CN111809159B - 转架装置 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种转架装置,包括:公转轴、公转盘和多个自转部,公转盘套设于公转轴外,并可随着公转轴进行旋转;多个自转部设置于公转盘上,多个自转部均可进行自转;且自转部用于安装待镀膜工件;自转部包括间隔设置的第一自转部和第二自转部;第一自转部与第二自转部的初始转动位置不同;且第一自转部和第二自转部的转动方向相反,转动角速度相同。根据本申请的转架装置,能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞,进而减小转盘体积。
Description
技术领域
本申请属于转架装置技术领域,具体涉及一种转架装置。
背景技术
目前,物理气相沉积设备常用于部件的装饰镀膜和工具镀膜,PVD镀膜工艺具有膜层色彩丰富、涂层结合力好、膜层均匀、成本低、无环境污染等优点,已经成为一种重要的表面处理工艺。
但是,由于物理气相沉积的特点,为了保证镀膜产品的均一性,镀膜空间主要集中在圆周部分,特别是对大尺寸、片状、双面材料镀膜加工时,为了保证双面镀膜均匀,转架在公转的同时必须进行自转,而为了避免两个转架在转动的过程中发生碰撞,通常转架的体积比较大,造成单炉装炉量非常有限,严重影响产能。
因此,如何提供一种能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞,进而减小转盘体积的转架装置成为本领域技术人员急需解决的问题。
发明内容
因此,本申请要解决的技术问题在于提供一种转架装置,能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞,进而减小转盘体积。
为了解决上述问题,本申请提供一种转架装置,包括:
公转轴;
公转盘,公转盘套设于公转轴外,并可随着公转轴进行旋转;
多个自转部,多个自转部设置于公转盘上,多个自转部均可进行自转;且自转部用于安装待镀膜工件;自转部包括间隔设置的第一自转部和第二自转部;第一自转部与第二自转部的初始转动位置不同;第一自转部和第二自转部的转动方向相反,且转动角速度相同。
优选地,转架装置还包括驱动部,驱动部与公转轴连接;驱动部用于驱动公转轴转动。
优选地,第一自转部上设置有第一齿轮;公转盘上设置有与第一齿轮相对应的第一拨动部;第一齿轮与第一拨动部相啮合;
和/或,第二自转部上设置有第二齿轮,公转盘上还设置于与第二齿轮相对应的第二拨动部;第二齿轮与第二拨动部相啮合;
和/或,多个自转部围绕公转轴的中心轴线在公转盘上周向设置。
优选地,第一拨动部距离公转盘盘底的高度为h1;第二拨动部距离公转盘盘底的高度为h2;第一齿轮距离公转盘盘底的高度为h3;第二齿轮距离公转盘盘底的高度为h4;其中h1=h3;h2=h4;且h1≠h2。
优选地,第一拨动部围绕公转轴线周向设置;
和/或,第二拨动部围绕公转轴线周向设置;
和/或,第一拨动部位于自转部的外周侧;
和/或,第二拨动部位于自转部的外周侧。
优选地,第一齿轮与第二齿轮的齿数相同、模数不同。
优选地,自转部包括旋转轴承和固定轴;旋转轴承设置于公转盘上;旋转轴承可围绕自身的中心轴线进行旋转;固定轴设置于旋转轴承内,待镀膜工件安装于固定轴上;齿轮套设于固定轴的外周侧。
优选地,公转盘上开设有安装孔,旋转轴承可转动的安装于安装孔内。
优选地,自转部还包括待镀膜工件夹具,待镀膜工件夹具设置于固定轴上;待镀膜工件夹具用于安装待镀膜工件。
优选地,第一自转部上安装的待镀膜工件在公转盘的径向上延伸;
和/或,第二自转部上安装的待镀膜工件延伸方向与公转盘的径向相垂直。
本申请提供的转架装置,能够避免两个转架在转动的过程中发生碰撞,进而减小转盘体积。
附图说明
图1为本申请实施例转架装置的结构示意图;
图2为本申请实施例转架装置的结构示意图;
图3为本申请实施例转架装置的剖面图。
附图标记表示为:
1、公转轴;2、公转盘;31、第一自转部;32、第二自转部;4、驱动部;51、第一待镀膜工件;52、第一待镀膜工件;61、第一齿轮;62、第一拨动部;71、第二齿轮;72、第二拨动部。
具体实施方式
结合参见图1-3所示,根据本申请的实施例,一种转架装置,包括:公转轴1和公转盘2,公转盘2套设于公转轴1外,并可随着公转轴1进行旋转;多个自转部,多个自转部设置于公转盘2上,多个自转部均可进行自转;且自转部用于安装待镀膜工件;自转部包括间隔设置的第一自转部31和第二自转部32;第一自转部31与第二自转部32的初始转动位置不同;即以第一自转部31的旋转中心与公转盘2的旋转中心的连线为第一径向;第二自转部32的旋转中心与公转盘2的旋转中心的连线为第二径向;第一自转部31上安装的待镀膜工件的延伸方向与第一径向的夹角为a;第二自转部32上安装的待镀膜工件延伸方向与第二径向的夹角为b;在自转部转动过程中,a≠b;第一自转部31和第二自转部32的初始位置不同,且第一自转部31和第二自转部32的转动方向相反,且转动角速度相同,能够避免确保第一自转部31和第二自转部32在转动的过程中相邻的两个工件架不会发生碰撞,进而减小转盘体积。初始转动位置为静止时的位置。且在不改变镀膜室空间的前提下,减少了两个相邻自传部之间的距离,增加了单位空间的转架数量,进而使得单炉镀膜产量提高。
进一步地,转架装置还包括驱动部4,驱动部4与公转轴1连接;驱动部4用于驱动公转轴1转动,驱动部4驱动公转轴1转动,带动公转盘2转动;转盘转速由变频器控制交流电机控制转速;转盘带动转架轴A、B和活动工件夹具绕圆盘中心1-1公转。
进一步地,第一自转部31上设置有第一齿轮61;公转盘2上设置有与第一齿轮61相对应的第一拨动部62;第一齿轮61与第一拨动部62相啮合;
和/或,第二自转部32上设置有第二齿轮71,公转盘2上还设置于与第二齿轮71相对应的第二拨动部72;第二齿轮71与第二拨动部72相啮合;
和/或,多个自转部围绕公转轴1的中心轴线在公转盘2上周向设置。
进一步地,第一拨动部71为第一拨动杆;和/或,第二拨动部72为第二拨动杆。
进一步地,第一拨动部71为第一拨动齿;和/或,第二拨动部72为第二拨动齿。
进一步地,第一拨动部62距离公转盘2盘底的高度为h1;第二拨动部72距离公转盘2盘底的高度为h2;第一齿轮61距离公转盘2盘底的高度为h3;第二齿轮71距离公转盘2盘底的高度为h4;其中h1=h3;h2=h4;且h1≠h2,可以使得第一拨动部62和第一齿轮61配合,第二齿轮71和第二拨动部72配合;h1≠h2使得第一拨动部62与第二齿轮71不会接触,第一齿轮6和第二拨动部72也不会接触,以达到分别驱动的目的。
进一步地,第一齿轮61、第二齿轮71以及第一拨动部62和第二拨动部71均设置于公转盘的底部。
进一步地,转架装置还包括与公转盘对应设置的PVD镀膜腔室底板,其位于公转盘2的底部,第一齿轮61、第二齿轮71设置于公转盘2的底部;第一拨动部62和第二拨动部71均设置于PVD镀膜腔室底板上;且第一拨动部62与第一齿轮61相对应,第二拨动部72与第二齿轮71相对应。
进一步地,第一拨动部62围绕公转轴1线周向设置;
和/或,第二拨动部72围绕公转轴1线周向设置;
和/或,第一拨动部62位于自转部的外周侧;
和/或,第二拨动部72位于所述自转部的外周侧,在转动过程中第一齿轮61沿第一拨动部62所在圆做内切圆运动,第二齿轮71沿第二拨动部72所在圆做外切圆运动,这种特殊的内切圆+外切圆运动模式确保第一齿轮61、第二齿轮71的自转方向刚好相反,而不需要额外增加第一电机驱动和第二电机驱动。
进一步地,第一齿轮61与第二齿轮71的齿数相同、模数不同。
进一步地,第一齿轮61和第二齿轮71的旋转中心在同一圆周上。
进一步地,第一齿轮61的模数大于第二齿轮71的模数。
进一步地,第一拨动部62位于第一齿轮61的外周侧,第二拨动部72位于第二齿轮71的内周侧。
进一步地,自转部包括旋转轴承和固定轴;旋转轴承设置于公转盘2上;旋转轴承可围绕自身的中心轴线进行旋转;固定轴设置于旋转轴承内,待镀膜工件安装于固定轴上;齿轮套设于固定轴的外周侧。
进一步地,公转盘2上开设有安装孔,旋转轴承可转动的安装于安装孔内。
进一步地,自转部还包括待镀膜工件夹具,待镀膜工件夹具设置于固定轴上;待镀膜工件夹具用于安装待镀膜工件。
进一步地,待镀膜工件为长条形,第一自转部31上安装的待镀膜工件在公转盘2的径向上延伸;
和/或,第二自转部32上安装的待镀膜工件延伸方向与公转盘2的径向相垂直。
本领域的技术人员容易理解的是,在不冲突的前提下,上述各有利方式可以自由地组合、叠加。
以上仅为本申请的较佳实施例而已,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。以上仅是本申请的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本申请的保护范围。
Claims (11)
1.一种转架装置,其特征在于,包括:
公转轴(1);
公转盘(2),所述公转盘(2)套设于所述公转轴(1)外,并可随着所述公转轴(1)进行旋转;
多个自转部,多个所述自转部设置于所述公转盘(2)上,多个所述自转部均可进行自转;且所述自转部用于安装待镀膜工件;所述自转部包括间隔设置的第一自转部(31)和第二自转部(32);所述第一自转部(31)与所述第二自转部(32)的初始转动位置不同;所述第一自转部(31)和所述第二自转部(32)的转动方向相反,且转动角速度相同;以所述第一自转部(31)的旋转中心与所述公转盘(2)的旋转中心的连线为第一径向;所述第二自转部(32)的旋转中心与所述公转盘(2)的旋转中心的连线为第二径向;所述第一自转部(31)上安装的待镀膜工件的延伸方向与第一径向的夹角为a;所述第二自转部(32)上安装的待镀膜工件延伸方向与第二径向的夹角为b;在所述自转部转动过程中,a≠b。
2.根据权利要求1所述的转架装置,其特征在于,所述转架装置还包括驱动部(4),所述驱动部(4)与所述公转轴(1)连接;所述驱动部(4)用于驱动所述公转轴(1)转动。
3.根据权利要求1所述的转架装置,其特征在于,所述第一自转部(31)上设置有第一齿轮(61);所述公转盘(2)上设置有与所述第一齿轮(61)相对应的第一拨动部(62);所述第一齿轮(61)与所述第一拨动部(62)相啮合;
和/或,所述第二自转部(32)上设置有第二齿轮(71),所述公转盘(2)上还设置于与所述第二齿轮(71)相对应的第二拨动部(72);所述第二齿轮(71)与所述第二拨动部(72)相啮合;
和/或,多个所述自转部围绕所述公转轴(1)的中心轴线在所述公转盘(2)上周向设置。
4.根据权利要求3所述的转架装置,其特征在于,所述第一拨动部(62)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h1;所述第二拨动部(72)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h2;所述第一齿轮(61)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h3;所述第二齿轮(71)距离所述公转盘(2)盘底的高度为h4;其中h1=h3;h2=h4;且h1≠h2。
5.根据权利要求3所述的转架装置,其特征在于,所述第一拨动部(62)围绕所述公转轴(1)线周向设置;
和/或,所述第二拨动部(72)围绕所述公转轴(1)线周向设置。
6.根据权利要求3所述的转架装置,其特征在于,所述第一拨动部(62)位于所述自转部的外周侧;
和/或,所述第二拨动部(72)位于所述自转部的内周侧。
7.根据权利要求3所述的转架装置,其特征在于,所述第一齿轮(61)与所述第二齿轮(71)的齿数相同、模数不同。
8.根据权利要求3所述的转架装置,其特征在于,所述自转部包括旋转轴承和固定轴;所述旋转轴承设置于所述公转盘(2)上;所述旋转轴承可随着自身的中心轴线进行旋转;所述固定轴设置于所述旋转轴承内,所述待镀膜工件安装于所述固定轴上;所述齿轮套设于所述固定轴的外周侧。
9.根据权利要求8所述的转架装置,其特征在于,所述公转盘(2)上开设有安装孔,所述旋转轴承可转动的安装于所述安装孔内。
10.根据权利要求8所述的转架装置,其特征在于,所述自转部还包括待镀膜工件夹具,所述待镀膜工件夹具设置于所述固定轴上;所述待镀膜工件夹具用于安装所述待镀膜工件。
11.根据权利要求1所述的转架装置,其特征在于,所述第一自转部(31)上安装的待镀膜工件在所述公转盘(2)的径向上延伸;
和/或,所述第二自转部(32)上安装的待镀膜工件延伸方向与所述公转盘(2)的径向相垂直。
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