CN205664807U - 一种间隙检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种间隙检测装置，设于载具上，用于在载具相对基板移动时检测载具与基板之间的间距，包括：基座，基座设于载具上；旋转机构，旋转机构可旋转地设于基座上，在载具与基板之间的间距小于预设距离时，旋转机构能够与基板接触并产生旋转；旋转角度测量机构，旋转角度测量机构用于实现旋转机构旋转角度的测量。通过旋转机构的旋转角度与预设距离值即可计算出载具与基板之间的间距，实现了载具与基板之间间距的准确测量，且该间隙检测装置的工作性能不受真空环境的影响和破坏，因此能够在真空蒸镀设备的真空腔内对载具与基板之间的间距进行测量，从而能够减少载具与基板的干涉风险，进而保障传送安全。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种间隙检测装置。
背景技术
在有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Device，OLED)的制备过程中，金属阴极的制备需要在真空蒸镀设备中进行。
目前的蒸镀设备无法在真空环境下检测载具与防着板之间的间距，载具在真空腔室内传送机构的干涉检测是通过实际传送载具来判断的，难以得知准确的间距，因此存在干涉风险，难以保障传送安全。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型提供一种间隙检测装置，以解决现有蒸镀设备无法在真空环境下检测载具与防着板之间间距导致存在干涉风险的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种间隙检测装置，设于载具上，用于在载具相对基板移动时检测载具与基板之间的间距，包括：基座，基座设于载具上；旋转机构，旋转机构可旋转地设于基座上，在载具与基板之间的间距小于预设距离时，旋转机构能够与基板接触并产生旋转；旋转角度测量机构，旋转角度测量机构用于实现旋转机构旋转角度的测量。
根据本实用新型，旋转机构包括可转动地设于基座上的旋转轴和用于与基板接触并带动旋转轴产生旋转的旋转臂，旋转臂的一端与旋转轴连接，且另一端指向远离基座的方向。
根据本实用新型，旋转角度测量机构包括套设于旋转轴并能够在旋转轴旋转的带动下单向旋转的旋转环，基座在与旋转环的圆周相对应的位置上设有第三刻度线。
根据本实用新型，旋转环上沿周向设有缺口槽，旋转轴上设有拨动销，拨动销可滑动地插设于缺口槽。
根据本实用新型，还包括复位弹簧，复位弹簧的一端与基座连接，且另一端与旋转轴连接，复位弹簧用于实现旋转臂不与基板接触时位于与基座垂直的初始位置。
根据本实用新型，基座上设有挡块，旋转轴上设有限位件，在旋转臂位于初始位置时，限位件与挡块相抵持。
根据本实用新型，旋转机构还包括用于与基板接触并产生旋转的第一转盘和用于测量第一转盘的旋转圈数的第二转盘，第一转盘设于旋转臂远离基座的一端，第一转盘的圆周上设有第一刻度线和位于第一刻度线的零点位置的凸起；第二转盘的圆周上设有第二刻度线和与第二刻度线相对应的轮齿；凸起与轮齿相配合。
根据本实用新型，旋转臂远离基座的一端设有与旋转臂垂直的固定轴，第一转盘可转动地套设于固定轴。
根据本实用新型，旋转臂上设有与旋转臂垂直的支柱，支柱背向基座的一侧设有与旋转臂平行的支撑轴，第二转盘可转动地套设于支撑轴上并位于第一转盘侧边的上方。
(三)有益效果
本实用新型的上述技术方案具有如下优点：
通过旋转机构的旋转角度与预设距离值即可计算出载具与基板之间的间距，由此实现了载具与基板之间间距的准确测量，且该间隙检测装置的工作性能不受真空环境的影响和破坏，因此能够在真空蒸镀设备的真空腔内对载具与基板之间的间距进行测量，从而能够减少载具与基板的干涉风险，进而保障传送安全。
附图说明
图1是本实用新型实施例的间隙检测装置在使用时的示意图；
图2是本实用新型实施例的间隙检测装置的结构示意图；
图3是本实用新型实施例的间隙检测装置的仰视示意图。
图中：1：载具；2：基板；3：基座；31：挡块；4：旋转轴；41：拨动销；42：限位件；43：连接件；5：旋转臂；51：固定轴；52：支柱；53：支撑轴；6：旋转环；61：缺口槽；7：复位弹簧；8：第一转盘；81：凸起；9：第二转盘；91：轮齿。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1至图3所示，本实用新型的间隙检测装置的一种实施例。如图1所示，本实施例的间隙检测装置设于载具1上，用于在载具1相对基板2移动时检测载具1与基板2之间的间距，基板2可以是防着板或位于载具1周边的其它机构。
如图1所示，本实施例的间隙检测装置包括基座3、旋转机构和旋转角度测量机构。其中，基座3固定设于载具1上，旋转机构可旋转地设于基座3上。在载具1相对基板2移动的过程中，当载具1与基板2之间的实际间距大于预设距离时，旋转机构不与基板2接触，此时旋转机构位于初始位置；当载具1与基板2之间的实际间距小于预设距离时，旋转机构能够与基板2接触并产生旋转而离开初始位置，通过旋转角度测量机构能够实现旋转机构旋转角度的测量。
本实施例的间隙检测装置，通过旋转机构的旋转角度与预设距离值即可计算出载具1与基板2之间的间距，由此实现了载具1与基板2之间间距的准确测量，且该间隙检测装置的工作性能不受真空环境的影响和破坏，因此能够在真空蒸镀设备的真空腔内对载具1与防着板或其它位于载具1周边的机构之间的间距进行测量，从而能够减少载具1与防着板或其它机构的干涉风险，进而保障传送安全。
具体地，在本实施例中，如图2所示，旋转机构包括旋转轴4和旋转臂5。基座3上设有上下贯通的通孔，旋转轴4可转动地插设于基座3上的通孔中。旋转臂5的一端与旋转轴4固定连接，旋转臂5的另一端指向远离基座3的方向。当载具1与基板2之间的实际间距大于预设距离时，旋转臂5位于与基座3垂直的初始位置。当载具1与基板2之间的实际间距小于预设距离时，旋转臂5远离基座3的一端与基板2接触并随之旋转，同时带动旋转轴4产生旋转。
如图2所示，旋转角度测量机构包括旋转环6，本实施例的旋转环6放置于基座3上并套设于旋转轴4。旋转环6能够在旋转轴4旋转的带动下单向旋转，并最终停留在旋转轴4的最大旋转角度位置。在基座3上与旋转环6的圆周相对应的位置上设有第三刻度线(图中未示出)，通过第三刻度线能够读出旋转环6最终停留位置的角度，即为旋转轴4旋转角度的最大值。由此实现了旋转轴4旋转角度的测量。
进一步，在本实施例中，为了实现旋转环6随旋转轴4的单向旋转，在旋转环6上沿周向设有缺口槽61，旋转轴4上设有拨动销41，拨动销41可滑动地插设于缺口槽61。当载具1与基板2之间的实际间距大于预设距离时，旋转轴4上的拨动销41与旋转环6上的缺口槽61的一端相接触，且拨动销41和缺口槽61与拨动销41相接触的一端均位于基座3上的第三刻度线的零点位置。当载具1与基板2之间的实际间距小于预设距离时，旋转轴4在旋转臂5的带动下发生旋转，且拨动销41推动缺口槽61的端部而带动旋转环6随旋转轴4旋转。当载具1继续移动至与基板2之间的实际间距大于预设距离时，旋转臂5脱离基板2而返回至初始位置，同时旋转轴4随之反向旋转，此时旋转轴4上的拨动销41在旋转环6上的缺口槽61内朝远离缺口槽61与拨动销41相接触的一端的方向滑动，因此不会带动旋转环6随旋转轴4而旋转。由此实现了旋转环6随旋转轴4的单向旋转，使得旋转环6能够停留在旋转轴4的最大旋转角度位置，以便于读出旋转轴4旋转角度的最大值。
进一步，如图3所示，本实施例的间隙检测装置还包括复位弹簧7，复位弹簧7的一端与基座3连接，复位弹簧7的另一端与旋转轴4连接。复位弹簧7用于实现旋转臂5不与基板2接触时位于与基座3垂直的初始位置，即实现旋转臂5在与基板2接触前均位于初始位置、在与基板2接触完毕并脱离基板2之后通过复位弹簧7的收缩带动旋转轴4反向旋转而自动反向旋转并复位至初始位置。
进一步，如图3所示，在本实施例中，基座3上设有挡块31，旋转轴4上设有限位件42，在旋转臂5位于与基座3垂直的初始位置时，限位件42与挡块31相抵持。通过限位件42与挡块31的相互抵持，可以限制旋转轴4朝向挡块31方向的旋转，使得旋转轴4仅能沿远离挡块31的方向单向旋转而离开初始位置，因此旋转臂5在离开初始位置时也只能朝一个方向单向旋转。由此可保证测量结果准确。为了使结构简单紧凑，本实施例在旋转轴4上设有连接件43，复位弹簧7的一端与基座3上的挡块31连接，复位弹簧7的另一端与旋转轴4上的连接件43连接。
进一步，如图2所示，在本实施例中，旋转机构还包括第一转盘8和第二转盘9，通过第一转盘8和第二转盘9可实现旋转臂5与基板2的接触长度的测量，在载具1相对基板2移动的过程中，旋转臂5与基板2的接触长度即为载具1与基板2发生干涉的距离。具体地，在本实施例中，旋转臂5远离基座3的一端设有与旋转臂5垂直的固定轴51，第一转盘8可转动地套设于固定轴51并水平放置于旋转臂5上，第一转盘8与基板2接触时会因摩擦而产生旋转，同时将间接地推动旋转臂5产生旋转。第一转盘8的圆周上设有第一刻度线(图中未示出)，在第一刻度线的零点位置设有一凸起81。第二转盘9用于测量第一转盘8的旋转圈数，第二转盘9的圆周上设有第二刻度线(图中未示出)和轮齿91，轮齿91与第二刻度线相对应。旋转臂5上还设有与旋转臂5垂直的支柱52，支柱52背向基座3的一侧设有与旋转臂5平行的支撑轴53，第二转盘9可转动地套设于支撑轴53上并位于第一转盘8侧边的上方，使得第二转盘9上的轮齿91能够与第一转盘8上的凸起81相配合。当旋转臂5位于初始位置时，第二转盘9上的第二刻度线的零点位置与第一转盘8上的第一刻度线的零点位置重合。当旋转臂5旋转而离开初始位置时，第一转盘8每旋转一圈，凸起81拨动一次轮齿91使第二转盘9转动一个刻度线，由此通过第二转盘9转动的刻度线数即可读出第一转盘8的转动圈数。由第一转盘8上的第一刻度线则可读出第一转盘8最后一圈的旋转角度并计算出其旋转长度。用第一转盘8的周长乘以第一转盘8的转动圈数，再加上第一转盘8最后一圈的旋转长度，即为旋转臂5与基板2的接触长度，亦即为载具1与基板2发生干涉的距离。由此实现了载具1与基板2干涉距离的检测，可进一步降低干涉风险，保障传送安全。
综上所述，本实施例的间隙检测装置，通过旋转机构的旋转角度与预设距离值即可计算出载具1与基板2之间的间距，实现了载具1与基板2之间间距的准确测量；通过第一转盘8和第二转盘9可计算出旋转臂5与基板2的接触长度，实现了载具1与基板2干涉距离的测量。该间隙检测装置的工作性能不受真空环境的影响和破坏，因此能够在真空蒸镀设备的真空腔内对载具1与防着板或其它位于载具1周边的机构之间的间距及干涉距离进行测量，从而能够减少载具1与防着板或其它机构的干涉风险，进而保障传送安全。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种间隙检测装置，设于载具上，用于在所述载具相对基板移动时检测所述载具与所述基板之间的间距，其特征在于，包括：
基座，所述基座设于所述载具上；
旋转机构，所述旋转机构可旋转地设于所述基座上，在所述载具与所述基板之间的间距小于预设距离时，所述旋转机构能够与所述基板接触并产生旋转；
旋转角度测量机构，所述旋转角度测量机构用于实现所述旋转机构旋转角度的测量。
2.根据权利要求1所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转机构包括可转动地设于所述基座上的旋转轴和用于与所述基板接触并带动所述旋转轴产生旋转的旋转臂，所述旋转臂的一端与所述旋转轴连接，且另一端指向远离所述基座的方向。
3.根据权利要求2所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转角度测量机构包括套设于所述旋转轴并能够在所述旋转轴旋转的带动下单向旋转的旋转环，所述基座在与所述旋转环的圆周相对应的位置上设有第三刻度线。
4.根据权利要求3所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转环上沿周向设有缺口槽，所述旋转轴上设有拨动销，所述拨动销可滑动地插设于所述缺口槽。
5.根据权利要求2所述的间隙检测装置，其特征在于，还包括复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述基座连接，且另一端与所述旋转轴连接，所述复位弹簧用于实现所述旋转臂不与所述基板接触时位于与所述基座垂直的初始位置。
6.根据权利要求5所述的间隙检测装置，其特征在于，所述基座上设有挡块，所述旋转轴上设有限位件，在所述旋转臂位于所述初始位置时，所述限位件与所述挡块相抵持。
7.根据权利要求2所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转机构还包括用于与所述基板接触并产生旋转的第一转盘和用于测量所述第一转盘的旋转圈数的第二转盘，所述第一转盘设于所述旋转臂远离所述基座的一端，所述第一转盘的圆周上设有第一刻度线和位于所述第一刻度线的零点位置的凸起；所述第二转盘的圆周上设有第二刻度线和与所述第二刻度线相对应的轮齿；所述凸起与所述轮齿相配合。
8.根据权利要求7所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转臂远离所述基座的一端设有与所述旋转臂垂直的固定轴，所述第一转盘可转动地套设于所述固定轴。
9.根据权利要求7所述的间隙检测装置，其特征在于，所述旋转臂上设有与所述旋转臂垂直的支柱，所述支柱背向所述基座的一侧设有与所述旋转臂平行的支撑轴，所述第二转盘可转动地套设于所述支撑轴上并位于所述第一转盘侧边的上方。
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |