KR101840976B1

KR101840976B1 - 이동체 지지장치와, 이를 포함한 진공 증착 장치 및 증착 방법

Info

Publication number: KR101840976B1
Application number: KR1020170094790A
Authority: KR
Inventors: 가즈히로 와타나베; 아키라 오오타; 노보루 오노지마
Original assignee: 캐논 톡키 가부시키가이샤
Priority date: 2017-07-26
Filing date: 2017-07-26
Publication date: 2018-03-21
Also published as: JP2019026932A; CN109306452B; JP6497688B2; CN109306452A

Abstract

본 발명은, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체와, 상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 이동체의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 이동체에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 포함하며, 상기 진공 챔버를 구성하는 면은 개구를 갖고, 상기 회전 이동부는, 상기 개구를 통해 상기 진공 챔버의 외부로 연통된 중공 부분을 갖고, 상기 회전 이동부의 상기 타단부 측에 설치되어, 상기 회전 이동부에 대해 상기 회동의 축을 따른 방향이면서 상기 진공 챔버의 내측으로부터 외측으로의 방향으로 힘을 제공하는 힘 부여 수단을 포함하는, 진공 증착 장치를 제공한다.

Description

이동체 지지장치와, 이를 포함한 진공 증착 장치 및 증착 방법 {MOVING BODY SUPPORT APPARATUS, VACUUM EVAPORATION APPARATUS INCLUDING THE SAME AND EVAPORATION METHOD}

본 발명은 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체를 지지하는 이동체 지지 장치와, 이를 포함한 진공 증착 장치 및 증착 방법에 관한 것이다.

최근 평판 디스플레이로서 유기전계발광 디스플레이(OLED)가 각광을 받고 있다. 유기전계발광 디스플레이는 2개의 마주보는 전극(캐소드 전극, 애노드 전극) 사이에 발광을 일으키는 유기물 층이 형성된 기본 구조를 가지고 있는데, 유기전계발광 디스플레이의 유기물 층은 감압 상태의 진공 챔버 내에서 증발원에 수용되어 있는 증착 물질을 증발시켜 진공 챔버 내의 피증착체에 증착함으로써 형성된다. 유기물질의 증착에 사용되는 이와 같은 진공 증착 장치에 있어서는, 진공 챔버 내의 증발원을 포함하는 증발원 유닛에 포함된 각종 부품 및 장치에 전원을 공급하기 위한 배선 및 배관(증발원을 냉각시키기 위한 냉각수 배관 등)이 진공 챔버 외부로부터 연결된다.

이를 위해, 종래 기술에서는 진공 챔버를 구성하는 저면과 증발원 유닛 사이에 대기 아암부를 설치 하였다. 대기 아암부는 진공 챔버를 구성하는 저면에 회동 가능하게 연결된다. 대기 아암부의 내부는 각종 배선 및 배관이 지나갈 수 있는 중공부로 되어 있고, 그 내부를 대기압 상태로 유지하기 위하여, 특허문헌 1에 개시된 바와 같이, 각 연결부, 즉, 대기 아암부 등의 이동체와 진공 챔버를 구성하는 저면 간의 연결부는 진공 챔버 내부의 진공을 시일(seal)하는 자성 유체 시일에 의해 접속된다.

[특허문헌 1] 일본등록특허 1665380

이와 같이, 증발원 유닛에 대한 회전 이송부로서의 기능 및 배선/배관의 연결 통로 기능을 하는 대기 아암 등의 이동체는, 내부가 대기에 개방된 상태로 대기압으로 유지되고 있고, 진공으로 유지되는 외부의 진공 챔버와 자성 유체 시일 등의 시일 부재에 의해 시일링되어 회전 가능하게 연결되어 있는 회전 이동부를 설치하고 있다. 이러한 진공 챔버와 이동체의 압력 차에 의해 회전 이동부에 예기치 않은 회전 모멘트가 작용하는 경우가 있다.

구동 중인 이동체에 예기치 않은 회전 모멘트가 작용할 경우에는, 회전 이동부에 설치된 시일 부재가 순간적으로 파괴되는 현상이 생길 수 있다. 자성 유체 시일의 파괴는 고 진공상태로 유지되고 있었던 진공 챔버의 순간적인 압력 상승을 초래하게 되어, 궁극적으로는 피증착물에 대한 원료 물질 증착의 품질을 저하시키는 원인이 된다.

본 발명의 일 양태에 따른 진공 증착 장치는, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체와, 상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 이동체의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 이동체에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 포함하며, 상기 진공 챔버를 구성하는 면은 개구를 갖고, 상기 회전 이동부는, 상기 개구를 통해 상기 진공 챔버의 외부로 연통된 중공 부분을 갖고, 상기 회전 이동부의 상기 타단부 측에 설치되어, 상기 회전 이동부에 대해 상기 회동의 축을 따른 방향이면서 상기 진공 챔버의 내측으로부터 외측으로의 방향으로 힘을 제공하는 힘 부여 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일 양태에 따른 진공 증착 장치는, 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체와, 상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 이동체의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 이동체에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 포함하며, 상기 진공 챔버를 구성하는 면은 개구를 갖고, 상기 회전 이동부는 상기 개구를 통해 대기 개방되는 중공 부분을 갖고, 상기 회전 이동부의 상기 타단부 측에 설치되어, 대기 개방된 상기 개구에 대향하는 상기 회전 이동부의 내면에 작용하는 압력에 대하여 반대 방향의 힘을 상기 회전 이동부에 대해 제공하는 힘 부여 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일 양태에 따른 이동체 지지 장치는, 진공 영역에 설치되는 회전 이동부와, 힘 부여 수단을 구비하고, 상기 회전 이동부는 내부가 빈 중공 부분을 갖고, 상기 중공 부분은 상기 진공 영역의 외측으로 접속되며, 상기 회전 이동부는, 상기 진공 영역을 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능하며, 상기 힘 부여 수단은, 상기 회전 이동부에 대하여, 상기 회동의 축을 따른 방향이면서 또한 상기 진공 영역으로부터 상기 진공 영역의 외측으로의 방향으로, 힘을 제공하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일 양태에 따른 증착 방법은, 진공 챔버에서 피증착체에 증발원 유닛에 수납된 증착 물질을 증착하는 증착 방법으로서, 상기 진공 챔버를 진공으로 하는 제1 공정과, 상기 증발원 유닛의 셔터를 개방하고, 상기 증발원 유닛에 접속된 회전 이동부를 움직여, 상기 피증착체에 증착을 행하는 제2 공정을 포함하고, 상기 제2 공정에 있어서, 상기 회전 이동부에 대하여, 회동의 축을 따른 방향이면서 또한 상기 진공 챔버의 내측으로부터 외측으로의 방향으로, 힘을 부여하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 회전 이동부에 예기치 않은 회전모멘트가 작용하는 것을 억제할 수 있고, 그에 따라 이동체 동작 중의 시일 부재의 파괴 및 이로 인한 진공 챔버 내 압력 상승을 방지하여, 피증착물에 대한 증착 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 진공 증착 장치의 증발원 유닛을 이동시키기 위한 증발원 이동기구 및 회전 이동부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3(a)는, 도 2의 회전 이동부와 진공 챔버를 구성하는 저면의 연결부분의 단면도이고, 도 3(b)는 도 3(a)의 진공 증착 장치의 저면 측에서 개구를 향해 바라본 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증착 장치의 구성으로서, 도 4(a)는 회전 이동부와 진공 챔버를 구성하는 저면의 연결부분의 단면도이고, 도 4(b)는 판 스프링의 형상을 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증착 장치의 구성으로서, 도 5(a)는 회전 이동부와 진공 챔버를 구성하는 저면의 연결부분의 단면도이고, 도 5(b)는 신축 부재 부근의 확대도이다.
도 6은 본 발명에 따른 디바이스 제조방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 대기 아암 내부의 대기압 작용 상태를 설명하기 위한 개념도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명에는 다양한 변경이 가해질 수 있고 다양한 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 도면에 예시하여 설명한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정의 실시예로 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

(제1 실시예)

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치(1)는, 감압 분위기에서 피증착체(예컨대, 기판)에 대해 증착이 이루어지는 공간을 정의하는 진공 챔버(3) 및 증착 물질을 증발시켜 방출하는 증발원 유닛(2)을 포함한다.

증발원 유닛(2)은 증착 물질을 수용하는 수용부와 증착 물질을 가열하여 증발시키기 위한 가열부 등으로 구성된 증발원(21)을 포함한다. 증발원(21)은, 피증착체(4,5)의 증착면을 향하여 증착 재료를 방출하는 방출공 내지 노즐을 복수 구비한 구조를 가지나, 이에 한정되지 않고, 피증착체(4,5), 마스크의 패턴, 증착 물질의 종류 등에 따라, 적절히 선택할 수 있다. 예컨대, 점(point) 증발원이나 선형(linear) 증발원, 소형의 증착 물질 수용부에, 증착 재료를 방출하는 복수의 방출공을 구비하는 확산실을 접속한 구조의 증발원 등을 사용해도 된다.

또한, 본 발명의 진공 증착 장치(1)는, 도 1(b)에 도시된 바와 같이, 막두께 모니터(218), 막두께 계측기(217), 전원(216), 피증착체 홀더(213), 마스크 홀더(215) 등의 다른 구성부품을 더 포함할 수 있다. 막두께 모니터(218)는 증발원(21)으로부터 방출된 증착 재료의 증발 레이트(rate)를 모니터링한다. 막두께 계측기(217)는 막두께 모니터(218)로부터 입력신호를 받아 막두께를 계측한다. 전원(216)은 증발원(21)에 설치된 가열장치를 제어한다. 피증착체 홀더(213)는 피증착체(4,5)를 지지하고, 피증착체를 마스크(214)나 증발원에 대해 상대적으로 이동시킬 수 있다. 마스크 홀더(215)는 마스크(214)를 지지하고, 마스크(214)를 피증착체나 증발원(21)에 대해 상대적으로 이동시킬 수 있다.

이러한 구성을 가지는 진공 증착 장치(1)는 진공 챔버(3)내를 감압분위기로 한 상태에서 증발원 유닛(2)의 증발원(21) 내에 수용되어 있는 증착 물질을 가열 및 증발시키고, 증발된 증착 물질을 소정의 패턴이 형성된 마스크(214) 또는 패턴 시트를 통해 피증착체(4 또는 5) 상에 증착시켜, 피증착체상에 원하는 패턴의 증착 물질의 박막을 형성한다. 본 발명의 진공 증착 장치(1)를 사용하여 유기 전계 발광 디스플레이 디바이스를 제조하는 구체적인 방법에 대해서는 후술한다.

증발원(21)을 포함하는 증발원 유닛(2)은 통상적으로 진공 챔버(3)의 하부에 하나가 배치되는데, 하나의 증발원 유닛을 사용하면서도 피증착체 전체에 대해 균일한 두께의 박막을 증착하기 위해, 증발원 유닛(2)을 피증착체의 길이 방향을 따라 슬라이딩 이동시켜 가면서 증착을 행한다. 이를 위해, 증발원 유닛(2)은 진공 챔버(3)의 내부에 이동 가능하게 설치된다.

도 1(a)의 진공 증착 장치(1)는, 하나의 진공 챔버(3) 내로 2개의 피증착체가 반입되고, 그 중 하나의 피증착체(4)에 대해 증착이 행해지는 동안(예컨대, A측 스테이지) 다른 피증착체(5)에 대해서(예컨대, B측 스테이지)는 마스크와 피증착체 간의 정렬(얼라인먼트)이 수행되는, 소위 "듀얼 스테이지" 구성의 진공 증착 장치를 도시한 것이다.

이러한 듀얼 스테이지 구성의 진공 증착 장치에 있어서는, 각각의 스테이지 내에서 증착 공정이 행해질 때 피증착체의 길이 방향을 따라 증발원 유닛(2)을 이동시키는 전술한 슬라이딩 이동에 더하여, 증발원 유닛(2)을 각 스테이지 간을 이동시키는 동작도 함께 행하게 된다. 이하에서는, 듀얼 스테이지 구성의 진공 증착 장치의 예를 들어 본 발명의 구성을 설명하는 것으로 하지만, 본 발명은 반드시 이에만 한정되는 것은 아니고, 진공 챔버 내에서의 증발원 유닛의 이동이 수반되는 경우에는 본 발명은 적용 가능하다.

이러한 증발원(21)을 포함하는 증발원 유닛(2)은 진공 챔버(3)의 하부에 배치된 증발원 이동기구(6)를 따라 피증착체(4)에 대향하는 면 내에서 수평 이동하면서 피증착체(4)에 대한 스캔 증착을 수행하게 된다. 증발원 이동기구(6)는 증발원(21)에 대해 이러한 선형 이동의 구동력을 제공하고 그 이동을 가이드하기 위한 기구로서, 구동력을 제공하는 리니어 모터와, 모터의 구동에 따라 이동을 가이드하는 랙/피니언 결합 구조 등으로 구성될 수 있으며, 구동력을 생성하는 리니어 모터 등의 구성부품은 증발원(21) 하부에 설치되는 대기 박스 내에 수납되어 배치될 수 있다.

이와 같이 구성되는 진공 증착 장치(1)에 있어서, 증착 공정이 행해지는 동안 전술한 증착 물질을 가열하여 증발시키는 증발원(21)의 가열부, 증발원(21)에 대해 이동 구동력을 제공하는 리니어 모터 등에 대해 전원 공급이 이루어지고, 이를 위해 진공 챔버 외부로부터 전원 공급을 위한 전기적 배선이 연결되어야 한다. 또한, 증발원 유닛(2)에는 이러한 전기적 배선 이외에도, 가열되었던 증발원(21)을 냉각시키는데 사용되는 냉각수를 순환시키기 위한 각종 배관 등도 진공 챔버(3) 외부로부터 연결될 수 있다.

증발원 유닛(2)에 진공 챔버(3)의 외부로부터 전기적 배선이나 배관을 제공하기 위한 구성으로서, 본 발명에서는 내부가 빈 중공부의 회전 이동부(7)를 사용한다. 회전 이동부(7)는 진공 챔버(3)를 구성하는 저면에 형성된 개구(31: 도 3 참조)와 증발원 유닛(2) 사이에 설치되며, 그 내부는 대기압으로 유지되는 중공부(71: 도 3 참조)로 되어 있다. 회전 이동부(7)의 중공부(71) 내에는 진공 챔버 외부로부터 증발원 유닛(2)으로 연결되는 각종 전기적 배선 및 배관이 배설된다. 증발원 유닛(2)은 이러한 회전 이동부(7)를 통해 전기적 배선 및 배관이 연결된 상태로 진공 챔버(3) 내를 이동해 가면서 증착 공정을 수행하게 된다.

이하, 회전 이동부(7)의 구성을 상세하게 설명한다.

회전 이동부(7)는 전술한 바와 같이 진공 챔버(3)를 구성하는 저면과 증발원 유닛(2) 사이에 배치되어, 일단부는 증발원 유닛(2)에 회동 가능하게 연결되고, 타단부는 진공 챔버(3)를 구성하는 저면에 회동 가능하게 연결된다. 구체적으로, 회전 이동부(7)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(3)를 구성하는 저면 측과 증발원 유닛(2) 측에 각각 회동 가능하게 접속된 2개의 아암(72, 73)이 상호 링크 구조로 연결된 구성을 갖는다. 즉, 회전 이동부(7)는 일단이 진공 챔버(3)를 구성하는 저면의 개구(31) 측에 회동 가능하게 연결되어 있는 제1 아암(72)과, 일단이 증발원 유닛(2)의 대기박스의 하부에 회동 가능하게 연결되어 있는 제2 아암(73)을 포함한다. 또한, 대기박스의 하부와 제2 아암(73)의 연결은 고정된 연결이더라도 본 발명의 본질에는 영향을 미치지 않는다. 제1 아암(72)의 타단과 제2 아암(73)의 타단 역시 회동 가능하게 연결되어, 제1 아암과 제2 아암이 진공 챔버(3)을 구성하는 저면과 증발원 유닛(2) 사이에서 전체적으로 링크 구조의 연결 구조를 형성한다. 이러한 구조를 통해, 회전 이동부(7)는 증발원 유닛(2)에 대하여 전기적 배선 및 배관 연결을 제공하면서 증발원 유닛(2)의 이동을 따라 함께 종동하여 이동한다.

회전 이동부(7)와 증발원 유닛(2) 및 진공 챔버(3)를 구성하는 저면 간의 각 연결부(즉, 증발원 유닛(2)과 제2 아암(73)의 연결부, 제2 아암(73)과 제1 아암(72)의 연결부, 제1 아암(72)과 진공 챔버(3)를 구성하는 저면의 연결부)는, 대기압으로 유지되는 회전 이동부(7) 내부의 중공부(71)와, 진공 상태로 유지되는 회전 이동부(7) 외부의 진공 챔버(3)내 공간을, 각각 대기압과 진공으로 유지한 상태로 연결할 수 있도록, 기본적으로는 자성유체시일 등의 접속 부재를 사용하여 진공 시일링(seal)한다. 자성유체 시일은 연결 부재 간의 상대적인 회전은 허용하면서도 진공 시일의 기능을 수행할 수 있기 때문에, 회전 이동부(7)의 기본적인 연결부로 사용하기에 적합하다.

본 발명의 진공 증착 장치(1)에서는 회전 이동부(7) 또는 제1 아암(72)과 진공 챔버(3)를 구성하는 저면을, 증발원 유닛(2) 쪽을 향하는 방향, 즉, 진공 챔버(3)를 구성하는 저면에 수직인 방향인 제1 방향으로 상대적으로 이동가능 하도록(즉, 증착 챔버를 구성하는 저면에 대해 플로우팅되도록), 접속시킨다. 즉, 진공 챔버(3)를 구성하는 면 측에 연결되는 회전 이동부(7)(또는 제1 아암(72))의 단부는, 진공 챔버를 구성하는 면에 대해 회동 가능하고, 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능하도록 연결된다. 구체적으로, 제1 아암(72)의 일단은 진공 챔버(3)를 구성하는 저면에 형성된 개구(31) 내로 삽입되는 회전축(721: 도 3 참조)을 포함하고, 이 제1 아암(72)의 회전축(721)과 진공 챔버(3)를 구성하는 저면의 개구(31) 사이는 오링(O-ring; 9)과 부싱(10)에 의해 진공 시일링된다. 이를 통해, 진공 챔버의 변형에 따른, 진공 챔버를 구성하는 면에 수직인 방향(제1 방향)의 부하를 흡수하여, 회전 이동부(7)로 전달되는 변형력을 저감시킬 수 있다.

이와 같이, 회전 이동부(7)는, 진공 챔버(3)를 구성하는 저면측 개구(31)와 접속되는 제1 아암(72)의 일단을 통해 대기에 개방된 상태로 그 내부가 대기압으로 유지되고, 증착 공정 중 진공으로 유지되는 외부의 진공 챔버(3)와는 자성 유체 시일 등의 시일 부재에 의해 시일링되고 있다.

이러한 회전 이동부(7)를 구성하는 대기 아암(제1 아암 및 제2 아암)의 내외부의 압력 차에 의해 각 아암의 접속부에 예기치 않은 회전 모멘트가 작용하는 경우가 있다.

도 7은 대기 아암 내부의 대기압 작용 상태를 설명하기 위한 개념도이다. 도시된 바와 같이, 대기 아암은 상부 아암과 하부 아암이 링크 구조를 통해 상호 회동 가능하게 접속된 구조를 가진다. 피이송체인 증발원 유닛에 대해 이동 구동력을 제공하는 리니어 모터 등의 구성부품을 수납하기 위한 밀폐 용기로서의 대기 박스가 상부 아암의 상부에 추가로 접속될 수도 있다, 하부 아암의 일단은 진공 챔버를 구성하는 저면에 형성된 개구를 통해 대기에 개방되어 있다. 이와 같이 대기 아암의 내부는 대기압으로, 대기 아암 외부의 진공 챔버는 진공으로 각각 유지된 상태로 증착 공정이 진행될 경우, 대기 아암의 각각의 내측벽에는 화살표로 도시한 바와 같이 대기 아암 내부로부터 진공 챔버 쪽으로 향하는 압력(전형적으로는, 대기압)이 작용하게 된다. 대기 아암의 각 내측벽에 작용하는 대기압 성분의 대부분은 대향하는 반대측 내측벽에 작용하는 동일한 크기의 대기압 성분에 의해 서로 상쇄되어 균형을 이룬다. 그러나, 진공 챔버를 구성하는 저면 상의 개구와 대향하는 내측벽(하부 아암의 일단측 내측벽)에 작용하는 대기압 성분은 이를 상쇄할 힘 성분이 존재하지 않아 불균형 압력 성분으로 남게 된다. 이러한 불균형 압력 성분은 대기 아암에 대해 예기치 않은 회전 모멘트(대기 아암이 위치한 평면에 대해 수직 방향)를 발생시키는 원인이 될 수 있다. 대기 아암이 이와 같이 회전 모멘트를 받는 상태로 구동되어 증착 공정이 진행될 경우에는, 각 아암의 연결 부위를 진공 시일링하고 있던 자성 유체 시일이 순간적으로 파괴되는 현상이 생길 가능성이 있다. 자성 유체 시일의 파괴는 고 진공상태로 유지되고 있었던 진공 챔버의 순간적인 압력 상승을 초래하게 되어, 궁극적으로는 피증착물에 대한 원료 물질 증착의 품질을 저하시키는 원인이 된다.

본 발명의 발명자는 이와 같이 회전 이동부를 구성하는 대기 아암의 내외부의 압력 차에 의해 각 아암의 접속부에 예기치 않은 회전 모멘트가 작용하는 경우가 있을 수 있고, 이러한 회전 모멘트가 대기 아암 접속부의 자성 유체 시일의 파손, 나아가 증착 품질의 저하의 원인이 될 수 있다는 점에 착목하여, 이러한 새로운 지견으로부터 본 발명에 이르렀다. 즉, 본 발명은 회전 이동부를 구성하는 대기 아암에 예기치 않은 회전 모멘트가 작용하는 것을 억제할 수 있는 진공 증착 장비를 제공하고자 하는 것이다.

이를 위한 구성으로서, 본 발명의 진공 증착 장치(1)는, 진공 챔버(3) 저면의 개구(31)에 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 작용하는 불균형 압력(대기압)을 반대 방향으로 상쇄시킬 수 있는 힘, 바꾸어 말하면 회전 이동부(7)의 회동의 축을 따른 방향이면서 또한 상기 진공 챔버(3)의 내측으로부터 외측으로의 방향으로 힘을 제공하는 힘 부여 수단을, 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)에 설치한 것을 특징으로 한다.

구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 장치(1)에서는, 제1 아암(72)의 일단으로부터 접속하여 형성되어 진공 챔버(3) 저면측의 개구(31) 내로 삽입되는 회전축(721)의 하면과, 진공 챔버(3)의 면 사이에, 힘 부여 수단으로서의 압축 코일 스프링(11)을 연결 설치하고 있다. 보다 구체적으로, 회전축(721)의 하부에 방사상 외측(진공 챔버를 구성하는 면 측)으로 베이스부(12)를 형성하고, 이 베이스부(12)와 그 상부의 진공 챔버의 면의 사이에 압축 코일 스프링(11)을 연결 설치한다.

압축 코일 스프링(11)은 진공 챔버(3)의 저면측 개구(31)와 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 불균형 압력으로서의 대기압이 인가될 때, 회전축(721)(및 이에 연결된 회전 이동부(7))에 대하여, 이 대기압에 상응하는 반대 방향의 반력을 동일축선 상에서 제공하는 역할을 한다. 이에 의해, 진공 챔버(3) 저면측의 개구(31)와 대향하는 회전 이동부(7)의 내측벽에 대기압이 불균형 압력으로서 작용하더라도, 이를 압축 코일 스프링(11)에 의해 제공되는 반대 방향의 반력을 이용하여 상쇄시킴으로써, 회전 이동부(7)에 작용하는 원하지 않는 회전 모멘트를 억제할 수 있고, 따라서 회전 이동부(7) 동작 중의 아암 연결 부위의 자성 유체 시일의 파괴 및 이로 인한 진공 챔버(3)의 순간적인 압력 상승을 방지할 수 있게 된다.

압축 코일 스프링(11)은 회전축(721)의 주위로 복수 개의 위치에 설치될 수 있다. 도 3(b)는 진공 증착 장치(1)의 저면 측에서 개구(31)를 향해 바라본 도면으로, 도시된 바와 같이 예컨대 회전축(721)의 하부에 4군데에 압축 코일 스프링 설치용의 베이스부(12)를 등간격으로 형성하고, 이 각각의 베이스부(12)와 진공 챔버의 면의 사이에 압축 코일 스프링(11)을 연결 설치할 수 있다. 그러나, 반드시 이에만 제한되는 것은 아니고, 압축 코일 스프링(11)의 설치 위치 및 개수는 적의 선택 가능하다.

한편, 본 발명의 진공 증착 장치(1)는, 압축 코일 스프링(11)에 의한 불균형 압력과 반대 방향으로의 회전축(721)의 이동을 허용 범위 이내로 규제하는 이동규제수단을 더 포함할 수 있다. 즉, 도 3 및 4에 도시된 바와 같이, 회전 이동부(7)의 회전축(721)과 접속되는 진공 챔버(3)의 저면측 하부에는, 회전축(721)의 하면보다 아래 위치에서 내측(진공 챔버(3)의 개구(31) 중심측)으로 형성되어, 회전축(721)의 아래쪽으로의 이동을 소정 범위로 규제하기 위한 스토퍼(13)가 설치되어 있다.

전술한 바와 같이, 증착 공정이 진행 중일 때에는, 진공 챔버(3)는 진공 배기된 상태로, 회전 이동부(7)의 내부는 대기압 상태로 각각 유지되지만, 유지 관리 등을 위해 진공 챔버(3) 내의 진공 상태를 일시적으로 해제하여 대기압 상태로 하는 경우가 있을 수 있다. 이 때는 회전 이동부(7) 내의 대기압이 더 이상 불균형 압력으로서 작용하지 않게 되는데, 이러한 경우에도 여전히 회전 이동부(7)가 압축 코일 스프링(11)에 의해 힘을 받아 아래쪽으로 계속 이동하려고 하게 되면, 압축 코일 스프링(11)에 의한 힘이 오히려 반대 방향으로 회전 모멘트를 발생시키는 원인이 될 수도 있다.

스토퍼(13)는 이러한 압축 코일 스프링(11)에 의한 회전 이동부(7)의 이동을 소정 범위로 규제함으로써, 진공 챔버(3)가 진공 배기된 상태뿐만 아니라 대기압 상태에 있는 경우에도 회전 이동부(7)에 작용하는 모멘트를 억제할 수 있게 한다.

스토퍼(13)는 도 3(b)에 도시된 바와 같이, 압축 코일 스프링(11)이 설치되지 않는 위치에, 진공 챔버(3)의 저면측 하부 주위를 따라 형성될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 제한되지는 않고, 스토퍼 설치 위치와 형상은 설계에 따라 적절히 구성할 수 있다.

(제2 실시예)

이하, 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 제2 실시예의 구성을 설명한다.

본 발명의 제2 실시예는, 진공 챔버(3) 저면의 개구(31)에 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 작용하는 불균형 압력(대기압)을 반대 방향으로 상쇄시킬 수 있는 힘 부여 수단으로서, 압축 코일 스프링(11) 대신, 판 스프링을 이용하고 있다는 점이 제1 실시예의 구성과 다르다. 그 이외의 구성은 제1 실시예의 구성과 마찬가지이므로, 동일한 구성에 대한 설명은 생략한다.

제2 실시예에서는, 변형을 통해 미리 여분의 압력이 가해진 상태의 판 스프링의 복원력에 의해, 불균형 압력(대기압)과 반대 방향의 힘을 회전 이동부(7)에 제공한다. 구체적으로, 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 제1 아암(72)의 회전축(721)의 외주를 둘러싸는 형태로 회전축(721)의 자성 유체 시일(8)과 진공 챔버(3)를 구성하는 면 사이에 판 스프링(15)이 연결 설치되어 있다. 판 스프링(15)은 도시된 바와 같이 미리 여분의 압력을 가하여 변형시킨 상태로 조립되어 있다. 따라서, 제1 실시예와 마찬가지로, 진공 챔버(3)의 저면측 개구(31)와 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 불균형 압력으로서의 대기압이 인가될 때, 회전축(721)(및 이에 연결된 회전 이동부(7))에 대하여, 판 스프링(15)의 복원력을 이용하여 대기압에 상응하는 반대 방향의 반력을 동일축선 상에서 제공할 수 있다.

이에 의해, 제1 실시예와 마찬가지로, 진공 챔버(3) 저면측의 개구(31)와 대향하는 회전 이동부(7)의 내벽에 대기압이 불균형 압력으로서 작용하는 경우라도, 회전 이동부(7)에 작용하는 원하지 않는 회전 모멘트를 억제할 수 있고, 이를 통해 아암 연결 부위의 자성 유체 시일의 파괴 및 진공 챔버(3)의 순간적인 압력 상승을 방지하는 동일한 효과를 얻을 수 있다.

도 4(b)는 판 스프링(15)의 형상을 나타낸 평면도이다. 판 스프링(15)은 회전축(721) 주위를 둘러싸는 동심원 형태의 개별 판 스프링이 복수 개 적층되어 형성된다. 각각의 개별 판 스프링은 내부에 구멍이 뚫린 형상일 수도 있고(좌측 도면), 구멍과 유사한 형태의 절결부가 형성된 형상일 수도 있고(중앙 도면), 구멍이나 절결부 등과 같은 변형이 가해지지 않은 형상일 수도 있다(우측 도면). 판 스프링은 조립 시의 적층 오차 등으로 인한 영향을 줄이기 위해서는, 적층 오차를 흡수할 수 있을 정도로 충분히 크게 변형시킨 상태로 판 스프링을 설치하는 것이 바람직하다. 그런데, 이와 같이 판 스프링을 크게 변형시킨 상태로 설치할 경우에는 회전 이동부(7)에 미치는 불균형 압력의 영향을 미세한 범위 내에서 조정하는 것이 어려워질 수 있다. 따라서, 이러한 경우에는, 판 스프링에 구멍이나 절결부 등의 변형을 가함으로써 스프링 상수를 작게 조정한 판 스프링을 사용하는 것이 보다 효과적일 수 있다. 그러나, 회전 이동부(7)의 형상에 따라 판 스프링(15)의 최적의 형상은 달라질 수 있다. 예컨대, 불균형 압력의 영향을 비교적 큰 조정 범위 내에서 조정할 필요가 있는 회전 이동부에 대해서는, 구멍을 뚫지 않은 스프링 상수가 비교적 큰 판 스프링을 사용하는 등 적절히 대응할 필요가 있다,

한편, 제2 실시예의 진공 증착 장치(1) 역시, 제1 실시예와 마찬가지로, 판 스프링(15)에 의한 대기압과 반대 방향으로의 회전축(721)의 이동을 허용 범위 이내로 규제하는 이동규제수단을 더 포함할 수 있다. 이동 규제 수단으로서의 스토퍼(13)는 제1 실시예와 마찬가지로 구성할 수 있고, 자세한 설명은 생략한다.

(제3 실시예)

이하, 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 제3 실시예의 구성을 설명한다.

본 발명의 제3 실시예는, 진공 챔버(3) 저면의 개구(31)에 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 작용하는 불균형 압력(대기압)을 반대 방향으로 상쇄시킬 수 있는 힘 부여 수단으로서, 신축 부재인 벨로우즈(16)를 이용하고 있다는 점이 전술한 실시예의 구성과 다르다. 그 이외의 구성은 전술한 실시예의 구성과 마찬가지이므로, 동일한 구성에 대한 설명은 생략한다.

제3 실시예에서는, 내부 공간이 대기와 연통된 신축 부재(벨로우즈)를 사용하여, 진공 챔버의 진공 배기 시 상기 내부 공간 내외의 압력차에 의해 신축 부재를 회전 이동부(7)에 대하여 회동의 축을 따른 방향이면서 또한 진공 챔버의 내측으로부터 외측으로의 방향으로 팽창시켜, 불균형 압력(대기압)과 반대 방향의 힘을 회전 이동부(7)에 제공한다. 구체적으로, 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 회전축(721) 상단부의 진공 챔버(3) 내 공간에, 양 단부가 회전축(721)과 진공 챔버(3)를 구성하는 면에 각각 접하는 신축 부재(16)가 설치되어 있다. 신축 부재(16)는, 회전 이동부(7)에 대하여 회동의 축을 따른 방향의 면은 신축 가능한 벨로우즈로 구성되고, 회전축(721) 및 진공 챔버(3)를 구성하는 면에 각각 접속되어 구성되어 있다. 회전축(721)과 접촉하는 하면은 회전축(721) 내부에 형성된 공간을 통해 장치 외부의 대기와 연통되도록 구성되어 있다. 즉, 신축 부재(16)는 회전축(721)과 진공 챔버(3) 사이의 챔버 내 공간에 설치되어, 장치의 진공 배기 시 그 외부는 진공 상태로 있고, 한편 신축 부재(16)의 내부 공간은 회전축(721) 내부와 연통됨으로써 대기 상태에 있도록 형성된다.

다시 말해, 증착 공정을 위해 장치가 진공 배기되면, 배기와 동시에 신축 부재(16)의 내외부 공간에는 압력차가 자동적으로 발생하게 되고, 이러한 압력차에 의해 신축 부재(16)에는 회전 이동부(7)에 대하여 회동의 축을 따른 방향으로 팽창하려는 힘이 발생하게 된다. 이 때, 전술한 바와 같이 신축 부재(16)의 상면은 강성이 강한 고정된 진공 챔버(3)를 구성하는 면에 접촉되어 있기 때문에, 챔버(3)측 면에 작용하는 힘은 그 반력으로서 아래 방향으로 향하게 되고, 따라서 신축 부재(16)의 길이 방향의 팽창력은 주로 하면에 접한 회전축(721) 쪽으로 작용하게 된다. 따라서, 전술한 실시예와 마찬가지로, 진공 챔버(3)의 저면측 개구(31)와 대향하는 회전 이동부(7)(제1 아암(72)의 일단측)의 내측벽에 불균형 압력으로서의 대기압이 인가되더라도, 회전축(721)(및 이에 연결된 회전 이동부(7))에 대하여, 신축 부재(16)의 회전 이동부(7)에 대하여 회동의 축을 따른 방향의 팽창력을 통해 대기압에 상응하는 반대 방향의 반력을 동일축선 상에서 제공할 수 있게 된다.

이에 의해, 전술한 실시예와 마찬가지로, 회전 이동부(7)에 작용하는 원하지 않는 회전 모멘트를 억제할 수 있고, 아암 연결 부위의 자성 유체 시일의 파괴 및 진공 챔버(3)의 압력 상승을 방지하는 동일한 효과를 얻을 수 있게 된다.

한편, 본 실시예는 전술한 바와 같이, 증착 공정을 위해 진공 챔버(3)가 진공으로 배기될 때에만 신축 부재(16)의 내외부의 압력차를 이용하여 불균형압력으로서의 대기압을 상쇄시키는 힘을 회전축(721)에 제공하고, 유지 보수 등을 위해 진공 챔버(3)가 대기압 상태로 있을 때(즉, 신축 부재(16)의 내외부 압력차가 없을 때)에는 회전축(721)에 별도의 힘을 제공하지 않는 구성으로 되어 있다. 이 점이 진공 챔버(3)의 진공 배기 상태와 무관하게 회전축(721)에 힘을 제공하는 전술한 실시예의 구성과 다르며, 따라서 본 실시예에 있어서는 전술한 실시예와는 달리, 주로 진공 챔버(3)의 대기압 상태 시의 회전축(721)의 이동을 소정 범위 이내로 규제하기 위한 스토퍼 등의 이동규제수단은 설치하지 않아도 된다.

본 실시예에 있어서의 신축 부재(16)는, 회전축(721)의 주위로 일체화된 하나의 링(ring) 형상으로 설치하여도 되며, 복수의 분리된 신축 부재를 회전축(721) 주위로 환형으로 배치하여도 된다. 즉, 진공 배기 시의 불균형압력으로서의 대기압을 상쇄하는 반대 방향의 힘을 동일축선 상에서 제공할 수 있다면, 신축 부재의 배치 형상은 특별히 제한되지 않는다.

이상, 실시예의 구성에 기초하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 다양한 변형예의 구성을 가질 수 있다. 예컨대 이상 설명한 실시예에서는, 진공 챔버(3)를 구성하는 저면과 증발원 유닛(2) 사이에 회전 이동부(7)를 설치하는 구성을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 증발원 유닛(2)이 진공 챔버(3)를 구성하는 저면이 아닌 상면 또는 측면 등의 벽면에 인접하게 설치되고, 회전 이동부(7)가 증발원 유닛(2)과 진공 챔버를 구성하는 상면 또는 측면과의 사이에 설치되는 경우나, 회전이동부(7)가 진공 챔버 내에 설치되는 다른 이동체에 전원 내지 배선을 공급하기 위해 진공 챔버를 구성하는 면과 해당 이동체 간에 설치되는 경우에도 적용될 수 있다. 본 발명은, 이들 각 구성에 있어서, 회전 이동부에 대하여, 전술한 각 실시형태에 따른 힘 부여 수단을 제공함으로써, 이동체에 발생할 수 있는 예기치 않은 회전 모멘트를 효과적으로 방지할 수 있다. 이러한 힘 부여 수단이 제공된 회전 이동부, 즉, 회전 이동부와 힘 부여 수단을 합쳐, "이동체 지지 장치"라고 부르기로 하며, 본 발명은 이러한 이동체 지지 장치 및 이를 구비한 진공 증착 장치에 적용될 수 있다.

(본 발명의 진공증착장치를 사용한 디바이스의 제조방법)

이하에서는, 도1, 6를 참조하여, 본 발명의 진공 증착 장치를 사용하여 디바이스를 제조하는 방법에 대하여 구체적으로 설명한다.

우선, 진공 챔버(3)를 진공으로 배기한다(S0). 이어서, 증발원(21) 내의 증착 재료를 기화시키기 위해, 증발원(21)에 설치된 가열장치를 전원(216)에 의해 제어한다. 이 때는, 증발원(21)에 설치된 셔터(미도시)가 닫혀 있기 때문에, 기화된 증착 재료는 진공 챔버(3) 내에 방출되지 않는다. 셔터가 닫혀진 상태에서 증발원(21)에 설치된 가열장치에 전원을 공급한다(S1). 피증착체에 증착하고자 하는 패턴이 형성된 마스크(214)가, 반송수단(미도시)에 의해, 진공 챔버(3)내에 반입되어, 마스크를 지지하는 마스크 홀더(215)에 배치된다. 마스크 홀더(215)는 이동기구를 가지고 있어, 마스크(214)의 위치를 소정의 위치로 이동시킨다(S2). 이 때, 마스크를 관리하는 제어부(미도시)는, 마스크사용회수(M)을 1로 한다.

이 상태에서, 증착 재료가 증착되는 대상인 피증착체(4)가 반송수단에 의해, 진공 챔버(3)내에 반입되어, 피증착체 홀더(213)에 배치된다. 마스크(214)에 형성된 얼라인먼트 마크와 피증착체(4)에 형성된 얼라인먼트 마크를 사용하여 피증착체 홀더(213)의 이동기구를 제어함으로써, 마스크(214)와 피증착체(4) 간의 얼라인먼트를 행한다(S3). 피증착체 홀더(213)를 이동제어하여 피증착체와 마스크간의 정렬을 수행하는 대신에, 피증착체(4)가 진공챔버(3)내에 반입되어, 피증착체 홀더(213)에 의해 소정의 위치에 배치된 후에, 마스크(214)를 마스크 홀더(215)에 의해 이동하여, 마스크(214)와 피증착체(4)간의 얼라인먼트를 수행해도 된다.

얼라인먼트 종료 후, 증발원(21)의 셔터를 열고, 증발원(21)에 접속된 회전 이동부(7)를 움직여, 마스크(214) 패턴에 따라 피증착체(4)에 성막 재료를 증착한다(S4). 증발원(21)에 접속된 회전이동부(7)는 진공 챔버(3)를 구성하는 저면에 대하여, 회동 가능하고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능하도록 연결되기 때문에, 증발원(21)이 이동하면서 증착이 수행되는 동안 진공 챔버를 구성하는 면의 변형이 증발원(21)의 이동에 미치는 영향을 저감시킬 수 있으며, 피증착체(4)에의 균일한 두께의 증착을 가능하게 한다. 또한, 증발원(21)을 이동시켜 가면서 증착을 행하는 동안, 전술한 힘 부여 수단(11, 15, 16)에 의해, 회전 이동부(7)에 대해, 상기 회동의 축을 따른 방향이면서 또한 진공 챔버(3)의 내측으로부터 외측으로의 방향으로 힘이 부여되도록 한다. 이를 통해, 증착 공정 중, 회전 이동부(7)를 구성하는 아암의 접속부에 예기치 않은 회전모멘트가 작용하는 것을 방지한다.

수정진동자 등의 막두께 모니터(218)는, 증발레이트를 계측하여, 막두께 계측기(217)에서 막두께를 환산한다. 막두께 계측기(217)에서 환산된 막두께가 목표로 하는 막두께가 될 때까지 증착을 계속한다(S5). 막두께 계측기(217)로 환산된 막두께가 목표값에 도달한 후, 증발원(21)의 셔터를 닫아 증착을 종료한다. 그 후, 반송수단에 의해 피증착체(4)를 진공 챔버(3) 외부로 반출한다(S6), 마스크(214)는 전술한 마스크 사용회수(M)가 소정의 매수 이상(n≥≥2)이 될 때 교환한다. 사용회수(M)가 소정회수(n)보다 작은 경우에는 사용회수(M)을 1만큼 올리고, 다음 피증착체(4)를 반입하여 마찬가지 공정으로 증착을 행한다(S7). 마스크(214)의 교환빈도는 마스크(214)에 증착 재료의 퇴적 정도에 따라 적절히 정할 수 있다.

이러한 공정을 통해, 유기 전계 발광 디스플레이 디바이스와 같은 디바이스를 제조할 수 있으나, 본 발명의 디바이스 제조방법은 이에 한정되지 않고, 각 공정의 구체적인 구성은 적절히 변경가능하다.

1: 진공 증착 장치
2: 증발원 유닛
21: 증발원
3: 진공 챔버
31: 개구
4: 피증착체(A 스테이지)
5: 피증착체(B 스테이지)
6: 증발원 이동기구
7: 회전 이동부
71: 중공부
72: 제1 아암
721: 회전축
73: 제2 아암
8: 자성유체시일
9: 오링
10: 부싱
11: 압축코일스프링
13: 스토퍼
15: 판스프링
16: 신축 부재

Claims

진공 증착 장치에 있어서,
진공 챔버와,
상기 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체와,
상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 이동체의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 이동체에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 포함하며,
상기 진공 챔버를 구성하는 면은 개구를 갖고,
상기 회전 이동부는, 상기 개구를 통해 대기 개방되는 중공 부분을 갖고,
상기 회전 이동부의 상기 타단부 측에 설치되어, 대기 개방된 상기 개구에 대향하는 상기 회전 이동부의 내면에 작용하는 압력에 대해 반대 방향의 힘을, 상기 회전 이동부에 대해 제공하는 힘 부여 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
진공 증착 장치에 있어서,
진공 챔버와,
상기 진공 챔버 내에 이동 가능하게 설치되는 이동체와,
상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 이동체의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 이동체에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 포함하며,
상기 진공 챔버를 구성하는 면은 개구를 갖고,
상기 회전 이동부는 상기 개구를 통해 대기 개방되는 중공 부분을 갖고,
상기 회전 이동부의 상기 타단부 측에 설치되어, 대기 개방된 상기 개구에 대향하는 상기 회전 이동부의 내면에 작용하는 대기압을 반대 방향으로 상쇄시키는 힘을 상기 회전 이동부에 대해 제공하는 힘 부여 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항에 있어서,
상기 힘 부여 수단에 의한 상기 회전 이동부의 이동 범위를 규제하는 이동규제수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제3항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 이동규제수단은, 상기 회전축부와 접속되는 상기 진공 챔버의 저면으로부터 상기 회전축부의 하면보다 아래 위치에서 상기 개구의 중심 측으로 형성된 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제2항에 있어서,
상기 힘 부여 수단에 의한 상기 회전 이동부의 이동 범위를 규제하는 이동규제수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제5항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 이동규제수단은, 상기 회전축부와 접속되는 상기 진공 챔버의 저면으로부터 상기 회전축부의 하면보다 아래 위치에서 상기 개구의 중심 측으로 형성된 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 힘 부여 수단은, 압축코일스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증착 장치.
제7항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 압축코일스프링은, 상기 회전축부의 하부에서 방사상 외측으로 형성된 베이스부와, 상기 베이스부의 상부에서 상기 개구를 형성하는 상기 진공 챔버의 면과의 사이에 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제8항에 있어서,
상기 압축코일스프링은 상기 회전축부의 주위로 복수 개가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 힘 부여 수단은, 판 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증착 장치.
제10항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 판 스프링은, 상기 회전축부의 외주를 둘러싸는 형태로 상기 회전축부와 상기 진공 챔버 사이에 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 힘 부여 수단은, 대기와 연통된 내부 공간을 갖고, 상기 내부 공간 내외의 압력차에 의해 팽창함으로써 상기 회전 이동부의 상기 회전축부에 대하여 상기 힘을 제공하는 신축 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증착 장치.
제12항에 있어서,
상기 신축 부재는 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제12항에 있어서,
상기 신축 부재는, 상기 회전축부 외부의 상기 진공 챔버 내 공간에 있어서 양 단부가 상기 회전축부와 상기 진공 챔버에 각각 접하여 설치되고, 상기 회전축부와 접한 단부를 통해 상기 신축 부재의 내부 공간이 대기와 연통되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제12항에 있어서,
상기 신축 부재는 상기 회전축부의 주위로 복수 개가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제12항에 있어서,
상기 신축 부재는 상기 회전축부의 주위로 하나의 링(ring) 형상으로 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 상기 개구 내로 삽입되는 회전축부를 포함하고,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 일단이 회동 가능하게 연결된 제1 아암과, 상기 제1 아암의 타단 및 상기 이동체에 각 단부가 회동 가능하게 연결된 제2 아암을 포함하고, 상기 제1 아암의 일단이 상기 회전축부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이동체는, 상기 진공 챔버 내의 피증착체에 증착되는 증착 물질이 수용되는 증발원을 포함하는 증발원 유닛인 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 회전 이동부는, 자성 유체 시일로 이루어진 접속 부재에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치.
진공 영역에 설치되는 회전 이동부와, 힘 부여 수단을 구비하고,
상기 회전 이동부는 내부가 빈 중공 부분을 갖고, 상기 중공 부분은, 상기 진공 영역을 구성하는 면에 형성된 개구를 통해, 상기 진공 영역의 외측으로 접속되어 대기 개방되어 있으며,
상기 회전 이동부는, 상기 진공 영역을 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고 또한 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능하며,
상기 힘 부여 수단은, 상기 회전 이동부에 대하여, 대기 개방된 상기 개구에 대향하는 상기 회전 이동부의 내면에 작용하는 압력에 대해 반대 방향의 힘을 제공하는 것을 특징으로 하는 이동체 지지 장치.
진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 이동가능하게 설치되고, 피증착체에 증착되는 증착 물질이 수용되는 증발원을 포함하는 증발원 유닛과, 상기 진공 챔버를 구성하는 면과 상기 증발원 유닛과의 사이에 배치되고, 일단부가 상기 증발원 유닛에 연결되고, 타단부가 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 회동 가능하게 연결되고, 또한, 상기 회동의 축을 따른 방향으로 상대 이동이 가능한 회전 이동부를 갖는 증착 장치에 있어서, 상기 피증착체에 상기 증발원 유닛에 수납된 상기 증착 물질을 증착하는 증착 방법으로서,
상기 회전 이동부는, 내부가 빈 중공 부분을 갖고, 상기 타단부측이 상기 진공 챔버를 구성하는 면에 형성된 개구를 통해 대기 개방되어 있으며,
상기 증착 방법은,
상기 진공 챔버를 진공으로 하는 제1 공정과,
상기 증발원 유닛의 셔터를 개방하고, 상기 증발원 유닛에 접속된 상기 회전 이동부를 움직여, 상기 피증착체에 증착을 행하는 제2 공정을 포함하고,
상기 제2 공정에 있어서, 상기 회전 이동부에 대하여, 대기 개방된 상기 개구에 대향하는 상기 회전 이동부의 내면에 작용하는 압력에 대해 반대 방향의 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
제21항에 있어서,
상기 제1 공정과 상기 제2 공정의 사이에,
상기 증발원 유닛의 셔터를 닫은 상태로, 상기 증발원 유닛의 가열 장치에 전원을 입력하는 제3 공정과,
상기 진공 챔버 내에 마스크를 반입하는 제4 공정과,
상기 진공 챔버로 피증착체를 반입하고, 상기 마스크와 상기 피증착체의 얼라인먼트를 행하는 제4 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.