CN209873084U - 适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上；下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴，工件转盘上设置有工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，上转盘和下转盘之间固定有一圈支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触。该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、高温下转架转速不平稳的技术难题。
Description
技术领域
本实用新型属于高真空电弧离子镀装置技术领域，涉及适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置。
背景技术
高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置是一种被用于装夹刀具的运动机构，该运动机构通过变频电机驱动转动，从而实现工件的公转和自转。运动机构的运动方式通常为二重和三重运动，用于高真空镀膜机的运动机构，主要由动力传动齿轮、上齿轮、下齿轮支承件、下齿轮和下齿轮支承件等部件组成，该运动机构主要通过齿轮的啮合来实现工件稳定的公转和自转，镀膜时，通过变频电机的转动带动上齿轮的齿轮转动即实现了工件的公转，而通过下齿轮的转动，可实现工件的自转，但是，在对工具进行薄膜制备时，需要对工具进行加热，加热温度一般为400℃至500℃，在此高温下，齿轮转动容易出现卡顿现象，运动机构无法正常工作，齿轮之间的摩擦阻力越来越大，磨损严重，最后出现运动机构卡死的现象，运动机构使用寿命缩短，使得工件的镀膜时间不一致，对薄膜质量产生严重的影响，并且，近年来工件形状越来越复杂，对镀膜工艺提出了新的要求，镀膜工艺上希望运动机构能够定点转动，现有多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置满足不了上述工具镀的工艺要求，所以，需要一种结构简单且能提供多种运行模式的工件镀膜转架装置。
其中，公布号为CN103590006 A，公布日为2014.02.19的中国专利公布了一种多功能真空镀膜机转架的结构，该结构采用多个轴承和齿轮的传动及齿轮的啮合来实现工件的公转和自转，结构复杂，维修困难；并且，采用多弧离子镀膜机进行工具镀膜时，需要对工具进行加热，在加热的情况下，齿轮啮合容易出现咬死现象，使得转架转动不平稳甚至停止转动，薄膜镀制时间不均匀，这将影响整个薄膜质量。为此，我们提出一种新的高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，解决现有技术中存在的齿轮卡死和镀膜时间不一致的问题。
本实用新型所采用的技术方案是，适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有轴承座，下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置固定的大齿轮上；下传动轴上连接有上传动轴，上传动轴上部嵌套设置在工件转盘上；工件转盘上设置有若干个均匀分布的工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，自转齿轮通过从下而上穿过下自转盘的螺钉与工件座固定；
上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触；
本实用新型的特点还在于，
小齿轮通过螺钉将小齿轮安装在传动轴上。
下传动轴通过固定在下转盘U型通孔上的下轴承安装在下转盘上。
上传动轴和上转盘之间通过上轴承连接。
支撑柱下端穿过位于下转盘上的大螺纹孔固定，支撑柱上端穿过位于上转盘上的螺母固定。
本实用新型的有益效果是，
1、本实用新型的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置结构简单。本装置只在原有的工件转架的基础上进行改进即可，改进方便，该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、工件镀制不均匀和高温下转架转速不平稳的技术难题；
2、该装置成本低廉、安装和维护都比较容易，因而成本大大降低且提高了工作效率，效率比原来能够提高10倍以上，所获得工具的薄膜均匀性得到了明显提高；
3、该装置结构简单且高效，在常规设计完成之后，就可以轻易的制造出产品。
结合高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜的火热状态，该产品可以很快的占有市场，发挥其作用。所以，本实用新型所设计的工具镀膜转架装置具有一定的社会经济效益。
附图说明
图1是本实用新型的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置的结构示意图；
图2是本实用新型的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置的下转盘结构示意图；
图3是本实用新型的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置的上转盘结构示意图；
图4是本实用新型的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置的工件转盘和拨杆俯视图。
图中，1.大齿轮，2.小齿轮，3.下传动轴，4.下轴承，6.自转齿轮，7.工件转盘，8.工件座，9.上传动轴，10.支撑柱，11.上转盘，12.上轴承，13.拨杆固定环，14.拨杆架，15.下转盘。
具体实施方式
本实用新型提供的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置结构如图1所示，包括上下相对设置的下转盘15和上转盘11(如图3所示)，下转盘15(如图2所示)的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承4，下轴承4上连接下传动轴3，每个下传动轴3下端嵌套有小齿轮2，小齿轮2啮合在位于下转盘3下方中心位置固定的大齿轮1上；下传动轴3上连接有上传动轴9，上传动轴9上部嵌套设置在工件转盘7上；工件转盘7上设置有若干个均匀分布的工件座8，工件座8下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮6，自转齿轮6通过从下而上穿过下自转盘7的螺钉与工件座7固定；
上转盘11和下转盘15之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱10，支撑柱10位于下传动轴3或上传动轴9的内侧，每个支撑柱10上还设置有拨杆架14，拨杆架14一端与自转齿轮6相接触(如图4所示)。
小齿轮2通过螺钉将小齿轮2安装在传动轴3上。
下传动轴3通过固定在下转盘15U型通孔上的下轴承4安装在下转盘15上。
上传动轴9和上转盘11之间通过上轴承12连接。
支撑柱10下端穿过位于下转盘15上的大螺纹孔固定，支撑柱10上端穿过位于上转盘11上的螺母固定。
拨杆架14采用拨杆固定环13固定在支撑柱10上。
下轴承4嵌套在轴承座内，轴承座固定于下转盘15内。
适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置的工作原理：
大齿轮1固定在真空室底部，下转盘15与变频电机相连，真空镀膜机运作时，真空室外的变频电机驱动下转盘15公转，下轴承4绕着下转盘15的轴心发生公转，同时带动下传动轴3和上传动轴9发生公转，同时工件转盘7带动工件座8也发生公转；由于小齿轮2与大齿轮1的齿轮啮合作用，使得下传动轴3在公转的同时发生自转，同时，上传动轴9也发生自转，这时，工件转盘7和工件座8绕着上传动轴9发生公转，由于拨杆架14的拨动作用，工件座8又绕着工件座8的中心发生自转，所以，工件座8能够产生三重转动(公转和自转)。
当大齿轮1和变频电机相连，下转盘15固定在真空室底部，转架装置实现了定点转动。工作原理：当变频电机带动大齿轮1旋转时，通过小齿轮2的啮合作用，下传动轴3和上传动轴9带动工件盘7绕着上传动轴9的中心自转，即工件座8绕着上传动轴9的中心公转，由于拨杆架14的拨动作用，工件座8又绕着工件座8的中心发生自转，所以，工件座8实现定点转动。因此，实现了三重转动和定点转动的多功能真空镀膜机的工具镀膜转架装置。
Claims (5)
1.适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，包括上下相对设置的下转盘(15)和上转盘(11)，所述下转盘(15)的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿所述U型通孔垂直方向设置有下轴承(4)，下轴承(4)上连接下传动轴(3)，每个所述下传动轴(3)下端嵌套有小齿轮(2)，所述小齿轮(2)啮合在位于下转盘(15)下方中心位置固定的大齿轮(1)上；所述下传动轴(3)上连接有上传动轴(9)，所述上传动轴(9)上部嵌套设置在工件转盘(7)上；所述工件转盘(7)上设置有若干个均匀分布的工件座(8)，所述工件座(8)下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮(6)，所述自转齿轮(6)通过从下而上穿过下自转盘(7)的螺钉与工件座(8)固定；
所述上转盘(11)和下转盘(15)之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱(10)，所述支撑柱(10)位于下传动轴(3)或上传动轴(9)的内侧，每个所述支撑柱(10)上还设置有拨杆架(14)，所述拨杆架(14)一端与自转齿轮(6)相接触。
2.根据权利要求1所述的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，所述小齿轮(2)通过螺钉将小齿轮(2)安装在传动轴(3)上。
3.根据权利要求1所述的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，所述下传动轴(3)通过固定在下转盘(15)U型通孔上的下轴承(4)安装在下转盘(15)上。
4.根据权利要求1所述的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，所述上传动轴(9)和上转盘(11)之间通过上轴承(12) 连接。
5.根据权利要求1所述的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，所述支撑柱(10)下端穿过位于下转盘(15)上的大螺纹孔固定，支撑柱(10)上端穿过位于上转盘(11)上的螺母固定。
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