CN208038548U - 一种耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备 - Google Patents

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刘忠林
毕凯
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Abstract

一种耐高温承重工件转动架,通过在夹具柱的下方设置支撑件,支撑件上设有支撑块,在支撑块与夹具柱之间设置硬质合金球,硬质合金球的材料为YG6钨钢,使得夹具柱有了支撑件及硬质合金球的支撑,其可承受的重量大大增加,避免了夹具柱或转盘变形损坏,由于硬质合金球可耐高温,在高温环境下不易软化而与支撑块融合。本实用新型还提供一种及纳米材料制作设备。

Description

一种耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备
技术领域
本实用新型涉及纳米材料制作领域,特别是一种耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备。
背景技术
溅射法制作纳米材料的方式有:磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。
磁控溅射制作纳米材料可用来对放置在夹具上的工件进行镀膜,夹具设置于转盘上,夹具、工件与转盘一起放置于真空室中,镀膜时转盘带动夹具及工件一起缓慢转动,从而对工件实现全方位的镀膜。由于真空室内温度较高,若夹具上的工件过多过重,将可能导致夹具变形损坏,且可能从转盘上脱落。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种能有效支撑夹具及工件、承重较大且可耐高温的耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备,以解决上述问题。
一种耐高温承重工件转动架,位于一壳体中,所述耐高温承重工件转动架包括驱动机构、转轴、轴承套、轴承、转盘、若干夹具柱、支撑件及若干硬质合金球,所述转轴的第一端与驱动机构连接,所述轴承固定设置于轴承套上以用于转动支撑转轴,所述转盘与转轴的第二端同轴心固定连接,所述转盘上沿周向设有若干通孔,所述转盘的通孔内设有小轴承,所述夹具柱穿过转盘的通孔及小轴承,所述支撑件与转盘的底部连接,所述支撑件上设有支撑块,所述硬质合金球位于支撑块与夹具柱之间,所述硬质合金球的材料为YG6钨钢。
进一步地,所述驱动机构包括电机、传动带及同步带轮,电机通过传动带与同步带轮连接,所述同步带轮与转轴的第一端同轴心固定连接。
进一步地,还包括大齿轮及若干小齿轮,所述小齿轮固定设置于夹具柱穿过转盘的部分上,所述大齿轮的中部设有开口供转轴穿过,且大齿轮与轴承套固定连接,所述小齿轮与大齿轮啮合。
进一步地,所述支撑块的中部设有半球形的第一凹槽,所述夹具柱的端部对应地设有半球形的第二凹槽,所述硬质合金球位于第一凹槽中。
进一步地,所述支撑块沿第一凹槽的中心方向还开设有间隙。
进一步地,所述支撑块的两侧还分别设有挡板。
进一步地,所述轴承及小轴承的材料为石墨。
进一步地,所述转轴的外侧还转动连接有电刷,所述电刷上设有电位接头。
一种纳米材料制作设备,具有如上所述的耐高温承重工件转动架。
与现有技术相比,本实用新型的耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备通过在夹具柱的下方设置支撑件,支撑件上设有支撑块,在支撑块与夹具柱之间设置硬质合金球,硬质合金球的材料为YG6钨钢,使得夹具柱有了支撑件及硬质合金球的支撑,其可承受的重量大大增加,避免了夹具柱变形损坏,由于硬质合金球可耐高温,在高温环境下不易软化而与支撑块融合。
附图说明
以下结合附图描述本实用新型的实施例,其中:
图1为本实用新型提供的耐高温承重工件转动架的侧面剖视图。
图2为本实用新型提供的耐高温承重工件转动架的部分立体示意图。
图3为图1中的A部分的放大示意图。
图4为图3中的支撑件的示意图。
图5为图1中的B部分的放大示意图。
具体实施方式
以下基于附图对本实用新型的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是,此处对本实用新型实施例的说明并不用于限定本实用新型的保护范围。
请参考图1及图2,其为本实用新型提供的一种耐高温承重工件转动架,部分地位于真空室的壳体300内,包括驱动机构、转轴120、轴承套130、轴承220、转盘140、若干夹具柱150、若干小齿轮160、大齿轮170、支撑件180、若干硬质合金球190及转盘罩210。其中转轴120及轴承套130部分地位于壳体300外,驱动机构位于壳体300外,其他部件位于壳体300内。
本实施方式中,驱动机构包括电机、传动带及同步带轮110,电机通过传动带与同步带轮110连接。
转轴120的第一端与同步带轮110同轴心固定连接,轴承220用于转动支撑转轴120,轴承220固定设置于轴承套130上,转盘140与转轴120的第二端同轴心固定连接,转盘140上沿周向靠近圆周的位置设有若干通孔,若干夹具柱150的第一端穿过转盘140的通孔,转盘140的通孔内设有小轴承152,用于转动支撑夹具柱150。小齿轮160固定设置于夹具柱150穿过转盘140的部分,大齿轮170的中部设有开口供转轴120穿过,且大齿轮170与轴承套130固定连接。大齿轮170固定,小齿轮160与大齿轮170啮合,当驱动机构驱动转轴120及转盘140转动时,若干夹具柱150也跟随转盘140一起进行公转,在小齿轮160与大齿轮170的啮合作用下,夹具柱150被动地绕自身轴线进行自转,如此使得设置在夹具柱150的工件在随转盘140公转的同时,还随夹具柱150进行自转,如此使得工件进行镀膜时更加全方位且更快速。轴承套130与壳体300连接。
请参考图3及图4,硬质合金球190设置于支撑件180与夹具柱150之间。
支撑件180固定设置于转盘140的下方,包括垂直连接的支撑板181及连接板182,连接板182与转盘140的底部连接。
支撑板181上设有支撑块183,支撑块183的中部设有半球形的第一凹槽184,夹具柱150的端部对应地设有半球形的第二凹槽,硬质合金球190位于第一凹槽184中,夹具柱150通过第二凹槽与硬质合金球190接触。如此支撑板181通过硬质合金球190可以有效支撑夹具柱150,且使得夹具柱150自转时阻力较小。
本实施方式中,支撑块183沿第一凹槽184的中心方向还开设有间隙187,如此使得支撑块183具有一定的弹性,如此降低了对硬质合金球190的尺寸精度要求,减少了硬质合金球190的制作难度。
支撑块183的两侧还分别设有挡板185,用于防止硬质合金球190滚出。
连接板182朝向小齿轮160的侧面设有限位槽186,小齿轮160部分地位于限位槽186中,以避免杂物落入小齿轮160上导致小齿轮160损伤。
硬质合金球190的材料为YG6钨钢,其具有非常好的强度、冲击韧度、耐磨性及耐高温。本实施方式中,镀膜时真空室的壳体300内的温度为600-800℃,硬质合金球190的熔点温度大于800℃,本实施方式中为1000℃。
夹具柱150由于有支撑件180及硬质合金球190的支撑,其可承受的重量大大增加,避免了夹具柱150变形损坏。
请参考图5,轴承220及小轴承152的材料均为石墨,其具有较好的稳定性,耐高温及较好的润滑性。
转轴120的外周还设有电刷230,电刷230与转轴120转动连接,电刷230上设有电位接头240,由于转轴120通过转盘140、夹具柱150与工件连接,因此当电位接头240接入适当的电位后,夹具柱150与工件具有对应的电位,便于电镀时离子的吸附。
转盘罩210从上方及侧方覆盖住转盘140,可大大减少原子进入到转盘140与小齿轮160、大齿轮170之间的区域并堆积,使得各个部件的转动不受原子堆积的影响。
本实用新型还提供一种具有上述耐高温承重工件转动架的纳米材料制作设备。
与现有技术相比,本实用新型的耐高温承重工件转动架及纳米材料制作设备通过在夹具柱150的下方设置支撑件180,支撑件180上设有支撑块183,在支撑块183与夹具柱150之间设置硬质合金球190,硬质合金球190的材料为YG6钨钢,使得夹具柱150有了支撑件180及硬质合金球190的支撑,其可承受的重量大大增加,避免了夹具柱150变形损坏,且避免了小齿轮与大齿轮脱离,进而使得夹具柱150从转盘140上脱落,由于硬质合金球190可耐高温,在高温环境下不易软化而与支撑块183融合。
以上仅为本实用新型的较佳实施例,并不用于局限本实用新型的保护范围,任何在本实用新型精神内的修改、等同替换或改进等,都涵盖在本实用新型的权利要求范围内。

Claims (9)

1.一种耐高温承重工件转动架,位于一壳体中,其特征在于:所述耐高温承重工件转动架包括驱动机构、转轴、轴承套、轴承、转盘、若干夹具柱、支撑件及若干硬质合金球,所述转轴的第一端与驱动机构连接,所述轴承固定设置于轴承套上以用于转动支撑转轴,所述转盘与转轴的第二端同轴心固定连接,所述转盘上沿周向设有若干通孔,所述转盘的通孔内设有小轴承,所述夹具柱穿过转盘的通孔及小轴承,所述支撑件与转盘的底部连接,所述支撑件上设有支撑块,所述硬质合金球位于支撑块与夹具柱之间,所述硬质合金球的材料为YG6钨钢。
2.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述驱动机构包括电机、传动带及同步带轮,电机通过传动带与同步带轮连接,所述同步带轮与转轴的第一端同轴心固定连接。
3.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:还包括大齿轮及若干小齿轮,所述小齿轮固定设置于夹具柱穿过转盘的部分上,所述大齿轮的中部设有开口供转轴穿过,且大齿轮与轴承套固定连接,所述小齿轮与大齿轮啮合。
4.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述支撑块的中部设有半球形的第一凹槽,所述夹具柱的端部对应地设有半球形的第二凹槽,所述硬质合金球位于第一凹槽中。
5.如权利要求4所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述支撑块沿第一凹槽的中心方向还开设有间隙。
6.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述支撑块的两侧还分别设有挡板。
7.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述轴承及小轴承的材料为石墨。
8.如权利要求1所述的耐高温承重工件转动架,其特征在于:所述转轴的外侧还转动连接有电刷,所述电刷上设有电位接头。
9.一种纳米材料制作设备,其特征在于:具有如上述权利要求1-8任一项所述的耐高温承重工件转动架。
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