CN213113477U - 一种真空镀膜机的靶挡板机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的靶挡板机构，包括转架驱动机构、同步传动机构、传动主轴、镀膜转架、挡板动力组件、小齿轮、半圆齿圈、活动轴套、第一扇形板、第二扇形板、弧形挡板及定位轴套，所述转架驱动机构通过同步传动机构与传动主轴底部连接，所述挡板动力组件通过小齿轮与半圆齿圈啮合连接。本实用新型的镀膜转架上可放置待镀膜的工件，当弧形挡板位于镀膜转架上工件的外侧时，可对工件进行遮挡，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，通过挡板动力组件带动弧形挡板旋转，以实现对工件的均匀镀膜；挡板动力组件采用齿轮啮合连接的方式带动弧形挡板转动，可提高弧形挡板转动的运行稳定性，避免发生卡住现象，降低设备故障率。

Description

一种真空镀膜机的靶挡板机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其涉及的是一种真空镀膜机的靶挡板机构。

背景技术

真空镀膜机根据镀膜工艺原理大概分为以下几种：真空蒸发镀膜机，真空磁控溅射镀膜机，多弧离子镀镀膜机等。其中真空磁控溅射镀膜机主要利用辉光放电将氩气离子撞击靶材表面，电浆中的阳离子会加速冲向基片的负极表面，这个冲击将使靶材的原子被弹出而沉积在基片上形成薄膜。

现有技术中，在真空镀膜机中，弧靶开始引弧时，由于弧靶表面通常带有杂质，且弧源未稳定，所以溅射出来的颗粒一般较大且带有杂质，若直接对工件进行镀膜，则无法得到纯净、均匀的膜层。因此，目前的真空镀膜机中一般设有靶挡板，弧靶开始引弧时，关上靶挡板，使其挡住工件，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，再打开靶挡板，对工件进行镀膜，从而使工件表面得到纯净、均匀的膜层。然而，现有的靶挡板一般为轨道式结构，即通过在真空镀膜机内设置弧形轨道，靶挡板沿着弧形轨道来回运行实现启闭，但在实际应用中，该结构的靶挡板占用空间较大，也易卡死，使得真空镀膜机的故障率较高，影响其生产效率。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种结构简单、占用空间小、运行稳定，故障率低的真空镀膜机的靶挡板机构。

本实用新型的技术方案如下：一种真空镀膜机的靶挡板机构，包括转架驱动机构、同步传动机构、传动主轴、镀膜转架、挡板动力组件、小齿轮、半圆齿圈、活动轴套、第一扇形板、第二扇形板、弧形挡板及定位轴套，所述传动主轴贯穿于镀膜转架中部，所述转架驱动机构通过同步传动机构与传动主轴底部连接，所述活动轴套设于传动主轴顶端，所述半圆齿圈设在活动轴套上，所述挡板动力组件通过小齿轮与半圆齿圈啮合连接，所述第一扇形板一端与活动轴套连接，所述第一扇形板另一端与弧形挡板顶部连接，所述定位轴套设在传动主轴底端，所述第二扇形板一端设有若干滚珠，所述滚珠抵接在定位轴套上，所述第二扇形板另一端与弧形挡板底部连接。

采用上述技术方案，所述的真空镀膜机的靶挡板机构中，所述镀膜转架包括公转底架、公转顶架及若干支撑杆、所述公转底架及公转顶架分别套设在传动主轴上，所述公转顶架位于公转底架上方，所述公转顶架与公转底架之间设有若干支撑杆。

采用上述各个技术方案，所述的真空镀膜机的靶挡板机构中，所述传动主轴的顶部末端设有轴承座，所述轴承座与活动轴套之间设有定位卡套。

采用上述各个技术方案，所述的真空镀膜机的靶挡板机构中，所述挡板动力组件包括第一伺服电机、第一减速机、联轴器及转轴，所述第一伺服电机的输出轴与第一减速机连接，所述第一减速机的输出轴通过联轴器与转轴顶端连接，所述转轴底端与小齿轮连接。

采用上述各个技术方案，所述的真空镀膜机的靶挡板机构中，所述转架驱动机构包括底座、第二伺服电机及第二减速机，所述第二减速机设在底座上，所述第二伺服电机的输出轴与第二减速机连接，所述第二减速机的输出轴通过同步传动机构与传动主轴底部连接。

采用上述各个技术方案，所述的真空镀膜机的靶挡板机构中，所述同步传动机构包括主动带轮、从动带轮及传动带，所述主动带轮与第二减速机的输出轴连接，所述从动带轮与传动主轴底部连接，所述主动带轮通过传动带与从动带轮连接。

采用上述各个技术方案，本实用新型的镀膜转架上可放置待镀膜的工件，当弧形挡板位于镀膜转架上工件的外侧时，可对工件进行遮挡，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，通过挡板动力组件带动弧形挡板旋转，以实现对工件的均匀镀膜；挡板动力组件采用齿轮啮合连接的方式带动弧形挡板转动，可提高弧形挡板转动的运行稳定性，有效避免了弧形挡板发生卡住的现象，降低设备的故障率，提高工件镀膜的生产效率；整体结构简单、占用空间小、运行稳定、故障率低，可推广使用。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的另一视角整体结构示意图；

图3为本实用新型的挡板动力组件结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。

如图1至图3所示，一种真空镀膜机的靶挡板机构，包括转架驱动机构1、同步传动机构2、传动主轴3、镀膜转架4、挡板动力组件51、小齿轮52、半圆齿圈53、活动轴套54、第一扇形板55、第二扇形板56、弧形挡板57及定位轴套58，所述传动主轴3贯穿于镀膜转架4中部，所述转架驱动机构1通过同步传动机构2与传动主轴3底部连接，所述活动轴套54设于传动主轴3顶端，所述半圆齿圈53设在活动轴套54上，所述挡板动力组件51通过小齿轮52与半圆齿圈53啮合连接，所述第一扇形板55一端与活动轴套54连接，所述第一扇形板55另一端与弧形挡板57顶部连接，所述定位轴套58设在传动主轴3底端，所述第二扇形板56一端设有若干滚珠561，所述滚珠561抵接在定位轴套58上，所述第二扇形板56另一端与弧形挡板57底部连接。本实施例中，转架驱动机构1可通过同步传动机构2带动传动主轴3转动，由于镀膜转架4套设在传动主轴3上，进而可带动镀膜转4架实现旋转，镀膜转架4上可放置待镀膜的工件，当弧形挡板57位于镀膜转架4上工件的外侧时，可对工件进行遮挡，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，挡板动力组件51通过齿轮传动的方式带动弧形挡板57旋转，以实现对工件的均匀镀膜。具体的，挡板动力组件51可带动小齿轮52进行转动，由于小齿轮52与半圆齿圈53通过啮合连接，且半圆齿圈53设在活动轴套54上，可带动活动轴套54在传动主轴3上实现转动，进而带动与第一扇形板55连接的弧形挡板57实现旋转，弧形挡板57在旋转过程中，第二扇形板56上的滚珠561可与定位轴套58上实现滑动，进而提高弧形挡板57的旋转稳定性。

如图1所示，进一步的，所述镀膜转架4包括公转底架41、公转顶架42及若干支撑杆43、所述公转底架41及公转顶架42分别套设在传动主轴3上，所述公转顶架42位于公转底架41上方，所述公转顶架42与公转底架41之间设有若干支撑杆43。本实施例中，镀膜转架4可随着传动主轴3实现转动，支撑杆43的设置，可提高公转底架41与公转顶架42之间的连接稳定性。

如图1及图3所示，进一步的，所述挡板动力组件51包括第一伺服电机511、第一减速机512、联轴器513及转轴514，所述第一伺服电机511的输出轴与第一减速机512连接，所述第一减速机512的输出轴通过联轴器513与转轴514顶端连接，所述转轴514底端与小齿轮52连接。本实施例中，第一伺服电机511为带动弧形挡板57旋转的动力装置，第一减速机512可降低第一伺服电机511的转速并增大扭矩，第一减速机512的输出轴通过联轴器513与转轴514连接，转轴514底端与小齿轮52连接，当小齿轮52转动时，可通过半圆齿圈53带动活动轴套54实现转动。

如图1所示，进一步的，所述传动主轴3的顶部末端设有轴承座6，所述轴承座6与活动轴套54之间设有定位卡套59。本实施例中，轴承座6的设置，可提高传动主轴3的转动柔顺性，定位卡套59的设置，可防止活动轴套54在传动主轴3上发生轴向窜位。

如图1所示，进一步的，所述转架驱动机构1包括底座11、第二伺服电机12及第二减速机13，所述第二减速机13设在底座11上，所述第二伺服电机12的输出轴与第二减速机13连接，所述第二减速机13的输出轴通过同步传动机构2与传动主轴3底部连接。本实施例中，第二伺服电机12为带动传动主轴3转动的动力装置，第二减速机13可降低第二伺服电机12的转速并增大扭矩，以带动传动主轴3上的镀膜转架4实现旋转。

如图1所示，进一步的，所述同步传动机构2包括主动带轮21、从动带轮22及传动带23，所述主动带轮21与第二减速机13的输出轴连接，所述从动带轮22与传动主轴3底部连接，所述主动带轮21通过传动带23与从动带轮22连接。本实施例中，第二减速机13的输出轴可带动主动带轮21旋转，主动带轮21通过传动带23的传递作用，进而带动与从动带轮22连接的传动主轴3实现转动。

采用上述各个技术方案，本实用新型的镀膜转架上可放置待镀膜的工件，当弧形挡板位于镀膜转架上工件的外侧时，可对工件进行遮挡，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，通过挡板动力组件带动弧形挡板旋转，以实现对工件的均匀镀膜；挡板动力组件采用齿轮啮合连接的方式带动弧形挡板转动，可提高弧形挡板转动的运行稳定性，有效避免了弧形挡板发生卡住的现象，降低设备的故障率，提高工件镀膜的生产效率；整体结构简单、占用空间小、运行稳定、故障率低，可推广使用。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：包括转架驱动机构、同步传动机构、传动主轴、镀膜转架、挡板动力组件、小齿轮、半圆齿圈、活动轴套、第一扇形板、第二扇形板、弧形挡板及定位轴套，所述传动主轴贯穿于镀膜转架中部，所述转架驱动机构通过同步传动机构与传动主轴底部连接，所述活动轴套设于传动主轴顶端，所述半圆齿圈设在活动轴套上，所述挡板动力组件通过小齿轮与半圆齿圈啮合连接，所述第一扇形板一端与活动轴套连接，所述第一扇形板另一端与弧形挡板顶部连接，所述定位轴套设在传动主轴底端，所述第二扇形板一端设有若干滚珠，所述滚珠抵接在定位轴套上，所述第二扇形板另一端与弧形挡板底部连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：所述镀膜转架包括公转底架、公转顶架及若干支撑杆、所述公转底架及公转顶架分别套设在传动主轴上，所述公转顶架位于公转底架上方，所述公转顶架与公转底架之间设有若干支撑杆。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：所述传动主轴的顶部末端设有轴承座，所述轴承座与活动轴套之间设有定位卡套。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：所述挡板动力组件包括第一伺服电机、第一减速机、联轴器及转轴，所述第一伺服电机的输出轴与第一减速机连接，所述第一减速机的输出轴通过联轴器与转轴顶端连接，所述转轴底端与小齿轮连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：所述转架驱动机构包括底座、第二伺服电机及第二减速机，所述第二减速机设在底座上，所述第二伺服电机的输出轴与第二减速机连接，所述第二减速机的输出轴通过同步传动机构与传动主轴底部连接。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机的靶挡板机构，其特征在于：所述同步传动机构包括主动带轮、从动带轮及传动带，所述主动带轮与第二减速机的输出轴连接，所述从动带轮与传动主轴底部连接，所述主动带轮通过传动带与从动带轮连接。

Images