CN117286456A - 一种磁性材料真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种磁性材料真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体的右端铰接有密封箱门，所述箱体内顶部滑动连接有滑板，所述滑板的下端左右两侧均固定连接有竖板，两块所述竖板相对的侧壁转动连接有同一个滑动套筒，所述滑动套筒滑动连接有转轴，所述转轴的一端转动贯穿竖板和箱体设置，所述滑动套筒上设有用于对磁性材料进行放置的放置机构，所述箱体内固定连接有限位杆，所述限位杆外滑动套设有蒸发舟，所述箱体内设有用于对蒸发舟进行驱动的驱动机构，所述驱动机构和转轴之间通过相关机构传动连接。本发明可以同时对多个磁性材料进行同时镀膜，提高了镀膜效率，而且镀膜的均匀性较好。
Description
技术领域
本发明涉及真空应用技术领域，尤其涉及一种磁性材料真空镀膜设备。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
现有的真空镀膜设备在对磁性材料进行镀膜时，每一个镀膜设备只能同时对一个磁性材料进行镀膜，而且镀膜时，由于蒸发舟的位置固定，在镀膜的过程中，磁性材料的下端面相对于上端面来说，镀层会略厚，而且磁性材料位于蒸发舟两侧的部分也会出现镀膜较薄的情况，对磁性材料进行镀膜时的均匀性较差。
为此，我们提出来一种磁性材料真空镀膜设备解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中镀膜设备在对磁性材料进行镀膜时，一方面镀膜的效率较低，另一方面，镀膜的均匀性较差的问题，而提出的一种磁性材料真空镀膜设备。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种磁性材料真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体的右端铰接有密封箱门，所述箱体内顶部滑动连接有滑板，所述滑板的下端左右两侧均固定连接有竖板，两块所述竖板相对的侧壁转动连接有同一个滑动套筒，所述滑动套筒滑动连接有转轴，所述转轴的一端转动贯穿竖板和箱体设置，所述滑动套筒上设有用于对磁性材料进行放置的放置机构，所述箱体内固定连接有限位杆，所述限位杆外滑动套设有蒸发舟，所述箱体内设有用于对蒸发舟进行驱动的驱动机构，所述驱动机构和转轴之间通过相关机构传动连接。
优选地，所述放置机构包括两块固定套设在滑动套筒外的转盘，两块所述转盘之间转动连接有多根安装杆，两块所述转盘外均设有环形槽，所述多根所述安装杆的两端分别转动贯穿两块转盘并与两个环形槽内侧壁转动连接，位于同一个环形槽内的多根安装杆之间通过第一传动机构传动连接，多根所述安装杆上均设有两个抵紧机构。
优选地，所述第一传动机构包括多个齿轮和传动环，所述传动环与环形槽内侧壁转动连接，多个所述齿轮分别与多根安装杆同轴固定连接，所述传动环的内侧壁上设有与多个齿轮均啮合连接的齿槽，所述传动环的上端与滑板固定连接。
优选地，所述抵紧机构包括滑动套设在安装杆外的抵紧环，所述抵紧环的侧壁固定连接有两块固定板，两块所述固定板靠近安装杆的一侧设有抵紧槽，所述抵紧槽内滑动连接有T型板，所述T型板位于抵紧槽内的一端固定连接有拉杆，所述拉杆远离T型板的一端滑动贯穿固定板并固定连接有拉板，所述拉杆外套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与抵紧槽内顶部和T型板固定连接。
优选地，所述驱动机构包括与箱体内侧壁转动连接的圆盘，所述圆盘的上端非圆心处转动连接有转动块，所述蒸发舟的下端设有滑槽，所述转动块与滑槽滑动连接，所述箱体转动贯穿设有转动轴，所述转动轴的上端与圆盘同轴固定连接。
优选地，所述相关机构包括设置在箱体外的传动轴，所述传动轴与转动轴之间通过第二传动机构传动连接，所述传动轴与转轴之间通过锥齿轮组传动连接，所述传动轴通过两个轴承座与箱体外侧壁转动连接，所述箱体外固定连接有电机，所述电机的驱动轴与传动轴同轴固定连接。
优选地，所述第二传动机构包括第一皮带轮和第二皮带轮，所述第一皮带轮与传动轴同轴固定连接，所述第二皮带轮与转动轴同轴固定连接，所述第一皮带轮和第二皮带轮之间通过皮带传动连接。
优选地，所述锥齿轮组包括相互啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与传动轴同轴固定连接，所述第二锥齿轮与转轴同轴固定连接。
优选地，所述轴承座包括内圈和外圈，所述内圈与传动轴同轴固定连接，所述外圈与箱体外侧壁固定连接，所述内圈和外圈转动连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1、通过设置放置机构，通过设置多根安装杆，在进行真空镀膜时，可以将多个磁性材料安装放置在多根安装杆上，然后通过多个抵紧环将磁性材料抵紧固定，即可同时对多个磁性材料进行镀膜，提高了对磁性材料的镀膜效率；
2、通过设置驱动机构，通过电机带动传动轴转动，传动轴带动转动轴转动，转动轴带动圆盘转动，圆盘通过转动块带动蒸发舟左右往复移动，与此同时，传动轴带动转轴转动，转轴带动滑动套筒转动，滑动套筒带动两块转盘转动，两块转盘带动多根安装杆以滑动套筒的轴线为中心公转，与此同时，多个齿轮在传动环的作用下自转，多个齿轮带动多根安装杆自转，即可带动磁性材料自转，在进行镀膜时，没有上下位置之分，即可对磁性材料的各个部位进行镀膜，镀膜的效果较好，镀膜后，各个位置的均匀性较好。
本发明可以同时对多个磁性材料进行同时镀膜，提高了镀膜效率，而且镀膜的均匀性较好。
附图说明
图1为本发明提出的一种磁性材料真空镀膜设备的正面结构透视图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为本发明提出的一种磁性材料真空镀膜设备的俯视结构透视图；
图4为本发明提出的一种磁性材料真空镀膜设备中转盘的结构立体图；
图5为本发明提出的一种磁性材料真空镀膜设备的正面展开结构透视图；
图6为本发明提出的一种磁性材料真空镀膜设备中T型板的结构立体图。
图中：1箱体、2密封箱门、3滑板、4竖板、5滑动套筒、6转轴、7放置机构、8限位杆、9蒸发舟、10驱动机构、11相关机构、12转盘、13安装杆、14环形槽、15第一传动机构、16抵紧机构、17齿轮、18传动环、19抵紧环、20固定板、21抵紧槽、22T型板、23拉杆、24拉板、25弹簧、26圆盘、27转动块、28滑槽、29转动轴、30传动轴、31第二传动机构、32锥齿轮组、33轴承座、34电机、35第一皮带轮、36第二皮带轮、37第一锥齿轮、38第二锥齿轮。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-6，一种磁性材料真空镀膜设备，包括箱体1，箱体1的右端铰接有密封箱门2，箱体1内顶部滑动连接有滑板3，滑板3的下端左右两侧均固定连接有竖板4，两块竖板4相对的侧壁转动连接有同一个滑动套筒5，滑动套筒5滑动连接有转轴6，转轴6的一端转动贯穿竖板4和箱体1设置，滑动套筒5上设有用于对磁性材料进行放置的放置机构7，具体的，放置机构7包括两块固定套设在滑动套筒5外的转盘12，需要说明的是，转盘12的侧壁上设有环形滑槽，环形滑槽内滑动连接有弧形滑块，弧形滑块与竖板4固定连接，两块转盘12之间转动连接有多根安装杆13，两块转盘12外均设有环形槽14，多根安装杆13的两端分别转动贯穿两块转盘12并与两个环形槽14内侧壁转动连接，位于同一个环形槽14内的多根安装杆13之间通过第一传动机构15传动连接，值得一提的是，第一传动机构15包括多个齿轮17和传动环18，传动环18与环形槽14内侧壁转动连接。
本发明中，多个齿轮17分别与多根安装杆13同轴固定连接，传动环18的内侧壁上设有与多个齿轮17均啮合连接的齿槽，传动环18的上端与滑板3固定连接，多根安装杆13上均设有两个抵紧机构16，需要注意的是，抵紧机构16包括滑动套设在安装杆13外的抵紧环19，抵紧环19的侧壁固定连接有两块固定板20，两块固定板20靠近安装杆13的一侧设有抵紧槽21，抵紧槽21内滑动连接有T型板22，T型板22位于抵紧槽21内的一端固定连接有拉杆23，拉杆23远离T型板22的一端滑动贯穿固定板20并固定连接有拉板24，拉杆23外套设有弹簧25，弹簧25的两端分别与抵紧槽21内顶部和T型板22固定连接。
本发明中，箱体1内固定连接有限位杆8，限位杆8外滑动套设有蒸发舟9，箱体1内设有用于对蒸发舟9进行驱动的驱动机构10，需要说明的是，驱动机构10包括与箱体1内侧壁转动连接的圆盘26，圆盘26的上端非圆心处转动连接有转动块27，蒸发舟9的下端设有滑槽28，转动块27与滑槽28滑动连接，箱体1转动贯穿设有转动轴29，转动轴29的上端与圆盘26同轴固定连接，驱动机构10和转轴6之间通过相关机构11传动连接，需要注意的是，相关机构11包括设置在箱体1外的传动轴30，传动轴30与转动轴29之间通过第二传动机构31传动连接，进一步的，第二传动机构31包括第一皮带轮35和第二皮带轮36，第一皮带轮35与传动轴30同轴固定连接。
本发明中，第二皮带轮36与转动轴29同轴固定连接，第一皮带轮35和第二皮带轮36之间通过皮带传动连接，传动轴30与转轴6之间通过锥齿轮组32传动连接，需要说明的是，锥齿轮组32包括相互啮合的第一锥齿轮37和第二锥齿轮38，第一锥齿轮37与传动轴30同轴固定连接，第二锥齿轮38与转轴6同轴固定连接，传动轴30通过两个轴承座33与箱体1外侧壁转动连接，值得一提的是，轴承座33包括内圈和外圈，内圈与传动轴30同轴固定连接，外圈与箱体1外侧壁固定连接，内圈和外圈转动连接，箱体1外固定连接有电机34，需要说明的是，电机34可采用型号为Y315M-10的驱动电机，且已于外部电源电性连接，为现有技术，具体不做赘述，电机34的驱动轴与传动轴30同轴固定连接。
本发明中，打开密封箱门2，然后拉出滑板3至合适位置，将磁性材料分别安装在多根安装杆13上，并通过多个抵紧环19将磁性材料抵紧固定，然后将滑板3推入箱体1内，关闭密封箱门2，通过电机34的驱动轴带动传动轴30转动，传动轴30带动第一皮带轮35转动，第一皮带轮35通过皮带带动第二皮带轮36带动转动轴29转动，转动轴29带动圆盘26转动，圆盘26通过转动块27带动蒸发舟9左右往复移动，与此同时，传动轴30带动第一锥齿轮37转动，第一锥齿轮37带动第二锥齿轮38转动，第二锥齿轮38带动转轴6转动，转轴6带动滑动套筒5转动，滑动套筒5带动两块转盘12转动，两块转盘12带动多根安装杆13以滑动套筒5的轴线为中心公转，与此同时，多个齿轮17在传动环18的作用下自转，多个齿轮17带动多根安装杆13自转，即可带动磁性材料自转，在进行镀膜时，没有上下位置之分，即可对磁性材料的各个部位进行镀膜。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种磁性材料真空镀膜设备，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的右端铰接有密封箱门(2)，所述箱体(1)内顶部滑动连接有滑板(3)，所述滑板(3)的下端左右两侧均固定连接有竖板(4)，两块所述竖板(4)相对的侧壁转动连接有同一个滑动套筒(5)，所述滑动套筒(5)滑动连接有转轴(6)，所述转轴(6)的一端转动贯穿竖板(4)和箱体(1)设置，所述滑动套筒(5)上设有用于对磁性材料进行放置的放置机构(7)，所述箱体(1)内固定连接有限位杆(8)，所述限位杆(8)外滑动套设有蒸发舟(9)，所述箱体(1)内设有用于对蒸发舟(9)进行驱动的驱动机构(10)，所述驱动机构(10)和转轴(6)之间通过相关机构(11)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述放置机构(7)包括两块固定套设在滑动套筒(5)外的转盘(12)，两块所述转盘(12)之间转动连接有多根安装杆(13)，两块所述转盘(12)外均设有环形槽(14)，所述多根所述安装杆(13)的两端分别转动贯穿两块转盘(12)并与两个环形槽(14)内侧壁转动连接，位于同一个环形槽(14)内的多根安装杆(13)之间通过第一传动机构(15)传动连接，多根所述安装杆(13)上均设有两个抵紧机构(16)。
3.根据权利要求2所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述第一传动机构(15)包括多个齿轮(17)和传动环(18)，所述传动环(18)与环形槽(14)内侧壁转动连接，多个所述齿轮(17)分别与多根安装杆(13)同轴固定连接，所述传动环(18)的内侧壁上设有与多个齿轮(17)均啮合连接的齿槽，所述传动环(18)的上端与滑板(3)固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述抵紧机构(16)包括滑动套设在安装杆(13)外的抵紧环(19)，所述抵紧环(19)的侧壁固定连接有两块固定板(20)，两块所述固定板(20)靠近安装杆(13)的一侧设有抵紧槽(21)，所述抵紧槽(21)内滑动连接有T型板(22)，所述T型板(22)位于抵紧槽(21)内的一端固定连接有拉杆(23)，所述拉杆(23)远离T型板(22)的一端滑动贯穿固定板(20)并固定连接有拉板(24)，所述拉杆(23)外套设有弹簧(25)，所述弹簧(25)的两端分别与抵紧槽(21)内顶部和T型板(22)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动机构(10)包括与箱体(1)内侧壁转动连接的圆盘(26)，所述圆盘(26)的上端非圆心处转动连接有转动块(27)，所述蒸发舟(9)的下端设有滑槽(28)，所述转动块(27)与滑槽(28)滑动连接，所述箱体(1)转动贯穿设有转动轴(29)，所述转动轴(29)的上端与圆盘(26)同轴固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述相关机构(11)包括设置在箱体(1)外的传动轴(30)，所述传动轴(30)与转动轴(29)之间通过第二传动机构(31)传动连接，所述传动轴(30)与转轴(6)之间通过锥齿轮组(32)传动连接，所述传动轴(30)通过两个轴承座(33)与箱体(1)外侧壁转动连接，所述箱体(1)外固定连接有电机(34)，所述电机(34)的驱动轴与传动轴(30)同轴固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述第二传动机构(31)包括第一皮带轮(35)和第二皮带轮(36)，所述第一皮带轮(35)与传动轴(30)同轴固定连接，所述第二皮带轮(36)与转动轴(29)同轴固定连接，所述第一皮带轮(35)和第二皮带轮(36)之间通过皮带传动连接。
8.根据权利要求6所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述锥齿轮组(32)包括相互啮合的第一锥齿轮(37)和第二锥齿轮(38)，所述第一锥齿轮(37)与传动轴(30)同轴固定连接，所述第二锥齿轮(38)与转轴(6)同轴固定连接。
9.根据权利要求6所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述轴承座(33)包括内圈和外圈，所述内圈与传动轴(30)同轴固定连接，所述外圈与箱体(1)外侧壁固定连接，所述内圈和外圈转动连接。
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Cited By (2)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Application publication date: 20231226 |
|
| WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |