JP6008731B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
2 基板
3 真空槽
4 移動部
5 ガイド部
6 貫通孔
7 ガイド支柱
8 伸縮部材
9 貫通孔
10 ベース支柱
11 ベース部
12 伸縮部材
13 架台
14 収容部
15 関節部
16 吸着部
17 基準マーク表示部
18 撮像手段収容部
19 成膜源アライメント機構
20 蒸着マスク
29 基板移動手段
Claims (11)
- 成膜源から射出した成膜材料が堆積することによって基板上に薄膜が形成される真空槽を有する成膜装置において、前記基板若しくは前記成膜源を搬送させる搬送機構を備え、この搬送機構は、移動部と、この移動部の移動をガイドするガイド部とから成り、このガイド部は、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するガイド支柱に支持される構成とし、このガイド支柱若しくはガイド支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結し、前記搬送機構により前記基板を搬送する場合は、前記成膜源が、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するベース支柱に支持されるベース部に保持される構成とし、このベース支柱若しくはベース支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結して、前記搬送機構により前記成膜源を搬送する場合は、前記基板を保持する保持部が、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するベース支柱に支持されるベース部に保持される構成とし、このベース支柱若しくはベース支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結して、前記搬送機構及び前記成膜源若しくは前記基板が前記真空槽の減圧による壁面の変形の影響を受けずに前記成膜源と前記基板との位置関係が維持されるように構成し、前記ガイド部は前記移動部の移動方向に延設される構成であり、前記ガイド支柱は前記移動部の移動方向に沿って複数設けたことを特徴とする成膜装置。
- 成膜源から射出した成膜材料を蒸着マスクのマスク開口部を介して基板上に堆積して基板上に薄膜を形成する真空槽を有する成膜装置において、前記基板若しくは前記成膜源を搬送させる搬送機構を備え、この搬送機構は、移動部と、この移動部の移動をガイドするガイド部とから成り、このガイド部は、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するガイド支柱に支持される構成とし、このガイド支柱若しくはガイド支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結し、前記搬送機構により前記基板を搬送する場合は、前記成膜源が、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するベース支柱に支持されるベース部に保持される構成とし、このベース支柱若しくはベース支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結して、前記搬送機構により前記成膜源を搬送する場合は、前記基板を保持する保持部が、真空槽の外部に設けられ前記真空槽の壁面に設けた貫通孔を貫通するベース支柱に支持されるベース部に保持される構成とし、このベース支柱若しくはベース支柱の設置部と前記貫通孔の周囲の壁面とを伸縮部材を介して気密状態で連結して、前記搬送機構及び前記成膜源若しくは前記基板が前記真空槽の減圧による壁面の変形の影響を受けずに前記成膜源と前記基板との位置関係が維持されるように構成し、前記ガイド部は前記移動部の移動方向に延設される構成であり、前記ガイド支柱は前記移動部の移動方向に沿って複数設けたことを特徴とする成膜装置。
- 前記搬送機構の前記基板が保持される前記移動部の移動をガイドする前記ガイド部を、前記ガイド支柱で支持する構成とし、前記成膜源を保持する前記ベース部を、前記ベース支柱で支持する構成としたことを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記基板と前記蒸着マスクとを離間状態に配設し、この基板を前記蒸着マスクに対して相対移動自在に構成して、この相対移動により前記蒸着マスクより広い範囲にこの蒸着マスクにより定められる成膜パターンの薄膜が基板上に形成されるように構成したことを特徴とする請求項2,3のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記ガイド支柱若しくは前記ベース支柱を前記真空槽の底部の外部に設置した架台に立設して、前記ガイド支柱が貫通する前記貫通孔若しくは前記ベース支柱が貫通する前記貫通孔を前記真空槽の底面に設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記搬送機構に前記移動部を移動させるリニアモータを設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記移動部は、前記真空槽内において大気で満たされた収容部と、この収容部と真空槽の外部の大気圧空間とを連通し、電力供給用配線及び冷却用配管を前記収容部へ導入する中空導入部が形成された関節部と、前記基板を吸着して保持する吸着部とを備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記基板を前記ガイド部に対して位置合わせする基板アライメント機構を備え、この基板アライメント機構は、前記収容部に配設され前記吸着部を移動させる基板移動手段と、前記ガイド部に対して平行に配設され基準マークが設けられる基準マーク表示部と、前記基準マークと前記基板に設けられた基板マークとを撮像する撮像手段と、この撮像結果に基づいて基板移動手段を作動させる作動手段と、前記撮像手段を収容する撮像手段収容部とを有することを特徴とする請求項7記載の成膜装置。
- 前記撮像手段及び前記基準マーク表示部は、前記ガイド部若しくは前記ガイド支柱のいずれか一方に配設され、前記真空槽とは機械的に独立して設けられていることを特徴とする請求項8記載の成膜装置。
- 前記成膜源を前記基板に対して位置合わせする成膜源アライメント機構を備えたことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記成膜材料を有機材料としたことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の成膜装置。
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