CN201116306Y - 连续式镀膜设备的自转载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型关于一种连续式镀膜设备的自转载具，包括：一底座、复数个齿轮、复数个治具组、一基准边齿条、一对应边齿条、二传动柱及二传动轮，其中，该基准边齿条及该对应边齿条设置于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动时，与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。

Description

连续式镀膜设备的自转载具

技术领域

本实用新型关于一种自转载具，其特别关于一种用于连续式镀膜设备的自转载具。

背景技术

真空镀膜技术是表面处理工程领域中的重要技术之一，真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘等许多优于固体材料本身的性能，获得显著技术经济效益的作用。

按，于2004年12月21日公告的中国台湾新型专利第M253601专利证号，名称为：「具自转功能之镀膜夹具」，揭露一种真空镀膜制程中使用的镀膜夹治具，其特征为：一镀膜夹治具为两金属板，以复数固定柱固定，金属板中设有复数夹具孔，可以安放可活动的夹具组，其中夹具孔孔径必需大于夹具组圆杆直径，夹治具中间设有一转轴，辅以螺帽两边锁固，并连结至台车外部利用马达带动，使之公转，并藉以放置于夹治具台车上。

一般而言，为因应真空镀膜技术应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竞争力，必须降低真空镀膜制程的成本，目前真空镀膜制程中所使用的镀膜设备多为连续式(In-Line)多腔体(Multi-chambers)作业流程，在连续式真空镀膜流程中，真空腔体依照物品加载方向，依序分为低真空、高真空、高真空及低真空等四个真空环境，而连续式镀膜流程与传统批次式(batch type)或晶圆式(wafer type)生产方式相比可以减少高达60％以上生产成本，并可大幅降低设备成本及厂房空间，故本实用新型的实用新型人针对连续式镀膜设备设计出一种适用于连续式镀膜设备的自转载具，以期增进真空镀膜制程的效率。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于提供一种连续式镀膜设备的自转载具，其可适用于立式或卧式的镀膜设备，不仅增进了真空镀膜制程的效率，更可透过齿条与齿轮的设计，使得载具移动时治具得以自转，更进一步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。

本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的技术方案为：一种用于连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成，包括：一底座，设有一基准边凹槽及一对应边凹槽；复数个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中；复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；一基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮；一对应边齿条，啮合于该对应边凹槽内的齿轮；二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及二传动轮，承接该传动柱；其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动，与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。

其中，于该底座更包括设置有复数个槽洞。

其中，该治具组更包含复数个治具套筒，分别穿过该复数个槽洞固接于该复数个齿轮。

其中，该治具组由复数个治具串接固定而形成，并且插置于该治具套筒中与该齿轮连动。

其中，该治具为一圆形治具，设有一作为各治具相互串接之用的中心套筒。

其中，该镀膜设备为立式或卧式的镀膜设备。

本实用新型的有益效果为：因相较于传统的水电镀技术，真空镀膜技术更具有环保、可回收等特性，加上真空镀膜方法已成为近代薄膜合成的主流，其能在各种不同的基材表面，利用真空溅镀的方式制作各种功能性薄膜，具有低成本、速度快等优点。故本实用新型提供一种连续式镀膜设备的自转载具，其可适用于立式或卧式的镀膜设备，不仅增进了真空镀膜制程的效率，更可透过齿条与齿轮的设计，使得载具移动时治具得以自转，更进一步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。

附图说明

图1说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的立体示意图；

图2说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的组件分解图；

图3说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的俯视图；以及

图4说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具另一实施例的前视图。

【图号说明】

1自转载具        11底座

111基准边凹槽    112对应边凹槽

113槽洞          12齿轮

13治具组         131治具

1311中心套筒     1312工件放置处

132治具套筒      133台具定位环

134止推轴承      14A基准边齿条

14B对应边齿条    15传动柱

16传动轮         17卡制件

171把手          172压制杆

173压制块        18A固定块

18B浮动固定块    19A固定夹块

19B浮动夹块      20弹性组件

具体实施方式

为使熟悉该项技艺人士了解本实用新型的目的、特征及功效，兹藉由下述具体实施例，并配合所附的图式，对本实用新型详加说明，说明如后：

习知连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成；接着请参考图1说明本实用新型用于连续式镀膜设备的自转载具的立体示意图，其中该自转载具1包括：一底座11，内设有一基准边凹槽111及一对应边凹槽112、二传动柱15，设置于该底座11的底面二侧、二传动轮16，承接该传动柱15；复数个齿轮12，设置于该底座11中；以及复数个治具组13，各治具组13分别连接于各齿轮12。

以下拟详细说明该自转载具1的结构，如前所述，该底座11设有一基准边凹槽111及一对应边凹槽112；复数个齿轮12，设置于该基准边凹槽111及该对应边凹槽112中；复数个治具组13，各治具组13分别连接于各齿轮12并设置于该底座11之上；一基准边齿条14A，啮合于该基准边凹槽111内的齿轮12；一对应边齿条14B，啮合于该对应边凹槽112内的齿轮12；二传动柱15，设置于该底座11的底面二侧；以及二传动轮16，承接该传动柱15；其中，该基准边齿条14A及该对应边齿条14B设置于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮16被驱动使该自转载具1往前移动，与该基准边齿条14A及该对应边齿条14B啮合的复数个齿轮12因而旋转，进而带动该复数个治具组13随着该齿轮12旋转而自转。

接着，请参考图2，说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的组件分解图，在本实施例中，于该底座11的两侧边上共设有六个槽洞113，即，该基准边凹槽111上方设有三个槽洞113，该对称边凹槽112上方亦设有三个槽洞113；此外，该治具组13更包含复数个治具套筒132，各治具套筒132分别穿过该槽洞113，并经由一治具定位环133及一止推轴承134固接于该齿轮12，该止推轴承134可在该自转载具1行进时消除该齿轮12旋动时所产生的推力。

再者，该治具组13由复数个治具131串接而形成，可配合制程需求而去增减该治具131的个数，在本实施例中，该治具组13由四个治具131串接形成，且该治具组13插置于该治具套筒132中，藉由与该齿轮12固接的治具套筒132使该治具组13与该齿轮12连动，该治具定位环133则将该治具套筒132固定于该底座11之上而达到定位该治具组13的目的。而该治具131并不限定于特定的型态，可依制程需求设计。

其中，在本实施例中，该治具131为一圆形治具，设有一中心套筒1311，该中心套筒1311除了作为各治具131相互串接之用，亦可套接固定于该治具套筒132之中；该治具131亦设有复数个工件放置处1312，每个治具131均设有六个工件放置处1312以放置待镀的工件。

另外，在各治具组13上方均设有一卡制件17，该卡制件17的主要组件包含一把手171，与该把手171相连的一压制杆172，以及位于该压制杆172尾端的一压制块173，该卡制件17枢设于该自转载具顶部的槽洞113之中，该压制块173对应于该治具131的中心套筒1311，欲固定该治具组13时，可下压该把手171使该压制杆172向该中心套筒的1311的方向移动，并使该压制块173置入该中心套筒1311之中，接着转动该把手171使该压制块173卡合于该中心套筒1311，藉此即可利用该卡制件17固定该治具组13，此外，该把手171下压使该压制杆172往下固定该治具组13所产生的轴向推力，则可藉由该止推轴承134予以消除。

此外，该基准边齿条14A固定于镀膜设备的腔体上，先将复数个固定块18A固定于腔体内壁，继以复数个固定夹块19A夹置该基准边齿条14A并固接于该固定块18A，以一固定块18A搭配二固定夹块19A的方式达到固定基准边齿条14A的目的。该对应边齿条14B的部份，先将复数个浮动固定块18B固定于腔体内壁，再以复数个浮动夹块19B夹置该对应边齿条14B并固接于该浮动固定块18B，并在该浮动固定块18B与该对应边齿条14B之间设置一弹性组件20，以一浮动固定块18B搭配二浮动夹块19B及一弹性组件20，利用该浮动夹块19B形成滑块的作用，藉由该弹性组件20使该对应边齿条14B往基准边的方向前后移动微调，以修正齿条齿隙与齿轮齿隙之间的尺寸公差。

再者，如图3所示，说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的俯视图，并请同时参考图1，当镀膜制程进行时，以一动力源(未图标)驱动该传动轮16，该传动轮16承接该传动柱15，该自转载具1连同该复数个治具组13及待镀工件会有足够的重量以产生正压力，而使得该传动轮16与传动柱15之间产生摩擦力，藉此，当外部动力源提供动力使该传动轮16转动，该传动轮16亦带动该传动柱15，使该自转载具1往前移动，图3中箭头所示方向即为该自转载具1的动向。此时，因为该基准边齿条14A与对应边齿条14B设置于镀膜腔体内壁并与该自转载具1的齿轮12啮合，该基准边齿条14A固定不动，该对应边齿条14B则可在该自转载具1移动时浮动调整齿隙间的尺寸公差，由于该基准边齿条14A与对应边齿条14B设置于腔体中不随自转载具1移动，故与的啮合的复数个齿轮12在该自转载具1朝箭头方向移动时，呈逆时针方向旋转，该复数个治具组13亦随的以逆时针方向自转，置于该工件放置处1312上的待镀工件即可被均匀地镀上表面薄膜。

在本实施例中，自转载具的基准边齿条与对应边齿条设置于腔体内壁，然而，在连续式镀膜设备中进行真空薄膜制程时，并未限定要将基准边齿条固定不动及对应边齿条浮动微调的设计。

接着，请继续参考图4说明本实用新型自转载具的另一实施例的前视图，该基准边齿条14A及对应边齿条14B均以浮动固定块18B、浮动夹块19B及弹性组件20设置于腔体内壁，先将该浮动固定块18B固定于腔体内壁，再以复数个浮动夹块19B分别夹置该对应边齿条14B及基准边齿条14A，并固接于该浮动固定块18B，并在该浮动固定块18B与该对应边齿条14B之间及该浮动固定块18B与该基准边齿条14A之间各设置一弹性组件20，以一浮动固定块18B搭配二浮动夹块19B及一弹性组件20，利用该浮动夹块19B形成滑块的作用，再藉由该弹性组件20使该对应边齿条14B及基准边齿条14A以垂直于该自转载具动线的方向前后移动微调，以修正齿条齿隙与齿轮齿隙之间的尺寸公差。

然而，以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例，当不能以此限定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及实用新型说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims (6)

1、一种用于连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成，其特征在于，该自转载具包括：

一底座，设有一基准边凹槽及一对应边凹槽；

复数个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中；

复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；

一基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮；

一对应边齿条，啮合于该对应边凹槽内的齿轮；

二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及

二传动轮，承接该传动柱；

其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设于该腔体的两侧。

2、如权利要求1所述的连续式镀膜设备的自转载具，其特征在于，该底座设有复数个槽洞。

3、如权利要求1所述的连续式镀膜设备的自转载具，其特征在于，该治具组更包含复数个治具套筒，分别穿过该复数个槽洞固接于该复数个齿轮。

4、如权利要求1所述的连续式镀膜设备的自转载具，其特征在于，该治具组由复数个治具串接固定而形成，并且插置于该治具套筒中与该齿轮连动。

5、如权利要求4所述的连续式镀膜设备的自转载具，其特征在于，该治具为一圆形治具，设有一作为各治具相互串接之用的中心套筒。

6、如权利要求1所述的连续式镀膜设备的自转载具，其特征在于，该镀膜设备为立式或卧式的镀膜设备。

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