的底部与所述第一转盘11的顶部固定连接，套管22的顶部与从动齿轮13转动连接，所述从动齿轮13与第二转盘12啮合，所述从动齿轮13上固定连接有连接杆23，所述连接杆23通过套管22延伸至第一转盘11的下方，所述套管22的底部安装有可拆卸的镀件托15；第二转盘12外侧的圆形齿盘39与每组从动齿轮13啮合，从动齿轮13的底部又通过连接杆23与镀件托15连接，从而使得镀件在驱动电机26的驱动下沿着连接杆23的轴心转动。

具体的，所述蒸发组件5包括有蒸发器16、蒸发台17以及坩埚19，所述蒸发器16设置在真空箱1内壁的底部，所述蒸发台17设置在蒸发器16的上方，所述蒸发台17的顶部开设有圆形通槽41，所述坩埚19通过所述通槽设置在蒸发台17上；坩埚19用于盛放蒸发材料，设置在坩埚19下方的蒸发器16提供的高温，能够使得蒸发材料迅速升温并开始蒸发升华，使得被蒸发的粒子凝结在镀件的表面，完成镀膜过程。

具体的，所述遮挡组件6包括有驱动部件、两块遮挡板24以及两个导轨35，两个所述导轨35平行设置在蒸发台17的顶部，两个所述导轨35分别位于坩埚19的两侧，两块遮挡板24并列设置在两个导轨35的顶部，每块遮挡板24均与两个导轨35滑动配合；两块遮挡板24的底部与两个导轨35在水平方向上滑动配合，方便进行下一步对蒸发材料进行遮挡或者开启的工序。

具体的，所述驱动部件包括有转动电机20、两组互相平行的齿条33组以及两个连接齿轮34，所述转动电机20设置在蒸发台17底部的一侧，两组齿条33组分别设置在两块遮挡板24底部的两侧，每组齿条33组均包括有两个相互平行的齿条33，两个齿条33相对的一侧均设有齿槽，两个齿条33分别与两块遮挡板24的底部固定连接，每个所述连接齿轮34对应两个齿条33，且所述连接齿轮34设置在两个齿条33之间，每个连接齿轮34均和与自身对应的两个齿条33啮合，所述转动电机20的输出轴上套设有螺纹杆，所述螺纹杆与靠近转动电机20一侧的遮挡板24螺纹连接；当镀膜过程开始时，转动电机20转动，由于转动电机20通过螺纹杆与其自身靠近的一块遮挡板24螺纹连接，又由于遮挡板24与导轨35滑动配合，此时遮挡板24开始在水平方向上运动，两块遮挡板24的底部两侧设置有两组平行齿条33，每组平行齿条33之间设置有连接齿轮34，连接齿轮34又分别与两个齿条33啮合，因此当其中一块遮挡板24发生运动时，另一块遮挡板24就会随之靠近或者远离，从而实现了对蒸发材料的遮挡或者开启。

具体的，所述真空箱1的顶部设置有真空泵30，所述真空泵30的输出端与真空箱1内部连通；真空泵30能够快速对真空箱1进行抽气，使得真空箱1内的压强迅速降低至1.3mPa以下，以便加速蒸发材料的蒸发过程。

具体的，所述移动架4的底部设置有多组万向轮18，所述真空箱1内壁的底部开设有供万向轮18通过的限位槽；移动架4底部设置的万向轮18与真空箱1内壁底部的限位槽滑动配合，可以有效地对移动架4以及固定在移动架4上的其他组件进行限位，使得移动架4始终位于真空箱1内壁底部的蒸发组件5正上方，以提高镀膜效果。

本发明的工作原理：当加工过程开始时，工作人员将镀件放置在镀件托15上，然后将移动架4推入真空箱1内，关上箱门，驱动电机26开始工作，由于驱动电机26输出轴上套设有第一齿轮31，第一转盘11上开设有第一齿槽32，第一齿轮31与第一齿槽32啮合，第一转盘11开始转动，由于镀件架40设置在第一转盘11上，第一转盘11带动镀件架40转动，镀件架40继续带动镀件沿着第一转盘11的圆周方向转动；

之后，驱动电机26转动，由于驱动电机26输出轴上套设有第二齿轮37，第二转盘12上开设有第二齿槽38，第二齿轮37与第二齿槽38啮合，第二转盘12开始转动，第二转盘12外侧的圆形齿盘39与每组从动齿轮13啮合，从动齿轮13的底部又通过连接杆23与镀件托15连接，从而使得镀件在驱动电机26的驱动下沿着连接杆23的轴心转动；

位于移动架底部的坩埚19用于盛放蒸发材料，设置在坩埚19下方的蒸发器16提供的高温，能够使得蒸发材料迅速升温并开始蒸发升华，使得被蒸发的粒子凝结在镀件的表面，以完成镀膜过程；

在蒸发材料被加热的同时，真空泵30开始工作，真空泵30能够快速对真空箱1进行抽气，使得真空箱1内的压强迅速降低至1.3mPa以下，以便加速蒸发材料的蒸发过程；

由于镀件刚被放进真空箱内时，蒸发材料的温度以及真空箱内的真空度均不足，真空箱1内的残余气体含量过高，如果此时进行镀膜操作，会降低镀膜的质量，因此需要对蒸发材料进行暂时的遮挡，具体的，当镀膜过程开始时，转动电机20转动，由于转动电机20通过螺纹杆与其自身靠近的一块遮挡板24螺纹连接，又由于遮挡板24与导轨35滑动配合，此时遮挡板24开始在水平方向上运动，两块遮挡板24的底部两侧设置有两组平行齿条33，每组平行齿条33之间设置有连接齿轮34，连接齿轮34又分别与两个齿条33啮合，因此当其中一块遮挡板24发生运动时，另一块遮挡板24就会随之靠近或者远离，从而实现了对蒸发材料的遮挡或者开启；

移动架4底部设置的万向轮18与真空箱1内壁底部的限位槽滑动配合，可以有效地对移动架4以及固定在移动架4上的其他组件进行限位，使得移动架4始终位于真空箱1内壁底部的蒸发组件5正上方，以提高镀膜效果；

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (1)

1.一种金属化膜生产用镀膜装置，其特征在于，包括有：

真空箱（1）；

移动架（4），设置在真空箱（1）内；

旋转组件（2），设置在移动架（4）的顶部；

自转组件（3），设置在旋转组件（2）的上方；

蒸发组件（5），设置在移动架（4）的下方；

遮挡组件（6），设置在蒸发组件（5）的上方；

其中，旋转组件（2）包括有支撑柱（25）、驱动电机（26）、第一转盘（11）以及固定在移动架（4）顶部的连接转轴（14），所述支撑柱（25）设置在移动架（4）的顶部，所述驱动电机（26）竖直设置在支撑柱（25）的顶部，连接转轴（14）内部中空，所述连接转轴（14）设置在支撑柱（25）之外，所述第一转盘（11）设置在驱动电机（26）的上方，连接转轴（14）的顶部与所述第一转盘（11）的底部转动连接，所述第一转盘（11）的中心处开设有第一齿槽（32），所述驱动电机（26）的输出轴上套设有第一齿轮（31），第一齿轮（31）在第一齿槽（32）的内部，且第一齿轮（31）与第一齿槽（32）啮合；

所述自转组件（3）包括有第二转盘（12）、轴承座（21）以及多组镀件架（40），所述第二转盘（12）设置在第一转盘（11）的上方，所述轴承座（21）的底部与第一转盘（11）的顶部转动连接，轴承座（21）的顶部与第二转盘（12）的底部转动连接，所述第二转盘（12）的中心处开设有第二齿槽（38），所述轴承座（21）的内部开设有供驱动电机（26）输出轴通过的孔槽，所述驱动电机（26）的输出轴上套设有第二齿轮（37），所述第二齿轮（37）与第二齿槽（38）啮合，多组所述镀件架（40）呈圆周分布在第一转盘（11）的顶部；

每组所述镀件架（40）包括有套管（22）、从动齿轮（13）以及镀件托（15），所述第二转盘（12）的侧壁开设有圆形齿盘（39），所述套管（22）的底部与所述第一转盘（11）的顶部固定连接，套管（22）的顶部与从动齿轮（13）转动连接，所述从动齿轮（13）与第二转盘（12）啮合，所述从动齿轮（13）上固定连接有连接杆（23），所述连接杆（23）通过套管（22）延伸至第一转盘（11）的下方，所述套管（22）的底部安装有可拆卸的镀件托（15）；

所述蒸发组件（5）包括有蒸发器（16）、蒸发台（17）以及坩埚（19），所述蒸发器（16）设置在真空箱（1）内壁的底部，所述蒸发台（17）设置在蒸发器（16）的上方，所述蒸发台（17）的顶部开设有圆形通槽（41），所述坩埚（19）通过所述通槽设置在蒸发台（17）上；

所述遮挡组件（6）包括有驱动部件、两块遮挡板（24）以及两个导轨（35），两个所述导轨（35）平行设置在蒸发台（17）的顶部，两个所述导轨（35）分别位于坩埚（19）的两侧，两块遮挡板（24）并列设置在两个导轨（35）的顶部，每块遮挡板（24）均与两个导轨（35）滑动配合；

所述驱动部件包括有转动电机（20）、两组互相平行的齿条（33）组以及两个连接齿轮（34），所述转动电机（20）设置在蒸发台（17）底部的一侧，两组齿条（33）组分别设置在两块遮挡板（24）底部的两侧，每组齿条（33）组均包括有两个相互平行的齿条（33），两个齿条（33）相对的一侧均设有齿槽，两个齿条（33）分别与两块遮挡板（24）的底部固定连接；每个所述连接齿轮（34）对应两个齿条（33），且所述连接齿轮（34）设置在两个齿条（33）之间，每个连接齿轮（34）均和与自身对应的两个齿条（33）啮合，所述转动电机（20）的输出轴上套设有螺纹杆，所述螺纹杆与靠近转动电机（20）一侧的遮挡板（24）螺纹连接；

所述真空箱（1）的顶部设置有真空泵（30），所述真空泵（30）的输出端与真空箱（1）内部连通；

所述移动架（4）的底部设置有多组万向轮（18），所述真空箱（1）内壁的底部开设有供万向轮（18）通过的限位槽。