CN208844188U - 镀膜托盘及镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及镀膜装置技术领域，尤其是涉及一种镀膜托盘及镀膜系统。该镀膜托盘包括支撑机构、公转转盘和自转机构；所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。本申请实现了工件绕公转转盘的中心转动以及工件的自转，进而实现对安装于工件杆上的工件均匀镀膜。

Description

镀膜托盘及镀膜系统

技术领域

本申请涉及镀膜装置技术领域，尤其是涉及一种镀膜托盘及镀膜系统。

背景技术

在工件镀膜的过程中，需要将工件置于镀膜用支撑板上，然后送至镀膜设备内进行镀膜。现有的镀膜用托盘的转动形式不能实现对工件进行均匀镀膜，镀膜效果差。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种镀膜托盘及镀膜系统，来解决在工件镀膜的过程中，不能对工件实现均匀镀膜，镀膜效果差的技术问题。

本申请提供了一种镀膜托盘，包括支撑机构、公转转盘和自转机构；所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。

在上述技术方案中，进一步地，所述自转机构还包括转轴和固定机构；所述转轴的上端与所述工件杆连接，所述公转转盘上开设有转轴通孔，所述转轴穿过所述转轴通孔；所述固定机构安装于所述公转转盘上，且所述固定机构与所述转轴连接，使得所述转轴与所述公转转盘转动连接；所述转轴的下端套设有所述自转齿轮。

在上述技术方案中，进一步地，所述固定机构包括自转轴承和自转轴承套；所述自转轴承的内圈套设于所述转轴上；所述自转轴承套套设于所述自转轴承的外圈；所述自转轴承套与所述公转转盘的上表面连接。

在上述技术方案中，进一步地，所述自转轴承套包括固定部和插接部；所述固定部安装于所述公转转盘的上表面，且所述固定部的下表面与所述公转转盘的上表面连接；所述插接部插入所述转轴通孔内。

在上述技术方案中，进一步地，还包括顶板，所述工件杆位于所述转轴与所述顶板之间，所述工件杆与所述顶板转动连接。

在上述技术方案中，进一步地，还包括支撑柱；所述支撑柱位于所述公转转盘与所述顶板之间，用于支撑所述顶板。

在上述技术方案中，进一步地，所述支撑机构包括支撑板与承载轴承；所述内齿圈嵌入所述支撑板中；所述承载轴承设置于所述支撑板上，所述承载轴承与所述支撑板转动连接；所述公转转盘位于所述承载轴承的上方，且所述公转转盘的下表面与所述承载轴承的外圆表面相贴。

在上述技术方案中，进一步地，还包括限位圈和径向限位机构；所述径向限位机构位于所述公转转盘的下方，所述径向限位机构包括限位轴、限位轴承和限位轴承套；所述限位轴的一端与所述公转转盘连接，所述限位轴承的内圈套设于所述限位轴的另一端；所述限位轴承套套设于所述限位轴承的外圈；所述限位圈固定于所述支撑板的下表面，所述内齿圈的轴线穿过所述限位圈的中心，所述限位轴承套的外圆表面与所述限位圈内圆表面相贴。

在上述技术方案中，进一步地，所述径向限位机构的数量为多个，多个所述径向限位机构在所述公转转盘的下表面的一设定圆上均匀布设，所述内齿圈的轴线穿过所述设定圆的圆心。

本申请还提供了一种镀膜系统，包括上述方案所述的镀膜托盘。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请提供的镀膜托盘，包括支撑机构、公转转盘和自转机构；公转转盘安装于支撑机构上，且公转转盘能够绕自身的轴线转动；自转机构安装于公转转盘上，公转转盘能够带动自转机构绕公转转盘的轴线转动，且自转机构与公转转盘转动连接；支撑机构上设置有内齿圈，公转转盘的轴线穿过内齿圈的中心，自转机构包括工件杆和自转齿轮，工件杆与自转齿轮连接，自转齿轮与内齿圈相啮合。

具体来说，公转转盘安装于支撑机构上，支撑机构用于支撑公转转盘，而且公转转盘可以相对于支撑机构进行转动。公转转盘上还安装有自转机构，公转转盘即可带动自转机构绕着公转转盘的轴线转动，且自转机构也可以绕自身的轴线转动。支撑机构上设置有内齿圈，公转转盘与内齿圈的轴线共线，内齿圈固定不动，公转转盘相对于内齿圈转动的同时也带动了自转机构转动，由于自转机构上设置有自转齿轮，以公转转盘的中心为轴转动的自转齿轮与内齿圈相啮合后，即推动自转齿轮绕自身轴线转动。自转机构上还连接有工件杆，在工件安装于工件杆时，工件即可以绕公转转盘中心转动的同时也可以进行自转。

本申请提供的镀膜托盘实现了工件绕公转转盘的中心转动的同时实现了工件的自转，使得对工件镀膜更加均匀。解决了在工件镀膜的过程中，不能对工件实现均匀镀膜，镀膜效果差的技术问题。

本申请还提供了镀膜系统，包括镀膜托盘。基于上述分析可知，该镀膜系统实现了工件绕公转转盘的中心转动的同时实现了工件的自转，使得对工件镀膜更加均匀。解决了在工件镀膜的过程中，不能对工件实现均匀镀膜，镀膜效果差的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例一提供的镀膜托盘的结构示意图；

图2为本申请实施例一提供的镀膜托盘的底面结构示意图；

图3为本申请实施例一提供的固定机构的结构示意图；

图4为本申请实施例二提供的镀膜托盘的底面结构示意图。

图中：

101-支撑机构；102-公转转盘；103-自转机构；104-内齿圈；105-工件杆；106-自转齿轮；107-转轴；108-固定机构；109-自转轴承；110-自转轴承套；111-固定部；112-插接部；113-顶板；114-支撑柱；115-支撑板；116-承载轴承；117-限位圈；118-径向限位机构；119-限位轴；120-限位轴承；121-限位轴承套。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例一

参见图1至图3所示，本申请实施例一提供了一种镀膜托盘，包括支撑机构101、公转转盘102和自转机构103；公转转盘102安装于支撑机构101上，且公转转盘102能够绕自身的轴线转动；自转机构103安装于公转转盘102上，公转转盘102能够带动自转机构103绕公转转盘102的轴线转动，且自转机构103与公转转盘102转动连接；支撑机构101上设置有内齿圈104，公转转盘102的轴线穿过内齿圈104的中心，自转机构103包括工件杆105和自转齿轮106，工件杆105与自转齿轮106连接，自转齿轮106与内齿圈104相啮合。

具体来说，公转转盘102安装于支撑机构101上，支撑机构101用于支撑公转转盘102，而且公转转盘102可以相对于支撑机构101进行转动。公转转盘102上还安装有自转机构103，公转转盘102即可带动自转机构103绕着公转转盘102的轴线转动，且自转机构103也可以绕自身的轴线转动。支撑机构101上设置有内齿圈104，公转转盘102与内齿圈104的轴线共线，内齿圈104固定不动，公转转盘102相对于内齿圈104转动的同时也带动了自转机构103转动，由于自转机构103上设置有自转齿轮106，以公转转盘102的中心为轴转动的自转齿轮106与内齿圈104相啮合后，即推动自转齿轮106绕自身轴线转动。自转机构103上还连接有工件杆105，在工件安装于工件杆105时，工件即可以绕公转转盘102中心转动的同时也可以进行自转。

本申请提供的镀膜托盘实现了工件绕公转转盘102的中心转动的同时实现了工件的自转，使得对工件镀膜更加均匀。解决了在工件镀膜的过程中，不能对工件实现均匀镀膜，镀膜效果差的技术问题。

该实施例可选的方案中，自转机构103还包括转轴107和固定机构108；转轴107的上端与工件杆105连接，公转转盘102上开设有转轴通孔，转轴107穿过转轴通孔；固定机构108安装于公转转盘102上，且固定机构108与转轴107连接，使得转轴107与公转转盘102转动连接；转轴107的下端套设有自转齿轮106。

在该实施例中，自转机构103还包括转轴107和固定机构108，工件杆105通过转轴107与自转齿轮106连接，转轴107穿过位于公转转盘102上的转轴通孔，并通过固定机构108将转轴107固定在公转转盘102上，且转轴107能够相对于公转转盘102转动。通过上述方案，实现了公转转盘102转动的同时，带动自转机构103绕公转转盘102的中心转动以及实现了自转机构103的自转。

该实施例可选的方案中，固定机构108包括自转轴承109和自转轴承套110；自转轴承109的内圈套设于转轴107上；自转轴承套110套设于自转轴承109的外圈；自转轴承套110与公转转盘102的上表面连接。

在该实施例中，固定机构108包括自转轴承109和自转轴承套110，其中，自转轴承109的内圈套设于转轴107上，使得自转轴承109的内圈与转轴107连接，自转轴承109的内圈尺寸与转轴107的尺寸相适配。可选地，自转轴承109与转轴107过盈配合。自转轴承套110套设于自转轴承109的外圈，使得自转轴承109的外圈与自转轴承套110连接，且自转轴承套110也与公转转盘102连接，即将自转轴承109的外圈固定于公转转盘102上，自转轴承109的内外圈之间可以相对转动，即实现了将转轴107固定在公转转盘102上，且转轴107可以相对于公转转盘102转动。自转轴承109可以支撑转轴107旋转，同时降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回转精度。

需要说明的是，自转轴承套110的内圈尺寸与自转轴承109的外圈尺寸相适配。

可选地，自转轴承109与自转轴承套110过盈配合。

该实施例可选的方案中，自转轴承套110包括固定部111和插接部112；固定部111安装于公转转盘102的上表面，且固定部111的下表面与公转转盘102的上表面连接；插接部112插入转轴通孔内。

在该实施例中，自转轴承套110包括固定部111和插接部112，固定部111用于将自转轴承109固定于公转转盘102的上表面，插接部112插入转轴通孔中，方便对自转机构103的定位安装。

可选地，固定部111上开设有固定孔，用于将自转轴承109固定于公转转盘102的上表面。需要说明的是，自转轴承109与公转转盘102的连接方式不仅局限于以上的方式，也可以根据实际工况自由选取其他形式的连接方式，用以实现固定自转轴承109的功能；对于其他形式的锚固件本实施例一不再一一具体赘述。

该实施例可选的方案中，镀膜托盘还包括顶板113，工件杆105位于转轴107与顶板113之间，工件杆105与顶板113转动连接。

在该实施例中，工件杆105的一端固定于转轴107上，工件杆105的另一端设置有顶板113，工件杆105两端固定后，在旋转的过程中不会产生歪斜的现象，保证镀膜操作的可靠性。

该实施例可选的方案中，工件杆105的数量为多个。

该实施例可选的方案中，工件杆105上开设有安装孔，用于将工件固定于工件杆105上。

该实施例可选的方案中，镀膜托盘还包括支撑柱114；支撑柱114位于公转转盘102与顶板113之间，用于支撑顶板113。

该实施例可选的方案中，支撑柱114的数量为多个，多个支撑柱114均匀分布于公转转盘102的上表面。

在该实施例中，支撑柱114分别与公转转盘102和顶板113之间，形成了稳定的支撑框架，位于公转转盘102和顶板113之间的工件杆105在旋转地过程中，可以维持稳定的结构，进而保证镀膜操作的可靠性。

实施例二

参见图4所示，该实施例二中的镀膜托盘是在上述实施例基础上的改进，上述实施例中公开的技术内容不重复描述，上述实施例中公开的内容也属于该实施例二公开的内容。

该实施例可选的方案中，支撑机构101包括支撑板115与承载轴承116；内齿圈104嵌入支撑板115中；承载轴承116设置于支撑板115上，承载轴承116与支撑板115转动连接；公转转盘102位于承载轴承116的上方，且公转转盘102的下表面与承载轴承116的外圆表面相贴。

在该实施例中，承载轴承116安装于支撑板115上，承载轴承116可以相对于支撑板115转动。承载轴承116的外圆表面与公转转盘102的下表面相贴，承载轴承116用于支撑公转转盘102。由于承载轴承116可以转动，承载轴承116与公转转盘102之间的转动摩擦力，远远小于公转转盘102与支撑板115直接接触产生的摩擦力，使得公转转盘102相对于支撑机构101转动更容易。

该实施例可选的方案中，镀膜托盘还包括限位圈117和径向限位机构118；径向限位机构118位于公转转盘102的下方，径向限位机构118包括限位轴119、限位轴承120和限位轴承套121；限位轴119的一端与公转转盘102连接，限位轴承120的内圈套设于限位轴119的另一端；限位轴承套121套设于限位轴承120的外圈；限位圈117固定于支撑板115的下表面，内齿圈104的轴线穿过限位圈117的中心，限位轴承套121的外圆表面与限位圈117内圆表面相贴。

在该实施例中，镀膜托盘还包括限位圈117和径向限位机构118，使得公转转盘102在旋转的过程中，不会发生相对于支撑机构101偏移的问题。径向限位机构118位于公转转盘102的下方，与位于支撑板115下表面的限位圈117配合。径向限位机构118包括限位轴119、限位轴承120和限位轴承套121，由于限位轴119与转动的公转转盘102连接，限位圈117固定于不动的支撑板115上，通过限位轴承120和限位轴承套121的设置，限位轴承套121在接触限位圈117时，只能在限位圈117的范围内转动，进而实现了对公转转盘102的限位，转动的限位轴承套121减少了径向限位机构118与限位圈117之间的摩擦力，同时防止公转转盘102发生偏移现象。

该实施例可选的方案中，径向限位机构118的数量为多个，多个径向限位机构118在公转转盘102的下表面的一设定圆上均匀布设，内齿圈104的轴线穿过设定圆的圆心。

在该实施例中，多个径向限位机构118在公转转盘102的下表面的一设定圆上均匀布设，限位圈117的轴线穿过该设定圆的圆心，多个径向限位机构118与限位圈117之间接触产生的力更加均匀的分布，防止公转转盘102在旋转的过程中偏移。

实施例三

本申请实施例三提供了一种镀膜系统，包括上述任一实施例所述的镀膜托盘。因而，具有上述任一实施例所述的镀膜托盘的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

Claims (10)

1.一种镀膜托盘，其特征在于，包括支撑机构、公转转盘和自转机构；

所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；

所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；

所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。

2.根据权利要求1所述的镀膜托盘，其特征在于，所述自转机构还包括转轴和固定机构；所述转轴的上端与所述工件杆连接，所述公转转盘上开设有转轴通孔，所述转轴穿过所述转轴通孔；所述固定机构安装于所述公转转盘上，且所述固定机构与所述转轴连接，使得所述转轴与所述公转转盘转动连接；所述转轴的下端套设有所述自转齿轮。

3.根据权利要求2所述的镀膜托盘，其特征在于，所述固定机构包括自转轴承和自转轴承套；所述自转轴承的内圈套设于所述转轴上；所述自转轴承套套设于所述自转轴承的外圈；所述自转轴承套与所述公转转盘的上表面连接。

4.根据权利要求3所述的镀膜托盘，其特征在于，所述自转轴承套包括固定部和插接部；所述固定部安装于所述公转转盘的上表面，且所述固定部的下表面与所述公转转盘的上表面连接；所述插接部插入所述转轴通孔内。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括顶板，所述工件杆位于所述转轴与所述顶板之间，所述工件杆与所述顶板转动连接。

6.根据权利要求5所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括支撑柱；所述支撑柱位于所述公转转盘与所述顶板之间，用于支撑所述顶板。

7.根据权利要求1所述的镀膜托盘，其特征在于，所述支撑机构包括支撑板与承载轴承；所述内齿圈嵌入所述支撑板中；所述承载轴承设置于所述支撑板上，所述承载轴承与所述支撑板转动连接；所述公转转盘位于所述承载轴承的上方，且所述公转转盘的下表面与所述承载轴承的外圆表面相贴。

8.根据权利要求7所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括限位圈和径向限位机构；所述径向限位机构位于所述公转转盘的下方，所述径向限位机构包括限位轴、限位轴承和限位轴承套；所述限位轴的一端与所述公转转盘连接，所述限位轴承的内圈套设于所述限位轴的另一端；所述限位轴承套套设于所述限位轴承的外圈；所述限位圈固定于所述支撑板的下表面，所述内齿圈的轴线穿过所述限位圈的中心，所述限位轴承套的外圆表面与所述限位圈内圆表面相贴。

9.根据权利要求8所述的镀膜托盘，其特征在于，所述径向限位机构的数量为多个，多个所述径向限位机构在所述公转转盘的下表面的一设定圆上均匀布设，所述内齿圈的轴线穿过所述设定圆的圆心。

10.一种镀膜系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的镀膜托盘。