CN111809159A

CN111809159A - 转架装置

Info

Publication number: CN111809159A
Application number: CN202010505136.3A
Authority: CN
Inventors: 上官鹏鹏; 钱聪; 袁蕴超; 王海峰; 王利生
Original assignee: Fengyuan Xinchuang Technology Beijing Co ltd; Zhejiang Fengyuan Hydrogen Energy Technology Co ltd
Current assignee: Fengyuan Xinchuang Technology Beijing Co ltd; Zhejiang Fengyuan Hydrogen Energy Technology Co ltd
Priority date: 2020-06-05
Filing date: 2020-06-05
Publication date: 2020-10-23
Anticipated expiration: 2040-06-05
Also published as: CN111809159B

Abstract

本申请提供一种转架装置，包括：公转轴、公转盘和多个自转部，公转盘套设于公转轴外，并可随着公转轴进行旋转；多个自转部设置于公转盘上，多个自转部均可进行自转；且自转部用于安装待镀膜工件；自转部包括间隔设置的第一自转部和第二自转部；第一自转部与第二自转部的初始转动位置不同；且第一自转部和第二自转部的转动方向相反，转动角速度相同。根据本申请的转架装置，能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞，进而减小转盘体积。

Description

转架装置

技术领域

本申请属于转架装置技术领域，具体涉及一种转架装置。

背景技术

目前，物理气相沉积设备常用于部件的装饰镀膜和工具镀膜，PVD 镀膜工艺具有膜层色彩丰富、涂层结合力好、膜层均匀、成本低、无环境污染等优点，已经成为一种重要的表面处理工艺。

但是，由于物理气相沉积的特点，为了保证镀膜产品的均一性，镀膜空间主要集中在圆周部分，特别是对大尺寸、片状、双面材料镀膜加工时，为了保证双面镀膜均匀，转架在公转的同时必须进行自转，而为了避免两个转架在转动的过程中发生碰撞，通常转架的体积比较大，造成单炉装炉量非常有限，严重影响产能。

因此，如何提供一种能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞，进而减小转盘体积的转架装置成为本领域技术人员急需解决的问题。

发明内容

因此，本申请要解决的技术问题在于提供一种转架装置，能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞，进而减小转盘体积。

为了解决上述问题，本申请提供一种转架装置，包括：

公转轴；

公转盘，公转盘套设于公转轴外，并可随着公转轴进行旋转；

多个自转部，多个自转部设置于公转盘上，多个自转部均可进行自转；且自转部用于安装待镀膜工件；自转部包括间隔设置的第一自转部和第二自转部；第一自转部与第二自转部的初始转动位置不同；第一自转部和第二自转部的转动方向相反，且转动角速度相同。

优选地，转架装置还包括驱动部，驱动部与公转轴连接；驱动部用于驱动公转轴转动。

优选地，第一自转部上设置有第一齿轮；公转盘上设置有与第一齿轮相对应的第一拨动部；第一齿轮与第一拨动部相啮合；

和/或，第二自转部上设置有第二齿轮，公转盘上还设置于与第二齿轮相对应的第二拨动部；第二齿轮与第二拨动部相啮合；

和/或，多个自转部围绕公转轴的中心轴线在公转盘上周向设置。

优选地，第一拨动部距离公转盘盘底的高度为h1；第二拨动部距离公转盘盘底的高度为h2；第一齿轮距离公转盘盘底的高度为h3；第二齿轮距离公转盘盘底的高度为h4；其中h1＝h3；h2＝h4；且h1≠h2。

优选地，第一拨动部围绕公转轴线周向设置；

和/或，第二拨动部围绕公转轴线周向设置；

和/或，第一拨动部位于自转部的外周侧；

和/或，第二拨动部位于自转部的外周侧。

优选地，第一齿轮与第二齿轮的齿数相同、模数不同。

优选地，自转部包括旋转轴承和固定轴；旋转轴承设置于公转盘上；旋转轴承可围绕自身的中心轴线进行旋转；固定轴设置于旋转轴承内，待镀膜工件安装于固定轴上；齿轮套设于固定轴的外周侧。

优选地，公转盘上开设有安装孔，旋转轴承可转动的安装于安装孔内。

优选地，自转部还包括待镀膜工件夹具，待镀膜工件夹具设置于固定轴上；待镀膜工件夹具用于安装待镀膜工件。

优选地，第一自转部上安装的待镀膜工件在公转盘的径向上延伸；

和/或，第二自转部上安装的待镀膜工件延伸方向与公转盘的径向相垂直。

本申请提供的转架装置，能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞，进而减小转盘体积。

附图说明

图1为本申请实施例转架装置的结构示意图；

图2为本申请实施例转架装置的结构示意图；

图3为本申请实施例转架装置的纵剖图。

附图标记表示为：

1、公转轴；2、公转盘；31、第一自转部；32、第二自转部；4、驱动部；51、第一待镀膜工件；52、第一待镀膜工件；61、第一齿轮； 62、第一拨动部；71、第二齿轮；72、第二拨动部。

具体实施方式

结合参见图1-3所示，根据本申请的实施例，一种转架装置，包括：公转轴1和公转盘2，公转盘2套设于公转轴1外，并可随着公转轴1进行旋转；多个自转部，多个自转部设置于公转盘2上，多个自转部均可进行自转；且自转部用于安装待镀膜工件；自转部包括间隔设置的第一自转部31和第二自转部32；第一自转部31与第二自转部32的初始转动位置不同；即以第一自转部31的旋转中心与公转盘2的旋转中心的连线为第一径向；第二自转部32的旋转中心与公转盘2的旋转中心的连线为第二径向；第一自转部31上安装的待镀膜工件的延伸方向与第一径向的夹角为a；第二自转部32上安装的待镀膜工件延伸方向与第二径向的夹角为b；在自转部转动过程中， a≠b；第一自转部31和第二自转部32的初始位置不同，且第一自转部31和第二自转部32的转动方向相反，且转动角速度相同，能够避免确保第一自转部31和第二自转部32在转动的过程中相邻的两个工件架不会发生碰撞，进而减小转盘体积。初始转动位置为静止时的位置。且在不改变镀膜室空间的前提下，减少了两个相邻自传部之间的距离，增加了单位空间的转架数量，进而使得单炉镀膜产量提高。

进一步地，转架装置还包括驱动部4，驱动部4与公转轴1连接；驱动部4用于驱动公转轴1转动，驱动部4驱动公转轴1转动，带动公转盘2转动；转盘1转速由变频器控制交流电机5控制转速；转盘 1带动转架轴A、B和活动工件夹具4绕圆盘中心1-1公转。

进一步地，第一自转部31上设置有第一齿轮61；公转盘2上设置有与第一齿轮61相对应的第一拨动部62；第一齿轮61与第一拨动部62相啮合；

和/或，第二自转部32上设置有第二齿轮71，公转盘2上还设置于与第二齿轮71相对应的第二拨动部72；第二齿轮71与第二拨动部72相啮合；

和/或，多个自转部围绕公转轴1的中心轴线在公转盘2上周向设置。

进一步地，第一拨动部71为第一拨动杆；和/或，第二拨动部 72为第二拨动杆。

进一步地，第一拨动部71为第一拨动齿；和/或，第二拨动部 72为第二拨动齿。

进一步地，第一拨动部62距离公转盘2盘底的高度为h1；第二拨动部72距离公转盘2盘底的高度为h2；第一齿轮61距离公转盘2 盘底的高度为h3；第二齿轮71距离公转盘2盘底的高度为h4；其中 h1＝h3；h2＝h4；且h1≠h2，可以使得第一拨动部62和第一齿轮61 配合，第二齿轮71和第二拨动部72配合；h1≠h2使得第一拨动部 62与第二齿轮71不会接触，第一齿轮6和第二拨动部72也不会接触，以达到分别驱动的目的。

进一步地，第一齿轮61、第二齿轮71以及第一拨动部62和第二拨动部71均设置于公转盘的底部。

进一步地，转架装置还包括与公转盘对应设置的PVD镀膜腔室底板，其位于公转盘2的底部，第一齿轮61、第二齿轮71设置于公转盘2的底部；第一拨动部62和第二拨动部71均设置于PVD镀膜腔室底板上；且第一拨动部62与第一齿轮61相对应，第二拨动部72与第二齿轮71相对应。

进一步地，第一拨动部62围绕公转轴1线周向设置；

和/或，第二拨动部72围绕公转轴1线周向设置；

和/或，第一拨动部62位于自转部的外周侧；

和/或，第二拨动部72位于所述自转部的外周侧，在转动过程中第一齿轮61沿第一拨动部62所在圆做内切圆运动，第二齿轮71沿第二拨动部72所在圆做外切圆运动，这种特殊的内切圆+外切圆运动模式确保第一齿轮61、第二齿轮71的自转方向刚好相反，而不需要额外增加第一电机驱动和第二电机驱动。

进一步地，第一齿轮61与第二齿轮71的齿数相同、模数不同。

进一步地，第一齿轮61和第二齿轮71的旋转中心在同一圆周上。

进一步地，第一齿轮61的模数大于第二齿轮71的模数。

进一步地，第一拨动部62位于第一齿轮61的外周侧，第二拨动部72位于第二齿轮71的内周侧。

进一步地，自转部包括旋转轴承和固定轴；旋转轴承设置于公转盘2上；旋转轴承可围绕自身的中心轴线进行旋转；固定轴设置于旋转轴承内，待镀膜工件安装于固定轴上；齿轮套设于固定轴的外周侧。

进一步地，公转盘2上开设有安装孔，旋转轴承可转动的安装于安装孔内。

进一步地，自转部还包括待镀膜工件夹具，待镀膜工件夹具设置于固定轴上；待镀膜工件夹具用于安装待镀膜工件。

进一步地，待镀膜工件为长条形，第一自转部31上安装的待镀膜工件在公转盘2的径向上延伸；

和/或，第二自转部32上安装的待镀膜工件延伸方向与公转盘2 的径向相垂直。

本领域的技术人员容易理解的是，在不冲突的前提下，上述各有利方式可以自由地组合、叠加。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。以上仅是本申请的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本申请的保护范围。

Claims

1.一种转架装置，其特征在于，包括：

公转轴(1)；

公转盘(2)，所述公转盘(2)套设于所述公转轴(1)外，并可随着所述公转轴(1)进行旋转；

多个自转部，多个所述自转部设置于所述公转盘(2)上，多个所述自转部均可进行自转；且所述自转部用于安装待镀膜工件；所述自转部包括间隔设置的第一自转部(31)和第二自转部(32)；所述第一自转部(31)与所述第二自转部(32)的初始转动位置不同；所述第一自转部(31)和所述第二自转部(32)的转动方向相反，且转动角速度相同。

2.根据权利要求1所述的转架装置，其特征在于，所述转架装置还包括驱动部(4)，所述驱动部(4)与所述公转轴(1)连接；所述驱动部(4)用于驱动所述公转轴(1)转动。

3.根据权利要求1所述的转架装置，其特征在于，所述第一自转部(31)上设置有第一齿轮(61)；所述公转盘(2)上设置有与所述第一齿轮(61)相对应的第一拨动部(62)；所述第一齿轮(61)与所述第一拨动部(62)相啮合；

和/或，所述第二自转部(32)上设置有第二齿轮(71)，所述公转盘(2)上还设置于与所述第二齿轮(71)相对应的第二拨动部(72)；所述第二齿轮(71)与所述第二拨动部(72)相啮合；

和/或，多个所述自转部围绕所述公转轴(1)的中心轴线在所述公转盘(2)上周向设置。

4.根据权利要求3所述的转架装置，其特征在于，所述第一拨动部(62)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h1；所述第二拨动部(72)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h2；所述第一齿轮(61)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h3；所述第二齿轮(71)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h4；其中h1＝h3；h2＝h4；且h1≠h2。

5.根据权利要求3所述的转架装置，其特征在于，所述第一拨动部(62)围绕所述公转轴(1)线周向设置；

和/或，所述第二拨动部(72)围绕所述公转轴(1)线周向设置；

和/或，所述第一拨动部(62)位于所述自转部的外周侧；

和/或，所述第二拨动部(72)位于所述自转部的外周侧。

6.根据权利要求3所述的转架装置，其特征在于，所述第一齿轮(61)与所述第二齿轮(71)的齿数相同、模数不同。

7.根据权利要求3所述的转架装置，其特征在于，所述自转部包括旋转轴承和固定轴；所述旋转轴承设置于所述公转盘(2)上；所述旋转轴承可随着自身的中心轴线进行旋转；所述固定轴设置于所述旋转轴承内，所述待镀膜工件安装于所述固定轴上；所述齿轮套设于所述固定轴的外周侧。

8.根据权利要求6所述的转架装置，其特征在于，所述公转盘(2)上开设有安装孔，所述旋转轴承可转动的安装于所述安装孔内。

9.根据权利要求7所述的转架装置，其特征在于，所述自转部还包括待镀膜工件夹具，所述待镀膜工件夹具设置于所述固定轴上；所述待镀膜工件夹具用于安装所述待镀膜工件。

10.根据权利要求1所述的转架装置，其特征在于，所述第一自转部(31)上安装的待镀膜工件在所述公转盘(2)的径向上延伸；

和/或，所述第二自转部(32)上安装的待镀膜工件延伸方向与所述公转盘(2)的径向相垂直。