CN106048551A - 真空镀膜机工件托架 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空镀膜机工件托架，主要适用于圆柱体、圆锥体、半球体或半球壳体等工件的全表面真空镀膜。本发明采用三个工件固定支架与三个工件换位支架交替轮换支承工件的方式，这样不仅使被镀膜工件的支承面积小、支承稳定，且在换位时，无需对被镀工件进行二次定位，确保了被镀膜工件的外表面一次就能完成全表面真空镀膜，这样既提高了镀膜质量、合格率和工作效率；又改善了操作人员的工作条件，避免了由于二次定位给操作人员带来的危险。

Description

真空镀膜机工件托架

技术领域

本发明属于真空镀膜设备领域，特别涉及一种真空镀膜机工件托架。

背景技术

现有的真空镀膜机工件托架大部分采用两点支承或平面支承，在工件回转时，容易产生离心力，在此离心力的作用下，会使工件移动或错位，造成镀膜不均匀，从而使镀膜工件的合格率较低；另外，需要分多次（至少两次）镀膜才能完成工件的全表面真空镀膜，这样使镀膜时间加长，工作效率较低；同时在换位时，需要操作人员对工件进行二次定位，这样不仅增加镀膜时间，降低镀膜工作效率，而且也增加了由于二次定位给操作人员带来的危险。

发明内容

针对上述问题本发明提供一种真空镀膜机工件托架。

本发明所采用的技术方案是：一种真空镀膜机工件托架，包括固定基座、回转电机、升降电动机、传动螺母、升降底座、从动齿轮支承轴、支承轨道滚轮、升降转盘支承轴、工件固定支架、工件、工件换位支架、升降转盘、从动齿轮、主动齿轮、深沟球轴承、紧定螺钉、真空镀膜室和密封垫圈；

所述固定基座、升降底座、从动齿轮以及升降转盘自下而上垂直分布且共用同一个轴心，通过升降电动机输出轴螺旋连接；回转电动机装于固定基座的一侧，回转电机输出轴自下而上连接于主动齿轮的轴孔，且通过紧定螺钉固定，主动齿轮水平咬合于从动齿轮；

所述从动齿轮支承轴下端穿过固定基座上的通孔，上端设有深沟球轴承和支承轨道滚轮与从动齿轮相铰接；

所述升降转盘支承轴穿过从动齿轮环形体内孔，下端穿过升降底座上的通孔，上端设有深沟球轴承和支承轨道滚轮与升降转盘相铰接；

所述的工件固定支架穿过升降转盘环形体内孔竖直安装，其下端穿过从动齿轮上的通孔；所述的工件换位支架下端穿过升降转盘上的通孔竖直安装。

作为一种优选的技术方案：固定基座呈直径400mm的圆盘状，位于真空镀膜机的最底端；其端面外圆周上设置有若干法兰通孔，与真空镀膜室上的法兰通孔相对应，经密封垫圈通过螺栓联接；端面上以其中心孔为圆心一周均匀分布四个直径9mm的通孔，可以通过此通孔安装四根从动齿轮支承轴；从动齿轮支承轴中段直径12mm，下段制有M8外螺纹。

作为一种优选的技术方案：回转电动机驱动托架以25r/min的速度始终匀速转动，保证工件在真空镀膜室中镀膜均匀。

作为一种优选的技术方案：升降底座呈圆盘状，其外圆周上与固定底座相对应的均匀分布四个直径为12mm的通孔，四根从动齿轮支承轴中段呈动配合关系；在升降底座端面约二分之一半径的圆周上均匀分布四个通孔；传动螺母从升降底座中心孔上方穿过以螺纹方式与升降底座相连接。

作为一种优选的技术方案：升降电动机输出轴的上端设有梯形螺纹，与传动螺母相配合形成螺旋传动；带动工件换位支架作上下垂直运动，使工件固定支架与工件换位支架在竖直方向上交替支承工件，以实现工件的真空镀膜表面无漏镀点。

作为一种优选的技术方案：支承轨道滚轮的外缘设有V形凹槽。

作为一种优选的技术方案：从动齿轮为中空圆环状，端面上均匀分布三个通孔；从动齿轮上部设有轮齿与主动齿轮相啮合，下部设有V形外凸式环形滚道，与支承轨道滚轮的V形凹槽相配合以保证从动齿轮在竖直和水平方向上位置固定不变。

作为一种优选的技术方案：升降转盘为中空圆环状，其端面圆周上均匀分布有六个通孔；升降转盘圆柱内表面设有V形内凸式环形滚道，与支承轨道滚轮的V形凹槽相配合。

作为一种优选的技术方案：工件固定支架与工件换位支架分别有三根，相互之间交替穿插设置，交替轮换支承工件；三个工件固定支架的作用有三点：一是支承工件并带动工件转动；二是当从动齿轮回转时，可以通过它带动升降转盘转动；三是当升降转盘进行上升或下降运动过程中，这三个工件固定支架又可以对升降转盘起到导向作用。

作为一种优选的技术方案：从动齿轮支承轴、升降转盘支承轴、深沟球轴承和支承轨道滚轮的数量分别为4根、4根、8组和8组。

本发明的有益效果是：采用三个工件固定支架与三个工件换位支架交替轮换支承工件，这样不仅使被镀膜工件的支承面积减少，而且提高了支承工件的稳定性；在换位时，无需对被镀工件进行二次定位，可以确保被镀膜工件的外表面一次性完成镀膜，这样即提高了镀膜质量、合格率和工作效率；又改善了操作人员的工作条件，避免了由于二次定位给操作人员带来的危险。

附图说明

图1所示为真空镀膜机工件托架整体结构图；

图2所示为真空镀膜机工件托架俯视图；

图3所示为真空镀膜机工件托架总体安装图；

图4所示为真空镀膜机工件托架工件换位支架工作状态图；

图中：1固定基座、2 回转电动机、3升降电动机、4传动螺母、5升降底座 、6从动齿轮支承轴、7支承轨道滚轮、8升降转盘支承轴、9工件固定支架、10工件、11工件换位支架、12升降转盘、13从动齿轮、14主动齿轮、15深沟球轴承、16紧定螺钉、17真空镀膜室、18密封垫圈。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

一一种真空镀膜机工件托架的工作原理是：如图3所示将工件10安放并固定在三个工件固定支架9上，启动回转电动机2，回转电动机2带动主动齿轮14以125r/min匀速转动，通过主动齿轮14与从动齿轮13的啮合，按照传动比i =5减速后，带动从动齿轮13以25r/min作匀速转动，使固定在从动齿轮13上的三个工件固定支架9连同工件10一起匀速转动，此时，三个工件固定支架9也带动升降转盘12及安装于其上的换位支架11作匀速转动，工件10在真空镀膜室17中进行镀膜处理。

根据镀膜工艺要求，如图4当需要工件10换位支承时，升降电动机3开始工作，升降电动机3通过梯形螺纹轴和传动螺母4组成的螺旋传动带动升降底座5上升，四个升降转盘支承轴8及四个支承轨道滚轮7，使升降转盘12及其上工件换位支架11在转动的同时作上升运动，直到工件换位支架11上升到高于工件固定支架9约10mm后，工件换位支架11将支承并托起工件10，这时工件固定支架9与工件10脱离，升降电动机3停止工作，工件换位支架11完成对工件10的换位支承。在工件换位支架11与工件固定支架9换位过程中，回转电动机2一直在运转，保证从动齿轮13、三个工件固定支架9、升降转盘12和三个工件换位支架11一直作匀速转动，从而使工件10在镀膜过程中一直保持匀速转动。

真空镀膜机工件托架的实施例：

下面以直径为50mm的圆柱体工件进行全表面真空镀膜为例，论述本发明的真空镀膜机工件托架工作过程。

根据真空镀膜工艺要求，在真空镀膜室17中，安放一定数量的磁控耙，并布置在所需的位置上。工件托架通过固定基座1上的法兰连接通孔与真空镀膜室17的法兰连接通孔用螺栓联接成为一体，密封垫圈18是用于解决真空镀膜室17的真空密封问题。

在确保三个工件换位支架11在竖直方向低于三个工件固定支架9后，将工件10放置在三个工件固定支架9上，由这三个工件固定支架9固定支承工件10，这样既可以减少工件10被遮挡的面积，且保证工件10处于稳定状态；做好各项准备工作后，关闭真空镀膜室门，启动回转电动机2，回转电动机2带动主动齿轮14转动，并通过齿轮啮合带动从动齿轮13转动；由从动齿轮13的转动带动安装于其上的三个固定支架9转动，从而带动工件10转动，实现了工件10匀速回转运动；与此同时，三个固定支架9也带动升降转盘12、工件换位支架11与从动齿轮13一起作转动，这时工件10上外表面只有三个支承点暂时没有被镀膜。

为保证无镀膜漏点，在进行真空镀膜一段时间后，需要对工件10进行换位支承，以保证工件10外表面全部被镀膜。在不中断真空镀膜的条件下，启动升降电动机3（此时回转电动机2及其传动部件仍在继续运转，工件10仍在转动），通过传动螺母4带动升降底座5上移，同时也利用四个升降转盘支承轴8和安装于其上四个轨道滚轮7使升降转盘12上升，工件换位支架11也跟随升降转盘12上升，直到工件换位支架11上升到超过工件固定支架9的高度并托起工件10，这时工件固定支架9与工件10脱离，工件固定支架9与工件换位支架11轮换支承工件10过程完成，升降电动机3停止工作；这时工件换位支架11固定支承工件10，并带动工件10转动，继续对工件10进行真空镀膜。

根据真空镀膜工艺要求进行镀膜一定时间，在工件10上外表面全部被镀膜后，停止回转电动机2和升降电动机3，真空镀膜机工件托架也随之停止工作。

最后所应说明的是，以上实施例仅用以补充阐释本发明的技术方案而非限制。尽管参照实施例对本发明进行了详细说明，本领域的广大技术人员应当理解，对本发明的技术方案进行修改或者同等替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：包括固定基座（1）、回转电机（2）、升降电动机（3）、传动螺母（4）、升降底座（5）、从动齿轮支承轴（6）、支承轨道滚轮（7）、升降转盘支承轴（8）、工件固定支架（9）、工件（10）、工件换位支架（11）、升降转盘（12）、从动齿轮（13）、主动齿轮（14）、深沟球轴承（15）、紧定螺钉（16）、真空镀膜室（17）和密封垫圈（18）；

所述固定基座（1）、升降底座（5）、从动齿轮（13）以及升降转盘（12）自下而上垂直分布且共用同一个轴心，通过升降电动机（3）输出轴螺旋连接；回转电动机（2）装于固定基座（1）的一侧，回转电机（2）输出轴自下而上连接于主动齿轮（14）的轴孔，且通过紧定螺钉（16）固定，主动齿轮（14）水平咬合于从动齿轮（13）；

所述从动齿轮支承轴（6）下端穿过固定基座（1）上的通孔，上端设有深沟球轴承（15）和支承轨道滚轮（7）与从动齿轮（13）相铰接；

所述升降转盘支承轴（8）穿过从动齿轮（13）环形体内孔，下端穿过升降底座（5）上的通孔，上端设有深沟球轴承（15）和支承轨道滚轮（7）与升降转盘（12）相铰接；

所述的工件固定支架（9）穿过升降转盘（12）环形体内孔竖直安装，其下端穿过从动齿轮（13）上的通孔；所述的工件换位支架（11）下端穿过升降转盘（12）上的通孔竖直安装。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：固定基座（1）

呈直径400mm的圆盘状,位于真空镀膜机的最底端；其端面外圆周上设置有若干法兰通孔，与真空镀膜室（17）上的法兰通孔相对应，经密封垫圈（18）通过螺栓联接；端面上以其中心孔为圆心一周均匀分布四个直径9mm的通孔，可以通过此通孔安装四根从动齿轮支承轴（6）；从动齿轮支承轴（6）中段直径12mm，下段制有M8外螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：回转电动机（2）驱动托架以25r/min的速度始终匀速转动，保证工件（10）在真空镀膜室（17）中镀膜均匀。

4.根据权利要求所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：升降底座（5）呈圆盘状，其外圆周上与固定底座（1）相对应的均匀分布四个直径为12mm的通孔，四根从动齿轮支承轴（6）中段呈动配合关系；在升降底座（5）端面约二分之一半径的圆周上均匀分布四个通孔；传动螺母（4）从升降底座（5）中心孔上方穿过以螺纹方式与升降底座（5）相连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：升降电动机（3）输出轴的上端设有梯形螺纹，与传动螺母（4）相配合形成螺旋传动；带动工件换位支架（11）作上下垂直运动，使工件固定支架（9）与工件换位支架（11）在竖直方向上交替支承工件（10），以实现工件（10）的真空镀膜表面无漏镀点。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：支承轨道滚轮（7）的外缘设有V形凹槽。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：从动齿轮（13）为中空圆环状，端面上均匀分布三个通孔；从动齿轮（13）上部设有轮齿与主动齿轮（14）相啮合，下部设有V形外凸式环形滚道，与支承轨道滚轮（7）的V形凹槽相配合以保证从动齿轮（13）在竖直和水平方向上位置固定不变。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：升降转盘（12）为中空圆环状，其端面圆周上均匀分布有六个通孔；升降转盘（12）圆柱内表面设有V形内凸式环形滚道，与支承轨道滚轮（7）的V形凹槽相配合。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：工件固定支架（9）与工件换位支架（11）分别有三根，相互之间交替穿插设置，交替轮换支承工件（10）；三个工件固定支架（9）的作用有三点：一是支承工件（10）并带动工件（10）转动；二是当从动齿轮（13）回转时，可以通过它带动升降转盘（12）转动；三是当升降转盘（12）进行上升或下降运动过程中，这三个工件固定支架（9）又可以对升降转盘（12）起到导向作用。

10.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架，其特征在于：从动齿轮支承轴（6）、升降转盘支承轴（8）、深沟球轴承（15）和支承轨道滚轮（7）的数量分别为4根、4根、8组和8组。