JP7379396B2 - 成膜装置、搬送方法、成膜方法及び電子デバイス製造方法 - Google Patents
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Description
基板及びマスクの位置合わせを行うアライメント室と、
第1の搬送体として前記基板または前記基板を保持する基板キャリアを搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送し、第2の搬送体として前記マスクを前記搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送する搬送手段と、
前記アライメント室において、前記搬送方向に交差する幅方向における前記第1の搬送体の位置を規制する第1のガイド部と、前記幅方向における前記第2の搬送体の位置を規制する第2のガイド部と、を有するガイド部と、
前記第1のガイド部を前記幅方向に沿って移動させ、前記第2のガイド部を前記幅方向に沿って移動させるガイド部移動手段と、
前記第1の搬送体と前記第2の搬送体のサイズに関するサイズ情報を取得する取得手段と、
前記アライメント室で位置合わせされた前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜室と、を備え、
前記取得手段は、前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体の温度を測定する温度測定手段を有し、
前記取得手段は、前記温度測定手段により測定された前記第1の搬送体及び前記第2の搬送体の温度と、前記第1の搬送体の温度と熱膨張量との関係及び前記第2の搬送体の温度と熱膨張量との関係とに基づき、前記サイズ情報を取得し、
前記取得手段により取得した前記サイズ情報に基づき、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部の少なくとも一方の位置を変更することを特徴とする。
トを通ってそれぞれ再びアライメント前室100と組込室6に搬送される。そして、成膜処理に用いられたマスク4aと基板キャリア3は、再度、マスク搬送部202と基板キャリア搬送部203とを有する搬送手段に受け渡される。これにより、基板キャリア3及びマスク4aを連続して繰り返し成膜処理に用いることができる。
バ201の内部に配置される基板キャリア支持部207とロッド206a、206aによって接続される。アライメント駆動部211の駆動力を真空チャンバ201の内部に伝えるため、ロッド206a、206a周囲のチャンバ導入部にはベローズ209が配されている。ベローズ209によりチャンバ導入部が気密に保持され、真空チャンバ201の真空度が保たれる。
した状態となる。
ローラ230MのY方向の位置が変更(制御)される。クリアランスの所定値dg、dmは、クリアランスが大きすぎて搬送時のY方向の基板キャリア3とマスクフレーム4の位置ずれが大きくなることを抑制できるように設定される。また、クリアランスの所定値dg、dmは、クリアランスが小さすぎてマスクフレームガイドローラ230Mとマスクフレーム4との接触や基板キャリアガイドローラ230Gと基板キャリア3との接触による摩耗やゴミの発生を抑制できるように設定される。これにより、クリアランスが適正な所定の値(又は所定の範囲内の値)に維持されるよう、マスクフレームガイドローラ230M、基板キャリアガイドローラ230GのY方向位置(幅方向の位置)を制御することができる。マスクフレームガイドローラ230M、基板キャリアガイドローラ230GのY方向(幅方向)の移動を制御する方法について以下に説明する。
温度又は熱膨張量を予測して、マスクフレーム4、基板キャリア3それぞれの側面に対するクリアランスdm、dgを制御する。
を変更する)。これによって、図1の経路上にあるマスクフレーム4及び基板キャリア3それぞれに対して、ガイドローラが接触して搬送を妨げることや、間隔があきすぎて搬送位置決め精度を低下させることなく、常に熱膨張量に応じた適正なガイドを行うことができる。なお、ガイド部移動手段としての基板ガイドローラ進退駆動部231G及びマスクガイドローラ進退駆動部231Mは、第1の搬送体としての基板キャリア3(又は基板2)の位置を規制する第1のガイド部としての基板キャリアガイドローラ230G、及び、第2の搬送体としてのマスクフレーム4(又はマスク4a)の位置を規制する第2のガイド部としてのマスクフレームガイドローラ230M、の少なくとも一方の位置を変更する構成としてもよい。
ガイドローラ230M、基板キャリアガイドローラ230GのY方向位置を決める。
応する位置の近傍に2箇所、カメラ112を設置している。また、真空チャンバ101の下部における、マスクフレーム4の搬送方向に平行な辺が搬送時に通過する位置に対応する位置の近傍に2箇所、カメラ112を設置している。各カメラ112による撮像データは画像処理部113に出力される。
Claims (11)
- 基板及びマスクの位置合わせを行うアライメント室と、
第1の搬送体として前記基板または前記基板を保持する基板キャリアを搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送し、第2の搬送体として前記マスクを前記搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送する搬送手段と、
前記アライメント室において、前記搬送方向に交差する幅方向における前記第1の搬送体の位置を規制する第1のガイド部と、前記幅方向における前記第2の搬送体の位置を規制する第2のガイド部と、を有するガイド部と、
前記第1のガイド部を前記幅方向に沿って移動させ、前記第2のガイド部を前記幅方向に沿って移動させるガイド部移動手段と、
前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体のサイズに関するサイズ情報を取得する取得手段と、
前記アライメント室で位置合わせされた前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜室と、を備え、
前記取得手段は、前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体の温度を測定する温度測定手段を有し、
前記取得手段は、前記温度測定手段により測定された前記第1の搬送体及び前記第2の搬送体の温度と、前記第1の搬送体の温度と熱膨張量との関係及び前記第2の搬送体の温度と熱膨張量との関係とに基づき、前記サイズ情報を取得し、
前記取得手段により取得した前記サイズ情報に基づき、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部の少なくとも一方の位置を変更することを特徴とする成膜装置。 - 基板及びマスクの位置合わせを行うアライメント室と、
第1の搬送体として前記基板または前記基板を保持する基板キャリアを搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送し、第2の搬送体として前記マスクを前記搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送する搬送手段と、
前記アライメント室において、前記搬送方向に交差する幅方向における前記第1の搬送体の位置を規制する第1のガイド部と、前記幅方向における前記第2の搬送体の位置を規
制する第2のガイド部と、を有するガイド部と、
前記第1のガイド部を前記幅方向に沿って移動させ、前記第2のガイド部を前記幅方向に沿って移動させるガイド部移動手段と、
前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体のサイズに関するサイズ情報を取得する取得手段と、
前記アライメント室で位置合わせされた前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜室と、を備え、
前記取得手段は、前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体の前記幅方向における両側面の位置を測定し、前記アライメント室へ搬送される前記第2の搬送体の前記幅方向における両側面の位置を測定する位置測定手段を有し、
前記取得手段は、前記位置測定手段により測定された前記第1の搬送体の前記幅方向における両側面の位置と前記第2の搬送体の前記幅方向における両側面の位置に基づき、前記サイズ情報を取得し、
前記取得手段により取得した前記サイズ情報に基づき、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部の少なくとも一方の位置を変更することを特徴とする成膜装置。 - 基板及びマスクの位置合わせを行うアライメント室と、
第1の搬送体として前記基板または前記基板を保持する基板キャリアを搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送し、第2の搬送体として前記マスクを前記搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送する搬送手段と、
前記アライメント室において、前記搬送方向に交差する幅方向における前記第1の搬送体の位置を規制する第1のガイド部と、前記幅方向における前記第2の搬送体の位置を規制する第2のガイド部と、を有するガイド部と、
前記第1のガイド部を前記幅方向に沿って移動させ、前記第2のガイド部を前記幅方向に沿って移動させるガイド部移動手段と、
前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体のサイズに関するサイズ情報を取得する取得手段と、
前記アライメント室で位置合わせされた前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜室と、を備え、
前記取得手段は、
前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体と前記第2の搬送体を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像画像を画像処理して、前記アライメント室へ搬送される前記第1の搬送体の前記幅方向における両側面の位置と、前記アライメント室へ搬送される前記第2の搬送体の前記幅方向における両側面の位置を取得する画像処理手段と、を有し、
前記取得手段は、前記画像処理手段により取得された前記第1の搬送体の前記幅方向における両側面の位置と前記第2の搬送体の前記幅方向における両側面の位置に基づき、前記サイズ情報を取得し、
前記取得手段により取得した前記サイズ情報に基づき、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部の少なくとも一方の位置を変更することを特徴とする成膜装置。 - 前記搬送方向で前記アライメント室の上流に配置されるアライメント前室を更に備え、
前記取得手段は、前記アライメント前室において前記サイズ情報を取得する請求項1~3のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 基板及びマスクの位置合わせを行うアライメント室と、
第1の搬送体として前記基板または前記基板を保持する基板キャリアを搬送方向に沿って前記アライメント室へ搬送し、第2の搬送体として前記マスクを前記搬送方向に沿って
前記アライメント室へ搬送する搬送手段と、
前記アライメント室において、前記搬送方向に交差する幅方向における前記第1の搬送体の位置を規制する第1のガイド部と、前記幅方向における前記第2の搬送体の位置を規制する第2のガイド部と、を有するガイド部と、
前記第1のガイド部を前記幅方向に沿って移動させ、前記第2のガイド部を前記幅方向に沿って移動させるガイド部移動手段と、
前記第1の搬送体と前記第2の搬送体のサイズに関するサイズ情報を取得する取得手段と、
前記アライメント室で位置合わせされた前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜室と、を備え、
前記取得手段は、前記搬送手段によって前記第1の搬送体が前記成膜室に搬送された回数と、前記回数と前記第1の搬送体の熱膨張量との関係とに基づき、また、前記搬送手段によって前記第2の搬送体が前記成膜室に搬送された回数と、前記回数と前記第2の搬送体の熱膨張量との関係とに基づき、前記サイズ情報を取得し、
前記取得手段により取得した前記サイズ情報に基づき、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部の少なくとも一方の位置を変更することを特徴とする成膜装置。 - 前記第1の搬送体と前記第1のガイド部との間の前記幅方向の距離が所定の範囲に維持され、前記第2の搬送体と前記第2のガイド部との間の前記幅方向の距離が所定の範囲に維持されるように、前記ガイド部移動手段が前記第1のガイド部及び前記第2のガイド部を移動する請求項1~5のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記第1のガイド部は、前記幅方向において前記第1の搬送体の両側に配置された第1のガイドローラを有し、
前記第2のガイド部は、前記幅方向において前記第2の搬送体の両側に配置された第2のガイドローラを有し、
前記ガイド部移動手段は、前記第1のガイドローラを支持する第1の支持部と、前記第1の支持部を幅方向に進退移動させる第1の駆動部と、前記第2のガイドローラを支持する第2の支持部と、前記第2の支持部を幅方向に進退移動させる第2の駆動部と、を有する請求項1~6のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記アライメント室では、前記基板と前記マスクのそれぞれに設けられたアライメントマークを撮像し、撮像により得られた画像に基づきアライメントマークの間の相対距離を取得し、前記相対距離に基づき前記基板と前記マスクの位置合わせを行う請求項1~7のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記アライメント室は、真空チャンバと、前記真空チャンバの外部に設けられるアライメント駆動部と、前記アライメント駆動部の駆動力を前記基板キャリアに伝える導入部と、前記導入部を気密に保持するベローズと、を有する請求項1~8のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 請求項1~9のいずれか1項に記載の成膜装置を用いて前記基板と前記マスクを搬送しながら、前記基板に前記マスクを介して成膜材料を成膜する成膜工程を有する成膜方法。
- 請求項10に記載の成膜方法を用いて電子デバイスを製造する電子デバイス製造方法。
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