CN103834926A - 真空镀膜工件转台 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。本发明通过使用滚珠直接将该转盘和该行星齿轮相枢接，该载物台具有结构简单和轻薄的优点。

Description

真空镀膜工件转台

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜工件转台。

背景技术

工件的使用寿命主要取决于耐磨性和硬度，而真空镀膜工艺是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式。在真空镀膜过程中，真空镀膜工件转台发挥着重要的作用。

现有的真空镀膜工件转台通常包括电机、传动基座、真空室和载物台，电机通过传动带驱动传动基座中的驱动转轴旋转，驱动转轴带动载物台旋转。

现有的真空镀膜工件转台存在以下问题：第一、载物台的厚度较大，由于载物台包括转盘和行星齿轮，转盘和行星齿轮中的太阳轮通过轴承相枢接，而现有的轴承的尺寸一般较大，因此载物台的厚度无法进一步缩小；第二、容易高温变形，由于载物台还包括轴承套和自转轴，自转轴与轴承套直接相枢接，工作时容易因高温而变形，造成自转轴和行星齿轮的行星轮卡死；第三、传动基座和载物台难以拆卸并分离，由于传动基座和载物台需要通过螺栓锁死以保持持续通电。因此在分离载物台和传动基座时，需要事先拧卸下该螺栓，使用过程十分不便；第四、载物台的装卸不便，装卸时，需要将自转轴准确旋转至固定位置，然后将载物台装配上或卸载下，存在准确定位上的难题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空镀膜工件转台存在载物台的厚度较大的缺陷，提供一种真空镀膜工件转台，其载物台具有厚度薄的优点。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，其特点在于，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。

较佳的，该载物台还包括多个轴承套，每一轴承套通过滚珠与一自转轴相枢接。

较佳的，该载物台还包括一中心转轴，该真空镀膜工件转台还包括一具有驱动转轴的传动基座，该驱动转轴通过一金属弹片与该中心转轴电连接。

较佳的，该传动基座还包括一基座套，该驱动转轴与该基座套相枢接，该驱动转轴上设置有一检测板，该基座套上设置有一检测开关，该检测开关和该检测板用于检测该驱动转轴相对于该基座套的转动圈数。

较佳的，该中心转轴和该行星齿轮中的太阳轮通过一陶瓷轴承相枢接。

较佳的，该真空镀膜工件转台还包括一真空室，该真空室内设置有两个轨道，该载物台上设置有两列导轮，该些导轮用于沿着该些轨道滑滚运动。

本发明的积极进步效果在于：

本发明提供了一种真空镀膜工件转台。通过使用滚珠直接将该转盘和该行星齿轮相枢接，该载物台具有结构简单和轻薄的优点。

附图说明

图1为本发明较佳实施例的真空镀膜工件转台的立体图。

图2为本发明较佳实施例的真空镀膜工件转台的剖视图。

图3为本发明较佳实施例的真空镀膜工件转台的局部剖视图。

图4为本发明较佳实施例的真空镀膜工件转台的局部示意图。

附图标记说明：

电机：1               传动带：2

传动基座：3           真空室：4

载物台：5             金属弹片：6

基座套：31            驱动转轴：32

检测板：33            检测开关：34

轨道：41                限位板：42

中心转轴：51            陶瓷轴承：52

转盘：53                高温钢珠：54

太阳轮：55              行星轮：56

自转轴：57              轴承套：58

高温钢珠：59            卡扣凸块：320

石墨环：510             托板：511

绝缘板：512             导轮：513

卡扣槽514

具体实施方式

下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本发明。

如图1所示，本实施例的真空镀膜工件转台包括电机1、传动基座3、真空室4和载物台5。该传动基座3包括基座套31和驱动转轴32，该驱动转轴32与该基座套31相枢接。该载物台5上设置有五个自转轴57。

工作时，电机1通过传动带2驱动传动基座3中的驱动转轴32旋转，驱动转轴32带动载物台5中的自转轴57旋转。该些自转轴57上均悬挂有预加工工件，真空室4密闭并包围住载物台5，真空室4内具有正离子发射源，正离子发射源不断的发射高温正离子，由于预加工工件都带有负电压，正离子在电场力的作用下沉积于预加工工件的表面，实现真空镀膜和提高工件的耐磨性和硬度的目的。

如图2-3所示，真空室4内设置有两个轨道41，该载物台5上设置有两列导轮513，该些导轮513用于沿着该些轨道41滑滚运动。如图4所示，该驱动转轴32上设置有一检测板33，该基座套31上设置有一检测开关34，该检测开关34和该检测板33用于检测该驱动转轴32相对于该基座套31的转动圈数。图1-2未绘出检测板33和检测开关34。安装时，将检测板33和检测开关34对准（零位），如图3所示，将导轮513用于倾轧在轨道41上，推动该载物台5使得该些导轮513沿着该些轨道41滑滚即可实现安装。卸载过程与安装过程恰好相反，在此不再赘述。对准零位的目的一方面是使得驱动转轴32顶端的两个卡扣凸块320在安装时能够顺利地陷入中心转轴51的卡扣槽514内，另一方面是使得驱动转轴32顶端的两个卡扣凸块在卸载时能够顺利地从中心转轴51的卡扣槽脱离。

通过设置检测板33和检测开关34，载物台5在装卸时很容易准确定位，定位困难的技术问题得到了较好的解决。

如图2-3所示，载物台5包括转盘53和行星齿轮，该转盘53和该行星齿轮中的太阳轮55通过高温钢珠54相枢接。

现有技术中，转盘和太阳轮通过轴承相枢接。众所周知，轴承一般由内环套、钢珠层和外环套组成。本实施例通过使用高温钢珠54直接将该转盘53和太阳轮55相枢接，即只利用轴承中的核心部件钢珠，摒弃其内环套和外环套，可以使得载物台5结构简单化和轻薄化。

如图2-3所示，该载物台5还包括五个轴承套58，每一轴承套58通过高温钢珠59与一自转轴57相枢接。

现有技术中，自转轴与轴承套直接相枢接，工作时容易因高温而变形，造成自转轴和行星齿轮的行星轮卡死。通过在自转轴57和轴承套58之间增加高温钢珠59，本实施例的真空镀膜工件转台即使工作在600℃的情况下，自转轴57依然能够保持轴向位置不变，各个部件协调配合并顺利旋转。实际制作时，还可以使用普通的滚珠代替高温钢珠，例如，铜珠或普通钢珠。

如图2-3所示，该驱动转轴32通过一金属弹片6与该中心转轴51电连接。

现有技术中，由于传动基座和载物台需要通过螺栓锁死以保持持续通电。因此在分离载物台和传动基座时，需要事先拧卸下该螺栓，使用过程十分不便。在本实施例的真空镀膜工件转台中，该驱动转轴32通过一金属弹片6与该中心转轴51电连接。金属弹片在自身弹力的作用下能够时刻抵迫于该驱动转轴32和该中心转轴51之间，保持两者的持续通电。在分离载物台和传动基座时，该金属弹片处于伸张松弛状态，在安装载物台和传动基座时，该金属弹片处于收缩压迫状态，因此具有保持持续通电和使用方便的优点。

如图2-3所示，在本实施例的真空镀膜工件转台中，自动转轴51和太阳轮55通过一陶瓷轴承52相枢接。现有技术中，自动转轴51和太阳轮55通过一金属轴承52相枢接。真空镀膜工件转台的停机温度和工作温度分别为20℃和550℃，温差变化较为剧烈，陶瓷轴承与金属轴承相比，具有更为优越的抗温差变形性能和耐磨性能，因此本实施例的真空镀膜工件转台选择陶瓷轴承。

使用时，如图2-4所示，电机1通过传动带2驱动传动基座3中的驱动转轴32旋转，驱动转轴32带动中心转轴51旋转，基于应用陶瓷轴承52，中心转轴51的旋转摩擦很小，中心转轴51带动转盘53转动，转盘53将转矩传递至自转轴57，自转轴57带动行星轮56绕着太阳轮55旋转，在旋转的过程中，石墨环510中的石墨粉能够润滑自转轴57和轴承套58之间的罅隙。将电源的负极性端与金属弹片6电连接，电场通过中心转轴51和转盘53传递至五个自转轴57，使得该些自转轴57上的预加工工件带有负电压，以便吸附真空室4内的正离子。

太阳轮55通过绝缘板512固定于托板511上，因此太阳轮55上的电压不会传导至太阳轮55上。另外，真空室4内还设置有限位板42，限位板42能够将导轮513限位于轨道上滑滚运动。

虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，其特征在于，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜工件转台，其特征在于，该载物台还包括多个轴承套，每一轴承套通过滚珠与一自转轴相枢接。

3.如权利要求2所述的真空镀膜工件转台，其特征在于，该载物台还包括一中心转轴，该真空镀膜工件转台还包括一具有驱动转轴的传动基座，该驱动转轴通过一金属弹片与该中心转轴电连接。

4.如权利要求3所述的真空镀膜工件转台，其特征在于，该传动基座还包括一基座套，该驱动转轴与该基座套相枢接，该驱动转轴上设置有一检测板，该基座套上设置有一检测开关，该检测开关和该检测板用于检测该驱动转轴相对于该基座套的转动圈数。

5.如权利要求3所述的真空镀膜工件转台，其特征在于，该中心转轴和该行星齿轮中的太阳轮通过一陶瓷轴承相枢接。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的真空镀膜工件转台，其特征在于，该真空镀膜工件转台还包括一真空室，该真空室内设置有两个轨道，该载物台上设置有两列导轮，该些导轮用于沿着该些轨道滑滚运动。

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