JP2012054013A - 有機elデバイス製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、より均一な成膜を実現できる、或いは高精彩なデバイスを製造できる有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数の受けピンを介して基板を水平状態の蒸着ステージで受渡し、前記蒸着ステージを回転させて略直立姿勢または直立姿勢にし、真空チャンバ内で前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造装置または製造方法において、前記複数の受けピンの先端より上方に前記蒸着ステージを移動し、前記基板を前記複数の受けピンから前記蒸着ステージに移載し、その状態で前記回転を行うことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
特許文献2には、ロボットで基板を水平に搬送し、ステージに水平に移載し、その後、水平に載置した基板を直立または略直立に立てその状態で蒸着する方法が開示されている。
また、本発明の第2の目的は、高精彩なデバイスを製造できる有機ELデバイス製造装置及び製造方法を提供することである。
さらに、本発明は、前記移動が前記回転の回転軸を有する支持部と前記蒸着ステージとの間に設けられた昇降機構によって行なわれることを第3の特徴とする。
さらに、本発明は、前記基板と前記基板の蒸着パターンを規定するマスクとのアライメント後、前記昇降機構により前記基板を前記マスクに密着させることを第5の特徴とする。
さらに、本発明は、前記昇降機構は前記支持部又は前記蒸着ステージの四隅に設けられていることを第7の特徴とする。
また、本発明によれば、高精彩なデバイスを製造できる有機ELデバイス製造装置及び成膜装置を提供できる。
昇降機構30は蒸着ステージ20に3個以上、特に蒸着ステージ20の四隅に近い所に配置するのが望ましい。3個以上であれば、それぞれを制御することによって、後述する基板50とマスク81とをアライメントするときや、基板50をマスク81に密着させるときに基板50とマスク81を平行に保つことができ、より均一な成膜をすることができる。また、四隅に近い所に配置することによって上記制御がより行ない易くなる。
なお、上記実施形態では、モータ33を支持部22に固定したが、蒸着ステージ20に固定し、支持部22側にベローズ34を設けてもよい。
7:蒸着部 8:アライメント部
9:受渡部 10:搬送ロボット
11:アーム 12:櫛歯状ハンド
20:蒸着ステージ 21:回転軸
22:支持部 23:貫通穴
30:昇降機構 31:ガイド31
32:ボールネジ 33:モータ
34:ベローズ 35:大気BOX
36:ナットハウジング 37:支持棒
38:駆動線 40:受けピン
41:固定部 50:基板
71:蒸着源 81:マスク
90:蒸着ステージ回転機構 91:真空内配線リンク機構
96:回転駆動部。
Claims (9)
- 基板を載置する蒸着ステージを有し、前記蒸着ステージに複数の受けピン介して前記基板を水平状態で受渡しする受渡部と、前記受渡部を回転させて略直立または直立姿勢にする回転機構と、真空チャンバ内で前記略直立姿勢で前記基板に蒸着材料を蒸着する蒸着手段とを有する有機ELデバイス製造装置において、
前記受渡部は、前記蒸着ステージを上下させる昇降機構と、前記昇降機構を支持する支持部を有し、前記回転機構は前記支持部の回転軸を回転させて前記受渡部を回転させることを特徴とする有機ELデバイス製造装置。 - 前記複数の受けピンは前記支持部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記複数の受けピンは前記受渡部と共に回転しない固定部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記昇降機構の内部は前記真空チャンバの真空と隔離され、前記内部は中空部を有する前記支持部と、前記回転軸及び前記回転機構とを介して大気に開放されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記昇降機構は前記支持部又は前記蒸着ステージの四隅に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記昇降機構は駆動モータと、一端が蒸着ステージ側に固定されたボールネジと、前記昇降機構の前記駆動モータ側に固定されたナットとを有することを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記略直立姿勢または直立姿勢において、前記昇降機構が前記基板の蒸着パターンを規定するマスクに近接させる機構を兼ねることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 複数の受けピンを介して基板を水平状態の蒸着ステージで受渡し、前記蒸着ステージを回転させて略直立姿勢または直立姿勢にし、真空チャンバ内で前記基板に蒸着材料を蒸着する有機ELデバイス製造方法において、
前記複数の受けピンの先端より上方に前記蒸着ステージを移動し、前記基板を前記複数の受けピンから前記蒸着ステージに移載し、その状態で前記回転を行うことを特徴とする有機ELデバイス製造方法。 - 前記基板と前記基板の蒸着パターンを規定するマスクとのアライメント後、前記蒸着ステージの昇降機構により前記基板を前記マスクに密着させることを特徴とする請求項8に記載の有機ELデバイス製造方法。
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