CN104776782B - 一种平行平面间距测量装置及测量方法 - Google Patents
一种平行平面间距测量装置及测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104776782B CN104776782B CN201410011230.8A CN201410011230A CN104776782B CN 104776782 B CN104776782 B CN 104776782B CN 201410011230 A CN201410011230 A CN 201410011230A CN 104776782 B CN104776782 B CN 104776782B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bidirectional modulation
- measurement
- measurement apparatus
- plane
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本发明提出一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和间距测量仪，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，通过所述间距测量仪测量所述双向调节测量装置探头间距离。本发明还公开了一种平行平面间距测量方法。本发明通过采用双向调节转台式平面测量装置提高了接触式测量精度并减少了测量耗时。测量探头连线与测量平面的夹角可以通过测量装置保证，测量接触力可以通过在线调节保证并一致性较好，可以应用到所有针对狭小空间的高精度接触式平行平面测量。
Description
技术领域
本发明涉及平行平面间距测量装置及测量方法，特别是涉及一种应用于狭小空间的平行平面间距测量装置及测量方法。
背景技术
在光刻机整机测调过程中，有很多平行平面在测量间距时，因为空间狭小目前只能采用接杆式千分尺等量具，以手工操作方式进行测量。由于接杆式千分尺的系统误差都在±0.01mm以上，另外人员手工操作时，接杆式千分尺与测量平面的夹角不垂直、接杆式千分尺的测头与测量平面间的接触力过大造成测量平面变形、操作人员读数时的读取误差等，都会带来测量误差，从而导致目前的整机测调工作测量误差大，无法进行精确测量。
发明内容
本发明的目的在于提出一种在狭小空间内测量精度高，并减少测量耗时的平行平面间距测量装置及测量方法。
本发明提出一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和间距测量仪，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，通过所述间距测量仪测量所述双向调节测量装置探头间距离。
较优地，所述双向调节测量装置包括两个一维微分头调节平移台和两个测量仪，所述测量仪通过支撑杆固定在所述一维微分头调节平移台上。所述测量仪为千分表。所述测量仪探头与被测量平面为点接触。所述测量仪探头与被测量平面为柔性接触。
较优地，所述双向调节测量装置为多组。
较优地，所述旋转台的调节范围为360°。
本发明还公开了一种平行平面间距测量方法，包括以下步骤：
a)固定双向调节测量装置和间距测量仪的位置，使双向调节测量装置的探头分别位于上、下测量平面之间；
b)调节两个一维微分头调节平移台，使双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触并记录双向调节测量装置的读数；
c)旋转旋转台，使双向调节测量装置的上探头与间距测量仪的上量块下表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
d)调节双向调节测量装置的下探头与间距测量仪的下量块的上表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
e)读取间距测量仪下量块的上表面与上量块的下表面间距数据。
本发明通过采用双向调节转台式平面测量装置提高了接触式测量精度并减少了测量耗时。测量探头连线与测量平面的夹角可以通过测量装置保证，测量接触力可以通过在线调节保证一致性较好，可以应用到所有针对狭小空间的高精度接触式平行平面测量。
附图说明
关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图1是本发明单组式双向调节转台式平面测量装置的结构示意图；
图2是本发明单组式双向调节转台式平面测量装置测量示意图；
图3是本发明三组式双向调节转台式平面测量装置的结构示意图；
图4是本发明三组式双向调节转台式平面测量装置测量示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。
实施例1
本发明的第一个实施例如图1和2所示，是本发明单组式双向调节转台式平面间距测量装置14的示意图。本发明单组式双向调节转台式平面测量装置14包括底板1、旋转台2和定位支架3。旋转台2调节范围为360°、轴向承载25KG；可以承载定位支架3及其上的所有零部件作旋转运动。定位支架3包括两台12.5mm行程重载一维微分头调节平移台4、两只固定底座5、两只支撑杆6、两只杆端夹头7和两只杠杆式精密千分表8。调节平移台4的行程为12.5mm 、承载10KG。两台12.5mm行程重载一维微分头调节平移台4可以通过变换不同安装位置和调节二者间距，使其上安装的两只杠杆式精密千分表8的间距可以在一定范围内调整。上测量平面9、下测量平面10置于底板11上，单组式双向调节转台式平面测量装置14和高度规13置于移动底座12上。
本发明利用一台单组式双向调节转台式平面测量装置14和高度规13进行平面间距测量的方法，其包括以下步骤：
a)固定双向调节测量装置和间距测量仪的位置，使双向调节测量装置的探头分别位于上、下测量平面之间；
b)调节两个一维微分头调节平移台，使双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触并记录双向调节测量装置的读数；
c)旋转旋转台，使双向调节测量装置的上探头与间距测量仪的上量块下表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
d)调节双向调节测量装置的下探头与间距测量仪的下量块的上表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
e)读取间距测量仪下量块的上表面与上量块的下表面间距数据；
f)调整双向调节测量装置和间距测量仪的位置，依如上方法再次进行平面间距测量。
具体内容可进一步参照如下描述：
1.首先将移动底座12放置在底板11上，然后将单组式双向调节转台式平面测量装置14和高度规13置于移动底座12上，将两只杠杆式精密千分表8的探头旋转至上测量平面9、下测量平面10之间的合适位置；
2.调节两只一维微分头调节平移台4，使两只杠杆式精密千分表8的探头分别与上测量平面9的下表面和下测量平面10的上表面接触并记住读数；
3. 旋转旋转台2，调节单组式双向调节转台式平面测量装置14使上杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的上量块下表面接触，并记录杠杆式精密千分表8的读数；
4.调节单组式双向调节转台式平面测量装置14使下杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的下量块的上表面接触，并记录杠杆式精密千分表8的读数；
5.读取高度规13下量块的上表面与上量块的下表面间距数据；
6.沿底板11表面推动移动底座12，将单组式双向调节转台式平面测量装置14和高度规13移至另一合适位置依如上方法再次进行平面间距测量；
至少依如上测量方法测得三组数据并分析。
实施例2
在本发明的另一个实施例中，使用三组式双向调节转台式平面测量装置15，如图3和4所示。本发明三组式双向调节转台式平面测量装置15包括底板1、旋转台2和三组定位支架3。旋转台2调节范围为360°、轴向承载25KG；可以承载定位支架3及其上的所有零部件作旋转运动。每组定位支架3包括两台12.5mm行程重载一维微分头调节平移台4、两只固定底座5、两只支撑杆6、两只杆端夹头7和两只杠杆式精密千分表8。12.5mm行程重载一维微分头调节平移台4行程12.5mm 、承载10KG；两台12.5mm行程重载一维微分头调节平移台4可以通过变换不同安装位置和调节二者间距使其上安装的两只杠杆式精密千分表8的间距可以在一定范围内调整。上测量平面9、下测量平面10置于底板11上，三组式双向调节转台式平面测量装置15和高度规13置于移动底座12上。
本发明提供利用一台三组式双向调节转台式平面测量装置15和高度规13进行平面间距测量的方法，针对大的平行平面采用三组式双向调节转台式平面测量装置15可以同时测量三组数据，可以测量平行平面间距、每个平面的平面度同时也提高了测量效率；其包括以下步骤：
1.首先将移动底座12放置在底板11上，然后将三组式双向调节转台式平面测量装置15和高度规13置于移动底座12上，先将三组的各两只杠杆式精密千分表8的探头旋转至上测量平面9、下测量平面10之间的合适位置；
2.调节两只一维微分头调节平移台4，使三组的各两只杠杆式精密千分表8的探头分别与上测量平面9的下表面和下测量平面10的上表面接触并分别记住读数；
3. 旋转旋转台2，调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第一组的上杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的上量块下表面接触，并记录杠杆式精密千分表8的读数；
4.调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第一组的下杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的下量块的上表面接触，并记录杠杆式精密千分表8的读数；
5.读取高度规13下量块的上表面与上量块的下表面间距数据；
6. 旋转旋转台2，调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第二组的上杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的上量块下表面接触，记录杠杆式精密千分表8的读数并记录与第一组对应千分表的读数差值；
7.调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第二组的下杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的下量块的上表面接触，记录杠杆式精密千分表8的读数并记录与第一组对应千分表的读数差值；
8. 旋转旋转台2，调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第三组的上杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的上量块下表面接触，记录杠杆式精密千分表8的读数并纪录与第一组对应千分表的读数差值；
9.调节三组式双向调节转台式平面测量装置15使第三组的下杠杆式精密千分表8的探头与高度规13的下量块的上表面接触，记录杠杆式精密千分表8的读数并记录与第一组对应千分表的读数差值；
10.沿底板11表面推动移动底座12，将三组式双向调节转台式平面测量装置15和高度规13移至另一合适位置依如上方法再次进行平面间距测量；
11.至少依如上测量方法测得三组数据并分别分析。
本发明通过采用双向调节转台式平面测量装置提高了接触式测量精度并减少了测量耗时。测量探头连线与测量平面的夹角可以通过测量装置保证，测量接触力可以通过在线调节保证并一致性较好，可以应用到所有针对狭小空间的高精度接触式平行平面测量。
本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
Claims (7)
1.一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和高度规，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，所述双向调节测量装置包括两个一维微分头调节平移台和两个具有探头的测量仪，测量仪通过支撑杆固定在所述一维微分头调节平移台上；测量时使所述双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触，通过所述高度规测量所述双向调节测量装置探头间距离。
2.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪为千分表。
3.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪探头与被测量平面为点接触。
4.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪探头与被测量平面为柔性接触。
5.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述双向调节测量装置为多组。
6.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述旋转台的调节范围为360°。
7.一种如权利要求1至6任一项所述的平行平面间距测量装置的使用方法，包括以下步骤：
a)固定双向调节测量装置和高度规的位置，使双向调节测量装置的探头分别位于上、下测量平面之间；
b)调节两个一维微分头调节平移台，使双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触并记录双向调节测量装置的读数；
c)旋转旋转台，使双向调节测量装置的上探头与高度规的上量块下表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
d)调节双向调节测量装置的下探头与高度规的下量块的上表面接触，记录双向调节测量装置的读数；
e)读取高度规下量块的上表面与上量块的下表面间距数据。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410011230.8A CN104776782B (zh) | 2014-01-10 | 2014-01-10 | 一种平行平面间距测量装置及测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410011230.8A CN104776782B (zh) | 2014-01-10 | 2014-01-10 | 一种平行平面间距测量装置及测量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104776782A CN104776782A (zh) | 2015-07-15 |
| CN104776782B true CN104776782B (zh) | 2018-03-02 |
Family
ID=53618400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410011230.8A Active CN104776782B (zh) | 2014-01-10 | 2014-01-10 | 一种平行平面间距测量装置及测量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104776782B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN205664807U (zh) * | 2016-06-06 | 2016-10-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种间隙检测装置 |
| CN106444290A (zh) * | 2016-08-09 | 2017-02-22 | 电子科技大学 | 一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法 |
| CN108731617B (zh) * | 2018-04-23 | 2020-07-17 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种用于多边形球座细长组件的测量装置 |
| CN110440673A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-12 | 贵州大学 | 一种集成吊顶龙骨测量工具 |
| CN110793470B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-08-17 | 利辛县江淮扬天汽车有限公司 | 一种洒水车轴平行度检测装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03195902A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-27 | Toshiba Corp | 平行面設定具 |
| CN2099297U (zh) * | 1991-08-12 | 1992-03-18 | 朱瑞林 | 可调式假键对称度f长现场测量仪 |
| CN201081677Y (zh) * | 2007-08-03 | 2008-07-02 | 江苏罡阳动力转向器厂 | 垂直交错孔间中心距偏差检具 |
| CN100595510C (zh) * | 2008-11-09 | 2010-03-24 | 陈硕 | 垂直孔间距量具 |
| CN102865818B (zh) * | 2012-09-12 | 2015-08-05 | 昆山允可精密工业技术有限公司 | 接触式测长装置 |
-
2014
- 2014-01-10 CN CN201410011230.8A patent/CN104776782B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104776782A (zh) | 2015-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104776782B (zh) | 一种平行平面间距测量装置及测量方法 | |
| CN102937409B (zh) | 一种极坐标齿轮测量中心及其零点标定方法 | |
| CN207963779U (zh) | 一种激光位移传感器校准装置 | |
| CN104155111B (zh) | 一种发动机搭建小车对中装置的对中方法 | |
| WO2016150005A1 (zh) | 数显卡尺自动化检测的方法及装置 | |
| CN103868441A (zh) | 一种用于检测工件平面度的检具 | |
| CN105806301A (zh) | 表面翘曲度测量装置及方法 | |
| CN110455227A (zh) | 望远镜四通轴孔同轴度误差检测方法 | |
| CN105290880A (zh) | 一种检测主轴轴线和基准轴线运动间垂直度的装置及方法 | |
| CN108287523B (zh) | 一种带外支架立式机床几何精度检测方法 | |
| CN204575038U (zh) | T型电梯导轨全自动检测装置 | |
| CN202648606U (zh) | 一种洗衣机控制面板直线度测量装置 | |
| CN102554704A (zh) | 非连续平面平面度在线测量系统和方法 | |
| CN108645366B (zh) | 一种测量岩石两端面不平行度的实验装置 | |
| CN201828245U (zh) | 基于LabVIEW软件的数控机床形位误差精密测量装置 | |
| CN104330007A (zh) | 空心轴内孔径向跳动检具 | |
| CN103148761A (zh) | 冲击式水轮机转轮和喷嘴相对位置测量结构 | |
| CN105823400A (zh) | 一种用于中小型零件中两孔垂直度检测的专用量具及其测量方法 | |
| CN103196367B (zh) | 基于图像域的轴套类零件形位误差测量装置及方法 | |
| CN104359618A (zh) | 一种用于旋转机械试验台测功机扭矩仪现场标定的装置 | |
| CN108061503A (zh) | 一种在jd25-c测长仪上检测锥形部件外径的方法 | |
| TWI345625B (en) | A portable automatic calibrating equipment for precise measurement of spatial coordinates | |
| CN210070867U (zh) | 一种高精度智能孔径测试装置 | |
| CN205300469U (zh) | 一种测量两端面距离的装置 | |
| CN106949839A (zh) | 轮对压装机高精度控制测量控制系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| EXSB | Decision made by sipo to initiate substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 201203 Shanghai Zhangjiang High Tech Park of Pudong New Area Zhang Road No. 1525 Applicant after: Shanghai microelectronics equipment (Group) Limited by Share Ltd Address before: 201203 Shanghai Zhangjiang High Tech Park of Pudong New Area Zhang Road No. 1525 Applicant before: Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |