JP7493587B2 - コーティング装置及びその運動電極装置、可動スタンド装置並びに応用 - Google Patents
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Description
一の反応室を有する一の反応キャビティと、
前記反応キャビティに連通可能に接続された一の抽気装置と、
前記反応キャビティが有する、前記反応室に連通する一の原料供給口に連通する一の原料供給装置と、
前記反応室に収容された一の可動スタンド装置であって、前記可動スタンド装置が少なくとも一の電極と一の可動スタンドとを含み、前記可動スタンドが前記反応キャビティに対して運動可能であり、少なくとも1つの前記電極が前記可動スタンドに追従して一緒に運動可能に設けられ、少なくとも一のコーティング対象ワークが、前記可動スタンドに保持されて前記可動スタンドに従って運動することに適する、一の可動スタンド装置と、を含む一のコーティング装置を提供する。
少なくとも一の電極と、
該反応キャビティに対して運動可能である一の可動スタンドであって、少なくとも1つの前記電極が前記可動スタンドに追従して一緒に運動可能に設けられる一の可動スタンドと、
前記可動スタンドに追従して一緒に運動可能に設けられる少なくとも一のステージと、を含む可動スタンド装置を提供する。
少なくとも一のコーティング対象ワークが一の可動スタンドに従って一の反応キャビティに対して運動する場合、前記反応キャビティに対して運動する少なくとも一の電極は前記反応キャビティ内に前記可動スタンドに対して放電するステップを含む一の電極放電方法を提供する。
ステージ32が前記第1軸線A及び前記第2軸線B周りに回動する場合、前記可動スタンド31に取り付けられた前記電極36は、前記可動スタンド31が前記第1軸線A周りに回動する場合に前記可動スタンドに対して放電するステップを含む一の電極放電方法を提供する。
電気エネルギーを前記電極36まで伝達するように、外部電気エネルギーを前記第1導電部材381から、前記第1導電部材381に対して回動する、前記電極36に導通される前記第2導電部材382まで伝達するステップを含む一の電極給電方法を提供する。
Claims (25)
- 一の反応キャビティを含む一のコーティング装置に適用される一の可動スタンド装置であって、
運動電極であり、前記反応キャビティ内に前記反応キャビティに対して運動可能に設けられる1つまたは複数の電極と、
可動スタンドであって、該可動スタンドの中心の第1軸線周りに前記反応キャビティに対して回動可能に該反応キャビティに取り付けられ、少なくとも1つの電極が前記可動スタンドに追従して一緒に運動可能に設けられ、前記少なくとも1つの電極が前記可動スタンドと一緒に運動する場合に前記可動スタンドと相対的に固定される位置を有する一の可動スタンドと、
コーティング対象ワークを置くことに適した少なくとも一のステージであって、前記第1軸線周りに前記可動スタンドに追従して一緒に回動可能に且つ前記ステージの中心の第2軸線周りに回動可能に設けられる少なくとも一のステージと、を含み、
少なくとも1つの前記電極は、隣り合う前記ステージの間に位置する、ことを特徴とする可動スタンド装置。 - 前記電極は一の放電表面を有し、前記放電表面は前記可動スタンドの中心軸線または前記ステージに向けて設けられて前記電極は前記ステージの周向側に保持される、ことを特徴とする請求項1に記載の可動スタンド装置。
- 前記可動スタンドに前記第2軸線周りに回動可能に取り付けられる一のステージ支持フレームをさらに含み、複数の前記ステージは前記ステージ支持フレームに高さ方向に沿って間隔をあけて積み重ねて置かれ、前記電極は隣り合う2つの前記ステージ支持フレームの間に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載の可動スタンド装置。
- 前記電極は一の弧形の放電表面を有し、前記ステージは円形ステージであり、それに、前記電極の弧度と前記円形ステージの弧度とは同じである、ことを特徴とする請求項1に記載の可動スタンド装置。
- 少なくとも2つの前記電極は前記第1軸線または第2軸線の周囲に対称的に配置される、ことを特徴とする請求項3に記載の可動スタンド装置。
- 前記ステージ支持フレームは一の上支持部と、一の下支持部と、一の側支持部とを含み、前記上支持部は前記側支持部によって前記下支持部に支持され、前記第2軸線は前記上支持部、前記ステージ及び前記下支持部を通り、少なくとも1つの前記電極は前記側支持部の外側に位置する、ことを特徴とする請求項3に記載の可動スタンド装置。
- 少なくとも2つの前記ステージ支持フレームは前記第1軸線の周囲に対称的に設けられ、少なくとも2つの前記電極は前記ステージ支持フレームの内側に位置する、ことを特徴とする請求項3に記載の可動スタンド装置。
- 前記電極と前記可動スタンドとは互いに対極であることにより、前記電極は前記可動スタンドに対して放電する、ことを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の可動スタンド装置。
- 前記可動スタンドは接地する、ことを特徴とする請求項8に記載の可動スタンド装置。
- 各前記電極は一の電極板であり、前記可動スタンドは、各前記電極と相対して設けられた一の導電板を有する、ことを特徴とする請求項8に記載の可動スタンド装置。
- 一の第1導電部材と一の第2導電部材とを含む一の導電ユニットをさらに含み、前記第1導電部材は該反応キャビティに設けられ、前記第2導電部材は前記可動スタンドに設けられ、それに、第1導電部材は前記第2導電部材に導通可能に接続され、前記第2導電部材は前記電極に導通可能に接続されており、前記可動スタンドが該反応キャビティに対して前記第1軸線周りに回動する場合、前記第1導電部材に対して回動する前記第2導電部材は前記第1導電部材との導通を保持し、該反応室の外部からの電気エネルギーは前記第1導電部材を経て前記第2導電部材に伝達し、そして前記電極に伝達する、ことを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の可動スタンド装置。
- 前記可動スタンドは一の上支持材と一の下支持材とを含み、前記上支持材は前記下支持材の上方に保持されるとともに一の載物空間を形成し、前記第2導電部材は前記上支持材に位置し、前記第1導電部材は前記第2導電部材にしっかりと押し付けられて支持される、ことを特徴とする請求項11に記載の可動スタンド装置。
- 各前記ステージは一のステージ伝動材を含み、前記可動スタンドは一の可動スタンド噛合材を含み、前記可動スタンド噛合材と前記ステージ伝動材とは、互いに噛み合うとともに相対運動を発生できるギアとして実施される、ことを特徴とする請求項12に記載の可動スタンド装置。
- 各前記電極はそれぞれ一の電極板であり、該可動スタンドには各前記電極と相対して設けられた少なくとも一の導電板が設けられ、それに、夾角をなす隣り合う2つの前記導電板と、それと相対して設けられた前記電極板とは三角構造を形成する、ことを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の可動スタンド装置。
- 一の反応室を有する一の反応キャビティと、
前記反応キャビティに連通可能に接続された一の抽気装置と、
前記反応キャビティが有する、前記反応室に連通する一の原料供給口に連通する一の原料供給装置と、
少なくとも一のコーティング対象ワークが、可動スタンド装置の可動スタンドに保持されて前記可動スタンドに従って運動することに適する、請求項1~14のいずれか一項に記載の一の可動スタンド装置と、を含む、ことを特徴とする一のコーティング装置。 - 少なくとも1つの前記電極は前記可動スタンドの周方向または径方向に位置する、ことを特徴とする請求項15に記載のコーティング装置。
- 少なくとも1つの前記電極は一の放電表面を有し、前記放電表面の向き方向は、前記可動スタンドの中心軸線に向けて、または該コーティング対象ワークに向けて設けられる、ことを特徴とする請求項15に記載のコーティング装置。
- 隣り合う前記ステージの間に位置する各前記電極の向き方向は、前記ステージに向けることである、ことを特徴とする請求項15に記載のコーティング装置。
- 隣り合う2つの前記電極は一のV字型構造を形成し、それに、V字型は外に開口し、2つの前記電極はそれぞれに、隣り合う2つの前記ステージに対応して向ける、ことを特徴とする請求項18に記載のコーティング装置。
- 前記電極は一の放電表面を有し、前記可動スタンドは、各前記電極と相対して設けられた少なくとも一の導電板が設けられ、前記導電板は一の導電面を有し、それに、夾角をなす隣り合う2つの前記導電板の前記導電面と、それと相対して設けられた前記電極の前記放電表面とは1つの三角放電エリアを形成する、ことを特徴とする請求項15に記載のコーティング装置。
- 少なくとも一の前記電極は、少なくとも一の内側電極とするように、複数の前記ステージの内側に位置し、あるいは、少なくとも一の前記電極は、少なくとも一の外側電極とするように、前記可動スタンドの円周方向に沿って配置するとともに、隣り合う2つの前記ステージの間に位置する、ことを特徴とする請求項15に記載のコーティング装置。
- 複数の前記電極は前記第1軸線の周囲に中心対称的に配置される、ことを特徴とする請求項18に記載のコーティング装置。
- 前記可動スタンドは、各前記電極のサイズに合わせる一の導電面を有する、ことを特徴とする請求項15~22のいずれか一項に記載のコーティング装置。
- 前記反応キャビティ内に前記反応キャビティに対して運動可能に設けられることができる一の電極ホルダーをさらに含み、前記電極は前記電極ホルダーに取り付けられる、ことを特徴とする請求項15~22のいずれか一項に記載のコーティング装置。
- 前記電極ホルダーと前記可動スタンドとは互いに独立しており、あるいは、一体構造である、ことを特徴とする請求項24に記載のコーティング装置。
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