JPH03195902A - 平行面設定具 - Google Patents

平行面設定具

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Publication number
JPH03195902A
JPH03195902A JP33480289A JP33480289A JPH03195902A JP H03195902 A JPH03195902 A JP H03195902A JP 33480289 A JP33480289 A JP 33480289A JP 33480289 A JP33480289 A JP 33480289A JP H03195902 A JPH03195902 A JP H03195902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plane
parallel
setting
substance
setting tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33480289A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiichi Suzuki
栄一 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH03195902A publication Critical patent/JPH03195902A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、平行面設定具に関する。
(従来の技術) 従来から、例えば所定の場所の照度を測るときには、光
源面と被測定面を平行に設定するために、すきまゲージ
やノギスなどが使われている。
(発明が解決しようとする課題) ところがこのうち、前者のすきまゲージを使う方法は、
設定者の触覚で決まり、操作者によって設定精度がばら
つくので、高精度の設定が要求されるときには使えない
又、後者のノギスを使う方法は、数ミクロンの精度が要
求されるものには使えない。
そこで本発明の目的は、簡単な構成で基準面に対して設
定面を高精度に設定することのできる平行面設定具を得
ることである。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段と作用) 本発明は、基準面に対して平行設定物を平行に対置させ
る平行面設定具において、片面が基準面に取付けられた
箱体の他面に片面から同一高さとなる複数の触針を設け
、この各触針への平行設定物の接触で点灯する表示灯を
設けることで、簡単な構成で目視で容易に設定面を基準
面に対して高精度に設定することのできる平行面設定具
である。
(実施例) 以下、本発明の平行面設定具の一実施例を図面を参照し
て説明する。
第1図は、本発明の平行面設定具の斜視図、第2図は第
1図の内部結線図である。
第1図において、外形が略角柱状の箱体2の上面2cに
は、左端と中央右寄りに、詳細を第3図で示すスイッチ
3Aが触針3aを上方に突き出して底部2aから触針3
aの先端までの高さが等しくなるように取付けられ、箱
体2の上面2Cの右端には、表示灯4A、4Bが隣接し
て横に取付けられている。
第3図は、スイッチ3A、 3B (例えば、株式会社
ツルトン製、MY−C0Mスイッチ)の詳細図で、スイ
ッチ3A、 3Bの外周には細目おねじ3Cが形成され
、この細目おねじ3Cには一対の止めナツト3bが嵌合
され、上端には触針3aが設けられ、内部には触針3a
の下端に図示しない球状の可動接点が取付けられ、この
可動接点には図示しない固定接点が対置されている。
第2図は、第1図の内部結線図で、箱体2の内部には、
乾電池9が収納され、この乾電池9の両極間には、直列
に接続された表示灯4A、抵抗器7A、スイッチ3Aと
、表示灯4B、抵抗器7B、スイッチ3Bが並列に接続
されている。
このように構成された平行面設定具においては、組立時
に例えば0.1μs程度の高精度の測定器を使って、各
スイッチ3A、 3Bの触針3aの先端と底部2aの高
さが等しくなるようにナツト3bで調整される。
又、このような平行面設定具において、第4図に示すよ
うに光源面などの平行設定基準面10に平行に被平行設
定物12の平行設定面12aを設定するときには、まず
、平行設定基準面10に平行設定具1を固定し、次いで
、被平行設定物12をX、Y。
θ方向に微調整可能な図示しないテーブルに固定して、
X軸を駆動して平行設定面12aを触針3aと対置させ
る。
次に、Y軸を駆動して被平行設定物12を平行設定具1
に徐々に近接させて、平行設定面12aをスイッチ3A
、 3Bの各触針3aに当てる。すると、より近い面の
スイッチに接続された表示灯が点灯するので、θ軸を微
調整して再度接近させ、左右の表示灯4A、 4Bが同
時に点灯するまで上記操作を繰り返す。
なお、上記実施例では、被平行設定物12の第4図紙面
直交方向の幅が例えば細い角棒などのように狭いときに
はよいが、板状で広いときには、第5図のように3個以
上のスイッチと相互の間隔をなるべく広く位置させるこ
とで、上述と同様に各表示灯に接続された表示灯が同時
に点灯するまでθ軸を微調整することで対応することが
できる。
〔発明の効果〕
以上、本発明によれば、基準面に対して平行設定物を平
行に対置させる平行面設定具において、片面が基準面に
取付けられた箱体の他面に片面から同一高さとなるよう
に複数の触針を設け、この触針にそれぞれ接続されこの
触針先端が平行設定物に接触することにより点灯する信
号灯を設けることで、目視で平行設定物の被平行設定面
を基準面に平行に設定するようにしたので、簡単な構成
で容易に基準面に対して設定面を高精度に設定すること
のできる平行面設定具を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の平行面設定具の一実施例を示す斜視図
、第2図は本発明の平行面設定具の内部接続図、第3図
(a)は第1図の部分詳細図、同図(b)は同図(a)
の平面図、第4図は本発明の平行面設定具の作用を示す
図、第5図は本発明の平行面設定具の他の実施例を示す
図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基準面に対して平行設定物を平行に対置させる平行面設
    定具において、片面が前記基準面に取付けられた箱体の
    他面に先端が前記片面から同一高さとなる複数の触針を
    設け、この各触針への前記平行設定物への接触で点灯す
    る表示灯を設けたことを特徴とする平行面設定具。
JP33480289A 1989-12-26 1989-12-26 平行面設定具 Pending JPH03195902A (ja)

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JP33480289A JPH03195902A (ja) 1989-12-26 1989-12-26 平行面設定具

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JPH03195902A true JPH03195902A (ja) 1991-08-27

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104776782A (zh) * 2014-01-10 2015-07-15 上海微电子装备有限公司 一种平行平面间距测量装置及测量方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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