CN215560631U - 一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，涉及真空镀膜技术领域，为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。所述转盘的上方安装有支撑杆，所述支撑杆的上方安装有保持架，所述转盘的安装有下连接座，所述下连接座的下端设置有传动轴，所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮，所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮，所述第四齿轮的下方安装有驱动电机，所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座，所述支撑杆的外侧安装有工件架。

Description

一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术。真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来，溅射到被镀物体的表面上，从而形成一层薄膜。回转机构是真空镀膜设备上必不可少的机构之一。通过回转机构带动被镀物体旋转，能使镀膜材料很好地溅射在被镀物体表面。通过回转机构的使用，有效提高了真空镀膜设备的工作效率。

但是，现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，以解决上述背景技术中提出的回转机构通常悬置于镀膜设备内部，导致安装的不够稳定，长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，包括转盘，所述转盘的上方安装有支撑杆，所述支撑杆的上方安装有保持架，且支撑杆与转盘和保持架焊接连接，所述转盘的安装有下连接座，所述下连接座的下端设置有传动轴，所述传动轴下端的外部安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧安装有第二齿轮，所述第二齿轮的上方安装有第三齿轮，所述第三齿轮的另一侧安装有第四齿轮，所述第四齿轮的下方安装有驱动电机，且驱动电机的输出端与第四齿轮固定连接，所述保持架包括内撑架、外撑架、通槽、滚槽、滚珠和上连接座，所述支撑杆的外侧安装有工件架，且工件架安装有五个。

优选的，所述外撑架设置于内撑架的外侧，并与内撑架为一体结构，所述通槽设置于外撑架的内部，且通槽设置有五个，所述滚槽设置于通槽的外侧，所述滚珠设置于通槽的内部，并与通槽间隙连接，所述滚珠的一端延伸至通槽的外部，所述工件架的上端延伸至通槽的内部，并与滚珠贴合连接，所述上连接座设置于内撑架的顶端。

优选的，所述转盘的内部设置有大安装槽，所述大安装槽的外侧设置有小安装槽，且小安装槽设置于五个，所述工件架的下端延伸至小安装槽的内部，并安装有第六齿轮。

优选的，所述下连接座的上端设置有连接轴，且连接轴延伸至大安装槽的内部，并安装有第五齿轮，所述第五齿轮与五个第六齿轮均啮合连接，所述连接轴与转盘焊接连接。

优选的，所述第一齿轮与第二齿轮啮合连接，所述第三齿轮与第四齿轮啮合连接，所述第二齿轮和第三齿轮之间的内部设置有连接杆。

优选的，所述工件架与转盘通过轴承转动连接，所述下连接座与转盘焊接连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过转盘的上方设置支撑杆，支撑杆的顶部安装保持架，保持架的顶端设置上连接座，转盘的底部设置下连接座，通过上连接座和下连接座实现与真空镀膜设备上下端的连接，由此可避免回转机构悬置于真空镀膜设备内部，通过保持架的设置，可避免工件架悬置设置，由此可提高回转机构整体以及工件架安装的稳定性，进而能让回转机构和工件架在旋转过程中更加稳定，可提高镀膜质量。

2、本实用新型通过保持架的内部设置有与工件架上端连接的通槽，通槽的外侧设置三个依次分布的滚槽，滚槽的内部安装滚珠，三个滚珠包裹在工件架上端的外部，当工件架进行旋转时，滚珠受力进行滚动，进而将原有的滑动摩擦转换为滚动摩擦，有效降低了摩擦力，使工件架不易磨损，同时三个滚珠对工件架进行限位，利于工件架进行稳定的自转。

3、本实用新型通过第一齿轮和第二齿轮的啮合以及第三齿轮和第四齿轮的啮合，实现驱动电机输出端与传动轴的连接，通过多个齿轮的啮合作用，可提高传动的稳定性，进而提高回转机构运行的稳定性，通过工件架下端的第六齿轮与连接轴的第五齿轮啮合连接，当驱动电机驱动下连接座旋转时，可实现回转机构整体的公转，再通过第五齿轮和第六齿轮啮合作用实现传动，进而实现工件架单独的自转，由此可提高镀膜的均匀性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的转盘的内部结构示意图；

图3为本实用新型的保持架的剖视图。

图中：1、转盘；2、保持架；21、内撑架；22、外撑架；23、通槽；24、滚槽；25、滚珠；26、上连接座；3、支撑杆；4、工件架；5、下连接座；51、传动轴；52、连接轴；6、第一齿轮；7、第二齿轮；8、第三齿轮；9、连接杆；10、第四齿轮；11、驱动电机；12、大安装槽；13、小安装槽；14、第五齿轮；15、第六齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，包括转盘1，转盘1的上方安装有支撑杆3，支撑杆3的上方安装有保持架2，且支撑杆3与转盘1和保持架2焊接连接，转盘1的安装有下连接座5，用于真空镀膜设备通过轴承连接，提高回转机构安装的稳定性和牢固性，下连接座5的下端设置有传动轴51，传动轴51下端的外部安装有第一齿轮6，第一齿轮6的一侧安装有第二齿轮7，第二齿轮7的上方安装有第三齿轮8，第三齿轮8的另一侧安装有第四齿轮10，第四齿轮10的下方安装有驱动电机11，且驱动电机11的输出端与第四齿轮10固定连接，保持架2包括内撑架21、外撑架22、通槽23、滚槽24、滚珠25和上连接座26，支撑杆3的外侧安装有工件架4，且工件架4安装有五个，可避免回转机构整体以及工件架4悬置设置，由此可提高回转机构整体以及工件架4安装的稳定性，进而能让回转机构和工件架4在旋转过程中更加稳定，提高镀膜质量。

进一步，外撑架22设置于内撑架21的外侧，并与内撑架21为一体结构，通槽23设置于外撑架22的内部，且通槽23设置有五个，滚槽24设置于通槽23的外侧，滚珠25设置于通槽23的内部，并与通槽23间隙连接，滚珠25的一端延伸至通槽23的外部，工件架4的上端延伸至通槽23的内部，并与滚珠25贴合连接，上连接座26设置于内撑架21的顶端，用于真空镀膜设备通过轴承连接，提高回转机构安装的稳定性和牢固性。

进一步，转盘1的内部设置有大安装槽12，大安装槽12的外侧设置有小安装槽13，且小安装槽13设置于五个，工件架4的下端延伸至小安装槽13的内部，并安装有第六齿轮15，工件架4随第六齿轮15旋转。

进一步，下连接座5的上端设置有连接轴52，且连接轴52延伸至大安装槽12的内部，并安装有第五齿轮14，第五齿轮14与五个第六齿轮15均啮合连接，可实现传动，第五齿轮14可驱动五个第六齿轮15一起旋转，连接轴52与转盘1焊接连接，连接可靠。

进一步，第一齿轮6与第二齿轮7啮合连接，第三齿轮8与第四齿轮10啮合连接，通过多个齿轮的啮合作用实现传动，可有效提高传动的稳定性，第二齿轮7和第三齿轮8之间的内部设置有连接杆9，通过连接杆9能将第二齿轮7和第三齿轮8固定在一起，使得第二齿轮7和第三齿轮8一起旋转，连接杆9与真空镀膜设备通过轴承连接。

进一步，工件架4与转盘1通过轴承转动连接，利于工件架4随第六齿轮15进行旋转，下连接座5与转盘1焊接连接，连接非常牢固，结构整体性好，结构刚性大。

工作原理：使用时，回转机构整体安装在真空镀膜设备的中间位置处，上连接座26和下连接座5分别与真空镀膜设备上下端的壳体通过轴承连接。由此可避免回转机构悬置于真空镀膜设备内部，可提高回转机构整体安装的稳定性，进而能让回转机构在旋转过程中更加稳定。进行溅射镀膜时，驱动电机11启动，其输出端带动第四齿轮10旋转，由于第四齿轮10与第三齿轮8啮合连接，第三齿轮8与第二齿轮7通过连接杆9固定连接，第二齿轮7与第一齿轮6啮合连接，第一齿轮6与下连接座5的传动轴51固定连接，由此可实现传动，实现下连接座5、转盘1、保持架2、支撑杆3和工件架4整体的公转，通过工件架4下端的第六齿轮15与连接轴52的第五齿轮14啮合连接，由此实现传动，实现工件架4单独的自转，从而可提高镀膜的均匀性。工件架4上端延伸至通槽23内，通槽23的外侧设置三个依次分布的滚槽24，滚槽24的内部安装滚珠25，三个滚珠25包裹在工件架4端的外部，当工件架4进行旋转时，滚珠25受力进行滚动，进而将原有的滑动摩擦转换为滚动摩擦，有效降低了摩擦力，使工件架4不易磨损，同时三个滚珠25对工件架4进行限位，利于工件架4进行稳定的自转。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，包括转盘(1)，其特征在于：所述转盘(1)的上方安装有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)的上方安装有保持架(2)，且支撑杆(3)与转盘(1)和保持架(2)焊接连接，所述转盘(1)的安装有下连接座(5)，所述下连接座(5)的下端设置有传动轴(51)，所述传动轴(51)下端的外部安装有第一齿轮(6)，所述第一齿轮(6)的一侧安装有第二齿轮(7)，所述第二齿轮(7)的上方安装有第三齿轮(8)，所述第三齿轮(8)的另一侧安装有第四齿轮(10)，所述第四齿轮(10)的下方安装有驱动电机(11)，且驱动电机(11)的输出端与第四齿轮(10)固定连接，所述保持架(2)包括内撑架(21)、外撑架(22)、通槽(23)、滚槽(24)、滚珠(25)和上连接座(26)，所述支撑杆(3)的外侧安装有工件架(4)，且工件架(4)安装有五个。

2.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，其特征在于：所述外撑架(22)设置于内撑架(21)的外侧，并与内撑架(21)为一体结构，所述通槽(23)设置于外撑架(22)的内部，且通槽(23)设置有五个，所述滚槽(24)设置于通槽(23)的外侧，所述滚珠(25)设置于通槽(23)的内部，并与通槽(23)间隙连接，所述滚珠(25)的一端延伸至通槽(23)的外部，所述工件架(4)的上端延伸至通槽(23)的内部，并与滚珠(25)贴合连接，所述上连接座(26)设置于内撑架(21)的顶端。

3.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，其特征在于：所述转盘(1)的内部设置有大安装槽(12)，所述大安装槽(12)的外侧设置有小安装槽(13)，且小安装槽(13)设置于五个，所述工件架(4)的下端延伸至小安装槽(13)的内部，并安装有第六齿轮(15)。

4.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，其特征在于：所述下连接座(5)的上端设置有连接轴(52)，且连接轴(52)延伸至大安装槽(12)的内部，并安装有第五齿轮(14)，所述第五齿轮(14)与五个第六齿轮(15)均啮合连接，所述连接轴(52)与转盘(1)焊接连接。

5.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，其特征在于：所述第一齿轮(6)与第二齿轮(7)啮合连接，所述第三齿轮(8)与第四齿轮(10)啮合连接，所述第二齿轮(7)和第三齿轮(8)之间的内部设置有连接杆(9)。

6.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构，其特征在于：所述工件架(4)与转盘(1)通过轴承转动连接，所述下连接座(5)与转盘(1)焊接连接。

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