CN2716283Y - 高效式真空镀膜旋转支架 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座，该盘式底座上设置有一个内齿圈、一个三联驱动轮组、一个铝靶安装架；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架，该旋转主架上设置一个转动内齿圈和多个旋转子架安装座；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组、镀件驱动齿轮、镀件安装架构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮与所述铝靶安装架上的从动皮带轮皮带连接。

Description

高效式真空镀膜旋转支架
技术领域
本实用新型涉及一种高效式真空镀膜旋转支架，该旋转支架安装在真空镀膜机内，其上的旋转子架既有公转又有自转，并且可增加一次装炉的加工数量。
背景技术
中国专利00113303.9公开了一种真空镀膜机，该镀膜机有一个大圆筒形真空室，真空室中心有一组蒸发电极，蒸发电极周围分布六个工件轴。在该技术的基础上有一种改进的真空镀膜机，把工件轴设置在一个旋转支架上，当进行镀膜作业时，旋转支架围绕电极转动，其上的工件轴同时产生自转，可以提高镀膜的质量。但是，该镀膜机一次装炉的加工数量有限，生产效率较低。因此需要提出一种高效式真空镀膜旋转支架。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种高效式真空镀膜旋转支架，该旋转支架由一个环形旋转主架和多个旋转子架构成，旋转子架随环形旋转主架公转的同时，各自进行自转，该旋转支架安装的工件多，镀膜加工的质量好。
本实用新型的目的是由下述技术方案实现的：一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座，其要点在于：所述盘式底座上设置有一个内齿圈、一个三联驱动轮组、一个铝靶安装架；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架，该旋转主架上设置一个转动内齿圈和多个旋转子架安装座；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组、镀件驱动齿轮、镀件安装架构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮与所述铝靶安装架上的从动皮带轮皮带连接。
本实用新型与已有技术相比具有如下优点：
1、本实用新型可以充分利用真空镀膜机的真空室的有效空间，利用率可达100％，提高一次装炉的加工数量。
2、使用了本实用新型的真空镀膜机每天可多加工720支太阳能真空集热管。
3、本实用新型结构简单，维修方便。
附图说明
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
图1、本实用新型的结构示意图(剖视图)
图2、本实用新型的俯视图    (图1的俯视图)
图3、本实用新型的一个实施例的俯视图
具体实施方式
参见图1及图2，本实用新型的真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座8，该底座安装在真空镀膜机的真空室内与真空室连接固定。所述盘式底座上设置有一个内齿圈81、一个三联驱动轮组4、一个铝靶安装架6。该铝靶安装架设置在盘式底座的中央位置，通过上下两个轴承63与该底座安装，其上可以安装真空镀膜所需的铝靶(电极)。三联驱动轮组由顶部齿轮41、下部的动力输入皮带轮42、底部的动力输出皮带轮43及中心轴组成，通过上下两个轴承安装在盘式底座上。盘式底座上面通过多个支撑轴承71安装有一个环形旋转主架5，该底座的下面设有一个辅助支架61，该辅助支架用于安装固定三联驱动轮组、铝靶安装架及固定驱动电机和减速器9。环形旋转主架上设置一个转动内齿圈52和多个旋转子架安装座51；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组3、镀件驱动齿轮1、镀件安装架2构成的旋转子架。所述双联行星齿轮组由一个上行星齿轮31、一个下行星齿轮32及中心轴组成，通过上下两个轴承安装在旋转子架安装座上。镀件驱动齿轮安装在镀件安装架底部，镀件安装架通过轴承7安装在旋转子架安装座上。双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮与主动皮带轮91皮带连接，其底部的动力输出皮带轮与所述铝靶安装架上的从动皮带轮62皮带连接。在本实施例中，驱动电机和减速器安装在一起，减速器顶部设置主动皮带轮，通过皮带10将动力输出。在本实施例中，环形旋转主架上共设置六个旋转子架安装座，每个安装座上设有六个镀件安装架。
参见图2，在本实施例中，在进行真空镀膜作业时，将需要镀膜的太阳能真空集热管放置在镀件安装架上，关闭真空室的门，启动电源，三联驱动轮组转动，通过皮带轮驱动铝靶安装架转动，通过顶部齿轮驱动环形旋转主架转动，安装在环形旋转主架上的双联行星齿轮组随之形成公转，由于双联行星齿轮组底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合，双联行星齿轮组在公转的同时产生自传，又由于双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，从而驱动镀件安装架产生自传。由此，使需要镀膜的太阳能真空集热管形成既有以铝靶为中心的公转，又有以自身轴线为中心的自传，从而提高镀膜效率和质量，膜层颜色均匀。
参见图3，在本实施例中，所述环形旋转主架上共设置十个旋转子架安装座，每个安装座上设有六个镀件安装架。为了便于太阳能真空集热管与镀件安装架固定和分离，提高太阳能真空集热管在运行中的平稳性，所述镀件安装架上设有镀件托盘21。

Claims (2)

1、一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座(8)，其特征在于：所述盘式底座上设置有一个内齿圈(81)、一个三联驱动轮组(4)、一个铝靶安装架(6)；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架(5)，该旋转主架上设置一个转动内齿圈(52)和多个旋转子架安装座(51)；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组(3)、镀件驱动齿轮(1)、镀件安装架(2)构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮(41)与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮(42)与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮(43)与所述铝靶安装架上的从动皮带轮(62)皮带连接。
2、根据权利要求1所述的高效式真空镀膜旋转支架，其特征在于：所述镀件安装架上设有镀件托盘。
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