CN109306452A - 移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空蒸镀装置，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

Description

移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法

技术领域

本发明涉及对在真空腔室内设置成能够移动的移动体进行支承的移动体支承装置、包含该移动体支承装置的真空蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

近年来，作为平板显示器，有机电场发光显示器(OLED)备受关注。有机电场发光显示器具有在2个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有产生发光的有机物层的基本构造，有机电场发光显示器的有机物层通过在减压状态的真空腔室内使收容于蒸发源的蒸镀物质蒸发并蒸镀于真空腔室内的被蒸镀体而形成。在有机物质的蒸镀所使用的这样的真空蒸镀装置中，用于向真空腔室内的包含蒸发源的蒸发源单元所包含的各种部件及装置供给电源的配线及配管(用于使蒸发源冷却的冷却水配管等)被从真空腔室的外部连结。

因此，在现有技术中，在构成真空腔室的底面与蒸发源单元之间设有大气臂部。大气臂部能够转动地连结于构成真空腔室的底面。大气臂部的内部为供各种配线及配管穿过的中空部，为了将该内部维持成大气压状态，如专利文献1公开的那样，各连结部、即大气臂部等移动体与构成真空腔室的底面间的连结部由对真空腔室内部的真空进行密封(seal)的磁性流体密封来连接。

【专利文献1】日本登记专利1665380

发明内容

这样，发挥作为对于蒸发源单元的旋转移送部的功能和配线/配管的连结通路的功能的大气臂等移动体在内部向大气开放的状态下被维持成大气压，通过磁性流体密封等密封构件与维持成真空的外部的真空腔室进行密封，并设有能够旋转地连结的旋转移动部。由于该真空腔室与移动体的压力差而存在未预期的旋转力矩作用于旋转移动部的情况。

在未预期的旋转力矩作用于驱动中的移动体的情况下，可能会产生设置于旋转移动部的密封构件瞬间破坏的现象。磁性流体密封的破坏会招致维持成高真空状态的真空腔室的瞬间的压力上升，最终成为使原料物质对被蒸镀物的蒸镀品质下降的原因。

【课题的解决方案】

本发明的一形态的真空蒸镀装置的特征在于，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

本发明的另一形态的真空蒸镀装置的特征在于，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而向大气开放的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，对所述旋转移动部提供与下述压力相反方向的力，所述压力是作用于与向大气开放的所述开口相向的所述旋转移动部的内表面上的压力。

本发明的另一形态的移动体支承装置的特征在于，具有力赋予机构和设置于真空区域的旋转移动部，所述旋转移动部具有内部为空的中空部分，所述中空部分与所述真空区域的外侧连接，所述旋转移动部能够转动地连结于构成所述真空区域的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，所述力赋予机构在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空区域朝向所述真空区域的外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

本发明的另一形态的蒸镀方法是在真空腔室内向被蒸镀体蒸镀由蒸发源单元收纳的蒸镀物质的蒸镀方法，其特征在于，包括：将所述真空腔室形成为真空的第一工序；及将所述蒸发源单元的挡板打开，使与所述蒸发源单元连接的旋转移动部移动，向所述被蒸镀体进行蒸镀的第二工序，在所述第二工序中，在沿着转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部赋予力。

【发明效果】

根据本发明，能够抑制未预期的旋转力矩作用于旋转移动部，由此，防止移动体动作中的密封构件的破坏及由此引起的真空腔室的压力上升，能够提高对于被蒸镀物的蒸镀品质。

附图说明

图1是概略性地表示本发明的一实施例的真空蒸镀装置的结构的附图。

图2是概略性地表示用于使图1的真空蒸镀装置的蒸发源单元移动的蒸发源移动机构及旋转移动部的附图。

图3(a)是表示图2的旋转移动部与构成真空腔室的底面的连结部分的剖视图，图3(b)是图3(a)的真空蒸镀装置的从底面侧朝向开口观察的附图。

图4为本发明的另一实施例的真空蒸镀装置的结构，图4(a)是旋转移动部与构成真空腔室的底面的连结部分的剖视图，图4(b)是表示板簧的形状的俯视图。

图5为本发明的另一实施例的真空蒸镀装置的结构，图5(a)是旋转移动部与构成真空腔室的底面的连结部分的剖视图，图5(b)是伸缩构件附近的放大图。

图6是用于说明本发明的设备制造方法的流程图。

图7是用于说明大气臂内部的大气压的作用状态的示意图。

【符号说明】

1：真空蒸镀装置

2：蒸发源单元

21：蒸发源

3：真空腔室

31：开口

4：被蒸镀体(A台)

5：被蒸镀体(B台)

6：蒸发源移动机构

7：旋转移动部

71：中空部

72：第一臂

721：旋转轴

73：第二臂

8：磁性流体密封

9：O形密封圈

10：衬套

11：压缩螺旋弹簧

13：限动件

15：板簧

16：伸缩构件

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施例。本发明可以进行多种变更，可以具有多种实施例。虽然基于附图例示性地说明特定的实施例，但是本发明没有限定为该特定的实施例，应理解为包括本发明的思想及技术范围所包含的全部的变更、等同物或替代物。

(第一实施例)

图1是概略性地表示本发明的一实施例的真空蒸镀装置的整体结构的附图。如图1(a)所示，本发明的一实施例的真空蒸镀装置1包括定义在减压气氛下对被蒸镀体(例如基板)进行蒸镀的空间的真空腔室3及使蒸镀物质蒸发并放出的蒸发源单元2。

蒸发源单元2包括收容蒸镀物质的收容部、以及由用于对蒸镀物质进行加热而使其蒸发的加热部等构成的蒸发源21。蒸发源21是具备多个朝向被蒸镀体4、5的蒸镀面放出蒸镀材料的放出孔或喷嘴的结构，但是并不局限于此，只要与被蒸镀体4、5、掩模的图案、蒸镀物质的种类等相匹配地适当选定即可，例如可以在点源、线源、或小型的蒸镀物质收容部中使用与具有放出蒸镀材料的多个放出孔的扩散室连接的构造的蒸发源等。

另外，如图1(b)所示，本发明的真空蒸镀装置1还包括膜厚监视器218、膜厚计217、电源216、被蒸镀体保持架213、掩模保持架215等其他的结构部件。膜厚监视器218对从蒸发源21放出的蒸镀材料的蒸发率进行监视。膜厚计217接受来自膜厚监视器218的输入信号并计测膜厚。电源216对设置于蒸发源21的加热装置进行控制。被蒸镀体保持架213保持被蒸镀体4、5，能够使被蒸镀体相对于掩模214或蒸发源相对移动。掩模保持架215保持掩模214，能够使掩模相对于被蒸镀体或蒸发源21相对移动。

具有这样的结构的真空蒸镀装置1在使真空腔室3内成为减压气氛的状态下对蒸发源单元2的蒸发源21内收容的蒸镀物质进行加热、使其蒸发，使蒸发后的蒸镀物质通过形成有规定图案的掩模214或图案片，在被蒸镀体4、5上形成要求图案的蒸镀物质的薄膜。关于使用本发明的真空蒸镀装置1制造有机EL显示器设备的具体的方法，在后文叙述。

包含蒸发源21的蒸发源单元2通常在真空腔室3的下方配置一个，为了利用一个蒸发源单元对被蒸镀体整体蒸镀厚度均匀的薄膜，一边使蒸发源单元2沿被蒸镀体的长度方向滑动移动，一边进行蒸镀。因此，蒸发源单元2能够移动地设置在真空腔室3的内部。

图1(a)的真空蒸镀装置1图示出所谓“双机系统”结构的真空蒸镀装置，在该真空蒸镀装置中，向一个真空腔室3内送入2个被蒸镀体，在对其中一个被蒸镀体4进行蒸镀期间(例如，A侧台)，对另一个被蒸镀体5(例如，B侧台)进行掩模与被蒸镀体之间的整齐排列(对准)。

在这样的双机系统结构的真空蒸镀装置中，除了在各个台内进行蒸镀工序时的、使蒸发源单元2沿被蒸镀体的长度方向移动的前述的滑动移动之外，也进行使蒸发源单元2在各台间移动的动作。以下，列举双机系统结构的真空蒸镀装置的例子来说明本发明的结构，但是并不局限于此，本发明能够适用于在真空腔室内伴有蒸发源单元移动的情况。

这样的包含蒸发源21的蒸发源单元2一边沿着在真空腔室3的下方设置的蒸发源移动机构6在与被蒸镀体4相向的面内进行水平移动，一边对被蒸镀体4进行扫描蒸镀。蒸发源移动机构6是对蒸发源21提供其线性移动的驱动力且用于引导其移动的机构，由提供驱动力的线性马达和通过马达的驱动而对移动进行引导的齿条齿轮结合结构等构成。生成驱动力的线性马达等结构部件可以收纳配置于在蒸发源21的下部设置的大气箱内。

在这样构成的真空蒸镀装置1中，如前所述，对于在进行蒸镀工序期间将蒸镀物质加热而使其蒸发的蒸发源21的加热部、向蒸发源21提供移动驱动力的线性马达等进行电源的供给，因此，必须从真空腔室的外部连结供给电源用的电气配线。而且，在蒸发源单元2，除了这样的电气配线以外，也可以从真空腔室3的外部连结用于使对被加热后的蒸发源21进行冷却的冷却水循环的配管等。

作为向蒸发源单元2提供来自真空腔室3外部的电气配线或配管的结构，在本发明中使用具有中空内部的旋转移动部7。旋转移动部7设置于在构成真空腔室3的底面形成的开口31(参照图3)与蒸发源单元2之间，其内部为维持成大气压的中空部71(参照图3)。在旋转移动部7的中空部71配设有从真空腔室外部向蒸发源单元2连结的各种电气配线及配管。蒸发源单元2在通过这样的旋转移动部7连结有电气配线及配管的状态下，一边在真空腔室3内移动，一边进行蒸镀工序。

以下，详细说明旋转移动部7的结构。

旋转移动部7如前所述配置在构成真空腔室3的底面与蒸发源单元2之间，一端部能够转动地连结于蒸发源单元2，另一端部能够转动地连结于构成真空腔室3的底面。具体而言，如图2所示，旋转移动部7具有将2个臂72、73相互以连杆构造连结的结构，这2个臂72、73分别能够转动地连接于构成真空腔室3的底面与蒸发源单元2侧。即，旋转移动部7包括：一端能够转动地与构成真空腔室3的底面的开口31侧连结的第一臂72；以及一端能够转动地与蒸发源单元2的大气箱的下部连结的第二臂73。而且，大气箱的下部与第二臂73的连结即便是固定的连结，对本发明的本质也不起作用。第一臂72的另一端与第二臂73的另一端也能够转动地连结，第一臂和第二臂在构成真空腔室3的底面与蒸发源单元2之间整体性地形成连杆构造的连结构造。通过这样的构造，旋转移动部7一边对蒸发源单元2提供电气配线及配管连结，一边随动于蒸发源单元2的移动而移动。

旋转移动部7与蒸发源单元2及构成真空腔室3的底面之间的各连结部(即，蒸发源单元2与第二臂73的连结部、第二臂73与第一臂72的连结部、第一臂72与构成真空腔室3的底面的连结部)基本上使用磁性流体密封等连接构件对维持成大气压的旋转移动部7内部的中空部71和处于真空状态的旋转移动部7外部的真空腔室3内的空间进行真空密封(seal)，以便在维持各自的大气压/真空状态的同时进行连结。磁性流体密封能够在容许连结构件间的相对旋转的同时进行真空密封，因此适合作为旋转移动部7的基本的连结部进行使用的情况。

在本发明的真空蒸镀装置1中，将旋转移动部7或第一臂72与构成真空腔室3的底面连接成，能够在朝向蒸发源单元2一侧的方向、即作为与构成真空腔室3的底面垂直的方向的第一方向上相对移动(即，相对于构成真空腔室的底面而浮动)。即，与构成真空腔室3的面侧连结的旋转移动部7(或第一臂72)的端部被连结成，相对于构成真空腔室3的面能够转动且能够在沿着所述转动的轴的方向上相对移动。具体而言，第一臂72的一端包含向在构成真空腔室3的底面上形成的开口31插入的旋转轴721(参照图3)，该第一臂72的旋转轴721与构成真空腔室3的底面的开口31之间由O形密封圈(O-ring；9)和衬套10进行真空密封。由此，能够吸收由真空腔室的变形引起的、与构成真空腔室的面垂直的方向(第一方向)上的负载，减少向旋转移动部7传递的变形力。

这样，旋转移动部7在通过与构成真空腔室3的底面侧的开口31连接的第一臂72的一端而向大气开放的状态下其内部维持成大气压，在蒸镀工序中，旋转移动部7与维持成真空的外部的真空腔室3由磁性流体密封等密封构件来密封。

由于构成这样的旋转移动部7的大气臂(第一臂及第二臂)的内外部的压力差而存在未预期的旋转力矩作用于各臂的连接部的情况。

图7是用于说明这样的大气臂内部的大气压的作用状态的示意图。如所示那样，大气臂具有上部臂与下部臂通过连杆构造而相互连接成能够转动的构造。还可以在上部臂之上连接大气箱，该大气箱作为用于收纳向作为被移送体的蒸发源单元提供移动驱动力的线性马达等结构部件的密闭容器。下部臂的一端通过在构成真空腔室的底面上形成的开口而向大气开放。这样当在大气臂的内部维持为大气压且大气臂的外部的真空腔室维持为真空的状态下进行蒸镀工序时，如箭头所示，在大气臂的各内壁作用有从大气臂内部朝向真空腔室的方向的压力(典型的是大气压)。作用在大气臂的各内壁上的大气压分量的大部分通过作用在相向的相反侧的内壁上的同一大小的大气压分量而抵消，形成平衡。然而，在与构成真空腔室的底面上的开口相向的内壁(下部臂的一端侧内壁)上作用的大气压分量不存在抵消的力分量，作为不平衡压力分量而残留。该不平衡压力分量成为对大气臂产生未预期的旋转力矩(大气臂所在的平面的垂直方向)的原因。在大气臂如上述这样承受旋转力矩的状态下被驱动而进行蒸镀工序的情况下，可能会产生对各臂的连结部位进行真空密封的磁性流体密封瞬间破坏的现象。磁性流体密封的破坏会招致维持为高真空状态的真空腔室的瞬间的压力上升，最终成为使原料物质对被蒸镀物的蒸镀品质下降的原因。

这样由于构成旋转移动部的大气臂的内外部的压力差而存在未预期的旋转力矩作用于各臂的连接部的情况，该旋转力矩成为大气臂连接部的密封构件的破损、甚至蒸镀品质下降的原因，本发明的发明者着眼于这一点，根据这样的新的见解而完成了本发明。即，本发明提供一种能够抑制未预期的旋转力矩作用在构成旋转移动部的大气臂上的真空蒸镀装备。

作为实现该发明的结构，本发明的真空蒸镀装置1的特征在于，在旋转移动部7(第一臂72的一端侧)设置力赋予机构，该力赋予机构提供将在与真空腔室3底面的开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内壁上作用的不平衡压力(大气压)沿相反方向抵消的力，换言之，在沿着旋转移动部7的转动的轴的方向且从真空腔室3的内侧朝向外侧的方向上提供力。

具体而言，如图3所示，在本发明的一实施例的真空蒸镀装置1中，在从第一臂72的一端连接而形成并向真空腔室3底面侧的开口31插入的旋转轴721的下表面与真空腔室3的面之间连结设置有作为力赋予机构的压缩螺旋弹簧11。更具体而言，在旋转轴721的下部向放射状外侧(构成真空腔室的面侧)形成有基体部12，在该基体部12与其上部的真空腔室的面之间连结设置有压缩螺旋弹簧11。

在与真空腔室3底面侧的开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内壁上施加有作为不平衡压力的大气压时，压缩螺旋弹簧11发挥对旋转轴721(及与之连结的旋转移动部7)在同一轴线上提供与该大气压相应的相反方向的反作用力的作用。由此，即使大气压作为不平衡压力作用于与真空腔室3底面侧的开口31相向的旋转移动部7的内壁上，也能利用由压缩螺旋弹簧11提供的相反方向的反作用力将其抵消，能够抑制作用于旋转移动部7的未预期的旋转力矩，因此，能够防止旋转移动部7动作中的臂连结部位的磁性流体密封的破坏或由其引起的真空腔室3的瞬间的压力上升。

压缩螺旋弹簧11可以在旋转轴721的周围设置于多个位置。图3(b)是真空蒸镀装置1的从底面侧朝向开口31观察的图，如图所示，例如，将压缩螺旋弹簧设置用的基体部12等间隔地形成于旋转轴721的下部的四个部位，在该各基体部12与真空腔室的面之间能够连结设置压缩螺旋弹簧11。然而，本发明并没有限定于此，压缩螺旋弹簧11的设置位置及个数可以适当选择。

另一方面，本发明的真空蒸镀装置1还可以包括移动限制机构，该移动限制机构将由压缩螺旋弹簧11引起的、旋转轴721向与不平衡压力的相反方向的移动限制在容许范围以内。即，如图3及图4所示，在与旋转移动部7的旋转轴721连接的真空腔室3的底面侧下部，在比旋转轴721的下表面靠下的位置处，设有形成于内侧(真空腔室3的开口31中心侧)并用于将旋转轴721的向下侧的移动限制在规定的范围的限动件13。

如前所述，在进行蒸镀工序时，真空腔室3维持被真空排气的状态，旋转移动部7的内部维持大气压状态，但是为了检修等，有时要暂时解除真空腔室3内的真空状态并形成为大气压状态。此时，旋转移动部7内的大气压不再作为不平衡压力发挥作用，但在这种情况下，当旋转移动部7依然因压缩螺旋弹簧11而承受力并欲向下方继续移动时，压缩螺旋弹簧11产生的力反而会成为向反方向产生旋转力矩的原因。

限动件13将这样的由压缩螺旋弹簧11引起的旋转移动部7的移动限制在规定的范围，由此，不仅在真空腔室3被进行了真空排气的状态下，而且在处于大气压状态的情况下也能够抑制作用于旋转移动部7的力矩。

如图3(b)所示，限动件13沿着真空腔室3的底面侧下部的周围形成在未设置压缩螺旋弹簧11的位置。然而，本发明没有限定于此，限动件的设置位置和形状可以根据设计而适当地构成。

(第二实施例)

以下，参照图4说明本发明的第二实施例的结构。

本发明的第二实施例与第一实施例的不同点在于，取代压缩螺旋弹簧11而利用板簧作为将在与真空腔室3的底面的开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内壁上作用的不平衡压力(大气压)向相反方向抵消的力赋予机构。除此以外的结构与第一实施例的结构相同，因此省略对同一结构的说明。

在第二实施例中，借助通过变形而预先施加了增压的状态的板簧的复原力，向旋转移动部7提供不平衡压力(大气压)的相反方向的力。具体而言，如图4(a)那样，以将第一臂72的旋转轴721的外周包围的形式，在旋转轴721的磁性流体密封8与构成真空腔室3的面之间连结设置板簧15。板簧15如图所示以预先施加增压而变形的状态安装。因此，与第一实施例同样，当向与真空腔室3的底面侧的开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内壁施加作为不平衡压力的大气压时，能够利用板簧15的复原力对旋转轴721(及与之连结的旋转移动部7)在同一轴线上提供与大气压相应的相反方向的反作用力。

由此，与第一实施例同样，即使在大气压作为不平衡压力而作用于与真空腔室3底面侧的开口31相向的旋转移动部7的内壁的情况下，也能够抑制未预期的旋转力矩作用于旋转移动部7，能够得到防止臂连结部位的磁性流体密封的破坏及真空腔室3的瞬间的压力上升的相同的效果。

图4(b)是表示板簧15的形状的俯视图。板簧15通过将包围旋转轴721的周围的同心圆形状的单独板簧层叠多个而形成。各单独板簧可以是在内部开设有孔的形状(左侧的附图)，也可以是形成有与孔类似的形式的切口的形状(中央的附图)，还可以是未被施加孔或切口等那样的变形的形状(右侧的附图)。为了减少组装时的层叠误差等产生的影响，板簧优选设置成能够吸收层叠误差那样充分地变形后的状态。然而，在将板簧以较大变形的状态设置时，可能难以在微细的范围内调整对旋转移动部7造成的不平衡压力的影响。由此，在这样的情况下，通过向板簧施加如孔或切口等那样的变形而将板簧的弹簧常数调整得较小，使用这样的板簧更有效。然而，板簧15的最佳形状也取决于旋转移动部7的形状，例如，对于需要在比较大的范围内调整不平衡压力的影响的旋转移动部，需要使用未开设孔的弹簧常数比较大的板簧等进行适当应对。

另一方面，第二实施例的真空蒸镀装置1也与第一实施例同样，还包括将因板簧15产生的、旋转轴721向大气压的相反方向的移动限制在容许范围以内的移动限制机构。作为移动限制机构的限动件13可以与第一实施例同样地构成，省略详细的说明。

(第三实施例)

以下，参照图5说明本发明的第三实施例的结构。

本发明的第三实施例与前述的实施例的不同点在于，利用伸缩构件即波纹管16作为将在与真空腔室3的底面的开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内壁上作用的不平衡压力(大气压)向相反方向抵消的力赋予机构。除此以外的结构与前述的实施例的结构相同，因此省略对同一结构的说明。

在第三实施例中，使用内部空间与大气连通的伸缩构件(波纹管)，在真空腔室的真空排气时，利用所述内部空间内外的压力差使伸缩构件相对于旋转移动部7在沿着转动的轴的方向且从真空腔室的内侧朝向外侧的方向上膨胀，向旋转移动部7提供不平衡压力(大气压)的相反方向的力。具体而言，如图5(a)所示，在旋转轴721的上端部的真空腔室3内的空间中设有两端部与旋转轴721和构成真空腔室3的面分别相接的伸缩构件16。伸缩构件16由沿着转动的轴的方向的面能够相对于旋转移动部7伸缩的波纹管构成，并与旋转轴721及构成真空腔室3的面分别连接而构成。与旋转轴721接触的下表面被构成为通过在旋转轴721的内部形成的空间而与装置外部的大气连通。即，伸缩构件16设置于旋转轴721与真空腔室3之间的腔室内的空间，形成为在装置的真空排气时其外部处于真空状态，另一方面，伸缩构件16的内部空间通过与旋转轴721的内部连通而处于大气状态。

换言之，当由于蒸镀工序而对装置进行真空排气时，在排气的同时在伸缩构件16的内外部空间自动地产生压力差，通过该压力差，在伸缩构件16上产生相对于旋转移动部7在沿着转动的轴的方向上欲膨胀的力。此时，如前所述，伸缩构件16的上表面与构成刚性大且被固定的真空腔室3的面接触，因此作用在腔室3侧的面上的力作为其反作用力而朝向下方，由此伸缩构件16的长度方向上的膨胀力主要作用于与下表面相接的旋转轴721。因此，与前述的实施例同样，即使向与真空腔室3的底面侧开口31相向的旋转移动部7(第一臂72的一端侧)的内侧壁施加作为不平衡压力的大气压，也能够通过相对于伸缩构件16的旋转移动部7而沿着转动的轴的方向的膨胀力对旋转轴721(及与之连结的旋转移动部7)在同一轴线上提供与大气压相应的相反方向的反作用力。

由此，与前述的实施例同样，能够抑制作用于旋转移动部7的未预期的旋转力矩，能够得到防止臂连结部位的磁性流体密封的破坏及真空腔室3的压力上升的相同的效果。

另一方面，在本实施例中，如前所述，仅在由于蒸镀工序而将真空腔室3排气成真空时，利用伸缩构件16的内外部的压力差向旋转轴721提供将作为不平衡压力的大气压抵消的力，在由于检修等而使真空腔室3处于大气压状态时(即，伸缩构件16的内外部不存在压力差时)向旋转轴721不提供另外的力。关于这一点，不同于与真空腔室3的真空排气状态无关地向旋转轴721提供力的前述的实施例的结构，因此，在本实施例中，与前述的实施例不同，可以不用设置主要用于将真空腔室3的大气压状态时的旋转轴721的移动限制在规定范围内的限动件等移动限制机构。

本实施例的伸缩构件16可以是在旋转轴721的周围一体化的一个环(ring)形状，也可以将多个分离的伸缩构件在旋转轴721周围配置成环状。即，只要能够在同一轴线上提供将真空排气时的作为不平衡压力的大气压抵消的相反方向的力即可，伸缩构件的配置形状没有特别限定。

以上，基于实施例的结构说明了本发明，但是本发明可以具有多样的变形例的结构。例如，在以上说明的实施例中，以在构成真空腔室3的底面与蒸发源单元2之间设置旋转移动部7的结构为中心进行了说明，但是本发明没有限定于此，也可以适用于蒸发源单元2不是与构成真空腔室3的底面而是与上表面或侧面等壁面相邻地设置，旋转移动部7设置在蒸发源单元2与构成真空腔室的上表面或侧面之间的情况，或者适用于旋转移动部7为了向设置在真空腔室内的其他的移动体供给电源或配线而设置在构成真空腔室的面与该移动体间的情况。本发明在上述的各结构中，对旋转移动部提供前述的各实施方式的力赋予机构，由此能够有效地防止在移动体产生的未预期的旋转力矩。将被提供了这样的力赋予机构的旋转移动部、即将旋转移动部和力赋予机构一并称为“移动体支承装置”，本发明能够适用于该移动体支承装置及具备该移动体支承装置的真空蒸镀装置。

(使用本发明的真空蒸镀装置的设备的制造方法)

以下，参照图1、6，使用本发明的真空蒸镀装置，具体说明制造设备的方法。

首先，将所述真空腔室3排气成真空(S0)。接下来，为了使蒸发源21内的蒸镀材料气化而通过电源216对设置于蒸发源21的加热装置进行控制。此时，设置于蒸发源21的挡板(未图示)关闭，避免气化后的蒸镀材料向真空腔室3内放出。在挡板关闭的状态下，将设置于蒸发源21的加热装置的电源接通(S1)。形成有要向被蒸镀体蒸镀的图案的掩模214由传送机构(未图示)送入真空腔室3内，载置于保持掩模的掩模保持架215。掩模保持架215具有移动机构，使掩模214的位置移动到规定的位置(S2)。此时，管理掩模的控制部(未图示)将掩模使用次数M设为1。

在该状态下，作为蒸镀材料的蒸镀对象的被蒸镀体4由传送机构向真空腔室3内送入，载置于被蒸镀体保持架213。接下来，基于设置于掩模214的对准标记和设置于被蒸镀体4的对准标记，通过被蒸镀体保持架213的移动机构使掩模214移动，进行掩模214与被蒸镀体4的对准(S3)。也可以取代对被蒸镀体保持架213进行移动控制以进行掩模214与被蒸镀体4的对准的情况，而是将被蒸镀体4送入真空腔室3内，通过被蒸镀体保持架213配置在规定的位置之后，通过掩模保持架215使掩模214移动，进行掩模214与被蒸镀体4的对准。

在对准结束后，将蒸发源21的挡板打开，使与蒸发源21连接的旋转移动部7移动，沿着掩模214的图案向被蒸镀体4蒸镀成膜材料(S4)。与蒸发源21连接的旋转移动部7连结成相对于构成真空腔室的底面能够转动且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，因此在蒸发源21一边移动一边进行蒸镀时，能够降低构成真空腔室的面的变形对蒸发源21的移动造成的影响，能够向被蒸镀体4进行厚度均匀的蒸镀。而且，在蒸发源21一边移动一边进行蒸镀期间，通过前述的力赋予机构11、15、16，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室3的内侧朝向外侧的方向上对旋转移动部7赋予力。由此，在蒸镀工序中，防止未预期的旋转力矩作用于构成旋转移动部7的臂的连接部。

晶体振子等膜厚监视器218计测蒸发率，通过膜厚计217换算成膜厚。使蒸镀持续至通过膜厚计217换算后的膜厚成为目标膜厚为止(S5)。在通过膜厚计217换算后的膜厚达到目标膜厚之后，将蒸发源21的挡板关闭而结束蒸镀。然后，通过传送机构将被蒸镀体4向真空腔室3外送出(S6)。掩模214在前述的掩模使用次数M成为规定次数以上(n≥2)时进行更换。在使用次数M小于规定次数n时，设为M+1，送入下一被蒸镀体4并以同样的工序进行蒸镀(S7)。掩模214的更换频度可以根据蒸镀材料向掩模214的堆积状况等而适当决定。

经由这样的工序，能够制造出有机EL显示器设备那样的设备，但是本发明的设备方法并不局限于此，各工序的具体构成可以适当设计。

Claims (22)

1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及

旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，

构成所述真空腔室的面具有开口，

所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，

所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

2.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：

真空腔室；

移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及

旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，

构成所述真空腔室的面具有开口，

所述旋转移动部具有通过所述开口而向大气开放的中空部分，

所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，对所述旋转移动部提供与下述压力相反方向的力，所述压力是作用于与向大气开放的所述开口相向的所述旋转移动部的内表面上的压力。

3.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述真空蒸镀装置还包括移动限制机构，所述移动限制机构限制由所述力赋予机构产生的所述旋转移动部的移动范围。

4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述移动限制机构包括限动件，所述限动件在从与所述旋转轴部连接的所述真空腔室的底面至比所述旋转轴部的下表面靠下的位置处，形成于所述开口的中心侧。

5.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述真空蒸镀装置还包括移动限制机构，所述移动限制机构限制由所述力赋予机构产生的所述旋转移动部的移动范围。

6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述移动限制机构包括限动件，所述限动件在从与所述旋转轴部连接的所述真空腔室的底面至比所述旋转轴部的下表面靠下的位置处，形成于所述开口的中心侧。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述力赋予机构包括压缩螺旋弹簧。

8.根据权利要求7所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述压缩螺旋弹簧连结设置于在所述旋转轴部的下部向放射状外侧形成的基体部与在所述基体部的上部形成所述开口的所述真空腔室的面之间。

9.根据权利要求8所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述压缩螺旋弹簧在所述旋转轴部的周围设置多个。

10.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述力赋予机构包括板簧。

11.根据权利要求10所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述板簧以包围所述旋转轴部的外周的方式连结设置于所述旋转轴部与所述真空腔室之间。

12.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述力赋予机构包括伸缩构件，所述伸缩构件具有与大气连通的内部空间，通过所述内部空间内外的压力差而膨胀，由此对所述旋转移动部的所述旋转轴部提供所述力。

13.根据权利要求12所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述伸缩构件是波纹管。

14.根据权利要求12所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述伸缩构件在所述旋转轴部外部的所述真空腔室内的空间内，两端部分别与所述旋转轴部和所述真空腔室相接地设置，所述伸缩构件的内部空间通过与所述旋转轴部相接的端部而与大气连通。

15.根据权利要求12所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述伸缩构件在所述旋转轴部的周围设置多个。

16.根据权利要求12所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述伸缩构件在所述旋转轴部的周围设置成一个环形状。

17.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述旋转移动部包括旋转轴部，所述旋转轴部插入到在构成所述真空腔室的面上形成的所述开口内，

所述旋转移动部包括第一臂和第二臂，所述第一臂的一端能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述第二臂的各端部能够转动地分别连结于所述第一臂的另一端及所述移动体，

所述第一臂的一端包括所述旋转轴部。

18.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

所述移动体是包含蒸发源的蒸发源单元，所述蒸发源收容有向所述真空腔室内的被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质。

19.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

构成所述真空腔室的面与所述旋转移动部通过由磁性流体密封构成的连接构件来连结。

20.一种移动体支承装置，其特征在于，

具有力赋予机构和设置于真空区域的旋转移动部，

所述旋转移动部具有内部为空的中空部分，所述中空部分与所述真空区域的外侧连接，

所述旋转移动部能够转动地连结于构成所述真空区域的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，

所述力赋予机构在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空区域朝向所述真空区域的外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。

21.一种蒸镀方法，在真空腔室内向被蒸镀体蒸镀由蒸发源单元收纳的蒸镀物质，其特征在于，包括：

将所述真空腔室形成为真空的第一工序；及

将所述蒸发源单元的挡板打开，使与所述蒸发源单元连接的旋转移动部移动，向所述被蒸镀体进行蒸镀的第二工序，

在所述第二工序中，在沿着转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部赋予力。

22.根据权利要求21所述的蒸镀方法，其特征在于，

所述蒸镀方法在所述第一工序与所述第二工序之间还包括：

在将所述蒸发源单元的挡板关闭的状态下，向所述蒸发源单元的加热装置接通电源的第三工序；

向所述真空腔室内送入掩模的第四工序；及

向所述真空腔室放入被蒸镀体，进行所述掩模与所述被蒸镀体的对准的第五工序。